JPH0668858A - 標準光源およびその制御方法 - Google Patents

標準光源およびその制御方法

Info

Publication number
JPH0668858A
JPH0668858A JP4241160A JP24116092A JPH0668858A JP H0668858 A JPH0668858 A JP H0668858A JP 4241160 A JP4241160 A JP 4241160A JP 24116092 A JP24116092 A JP 24116092A JP H0668858 A JPH0668858 A JP H0668858A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
filament
light source
temperature
light
standard light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP4241160A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3425627B2 (ja
Inventor
Shinichiro Zaisho
慎一郎 税所
Toshinobu Ikeda
俊信 池田
Akira Odagiri
耀 小田切
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shincron Co Ltd
Original Assignee
Shincron Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shincron Co Ltd filed Critical Shincron Co Ltd
Priority to JP24116092A priority Critical patent/JP3425627B2/ja
Publication of JPH0668858A publication Critical patent/JPH0668858A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3425627B2 publication Critical patent/JP3425627B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
  • Non-Portable Lighting Devices Or Systems Thereof (AREA)
  • Circuit Arrangement For Electric Light Sources In General (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【構成】 フィラメント19に熱電対21が取り付けら
れた標準光源11を用い、フィラメント19の温度を検
知し、温度が所定値となるようにフィラメント19に電
力を供給して標準光源を制御する。 【効果】 フィラメントの温度を測定、制御することに
よって安定して放射光を放出できる。また、校正された
受光器により絶対強度を求め、これを基にして他の未校
正の受光器を校正することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、標準光源およびその安
定な制御方法に関する。
【0002】
【従来の技術】光学測定器等に用いられる白熱電球等の
光源の安定性を保証するために、これまで、非常に安定
した電源を用い定電圧、定電流を投入してきた。しか
し、タングステンランプあるいはハロゲンランプ等の白
熱電球は、経時的なタングステンフィラメントの消耗に
よって、その放射エネルギー強度は少なからず変化し、
もはや安定した再現性が得られなくなる。また、安定し
た放射エネルギー強度を得るために非常に安定した電源
を用いることによってもタングステンフィラメントの分
布温度を特定することができず、光源の分光放射強度や
光度を知ることは、高価で寿命の短い標準電球を使用す
る以外に良い方法がなかった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】我々の発明は、光源の
電源として安定した電源を用い、光源の発光温度を制御
するためにタングステンフィラメントの温度を熱電対に
よって直接読み取り、その温度を制御することによって
放射エネルギー強度を安定させるものである。また、熱
電対からの読み取り温度から、これまで、標準電球がラ
ンプフィラメントの分布温度を既知の物として扱ってき
た光度と分光放射強度との関係を、プランクの放射側か
ら相対分光分布を得るものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明の標準光源は、フ
ィラメントに温度センサが取り付けられていることを特
徴とする。
【0005】この標準光源は、熱電対等の温度センサに
より、フィラメント温度を検知し、フィラメント温度が
一定となるように投入電力を制御することにより、常に
一定の放射エネルギーおよびその分光分布をもって発光
させることができる。
【0006】
【実施例】図1は本発明の標準光源を示す断面図であ
る。標準光源11は、タングステンあるいはハロゲン白
熱ランプであり、管球13内に電極17およびフィラメ
ント19が封入されており、電極17はシール部15を
介して外部に取り出されている。フィラメント19はタ
ングステン製の薄板からなり、フィラメント19には熱
電対21が取り付けられている。熱電対21は、シール
部15を介してケーブルが外部に取り出されている。こ
の標準光源11は、フィラメント19が薄板状であるこ
と、およびフィラメント19に熱電体21が固定されて
いることを除いて、通常のタングステン白熱電球と変わ
るところがない。
【0007】なお、本発明の標準光源11では、フィラ
メント19の形状は薄板状に限定されず、ワイヤ状等の
他の形状でもよいが、熱電対21の固定およびそれによ
る温度測定がしやすい形状が望ましい。
【0008】図1に示した標準光源11では、フィラメ
ント19の温度を熱電対21で直接測定することができ
るので、投入電力から放射エネルギーを、熱電対による
測定温度から放射エネルギー分布を測定でき、フィラメ
ント19の温度を制御することにより、安定して放射光
を放出することができ再現性が良好である。一般には、
安定化電源により設定された電力を電極17に供給した
場合でも、標準光源11に起因する原因で再現性が得ら
れない場合がある。例えば、長時間の使用によりフィラ
メント19が蒸散・消耗した場合は、フィラメント19
の抵抗が高くなり、同一電圧を供給してもそれだけフィ
ラメント温度が上昇し、放射エネルギーおよび分光放射
率が変化する。本発明の標準電源11では、熱電対21
によりフィラメント19の温度を検知してフィードバッ
ク制御することにより、安定した放射光が得られる。
【0009】
【応用例】校正された受光器によって、標準光源11に
よって受光器に入射される光のエネルギーを測定し、こ
れを絶対強度として、他の受光器を校正することができ
る。図2は、この受光器校正システムの一例を示す説明
図である。
【0010】校正装置は全体として、投光部31、光学
系41および受光部51からなり、投光部31の標準光
源11から放射された光は、光学系41を経て受光部5
1に導かれ、所定値の狭帯域干渉フィルタ53を介して
特定波長の光が受光器55に入射する。この受光器55
は、校正されたものであり正確な受光感度特性が既値で
ある。
【0011】ソケット33に嵌着された標準光源11の
フィラメント19の温度が制御装置37により検出さ
れ、この温度が所定値で一定となるように安定化電源3
5により電力が標準光源11に投入され、前述のように
標準光源11からは常に一定の安定した光放射がなされ
る。
【0012】校正された受光器55に入射した所定波長
の光エネルギーを測定器57により検出する。フィラメ
ント19として用いるタングステン金属の各温度におけ
る分光放射率は既値であり、温度は熱電対21により測
定制御されているので、タングステン金属の分光放射率
とプランクの輻射法則とからフィラメントの分光放射強
度が求められる。そこで、校正された受光器55によっ
て測定された受光エネルギーから、標準光源11により
受光器55に入射される光の絶対分光強度を求めること
ができ、これを基にして、他の受光器55を校正するこ
とができる。
【0013】
【発明の効果】本発明の標準光源によれば、フィラメン
トの温度を測定、制御することによって安定して放射光
を放出できる。また、校正された受光器により絶対強度
を求め、これを基にして他の未校正の受光器を校正する
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の標準光源の実施例を示す断面図であ
る。
【図2】本発明の標準光源を用いた受光器校正システム
を示す説明図である。
【符号の説明】
11 標準光源 13 管球 15 シール部 17 電極 19 フィラメント 21 熱電対 31 投光部 33 ソケット 35 安定化電源 37 制御装置 41 光学系 51 受光部 53 干渉フィルタ 55 受光器 57 測定器

