JPH0672240U - ウェハボート - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】ウェハ移載用のロボットに対するティーチング
に先立って行うウェハボートのウェハ挿入溝の溝番を誤
りなく確実に、しかも瞬時に数えられるようにすること
である。 【構成】最上段又は最下段から起算したウェハ挿入溝４
の溝番を示す表示５，６をボート支柱１の周面に付す。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、複数本のボート支柱の内側部に設けられた各ウェハ挿入溝にウェハ の周縁部を挿入して、多数枚のウェハを多段状にして保持する構成のウェハボー トに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

ウェハボートは、多数枚のウェハを多段状に保持して、このウェハを化学処理 するためのウェハの保持具であり、最初にこのウェハボートについて説明する。 図１は、ウェハボートＢの全体斜視図であり、図２は、同じく部分拡大斜視図で あり、図３は、同じく横断面図である。４本のボート支柱１は、保持するウェハ Ｗの直径よりも僅かに大きな直径を有する円の略半円周上に等間隔をおいて配置 されて、その上下端部がそれぞれ上板２と下板３とにより一体に連結され、各ボ ート支柱１の内側部に多数のウェハ挿入溝４が上下方向に一定間隔をおいて設け られている。そして、４本のボート支柱１の各ウェハ挿入溝４にウェハＷの周縁 部を挿入して、多数枚のウェハＷを多段状にして保持している。

【０００３】 このウェハボートには、ウェハキャリアと称される別のウェハ保持具からロボ ットによりウェハを移載している。そして、このウェハボートの各ウェハ挿入溝 ４にウェハＷを挿入保持して、多数枚のウェハＷを多段状にして保持するには、 これに先立って、ウェハキャリアからウェハボートにウェハを確実に移載させら れるように、ロボットにティーチングを行わせる必要がある。

【０００４】 このティーチングは、多数のウェハ挿入溝４の最上段と最下段との間において 、この多数のウェハ挿入溝４を複数域にほぼ等分に分割して、各分割域において 溝を割り出すことにより行っている。例えば、ウェハ挿入溝４の総数が（１２０ ）である場合において、これを４分割する場合には、最上段或いは最下段のウェ ハ挿入溝４から起算して溝番が（３０）の位置をそれぞれ探し出して、各分割域 の最上段と最下段の各ウェハ挿入溝の間をそれぞれ３０等分して、その位置をロ ボットに記憶させる。このようにして、ロボットにティーチングを行わせる場合 には、ボート支柱１に設けられた多数のウェハ挿入溝４の最上段、或いは最下段 から起算した溝番をいちいち数える必要があり、これが極めて面倒であると共に 、その溝番を誤ってしまうことがあり、この場合には、ロボットに誤ったティー チングを行わせて、ウェハボートＢの各ウェハ挿入溝４にウェハＷを正しく挿入 できなくなって、ティーチングのやり直しを余儀なくされる。

【０００５】 一方、このロボットに対するティーチングは、ウェハボートの種類が変更され る毎に行うことは勿論のこと、同一のウェハボートであっても、所定回数だけ使 用すると、ウェハの化学処理時において化学的成形物が付着するために、このウ ェハボートを洗浄しており、洗浄後においては寸法の変化が僅かに生ずることが あるため、再度ティーチングを行う必要がある。このため、ロボットに対するテ ィーチングの頻度は高い。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

本考案は、ウェハボートにウェハを移載させるためのロボットに上記したティ ーチングを行わせる場合に、このティーチングに先立って行うウェハボートのウ ェハ挿入溝の溝番を誤りなく確実に、しかも迅速に数えられるようにすることを 課題としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

この課題を解決するために本考案の採用した手段は、上記構成のウェハボート において、最上段又は最下段から起算したウェハ挿入溝の溝番を示す表示をボー ト支柱の周面に付したことである。

【０００８】

【実施例】

以下、「従来の技術」の項目で説明した部分の重複説明を避け、図１及び図２ を参照して、本考案の特徴的部分についてのみ説明する。円周方向の一端に配置 されたボート支柱１の周面には、その最上段のウェハ挿入溝４から起算して「１ ０溝」毎に三角形状の表示５が付されている。また、この表示５が付されている ボート支柱１に隣接するボート支柱１の周面には、同じく最上段のウェハ挿入溝 ４から起算して「５０溝」毎に四角形状の表示６が付されている。各表示５，６ は、ウェハ挿入溝４の溝番の読み取りの誤りをなくすために、ボート支柱１の周 方向に沿ってウェハ挿入溝４に近接して付されている。これらの最上段のウェハ 挿入溝４から起算した溝番の各表示５，６は、図形的なものであるが、その溝番 の数値を直接に表示してもよく、その表示自体は、誤りなく瞬時に判読できれば 、いかなるものであってもよい。

【０００９】 このようにして、ウェハボートＢを構成しているボート支柱１の周面に、その 内側部に設けられたウェハ挿入溝４の溝番を示す表示を付しておくと、ウェハの 移載を行わせるためのロボットにティーチングに先立って、ウェハ挿入溝４の総 溝数を複数域にほぼ等分割する際に、その溝番を瞬時に、しかも誤りなく探し出 せれる。このため、ロボットに対するティーチングを確実に行える。

【００１０】

【考案の効果】

本考案に係るウェハボートは、最上段又は最下段から起算したウェハ挿入溝の 溝番を示す表示をボート支柱の周面に付したので、この表示を基準にすることに より、ロボットに対するティーチングに先立って行うウェハボートのウェハ挿入 溝の溝番を誤りなく確実に、しかも瞬時に数えられる。このため、ウェハ挿入溝 の溝番を数える誤りがなくなって、ウェハの移載ロボットに対するティーチング を確実に行える。

【図面の簡単な説明】

【図１】ウェハボートＢの全体斜視図である。

【図２】同じく部分拡大斜視図である。

【図３】同じく横断面図である。

【符号の説明】

Ｂ：ウェハボート Ｗ：ウェハ １：ボート支柱 ２：上板 ３：下板 ４：ウェハ挿入溝

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 保持するウェハの直径よりも僅かに大き
   な直径を有する円の略半円周上の両端部と、該半円周上
   の中央部との少なくとも３箇所にボート支柱を配置し
   て、各ボート支柱の上下端部を円板状の上板及び下板で
   一体に連結し、各ボート支柱の内側部に多数のウェハ挿
   入溝を設け、各ボート支柱の内側部に設けられた複数の
   ウェハ挿入溝にウェハの周縁部を挿入して、多数枚のウ
   ェハを多段状にして保持する構成のウェハボートにおい
   て、最上段又は最下段から起算したウェハ挿入溝の溝番
   を示す表示を前記ボート支柱の周面に付したことを特徴
   とするウェハボート。