JPH0669691A - 搬送基板位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ステージの一定の位置に基板を位置決めする
際、基板の慣性力による位置ずれを防止する。 【構成】 位置決めを必要とするステージ(Ｘ−Ｙテー
ブル１)へ基板６を搬送アームによって搬送し、その搬
送アームの送り精度で位置決めを行う搬送基板位置決め
装置において、前記搬送アームで基板６を搬送して位置
決めした後、基板６を短ストローク移動させて位置を補
正する位置補正手段を備える。前記位置補正手段は、駆
動アクチェータ(スライドシリンダ５)を有する高精度の
スライド手段と、前記基板６に密着して基板６を移動さ
せ、初期の搬送時に基板６の搬送の邪魔にならないよう
に上下動する駆動部材(ピンシリンダ２)とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、搬送基板位置決め装置
に関し、特に、基板に半導体チップ等の部品を搭載する
場合、前シュートから位置決めを要するＸ−Ｙテーブル
へ基板を搬送し、Ｘ−Ｙテーブルに対して基板の位置決
めを行い、次に、このＸ−Ｙテーブル上の所定位置へ部
品を搭載する。この場合の部品の基板に対する搭載精度
を向上させるために、Ｘ−Ｙテーブルに対して基板を一
定の位置に位置決めする位置決め補正機構をＸ−Ｙテー
ブルに設置する搬送基板位置決め装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来の搬送基板位置決め方法に、認識装
置を用いる方法があるが、この場合には、基板に位置表
示部材が必要であり、かつ高価な認識装置を用いなけれ
ばならない。

【０００３】前記認識装置を用いない従来の方法とし
て、図４(模式平面図)、図５（図４の右側面を示す模式
側面図）及び図６(図４の正面を示す模式正面図)に示す
ような搬送基板位置決め装置がある。この搬送基板位置
決め装置は、図４、図５及び図６に示すように、前シュ
ート１０、Ｘ−Ｙテーブル１１、搬送アーム１２、基板
クランパ１３等で構成される。この搬送基板位置決め装
置の動作としては、前シュート１０に搬送された基板１
４を搬送アーム１２で矢印Ａの方向に移動させ、Ｘ−Ｙ
テーブル１１に順次搬送する。この基板１４がＸ−Ｙテ
ーブル１１に搬送された状態を図７(動作を説明するた
めの説明図)に示す。この時、図７には示していない
が、基板１４の側面は図５に示す基板クランパ１３で軽
く押圧される。したがって、基板１４は、ある程度の摩
擦によりＸ−Ｙテーブル１１に搬送される。つまり、基
板１４は搬送アーム１２に密着して搬送され、搬送アー
ム１２の送り位置精度がＸ−Ｙテーブル１１に対しての
基板１４の位置決め精度となる。ところが、搬送アーム
１２の動作が鈍く、また、その移動幅（ストローク）が
大きいと、基板１４は、図８（動作を説明するための説
明）に示すように、慣性力により搬送アーム１２から離
れてＸ−Ｙテーブル１１に位置決めされる場合がある。
このような場合、搬送アーム１２と基板１４との距離
は、一定に定まらないため、Ｘ−Ｙテーブル１１に対し
て基板１４の位置が一定に定まらなくなる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明者は、前述の搬
送基板位置決め装置について検討した結果、次の問題点
を見出した。

【０００５】すなわち、基板１４は、搬送アーム１２の
送り精度を高めても、慣性力により搬送アーム１２から
離れてしまうため、基板５自身の送り精度は確保されな
い。したがって、Ｘ−Ｙテーブル１１に対して基板５は
位置決めされないため、例えば基板１４のある一定の位
置に部品を塔載する場合、その位置にバラツキが生じる
という問題があった。

【０００６】また、例えば、基板１４の慣性力によって
オーバーランしない程度の速度の場合には、基板１４の
位置ずれの問題がないが、高速にした場合、基板１４が
オーバーランするという問題があった。

【０００７】また、複数枚の基板１４を同時に移動させ
るので、一枚でも引掛かって負荷が生じた場合、瞬間的
にその負荷がはずれた時に基板１４がオーバーランする
という問題があった。

【０００８】本発明の目的は、Ｘ−Ｙテーブルの一定の
位置に基板を位置決めする際、基板の慣性力による位置
ずれを防止することが可能な技術を提供することにあ
る。

【０００９】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らか
になるであろう。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。

【００１１】すなわち、位置決めを必要とするステージ
へ基板を搬送アームによって搬送し、その搬送アームの
送り精度で位置決めを行う搬送基板位置決め装置におい
て、前記搬送アームで基板を搬送して位置決めした後、
基板を短ストローク移動させて位置を補正する位置補正
手段を備えている。

【００１２】前記位置補正手段は、駆動アクチェータを
有する高精度のスライド手段と、前記基板に密着して基
板を移動させ、初期の搬送時に基板の搬送の邪魔になら
ないように上下動する駆動部材を備えている。

【００１３】また、前記位置補正手段は、前記ステージ
に直接設けられるか、あるいはそのステージの近傍に設
けられている。

【００１４】

【作用】前述した手段によれば、前記搬送アームで基板
を搬送して位置決めした後、基板を短ストローク移動さ
せて位置を補正する位置補正手段を備えているので、Ｘ
−Ｙテーブルの一定の位置に基板を位置決めする際、基
板の慣性力による位置ずれを防止することができる。

【００１５】

【実施例】以下、図面を参照して、本発明の実施例を詳
細に説明する。

【００１６】なお、実施例を説明するための全図におい
て、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り
返しの説明は省略する。

【００１７】図１は、本発明の一実施例である搬送基板
位置決め装置のＸ−Ｙテーブルの概略構成を示す模式平
面図、図２は、図１の正面を示す模式正面図、図３は本
実施例の動作を説明するための説明図である。

【００１８】図１及び図２に示すように、本実施例の搬
送基板位置決め装置のＸ−Ｙテーブル(ステージ)１は、
ピンシリンダ(駆動部材)２、スライドユニット３、スラ
イドレール４及びスライドシリンダ(駆動アクチェータ)
５等を備えている。

【００１９】前記ピンシリンダ２はスライドユニット３
に固定される。スライドユニット３はスライドレール４
に摺動自在に固定される。スライドレール４はＸ−Ｙテ
ーブル１に固定される。スライドシリンダ５は、その本
体が支持部材１Ａを介してＸ−Ｙテーブル１に固定さ
れ、そのシリンダピン５Ａがスライドユニット３の一端
部に固定される。つまり、本実施例の搬送基板位置決め
装置は、スライドシリンダ５の駆動により、ピンシリン
ダ２がＸ−Ｙテーブル１に対して摺動自在に移動し、Ｘ
−Ｙテーブル１に搬送アーム(図示せず)で搬送された基
板１の位置を補正する位置補正手段を備えている。

【００２０】次に、本実施例の搬送基板位置決め装置の
Ｘ−Ｙテーブル１の動作について説明する。

【００２１】図１及び図２に示すように、基板６は、搬
送アームで搬送基板位置決め装置のＸ−Ｙテーブル１に
搬送され、ばらついた位置に位置決めされる。

【００２２】次に、前記搬送アームを元の位置に戻した
後、Ｘ−Ｙテーブル１の表面の位置よりも上方向にピン
シリンダ２のシリンダピン２Ａを引き出し、このシリン
ダピン２Ａを基板６の側面(端部)に接触する位置に移動
する。

【００２３】次に、スライドシリンダ５を駆動し、矢印
Ｂの方向にスライドユニット３を介してピンシリンダ２
を短ストローク移動する。この時、基板６は、ピンシリ
ンダ２のシリンダピン２Ａにより同一方向(矢印Ｂの方
向)に短ストローク移動する。この状態を図３(動作を説
明するための説明図)に示す。この動作において、基板
６は、Ｘ−Ｙテーブル１上を短ストロークだけピンシリ
ンダ２のシリンダピン２Ａと密着して移動し、慣性力で
シリンダピン２Ａに対して離れることがないので、ピン
シリンダ２の送り精度が基板６のＸ−Ｙテーブル１に対
する位置決め精度となり、Ｘ−Ｙテーブル１の所定の位
置に対して基板６を一定の位置に定める位置補正ができ
る。