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 フィラメントに温度センサが取り付けら
    れていることを特徴とする標準光源。
  2. 【請求項2】 フィラメントに温度センサが取り付けら
    れた標準光源を用い、フィラメントの温度を検知し、該
    温度が所定値となるようにフィラメントに電力を供給す
    ることを特徴とする標準光源の制御方法。
JP24116092A 1992-08-18 1992-08-18 標準光源およびその制御方法 Expired - Fee Related JP3425627B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24116092A JP3425627B2 (ja) 1992-08-18 1992-08-18 標準光源およびその制御方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24116092A JP3425627B2 (ja) 1992-08-18 1992-08-18 標準光源およびその制御方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0668858A true JPH0668858A (ja) 1994-03-11
JP3425627B2 JP3425627B2 (ja) 2003-07-14

Family

ID=17070156

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP24116092A Expired - Fee Related JP3425627B2 (ja) 1992-08-18 1992-08-18 標準光源およびその制御方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3425627B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007060762A1 (ja) * 2005-11-22 2007-05-31 Sharp Kabushiki Kaisha 放電管、表示装置用照明装置、液晶表示装置、及び液晶テレビジョン
JP2009500786A (ja) * 2005-06-29 2009-01-08 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ Led照明器具の光出力を制御する制御システム
DE102007040209A1 (de) * 2007-08-27 2009-03-12 Uviterno Ag Vorrichtung zum Bestrahlen eines Substrats

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009500786A (ja) * 2005-06-29 2009-01-08 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ Led照明器具の光出力を制御する制御システム
WO2007060762A1 (ja) * 2005-11-22 2007-05-31 Sharp Kabushiki Kaisha 放電管、表示装置用照明装置、液晶表示装置、及び液晶テレビジョン
US7884552B2 (en) 2005-11-22 2011-02-08 Sharp Kabushiki Kaisha Electrical discharge tube, illumination apparatus for display device, liquid crystal display device, and liquid crystal display television
DE102007040209A1 (de) * 2007-08-27 2009-03-12 Uviterno Ag Vorrichtung zum Bestrahlen eines Substrats

Also Published As

Publication number Publication date
JP3425627B2 (ja) 2003-07-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100512191B1 (ko) 열처리시스템내의온도프로브의교정방법및장치
US5340974A (en) Polychromatic source calibration by one or more spectrally filtered photodetector currents
US4040740A (en) Opto-electronic sensor
US6179465B1 (en) Method and apparatus for infrared pyrometer calibration in a thermal processing system using multiple light sources
JP2003501622A (ja) ガスセンサ機構
US20050018744A1 (en) Calibrating temperature sensors of weathering devices by means of contactless temperature measurement
JPH11237281A (ja) 電磁放射の測定方法
CA2338875A1 (en) Infrared radiation sources, sensors and source combinations, and methods of manufacture
JP2604754B2 (ja) 分光光度計
CA2099124A1 (en) Regulated infrared source
CN106644085A (zh) 一种测温方法及红外测温计
JP3425627B2 (ja) 標準光源およびその制御方法
Erb et al. PTB network for realization and maintenance of the candela
US5747820A (en) Infrared radiation source for a gas analyzer and method for generating infrared radiation
Lahti et al. Realization of the luminous-flux unit using a LED scanner for the absolute integrating-sphere method
US3522464A (en) Standard light source
JP3360560B2 (ja) 赤外線厚さ計の赤外線光源
JP2003106901A (ja) 放射温度計用安定光源、放射温度計のキャリブレーション方法及び放射温度計を用いた半導体製造装置
JP2805891B2 (ja) 照度標準設定装置
CN213301122U (zh) 基于红外偏折术的积分腔狭缝光源装置
JPS62217128A (ja) 放射温度計の校正方法
JP2000114195A (ja) 基板処理装置、基板処理装置の放射温度計のキャリブレーションに使用する治具および放射温度計のキャリブレーション方法
RU2054749C1 (ru) Способ безконтактного измерения температуры кремниевой пластины
JPS62113390A (ja) 光量一定制御装置
Estrada-Hernández et al. Luminous flux and correlated color temperature determination for LED sources

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080509

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090509

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090509

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100509

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110509

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110509

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120509

Year of fee payment: 9

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees