JPH0670484U - キャンド・リニアモータの固定子 - Google Patents
キャンド・リニアモータの固定子Info
- Publication number
- JPH0670484U JPH0670484U JP1702193U JP1702193U JPH0670484U JP H0670484 U JPH0670484 U JP H0670484U JP 1702193 U JP1702193 U JP 1702193U JP 1702193 U JP1702193 U JP 1702193U JP H0670484 U JPH0670484 U JP H0670484U
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- winding fixing
- linear motor
- fitted
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Abstract
(57)【要約】 (修正有)
【目的】ギャップワインディング形リニアモータの固定
子に関し、移動子側に熱が伝わり難く、剛性の高いキャ
ンド・リニアモータの固定子を提供する。 【構成】両面に平滑な帯状コイルを貼付した非磁性体よ
りなる巻線固定枠4の底部に所定ピッチと長さで設けた
突起と、巻線固定枠4の頂部に固定したスペーサ片6
と、キャン3の底部に設けた突起を嵌め込むスリット3
1と、固定ベースの長手方向にスリット31と同じピッ
チで若干長めの長穴11を設ける。巻線固定枠4をキャ
ン3内に側方から挿入し、スリット31に突起41を嵌
め込む。次に、フランジ9をキャン3の両側面に溶接し
たのち、スペーサ片6とキャン3の両内面を接着剤で固
定する。そののち、キャン3の底部を固定ベース1に設
けた溝2に嵌合し、溶接部32aでレーザやミグ溶接等
でキャン3に巻線固定枠4を液密に、溶接部32bでキ
ャン3と固定ベース1を強固に溶接する。
子に関し、移動子側に熱が伝わり難く、剛性の高いキャ
ンド・リニアモータの固定子を提供する。 【構成】両面に平滑な帯状コイルを貼付した非磁性体よ
りなる巻線固定枠4の底部に所定ピッチと長さで設けた
突起と、巻線固定枠4の頂部に固定したスペーサ片6
と、キャン3の底部に設けた突起を嵌め込むスリット3
1と、固定ベースの長手方向にスリット31と同じピッ
チで若干長めの長穴11を設ける。巻線固定枠4をキャ
ン3内に側方から挿入し、スリット31に突起41を嵌
め込む。次に、フランジ9をキャン3の両側面に溶接し
たのち、スペーサ片6とキャン3の両内面を接着剤で固
定する。そののち、キャン3の底部を固定ベース1に設
けた溝2に嵌合し、溶接部32aでレーザやミグ溶接等
でキャン3に巻線固定枠4を液密に、溶接部32bでキ
ャン3と固定ベース1を強固に溶接する。
Description
【001】
本考案は、ギャップワインディング形リニアモータの固定子に関し、特に、半 導体製造装置等クリーンルームや真空中での搬送装置に用いる、高精度・高頻度 ・微細送り駆動に適する。
【002】
ギャップワインディング形のリニアモータとして、非磁性材よりなる固定子枠 の両面に平滑な帯状コイルを貼付した固定子の両面に、ギャップを介し、ムービ ング・マグネットを配置した磁束貫通形の同期リニアモータがある(例えば、実 願平3− 70570号公報)。 また、誘導電機形リニアモータのコイル端を非磁性体ダクトで包絡し、ダクト 内に冷却媒体を流通させるものがある(例えば、実開平3− 11380号公報 、第7図)。
【003】
ところが、前者は固定子巻線の冷却が自然対流であるため冷却能力が低く、ま た、固定子巻線が直接外気に接触するのでクリーンルーム内や真空中で用いる場 合、発塵や発ガスの可能性がある。 また、後者は通常の誘導電機形リニアモータであり高精度・高頻度・微細送り 駆動には適さず、コイルエンド部の冷却はできるが、コア内部までは十分に冷却 できない可能性が高い。 上記いずれのものも、固定子巻線の発熱が、移動子に伝わり易く、ナノオーダ の位置決め用には適さない。 そこで、本考案は、ナノオーダの超精密位置決めを行う送り装置に用いる磁束 貫通形のギャップワインディング形リニアモータの固定子コイルの冷却を発塵や 発ガスなく行える、移動子側に熱が伝わり難い、剛性の高いキャンド・リニアモ ータの固定子を提供することを目的とする。
【004】
両面に平滑な帯状コイルを貼付した非磁性体よりなる巻線固定枠と、巻線固定 枠を収納するキャンと、キャンを嵌合する溝を有する固定ベースよりなるキャン ド・リニアモータの固定子において、前記巻線固定枠の底部に所定ピッチと長さ で設けた突起41と、前記巻線固定枠の頂部に固定した複数のスペーサ片6、6 と、キャン3の底部に設けた前記突起41を嵌め込むスリット31と、前記固定 ベースの長手方向に前記スリット31と同じピッチで若干長めの長穴11を設け る。 巻線固定枠4をキャン3の内に側方から挿入し、スリット31に突起41を嵌 め込む。次に、フランジ9、9をキャン3の両側面に液密に溶接したのち、スペ ーサ片6、6をキャン3の両内面に接着剤で固定する。そののち、キャン3の底 部を固定ベース1に設けた溝2に嵌合し、溶接部32aでレーザやミグ溶接等で キャン3に巻線固定枠4を液密に、溶接部32bでキャン3と固定ベース1を強 固に溶接する。 さらにそののち、フランジ9、9にジャケット91、91をパッキンを介しボ ルトにより固定する。ジャケット91、91に設けた冷媒供給口92から冷媒を 供給し、冷媒通路7内を流動させる。
