JPH0661697B2 - 磁性流体を用いた研磨装置 - Google Patents
磁性流体を用いた研磨装置Info
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- JPH0661697B2 JPH0661697B2 JP60081486A JP8148685A JPH0661697B2 JP H0661697 B2 JPH0661697 B2 JP H0661697B2 JP 60081486 A JP60081486 A JP 60081486A JP 8148685 A JP8148685 A JP 8148685A JP H0661697 B2 JPH0661697 B2 JP H0661697B2
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- polishing
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- magnetic
- fluid
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ この発明は、研磨粒を混入した磁性流体を用いる研磨装
置に関する。
置に関する。
［発明の技術的背景およびその問題点］ 例えば射出成形用金型において金型の表面品位は、成形
加工により直接成形片に転写されるため高度な形状精度
や表面粗さ（光沢）が要求される。これらの金型に要求
される表面粗さは通常、１．０−０．５μｍ Ｒmax 程
度、そして透明な製品や特に光沢の必要な製品用の金型
に対しては０．１−０．０３μｍ Ｒmax 程度の鏡面仕
上げが要求される。
加工により直接成形片に転写されるため高度な形状精度
や表面粗さ（光沢）が要求される。これらの金型に要求
される表面粗さは通常、１．０−０．５μｍ Ｒmax 程
度、そして透明な製品や特に光沢の必要な製品用の金型
に対しては０．１−０．０３μｍ Ｒmax 程度の鏡面仕
上げが要求される。
そこでこのような金型の鏡面加工を行なう場合には、複
雑な形状のものの場合には手仕上げによって表面研磨が
行なわれている。また単純な形状の金型の場合には、そ
の金型表面形状にあった専用の工具を用意し、鏡面加工
を行なっている。
雑な形状のものの場合には手仕上げによって表面研磨が
行なわれている。また単純な形状の金型の場合には、そ
の金型表面形状にあった専用の工具を用意し、鏡面加工
を行なっている。
しかしながら実用上、各金型に対して手仕上げを行った
り専用の研磨工具を用意するのではフレキシビリティが
なく、鏡面仕上げ用の自動研磨装置が望まれている。
り専用の研磨工具を用意するのではフレキシビリティが
なく、鏡面仕上げ用の自動研磨装置が望まれている。
［発明の目的］ この発明は、このような従来の問題に鑑みて成されたも
のであって、研磨物表面の鏡面仕上げ加工が自動的に行
なえる磁性流体を用いた研磨装置を提供することを目的
とする。
のであって、研磨物表面の鏡面仕上げ加工が自動的に行
なえる磁性流体を用いた研磨装置を提供することを目的
とする。
［発明の概要］ 上記目的を達成するために、この発明は、主軸と、この
主軸に着脱可能に取付けられた研磨工具と、この研磨工
具と研磨物との間に回転磁界を形成する回転磁界形成装
置と、前記研磨工具と研磨物との間に、磁性流体と研磨
粒とを混合した研磨流体を供給する研磨流体供給装置
と、前記研磨工具と研磨物との相対的な位置決めをなす
位置決め装置とを備えてなり、前記研磨流体供給装置
は、磁性流体タンクから前記研磨工具と研磨物との間へ
供給される磁性流体に、荒研磨粒、中研磨粒、仕上研磨
粒を選択して混合可能に構成してなり、前記研磨工具の
軸心部に、当該研磨工具の先端部に開口した研磨流体供
給路を設け、上記研磨工具の先端部を、当該研磨工具か
ら前記研磨物に至る磁力線が研磨物の曲面の各部位にお
いて法線方向となるように半球形状に形成してなるもの
である。
