JPS6395643A - シ−ト取付用治具 - Google Patents
シ−ト取付用治具Info
- Publication number
- JPS6395643A JPS6395643A JP61241668A JP24166886A JPS6395643A JP S6395643 A JPS6395643 A JP S6395643A JP 61241668 A JP61241668 A JP 61241668A JP 24166886 A JP24166886 A JP 24166886A JP S6395643 A JPS6395643 A JP S6395643A
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- JP
- Japan
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- sheet
- adhesive sheet
- faces
- attached
- stand
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 title claims abstract description 36
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 title claims abstract description 36
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Packages (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体チップの整列機等に使用するシート取
付用治具に関する。
付用治具に関する。
従来、この種のシート取付用治具はエキスバンドリング
として第３図に示すように構成されている。これを同図
に基づいて説明すると、同図において、符号１で示すも
のは２つのシート取付部２゜３および断面半円形状の環
状溝４をその外周面に有する環状体、５はこの環状体１
の開口部１ａを横切るように前記両シート取付部２．３
に張設されスクライビング法により多数のチップ６．６
゜・・・に分割された半導体ウェハ（図示せず）の一部
を保持する帯状の粘着シートである。また、７は前記環
状溝４内に装着されたシート取付用の止め輪である。
として第３図に示すように構成されている。これを同図
に基づいて説明すると、同図において、符号１で示すも
のは２つのシート取付部２゜３および断面半円形状の環
状溝４をその外周面に有する環状体、５はこの環状体１
の開口部１ａを横切るように前記両シート取付部２．３
に張設されスクライビング法により多数のチップ６．６
゜・・・に分割された半導体ウェハ（図示せず）の一部
を保持する帯状の粘着シートである。また、７は前記環
状溝４内に装着されたシート取付用の止め輪である。
次に、このように構成されたエキスバンドリングを使用
するチップ保持方法について説明する。
するチップ保持方法について説明する。
先ず、スクライビング法によって多数のチップ６．６．
・・・に分割された半導体ウェハ（図示せず）の一部を
粘着シート５のチップ保持部５ａに保持する０次に、こ
の粘着シート４をチップ整列方向に引き伸ばした状態で
環状体１の両シート取付部２．３に止め輪７によって取
り付ける。
・・・に分割された半導体ウェハ（図示せず）の一部を
粘着シート５のチップ保持部５ａに保持する０次に、こ
の粘着シート４をチップ整列方向に引き伸ばした状態で
環状体１の両シート取付部２．３に止め輪７によって取
り付ける。
このようにして単数列のチップ６．６．・・・をチップ
保持部５ａに等間隔を隔てて保持することができる。
保持部５ａに等間隔を隔てて保持することができる。
ところで、従来のシート取付用治具においては、両シー
ト取付部２．３が円周面上に形成されているため、粘着
シート５が環状体１の円弧状角部に当接して取り付けら
れることになり、粘着シート５に作用する長手方向の引
張力が内側と外側では異なっていた。この結果、粘着シ
ート５の長手方向伸び量も内側と外側では異なり、チッ
プ保持部５ａに複数列のチップ６．６．・・・を保持す
ることができないという問題があった。
ト取付部２．３が円周面上に形成されているため、粘着
シート５が環状体１の円弧状角部に当接して取り付けら
れることになり、粘着シート５に作用する長手方向の引
張力が内側と外側では異なっていた。この結果、粘着シ
ート５の長手方向伸び量も内側と外側では異なり、チッ
プ保持部５ａに複数列のチップ６．６．・・・を保持す
ることができないという問題があった。
すなわち、チップ保持部５ａに複数列のチップ６．６．
・・・を保持した状態で粘着シート５を引き伸ばすと、