【005】
上記手段により、帯状コイル、キャンの内面とスペーサ片の下面で構成される 下部通路と、キャンの頂部内面とスペーサ片の上面で構成される上部通路が生じ る。下部通路および上部通路が冷媒通路となり、コイルが直接冷却され、巻線固 定枠を介し間接的に冷却される。一方スペーサ片により巻線固定枠からキャンへ の熱の伝導が防げる。
【006】
以下、本考案の実施例を図に基づいて説明する。図1は本考案の一実施例を示 す側断面図、図2は正面図、図3は巻線固定枠の(a)正面図および(b)側面 図、図4はキャンの(a)正面図および(b)下面図、図5は固定ベースの(a )正面図、(b)側面図および(c)下面図である。 逆T字状の固定ベース1の上面・中央部には、図5に示すように、長手方向の 溝2を設けてあり、下面には長手方向に複数の長穴11を所定のピッチと長さで 設けてある。 非磁性材・薄肉の角管状のキャン3の下底には、図4に示すように、長穴11 と同じピッチで長穴11より若干短くした複数のスリット31を長手方向に複数 設けてある。 固定ベース1上面の溝2に、キャン3の下端を嵌合・固定してある。 非磁性・良熱伝導体よりなる平板状の巻線固定枠4の底部には、図3に示すよ うに、スリット31と同じ長さとピッチで設けた突起41を設けてある。 巻線固定枠4の高さは、突起41をスリット31に嵌め込んだとき、上部にキ ャン3の肉厚より大きな隙間が生じるようにしてある。 巻線固定枠4の両側面には、例えば実願平3− 70570号で開示したよう な、帯状コイル5、5を貼付してある。巻線固定枠4の頂部には、樹脂等の熱伝 導の悪い材料よりなる複数の熱絶縁用スペーサ片6を帯状コイル5、5の頂部に 当接させ、接着部61で長手方向に接着する。 フランジ9、9には冷媒通路7を切り欠いてあり、周辺には雌ネジを設けてあ る。ジャケット91、91の外側には、冷媒供給口92と冷媒排出口93が設け てある。 組立は、下記の要領でおこなう。 両側面に帯状コイル5、5を貼付し、頂部にスペーサ片6を固定した巻線固定 枠4をキャン3の内に側方から挿入し、スリット31に突起41を嵌め込む。 次に、フランジ9、9をキャン3の両側面に液密に溶接したのち、スペーサ片 6とキャン3の両内面を接着剤で固定する。 その結果、帯状コイル5、5、キャン3の内面と熱絶縁用スペーサ片6の下面 で構成される下部通路と、キャン3の頂部内面とスペーサ片6の上面で構成され る上部通路8が生じる。下部通路および上部通路は冷媒通路7として用いる。 そののち、キャン3の底部を固定ベース1に設けた溝2に嵌合し、溶接部32 aでレーザやミグ溶接等でキャン3に巻線固定枠4を液密に、溶接部32bでキ ャン3と固定ベース1を強固に溶接する。 さらにそののち、フランジ9、9にジャケット91、91をパッキンを介しボ ルトにより固定する。
【007】 以下に、動作を説明する。 帯状コイル5、5に多相交流を供給すると、長手方向に移動磁界が生じる。こ のとき、帯状コイル5、5には銅損が生じ、発熱する。 特に、起動・停止頻度が激しい微小送りの場合は、冷却を効率よく行う必要が ある。通常、効率よく冷却するため、冷却媒体を直接発熱部に接触させるのが好 ましい。 ジャケット91に設けた冷媒供給口92から、水、フロリナート等の冷媒を圧 力を掛けて供給すると、冷媒は冷媒通路7内を冷媒供給口92から冷媒排出口9 3に向かって流通し、直接帯状コイル5、5表面から、又間接的に巻線固定枠4 を介し熱を奪う。 このとき、巻線固定枠4からの伝熱はスペーサ片6により断熱されキャン3の へは伝わらない。 冷媒排出口93を出た冷媒は、循環パイプ(図示せず)を介し、途中に設けた 放熱器(図示せず)により冷却され、冷媒供給口92に供給しクローズに循環す る。
【008】
キャン側面、上面および底面は直接冷媒により冷却され、巻線固定枠上部とキ ャンはスペーサ片により断熱されるため、コイルからキャンへの熱伝導が防止で き、空隙を介しキャンと対向している移動子への熱伝達が防止できる。従って、 コイルの発熱が移動子の温度に影響しない。 また、キャン内部を巻線固定枠とスペーサ片でT字状に補強するので、キャン の剛性が高くなる。
【009】
【図1】 本考案の実施例を示す側断面図。
【図2】 本考案の実施例を示す正面図。
【図3】 本考案の実施例に用いる巻線固定枠の(a)
正面図および(b)側面図。
正面図および(b)側面図。
【図4】 本考案の実施例に用いるキャンの(a)正面
図および(b)下面図。
図および(b)下面図。
【図5】 本考案の実施例に用いる固定ベースの(a)
正面図、(b)側面図および(c)下面図。
正面図、(b)側面図および(c)下面図。
1 固定ベース 11 長穴 2 溝 3 キャン 31 スリット 32a、32b 溶接部 4 巻線固定枠 41 突起 5 帯状コイル 6 スペーサ片 7 冷媒通路 8 上部通路 9 フランジ 91 ジャケット 92 冷媒供給口 93 冷媒排出口
Claims (1)
- 【請求項1】 両面に平滑な帯状コイル(5、5)を貼
付した非磁性体の巻線固定枠(4)と、巻線固定枠
(4)を収納する非磁性体のキャン(3)と、キャン
(3)を嵌合する溝(2)を有する固定ベース(1)よ
