JPH0669691A - 搬送基板位置決め装置 - Google Patents
搬送基板位置決め装置Info
- Publication number
- JPH0669691A JPH0669691A JP22124192A JP22124192A JPH0669691A JP H0669691 A JPH0669691 A JP H0669691A JP 22124192 A JP22124192 A JP 22124192A JP 22124192 A JP22124192 A JP 22124192A JP H0669691 A JPH0669691 A JP H0669691A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- positioning
- board
- stage
- transport
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Special Conveying (AREA)
- Registering Or Overturning Sheets (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ステージの一定の位置に基板を位置決めする
際、基板の慣性力による位置ずれを防止する。 【構成】 位置決めを必要とするステージ(X−Yテー
ブル1)へ基板6を搬送アームによって搬送し、その搬
送アームの送り精度で位置決めを行う搬送基板位置決め
装置において、前記搬送アームで基板6を搬送して位置
決めした後、基板6を短ストローク移動させて位置を補
正する位置補正手段を備える。前記位置補正手段は、駆
動アクチェータ(スライドシリンダ5)を有する高精度の
スライド手段と、前記基板6に密着して基板6を移動さ
せ、初期の搬送時に基板6の搬送の邪魔にならないよう
に上下動する駆動部材(ピンシリンダ2)とを備える。
際、基板の慣性力による位置ずれを防止する。 【構成】 位置決めを必要とするステージ(X−Yテー
ブル1)へ基板6を搬送アームによって搬送し、その搬
送アームの送り精度で位置決めを行う搬送基板位置決め
装置において、前記搬送アームで基板6を搬送して位置
決めした後、基板6を短ストローク移動させて位置を補
正する位置補正手段を備える。前記位置補正手段は、駆
動アクチェータ(スライドシリンダ5)を有する高精度の
スライド手段と、前記基板6に密着して基板6を移動さ
せ、初期の搬送時に基板6の搬送の邪魔にならないよう
に上下動する駆動部材(ピンシリンダ2)とを備える。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、搬送基板位置決め装置
に関し、特に、基板に半導体チップ等の部品を搭載する
場合、前シュートから位置決めを要するX−Yテーブル
へ基板を搬送し、X−Yテーブルに対して基板の位置決
めを行い、次に、このX−Yテーブル上の所定位置へ部
品を搭載する。この場合の部品の基板に対する搭載精度
を向上させるために、X−Yテーブルに対して基板を一
定の位置に位置決めする位置決め補正機構をX−Yテー
ブルに設置する搬送基板位置決め装置に関するものであ
る。
に関し、特に、基板に半導体チップ等の部品を搭載する
場合、前シュートから位置決めを要するX−Yテーブル
へ基板を搬送し、X−Yテーブルに対して基板の位置決
めを行い、次に、このX−Yテーブル上の所定位置へ部
品を搭載する。この場合の部品の基板に対する搭載精度
を向上させるために、X−Yテーブルに対して基板を一
定の位置に位置決めする位置決め補正機構をX−Yテー
ブルに設置する搬送基板位置決め装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来の搬送基板位置決め方法に、認識装
置を用いる方法があるが、この場合には、基板に位置表
示部材が必要であり、かつ高価な認識装置を用いなけれ
ばならない。
置を用いる方法があるが、この場合には、基板に位置表
示部材が必要であり、かつ高価な認識装置を用いなけれ
ばならない。
【0003】前記認識装置を用いない従来の方法とし
て、図4(模式平面図)、図5(図4の右側面を示す模式
側面図)及び図6(図4の正面を示す模式正面図)に示す
ような搬送基板位置決め装置がある。この搬送基板位置
決め装置は、図4、図5及び図6に示すように、前シュ
ート10、X−Yテーブル11、搬送アーム12、基板