【００２４】次に、ピンシリンダ２のシリンダピン２Ａ
をＸ−Ｙテーブル１の表面の位置よりも下方向に引き下
げる。この動作において、次段の基板６が搬送アームで
Ｘ−Ｙテーブル１に搬送される搬送時の邪魔を防止して
いる。

【００２５】次に、スライドシリンダ５を駆動し、矢印
Ｂの方向と逆の方向にスライドユニット３を移動する。
この動作は、前述のピンシリンダ２のシリンダピン２Ａ
の引き下げ動作と同時に行ってもよい。この後、搬送ア
ームでＸ−Ｙテーブル１に次段の基板６を搬送し、前述
の動作を繰り返す。これにより、Ｘ−Ｙテーブル１の所
定の位置に対して基板６を一定の位置に順次定めること
ができる。

【００２６】なお、ピンシリンダ２の位置は、基板６が
搬送アームでＸ−Ｙテーブル１に搬送される位置を加味
して設置する必要がある。また、ピンシリンダ２の移動
は、所定の位置を中心点とする回転移動で行ってもよ
い。

【００２７】このように、本実施例によれば以下の効果
が得られる。

【００２８】位置決めを必要とするＸ−Ｙテーブル(ス
テージ)１へ基板６を搬送アームによって搬送し、その
搬送アームの送り精度で位置決めを行う搬送基板位置決
め装置において、搬送アームで基板６を搬送して位置決
めした後、基板６を短ストローク移動させて位置を補正
する位置補正手段を備える。前記位置補正手段は、スラ
イドシリンダ(駆動アクチェータ)５を有する高精度のス
ライド手段と、前記基板６に密着して基板６を移動さ
せ、初期の搬送時に基板６の搬送の邪魔にならないよう
に上下動するピンシリンダ(駆動部材)２とを備える。こ
れにより、Ｘ−Ｙテーブル１の一定の位置に基板６を位
置決めする際、基板６の慣性力による位置ずれを防止す
ることができる。

【００２９】以上、本発明者によってなされた発明を、
前記実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は、前
記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱し
ない範囲において種々変更可能であることは勿論であ
る。

【００３０】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。

【００３１】位置決めを必要とするステージへ基板を搬
送アームによって搬送し、その搬送アームの送り精度で
位置決めを行う搬送基板位置決め装置において、ステー
ジの一定の位置に基板を位置決めする際、基板の慣性力
による位置ずれを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施例である搬送基板位置決め装
置のＸ−Ｙテーブルの概略構成を示す模式平面図、

【図２】 図１の正面を示す模式正面図、

【図３】 本実施例の動作を説明するための説明図、

【図４】 従来の搬送基板位置決め装置の概略構成を示
す模式平面図、

【図５】 図４の右側面を示す模式側面図、

【図６】 図４の正面を示す模式正面図、

【図７】 従来の搬送基板位置決め装置の動作を説明す
るための説明図、

【図８】 従来の搬送基板位置決め装置の動作を説明す
るための説明図。

【符号の説明】

１…Ｘ−Ｙテーブル、１Ａ…支持部材、２…ピンシリン
ダ、２Ａ…シリンダピン、３…スライドユニット、４…
スライドレール、５…スライドシリンダ、６…基板。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/50 Ｆ 21/68 Ｇ 8418−4Ｍ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 位置決めを必要とするステージへ基板を
   搬送アームによって搬送し、その搬送アームの送り精度
   で位置決めを行う搬送基板位置決め装置において、前記
   搬送アームで基板を搬送して位置決めした後、基板を短
   ストローク移動させて位置を補正する位置補正手段を備
   えたことを特徴とする搬送基板位置決め装置。
2. 【請求項２】 前記位置補正手段は、駆動アクチェータ
   を有する高精度のスライド手段と、前記基板に密着して
   基板を移動させ、初期の搬送時に基板の搬送の邪魔にな
   らないように上下動する駆動部材とを備えたことを特徴
   とする請求項１に記載の搬送基板位置決め装置。
3. 【請求項３】 前記位置補正手段は、前記ステージに直
   接設けられるか、あるいはそのステージの近傍に設けら
   れていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載
   の搬送基板位置決め装置。