チップ間隔が列毎に異なって次工程に悪影響を及ぼして
しまうからである。
・・・を保持した状態で粘着シート５を引き伸ばすと、
チップ間隔が列毎に異なって次工程に悪影響を及ぼして
しまうからである。
このことは、第４図に示すようにシート取付前において
チップ保持部５ａの幅方向同一線上の例えば３点Ｘ、、
Ｙ、、Ｚ、に印を付け、粘着シート５を長手方向に引き
伸ばすと、シート取付後には同図に示すように各点がＸ
Ｚ 、Ｙｚ 、Ｚｚに移動して位置付けられることから
明らかであろう。
チップ保持部５ａの幅方向同一線上の例えば３点Ｘ、、
Ｙ、、Ｚ、に印を付け、粘着シート５を長手方向に引き
伸ばすと、シート取付後には同図に示すように各点がＸ
Ｚ 、Ｙｚ 、Ｚｚに移動して位置付けられることから
明らかであろう。
本発明はこのような事情に鑑みなされたもので、シート
取付時に粘着シートの長手方向伸び量を同一にすること
ができ、もってチップ保持部に複数列のチップを保持す
ることができるシート取付用治具を提供するものである
。
取付時に粘着シートの長手方向伸び量を同一にすること
ができ、もってチップ保持部に複数列のチップを保持す
ることができるシート取付用治具を提供するものである
。
本発明に係るシート取付用治具は、チップ分割された半
導体ウェハの一部を保持する帯状の粘着シートを３つの
面に亘り張設してなる受台を備え、この受台の３面は、
粘着シートのチップ保持部が矩形平面となるようなシー
ト受面と、このシート受面の両側下方に連設された偏平
なシート取付面とによって形成されているものである。
導体ウェハの一部を保持する帯状の粘着シートを３つの
面に亘り張設してなる受台を備え、この受台の３面は、
粘着シートのチップ保持部が矩形平面となるようなシー
ト受面と、このシート受面の両側下方に連設された偏平
なシート取付面とによって形成されているものである。
本発明においては、粘着シートを両シート取付面とシー
ト受面間の直線状角部に当接させ取り付けることができ
る。
ト受面間の直線状角部に当接させ取り付けることができ
る。
第１図は本発明に係るシート取付用治具を示す斜視図で
、同図以下において第３図および第４図と同一の部材に
ついては同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。同
図において、符号１１で示すものはシート取付用の受台
で、弾性保持片１２によって前記粘着シート５が３つの
面に亘り張設されている。この受台１１の３面は、前記
粘着シート５のチップ保持部５ａが矩形平面となるよう
なシート受面１３と、このシート受面１３の両側下方に
連設された偏平なシート取付面１４．１５とによって形
成されている。また、このうち両シート取付面１４．１
５は各々が互いに平行な面によって形成されている。
、同図以下において第３図および第４図と同一の部材に
ついては同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。同
図において、符号１１で示すものはシート取付用の受台
で、弾性保持片１２によって前記粘着シート５が３つの
面に亘り張設されている。この受台１１の３面は、前記
粘着シート５のチップ保持部５ａが矩形平面となるよう
なシート受面１３と、このシート受面１３の両側下方に
連設された偏平なシート取付面１４．１５とによって形
成されている。また、このうち両シート取付面１４．１
５は各々が互いに平行な面によって形成されている。
このように構成されたシート取付用治具においては、粘
着シート５をシート受面１３と各シート取付面１４．１
５間の直線状角部に当接させ取り付けることができる。
着シート５をシート受面１３と各シート取付面１４．１
５間の直線状角部に当接させ取り付けることができる。
したがって、シート取付時に粘着シート５に作用する長
手方向の引張力を内側と外側で同一にすることができる
。
手方向の引張力を内側と外側で同一にすることができる
。
また、本実施例においては、受台１１のシート取付面１
４．１５が偏平な面で形成されているから、粘着シート
５の受台１１への取り付けを節単に行うことができる。
４．１５が偏平な面で形成されているから、粘着シート
５の受台１１への取り付けを節単に行うことができる。
次に、このように構成されたシート取付用治具を使用す
るチップ保持方法について説明する。
るチップ保持方法について説明する。
先ず、スクライビング法によって多数のチンプロ、６．
・・・に分割された半導体ウェハ（図示せず）の一部を
粘着シート５のチップ保持部５ａに保持する。次に、こ
の粘着シート５をチップ整列方向に引き伸ばした状態で
受台１１の両シート取付面１４．１５上に弾性保持片１
２によって取り付ける。
・・・に分割された半導体ウェハ（図示せず）の一部を
粘着シート５のチップ保持部５ａに保持する。次に、こ
の粘着シート５をチップ整列方向に引き伸ばした状態で
受台１１の両シート取付面１４．１５上に弾性保持片１
２によって取り付ける。
このようにして複数列のチップ６，６．・・・をチップ
保持部５ａに等間隔を隔てて保持することができる。
保持部５ａに等間隔を隔てて保持することができる。
因に、シート取付前において第２図に示すようにチップ
保持部５ａの幅方向同一線上の例えば３点Ｘ：ｌ 、Ｙ
３ 、Ｚ３に印を付け、粘着シート５を長手方向に引き
伸ばすと、シート取付後には同図に示すように各点が等
しい距離を移動してＸａ。
保持部５ａの幅方向同一線上の例えば３点Ｘ：ｌ 、Ｙ
３ 、Ｚ３に印を付け、粘着シート５を長手方向に引き
伸ばすと、シート取付後には同図に示すように各点が等
しい距離を移動してＸａ。
Ｙ＜、Ｚａに位置付けられる。
以上説明したように本発明によれば、チップ分割された
半導体ウェハの一部を保持する帯状の粘着シートを３つ
の面に亘り張設してなる受台を備え、この受台の３面は
、粘着シートのチップ保持部が矩形平面となるようなシ
ート受面と、このシート受面の両側下方に連設された偏
平なシート取付面とによって形成されているので、粘着
シートを両シート取付面とシート受面間の直線状角部に
当接させ取り付けることができる。したがって、シート
取付時に粘着シートに作用する長手方向の′引張力を内
側と外側で同一にすることができるから、チップ保持部
に複数列のチップを保持することができる。
半導体ウェハの一部を保持する帯状の粘着シートを３つ
の面に亘り張設してなる受台を備え、この受台の３面は
、粘着シートのチップ保持部が矩形平面となるようなシ
ート受面と、このシート受面の両側下方に連設された偏
平なシート取付面とによって形成されているので、粘着
シートを両シート取付面とシート受面間の直線状角部に
当接させ取り付けることができる。したがって、シート
取付時に粘着シートに作用する長手方向の′引張力を内
側と外側で同一にすることができるから、チップ保持部
に複数列のチップを保持することができる。
第１図は本発明に係るシート取付用治具を示す斜視図、
第２図は同じくシート取付用治具に取り付ける粘着シー
トの伸び量を説明するための平面図、第３図は従来のシ
ート取付用治具を示す斜視図、第４図はそのシート取付
用治具に取り付ける粘着シートの伸び量を説明するため
の平面図である。 ５・・・粘着シート、５ａ・・・チップ保持部、６・・
・チップ、１１・・・受台、１３・・・シート受面、１
４．１５・・・シート取付面。
第２図は同じくシート取付用治具に取り付ける粘着シー
トの伸び量を説明するための平面図、第３図は従来のシ
ート取付用治具を示す斜視図、第４図はそのシート取付
用治具に取り付ける粘着シートの伸び量を説明するため
の平面図である。 ５・・・粘着シート、５ａ・・・チップ保持部、６・・
・チップ、１１・・・受台、１３・・・シート受面、１
４．１５・・・シート取付面。
Claims (1)
- 多数のチップに分割された半導体ウエハの一部を保持
する帯状の粘着シートを３つの面に亘り張設してなる受
台を備え、この受台の３面は、前記粘着シートのチップ
保持部が矩形平面となるようなシート受面と、このシー
ト受面の両側下方に連設された偏平な２つのシート取付
面とによって形成されていることを特徴とするシート取
付用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61241668A JPS6395643A (ja) | 1986-10-09 | 1986-10-09 | シ−ト取付用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61241668A JPS6395643A (ja) | 1986-10-09 | 1986-10-09 | シ−ト取付用治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6395643A true JPS6395643A (ja) | 1988-04-26 |
Family
ID=17077741
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61241668A Pending JPS6395643A (ja) | 1986-10-09 | 1986-10-09 | シ−ト取付用治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6395643A (ja) |
-
1986
- 1986-10-09 JP JP61241668A patent/JPS6395643A/ja active Pending
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