クランパ13等で構成される。この搬送基板位置決め装
置の動作としては、前シュート10に搬送された基板1
4を搬送アーム12で矢印Aの方向に移動させ、X−Y
テーブル11に順次搬送する。この基板14がX−Yテ
ーブル11に搬送された状態を図7(動作を説明するた
めの説明図)に示す。この時、図7には示していない
が、基板14の側面は図5に示す基板クランパ13で軽
く押圧される。したがって、基板14は、ある程度の摩
擦によりX−Yテーブル11に搬送される。つまり、基
板14は搬送アーム12に密着して搬送され、搬送アー
ム12の送り位置精度がX−Yテーブル11に対しての
基板14の位置決め精度となる。ところが、搬送アーム
12の動作が鈍く、また、その移動幅(ストローク)が
大きいと、基板14は、図8(動作を説明するための説
明)に示すように、慣性力により搬送アーム12から離
れてX−Yテーブル11に位置決めされる場合がある。
このような場合、搬送アーム12と基板14との距離
は、一定に定まらないため、X−Yテーブル11に対し
て基板14の位置が一定に定まらなくなる。
て、図4(模式平面図)、図5(図4の右側面を示す模式
側面図)及び図6(図4の正面を示す模式正面図)に示す
ような搬送基板位置決め装置がある。この搬送基板位置
決め装置は、図4、図5及び図6に示すように、前シュ
ート10、X−Yテーブル11、搬送アーム12、基板
クランパ13等で構成される。この搬送基板位置決め装
置の動作としては、前シュート10に搬送された基板1
4を搬送アーム12で矢印Aの方向に移動させ、X−Y
テーブル11に順次搬送する。この基板14がX−Yテ
ーブル11に搬送された状態を図7(動作を説明するた
めの説明図)に示す。この時、図7には示していない
が、基板14の側面は図5に示す基板クランパ13で軽
く押圧される。したがって、基板14は、ある程度の摩
擦によりX−Yテーブル11に搬送される。つまり、基
板14は搬送アーム12に密着して搬送され、搬送アー
ム12の送り位置精度がX−Yテーブル11に対しての
基板14の位置決め精度となる。ところが、搬送アーム
12の動作が鈍く、また、その移動幅(ストローク)が
大きいと、基板14は、図8(動作を説明するための説
明)に示すように、慣性力により搬送アーム12から離
れてX−Yテーブル11に位置決めされる場合がある。
このような場合、搬送アーム12と基板14との距離
は、一定に定まらないため、X−Yテーブル11に対し
て基板14の位置が一定に定まらなくなる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明者は、前述の搬
送基板位置決め装置について検討した結果、次の問題点
を見出した。
送基板位置決め装置について検討した結果、次の問題点
を見出した。
【0005】すなわち、基板14は、搬送アーム12の
送り精度を高めても、慣性力により搬送アーム12から
離れてしまうため、基板5自身の送り精度は確保されな
い。したがって、X−Yテーブル11に対して基板5は
位置決めされないため、例えば基板14のある一定の位
置に部品を塔載する場合、その位置にバラツキが生じる
という問題があった。
送り精度を高めても、慣性力により搬送アーム12から
離れてしまうため、基板5自身の送り精度は確保されな
い。したがって、X−Yテーブル11に対して基板5は
位置決めされないため、例えば基板14のある一定の位
置に部品を塔載する場合、その位置にバラツキが生じる
という問題があった。
【0006】また、例えば、基板14の慣性力によって
オーバーランしない程度の速度の場合には、基板14の
位置ずれの問題がないが、高速にした場合、基板14が
オーバーランするという問題があった。
オーバーランしない程度の速度の場合には、基板14の
位置ずれの問題がないが、高速にした場合、基板14が
オーバーランするという問題があった。
【0007】また、複数枚の基板14を同時に移動させ
るので、一枚でも引掛かって負荷が生じた場合、瞬間的
にその負荷がはずれた時に基板14がオーバーランする
という問題があった。
るので、一枚でも引掛かって負荷が生じた場合、瞬間的
にその負荷がはずれた時に基板14がオーバーランする
という問題があった。
【0008】本発明の目的は、X−Yテーブルの一定の
位置に基板を位置決めする際、基板の慣性力による位置
ずれを防止することが可能な技術を提供することにあ
る。
位置に基板を位置決めする際、基板の慣性力による位置
ずれを防止することが可能な技術を提供することにあ