りなるキャンド・リニアモータの固定子において、 前記巻線固定枠(4)の底部に所定ピッチと長さで設け
た突起(41)と、前記巻線固定枠(4)の頂部に固定
した熱伝導の悪い材質よりなる複数のスペーサ片(6、
6)と、キャン(3)の底部に設けた前記突起(41)
を嵌め込むスリット(31)と、前記固定ベース(1)
の長手方向に設けた前記スリット(31)と同じピッチ
で若干長めの長穴(11)を備えたことを特徴とするキ
ャンド・リニアモータの固定子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1702193U JP2585818Y2 (ja) | 1993-03-12 | 1993-03-12 | キャンド・リニアモータの固定子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1702193U JP2585818Y2 (ja) | 1993-03-12 | 1993-03-12 | キャンド・リニアモータの固定子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0670484U true JPH0670484U (ja) | 1994-09-30 |
JP2585818Y2 JP2585818Y2 (ja) | 1998-11-25 |
Family
ID=11932349
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1702193U Expired - Lifetime JP2585818Y2 (ja) | 1993-03-12 | 1993-03-12 | キャンド・リニアモータの固定子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2585818Y2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10127035A (ja) * | 1996-10-16 | 1998-05-15 | Canon Inc | リニアモータおよびこれを用いたステージ装置ならびに露光装置 |
JP2000114034A (ja) * | 1998-10-05 | 2000-04-21 | Nikon Corp | 電磁アクチュエータ及びステージ装置 |
US7345384B2 (en) | 2001-11-30 | 2008-03-18 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Linear motor armature and linear motor |
US7946024B2 (en) | 2003-07-28 | 2011-05-24 | Sodick Co., Ltd. | Method of manufacturing a can assembly of an enhanced coreless alternating current linear motor |
JP2017510232A (ja) * | 2014-01-22 | 2017-04-06 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | コイルアセンブリ、電磁アクチュエータ、ステージ位置決め装置、リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
-
1993
- 1993-03-12 JP JP1702193U patent/JP2585818Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10127035A (ja) * | 1996-10-16 | 1998-05-15 | Canon Inc | リニアモータおよびこれを用いたステージ装置ならびに露光装置 |
JP2000114034A (ja) * | 1998-10-05 | 2000-04-21 | Nikon Corp | 電磁アクチュエータ及びステージ装置 |
US7345384B2 (en) | 2001-11-30 | 2008-03-18 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Linear motor armature and linear motor |
US7946024B2 (en) | 2003-07-28 | 2011-05-24 | Sodick Co., Ltd. | Method of manufacturing a can assembly of an enhanced coreless alternating current linear motor |
JP2017510232A (ja) * | 2014-01-22 | 2017-04-06 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | コイルアセンブリ、電磁アクチュエータ、ステージ位置決め装置、リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2585818Y2 (ja) | 1998-11-25 |
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