る。
【0009】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らか
になるであろう。
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らか
になるであろう。
【0010】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
【0011】すなわち、位置決めを必要とするステージ
へ基板を搬送アームによって搬送し、その搬送アームの
送り精度で位置決めを行う搬送基板位置決め装置におい
て、前記搬送アームで基板を搬送して位置決めした後、
基板を短ストローク移動させて位置を補正する位置補正
手段を備えている。
へ基板を搬送アームによって搬送し、その搬送アームの
送り精度で位置決めを行う搬送基板位置決め装置におい
て、前記搬送アームで基板を搬送して位置決めした後、
基板を短ストローク移動させて位置を補正する位置補正
手段を備えている。
【0012】前記位置補正手段は、駆動アクチェータを
有する高精度のスライド手段と、前記基板に密着して基
板を移動させ、初期の搬送時に基板の搬送の邪魔になら
ないように上下動する駆動部材を備えている。
有する高精度のスライド手段と、前記基板に密着して基
板を移動させ、初期の搬送時に基板の搬送の邪魔になら
ないように上下動する駆動部材を備えている。
【0013】また、前記位置補正手段は、前記ステージ
に直接設けられるか、あるいはそのステージの近傍に設
けられている。
に直接設けられるか、あるいはそのステージの近傍に設
けられている。
【0014】
【作用】前述した手段によれば、前記搬送アームで基板
を搬送して位置決めした後、基板を短ストローク移動さ
せて位置を補正する位置補正手段を備えているので、X
−Yテーブルの一定の位置に基板を位置決めする際、基
板の慣性力による位置ずれを防止することができる。
を搬送して位置決めした後、基板を短ストローク移動さ
せて位置を補正する位置補正手段を備えているので、X
−Yテーブルの一定の位置に基板を位置決めする際、基
板の慣性力による位置ずれを防止することができる。
【0015】
【実施例】以下、図面を参照して、本発明の実施例を詳
細に説明する。
細に説明する。
【0016】なお、実施例を説明するための全図におい
て、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り
返しの説明は省略する。
て、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り
返しの説明は省略する。
【0017】図1は、本発明の一実施例である搬送基板
位置決め装置のX−Yテーブルの概略構成を示す模式平
面図、図2は、図1の正面を示す模式正面図、図3は本
実施例の動作を説明するための説明図である。
位置決め装置のX−Yテーブルの概略構成を示す模式平
面図、図2は、図1の正面を示す模式正面図、図3は本
実施例の動作を説明するための説明図である。
【0018】図1及び図2に示すように、本実施例の搬
送基板位置決め装置のX−Yテーブル(ステージ)1は、
ピンシリンダ(駆動部材)2、スライドユニット3、スラ
イドレール4及びスライドシリンダ(駆動アクチェータ)
5等を備えている。
送基板位置決め装置のX−Yテーブル(ステージ)1は、
ピンシリンダ(駆動部材)2、スライドユニット3、スラ
イドレール4及びスライドシリンダ(駆動アクチェータ)
5等を備えている。
【0019】前記ピンシリンダ2はスライドユニット3
に固定される。スライドユニット3はスライドレール4
に摺動自在に固定される。スライドレール4はX−Yテ
ーブル1に固定される。スライドシリンダ5は、その本
体が支持部材1Aを介してX−Yテーブル1に固定さ
れ、そのシリンダピン5Aがスライドユニット3の一端
部に固定される。つまり、本実施例の搬送基板位置決め
装置は、スライドシリンダ5の駆動により、ピンシリン
ダ2がX−Yテーブル1に対して摺動自在に移動し、X
−Yテーブル1に搬送アーム(図示せず)で搬送された基
板1の位置を補正する位置補正手段を備えている。
に固定される。スライドユニット3はスライドレール4
に摺動自在に固定される。スライドレール4はX−Yテ
ーブル1に固定される。スライドシリンダ5は、その本
体が支持部材1Aを介してX−Yテーブル1に固定さ
れ、そのシリンダピン5Aがスライドユニット3の一端
部に固定される。つまり、本実施例の搬送基板位置決め
装置は、スライドシリンダ5の駆動により、ピンシリン
ダ2がX−Yテーブル1に対して摺動自在に移動し、X
−Yテーブル1に搬送アーム(図示せず)で搬送された基
板1の位置を補正する位置補正手段を備えている。
【0020】次に、本実施例の搬送基板位置決め装置の
X−Yテーブル1の動作について説明する。
X−Yテーブル1の動作について説明する。
【0021】図1及び図2に示すように、基板6は、搬
送アームで搬送基板位置決め装置のX−Yテーブル1に
搬送され、ばらついた位置に位置決めされる。
送アームで搬送基板位置決め装置のX−Yテーブル1に
搬送され、ばらついた位置に位置決めされる。
【0022】次に、前記搬送アームを元の位置に戻した
後、X−Yテーブル1の表面の位置よりも上方向にピン
シリンダ2のシリンダピン2Aを引き出し、このシリン
ダピン2Aを基板6の側面(端部)に接触する位置に移動
する。
後、X−Yテーブル1の表面の位置よりも上方向にピン
シリンダ2のシリンダピン2Aを引き出し、このシリン
ダピン2Aを基板6の側面(端部)に接触する位置に移動
する。
【0023】次に、スライドシリンダ5を駆動し、矢印
Bの方向にスライドユニット3を介してピンシリンダ2
を短ストローク移動する。この時、基板6は、ピンシリ
ンダ2のシリンダピン2Aにより同一方向(矢印Bの方
向)に短ストローク移動する。この状態を図3(動作を説
明するための説明図)に示す。この動作において、基板
6は、X−Yテーブル1上を短ストロークだけピンシリ
ンダ2のシリンダピン2Aと密着して移動し、慣性力で
シリンダピン2Aに対して離れることがないので、ピン
シリンダ2の送り精度が基板6のX−Yテーブル1に対
する位置決め精度となり、X−Yテーブル1の所定の位
置に対して基板6を一定の位置に定める位置補正ができ
る。
Bの方向にスライドユニット3を介してピンシリンダ2
を短ストローク移動する。この時、基板6は、ピンシリ
ンダ2のシリンダピン2Aにより同一方向(矢印Bの方
向)に短ストローク移動する。この状態を図3(動作を説
明するための説明図)に示す。この動作において、基板
6は、X−Yテーブル1上を短ストロークだけピンシリ
ンダ2のシリンダピン2Aと密着して移動し、慣性力で
シリンダピン2Aに対して離れることがないので、ピン
シリンダ2の送り精度が基板6のX−Yテーブル1に対
する位置決め精度となり、X−Yテーブル1の所定の位
置に対して基板6を一定の位置に定める位置補正ができ
る。
【0024】次に、ピンシリンダ2のシリンダピン2A
をX−Yテーブル1の表面の位置よりも下方向に引き下
げる。この動作において、次段の基板6が搬送アームで
X−Yテーブル1に搬送される搬送時の邪魔を防止して
いる。
をX−Yテーブル1の表面の位置よりも下方向に引き下
げる。この動作において、次段の基板6が搬送アームで
X−Yテーブル1に搬送される搬送時の邪魔を防止して
いる。
【0025】次に、スライドシリンダ5を駆動し、矢印
Bの方向と逆の方向にスライドユニット3を移動する。
この動作は、前述のピンシリンダ2のシリンダピン2A
の引き下げ動作と同時に行ってもよい。この後、搬送ア
ームでX−Yテーブル1に次段の基板6を搬送し、前述
の動作を繰り返す。これにより、X−Yテーブル1の所
定の位置に対して基板6を一定の位置に順次定めること
ができる。
Bの方向と逆の方向にスライドユニット3を移動する。
この動作は、前述のピンシリンダ2のシリンダピン2A
の引き下げ動作と同時に行ってもよい。この後、搬送ア
ームでX−Yテーブル1に次段の基板6を搬送し、前述
の動作を繰り返す。これにより、X−Yテーブル1の所
定の位置に対して基板6を一定の位置に順次定めること
ができる。
【0026】なお、ピンシリンダ2の位置は、基板6が
搬送アームでX−Yテーブル1に搬送される位置を加味
して設置する必要がある。また、ピンシリンダ2の移動
は、所定の位置を中心点とする回転移動で行ってもよ
い。
搬送アームでX−Yテーブル1に搬送される位置を加味
して設置する必要がある。また、ピンシリンダ2の移動
は、所定の位置を中心点とする回転移動で行ってもよ
い。
【0027】このように、本実施例によれば以下の効果
が得られる。
が得られる。
【0028】位置決めを必要とするX−Yテーブル(ス
テージ)1へ基板6を搬送アームによって搬送し、その
搬送アームの送り精度で位置決めを行う搬送基板位置決
め装置において、搬送アームで基板6を搬送して位置決
めした後、基板6を短ストローク移動させて位置を補正
する位置補正手段を備える。前記位置補正手段は、スラ
イドシリンダ(駆動アクチェータ)5を有する高精度のス
ライド手段と、前記基板6に密着して基板6を移動さ
せ、初期の搬送時に基板6の搬送の邪魔にならないよう
に上下動するピンシリンダ(駆動部材)2とを備える。こ
れにより、X−Yテーブル1の一定の位置に基板6を位
置決めする際、基板6の慣性力による位置ずれを防止す
ることができる。
テージ)1へ基板6を搬送アームによって搬送し、その
搬送アームの送り精度で位置決めを行う搬送基板位置決
め装置において、搬送アームで基板6を搬送して位置決
めした後、基板6を短ストローク移動させて位置を補正
する位置補正手段を備える。前記位置補正手段は、スラ
イドシリンダ(駆動アクチェータ)5を有する高精度のス
ライド手段と、前記基板6に密着して基板6を移動さ
せ、初期の搬送時に基板6の搬送の邪魔にならないよう
に上下動するピンシリンダ(駆動部材)2とを備える。こ
れにより、X−Yテーブル1の一定の位置に基板6を位
置決めする際、基板6の慣性力による位置ずれを防止す
ることができる。
【0029】以上、本発明者によってなされた発明を、
前記実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は、前
記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱し
ない範囲において種々変更可能であることは勿論であ
る。
前記実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は、前
記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱し
ない範囲において種々変更可能であることは勿論であ
る。
【0030】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。
【0031】位置決めを必要とするステージへ基板を搬
送アームによって搬送し、その搬送アームの送り精度で
位置決めを行う搬送基板位置決め装置において、ステー
ジの一定の位置に基板を位置決めする際、基板の慣性力
による位置ずれを防止することができる。
送アームによって搬送し、その搬送アームの送り精度で
位置決めを行う搬送基板位置決め装置において、ステー
ジの一定の位置に基板を位置決めする際、基板の慣性力
による位置ずれを防止することができる。
【図1】 本発明の一実施例である搬送基板位置決め装
置のX−Yテーブルの概略構成を示す模式平面図、
置のX−Yテーブルの概略構成を示す模式平面図、
【図2】 図1の正面を示す模式正面図、
【図3】 本実施例の動作を説明するための説明図、
【図4】 従来の搬送基板位置決め装置の概略構成を示
す模式平面図、
す模式平面図、
【図5】 図4の右側面を示す模式側面図、
【図6】 図4の正面を示す模式正面図、
【図7】 従来の搬送基板位置決め装置の動作を説明す
るための説明図、
るための説明図、
【図8】 従来の搬送基板位置決め装置の動作を説明す
るための説明図。
るための説明図。
1…X−Yテーブル、1A…支持部材、2…ピンシリン
ダ、2A…シリンダピン、3…スライドユニット、4…
スライドレール、5…スライドシリンダ、6…基板。
ダ、2A…シリンダピン、3…スライドユニット、4…
スライドレール、5…スライドシリンダ、6…基板。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/50 F 21/68 G 8418−4M
Claims (3)
- 【請求項1】 位置決めを必要とするステージへ基板を
搬送アームによって搬送し、その搬送アームの送り精度
で位置決めを行う搬送基板位置決め装置において、前記
搬送アームで基板を搬送して位置決めした後、基板を短
ストローク移動させて位置を補正する位置補正手段を備
えたことを特徴とする搬送基板位置決め装置。 - 【請求項2】 前記位置補正手段は、駆動アクチェータ
を有する高精度のスライド手段と、前記基板に密着して
基板を移動させ、初期の搬送時に基板の搬送の邪魔にな
らないように上下動する駆動部材とを備えたことを特徴
とする請求項1に記載の搬送基板位置決め装置。 - 【請求項3】 前記位置補正手段は、前記ステージに直
接設けられるか、あるいはそのステージの近傍に設けら
れていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載
の搬送基板位置決め装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22124192A JPH0669691A (ja) | 1992-08-20 | 1992-08-20 | 搬送基板位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22124192A JPH0669691A (ja) | 1992-08-20 | 1992-08-20 | 搬送基板位置決め装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0669691A true JPH0669691A (ja) | 1994-03-11 |
Family
ID=16763682
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22124192A Pending JPH0669691A (ja) | 1992-08-20 | 1992-08-20 | 搬送基板位置決め装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0669691A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003173944A (ja) * | 2001-12-04 | 2003-06-20 | Nissan Diesel Motor Co Ltd | 電気二重層キャパシタの製造方法 |
-
1992
- 1992-08-20 JP JP22124192A patent/JPH0669691A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003173944A (ja) * | 2001-12-04 | 2003-06-20 | Nissan Diesel Motor Co Ltd | 電気二重層キャパシタの製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5894657A (en) | Mounting apparatus for electronic component | |
KR101014293B1 (ko) | 전자 부품의 실장 장치 및 실장 방법 | |
US4951240A (en) | Electronic part mounting system for printed circuit board | |
JP2000031695A (ja) | 電子部品の実装方法 | |
US6216336B1 (en) | Electronic component mounting device | |
JPH0669691A (ja) | 搬送基板位置決め装置 | |
JP2000323894A (ja) | 半導体装置 | |
JPS59133149A (ja) | プリント基板位置決め装置 | |
JP2000307299A (ja) | 部品装着装置 | |
KR200245078Y1 (ko) | 전자 부품 실장 장치 | |
JP2746989B2 (ja) | チップの位置決め方法およびその装置、インナリードボンディング装置およびインナリードボンディング方法 | |
EP1051893B1 (en) | Component placement apparatus | |
JP4130041B2 (ja) | 部品実装機 | |
JP2622832B2 (ja) | 板状体の搬送方法 | |
JPH06164197A (ja) | プリント基板の位置決め装置 | |
JP3613013B2 (ja) | 電子部品実装装置および電子部品実装方法 | |
JPH0680938B2 (ja) | プリント基板供給装置 | |
JPH0575299A (ja) | チツプの実装装置 | |
JP2507234B2 (ja) | 電子部品の実装方法 | |
JP2581111Y2 (ja) | 基板搬送装置 | |
JPH04226100A (ja) | 電子部品自動装着装置 | |
JPH01228733A (ja) | 基板搬送装置 | |
JPH0597223A (ja) | 部品搬送装置 | |
JPH02283042A (ja) | ダイボンディング装置 | |
JPH07131188A (ja) | 基板搬送装置 |