主軸に着脱可能に取付けられた研磨工具と、この研磨工
具と研磨物との間に回転磁界を形成する回転磁界形成装
置と、前記研磨工具と研磨物との間に、磁性流体と研磨
粒とを混合した研磨流体を供給する研磨流体供給装置
と、前記研磨工具と研磨物との相対的な位置決めをなす
位置決め装置とを備えてなり、前記研磨流体供給装置
は、磁性流体タンクから前記研磨工具と研磨物との間へ
供給される磁性流体に、荒研磨粒、中研磨粒、仕上研磨
粒を選択して混合可能に構成してなり、前記研磨工具の
軸心部に、当該研磨工具の先端部に開口した研磨流体供
給路を設け、上記研磨工具の先端部を、当該研磨工具か
ら前記研磨物に至る磁力線が研磨物の曲面の各部位にお
いて法線方向となるように半球形状に形成してなるもの
である。
［発明の実施例］ 以下、この発明の実施例を図に基づいて詳説する。まず
この発明実施例の加工原理を第３図乃至第５図を基に説
明すると、研磨粒１と磁性流体３との混合した研磨流体
５を非磁性容器７内に収容し、磁気回路９の磁気ギャッ
プ１１内においた場合、磁気回路９の励磁コイル１３の
励磁の度合によって次のような挙動をする。
この発明実施例の加工原理を第３図乃至第５図を基に説
明すると、研磨粒１と磁性流体３との混合した研磨流体
５を非磁性容器７内に収容し、磁気回路９の磁気ギャッ
プ１１内においた場合、磁気回路９の励磁コイル１３の
励磁の度合によって次のような挙動をする。
磁性流体がない場合 この場合には磁気回路９の磁気ギャップ１１における磁
力線の分布は第４図（a ）に示すようなものとなる。
力線の分布は第４図（a ）に示すようなものとなる。
弱い磁界中の研磨流体の挙動 磁気回路９に弱い磁界が与えられた場合、研磨粒１が非
磁性体である場合の研磨流体５の挙動は第４図（b ）に
示すようになる。つまり磁性流体３は磁力線によって磁
気ギャップ１１内で磁力線の方向に引かれるが、研磨粒
１は非磁性容器７にほとんど影響を受けることなく滞留
している。
磁性体である場合の研磨流体５の挙動は第４図（b ）に
示すようになる。つまり磁性流体３は磁力線によって磁
気ギャップ１１内で磁力線の方向に引かれるが、研磨粒
１は非磁性容器７にほとんど影響を受けることなく滞留
している。
強い磁界中の研磨流体の挙動 磁気回路９に強い磁界が与えられた場合、第４図（c ）
に示すように磁性流体３は磁力線によって強く拘束さ
れ、その磁性流体３の動きによって研磨粒１も中央部に
やや盛り上った形で集められることになる。
に示すように磁性流体３は磁力線によって強く拘束さ
れ、その磁性流体３の動きによって研磨粒１も中央部に
やや盛り上った形で集められることになる。
この場合でも研磨粒１が非磁性体であるために磁気ギャ
ップ１１においてギャップ端面に接触するように引きつ
けられることはない。
ップ１１においてギャップ端面に接触するように引きつ
けられることはない。
磁性体研磨粒を用いた場合の挙動 研磨粒１として磁性体のものを用いた研磨流体５を強い
磁界の基に置くならば第５図に示すように、磁性流体３
とともに研磨粒１が磁気ギャップ１１においてギャップ
端面に接触し、しかも強い磁界の拘束を受け同図に矢印
Ｐで示す側圧を受け、ギャップ端面に対してＰ′の接触
圧力を生じさせる。この接触圧力Ｐ′と、研磨粒１と磁
極との引力との合力が研磨物加工時の切削力として利用
される。
磁界の基に置くならば第５図に示すように、磁性流体３
とともに研磨粒１が磁気ギャップ１１においてギャップ
端面に接触し、しかも強い磁界の拘束を受け同図に矢印
Ｐで示す側圧を受け、ギャップ端面に対してＰ′の接触
圧力を生じさせる。この接触圧力Ｐ′と、研磨粒１と磁
極との引力との合力が研磨物加工時の切削力として利用
される。
第１図および第２図はこの磁性体研磨粒を混合した研磨
流体の磁気回路中での挙動を利用すべく構成された研磨
装置の一実施例を示すものである。第２図に示すよう加
工ヘッド１５がＸＹキャリッジ１７，１９上に取付けら
れており、この加工ヘッド１５には研磨工具２１がＺ軸
上下方向に昇降自在に取付けられる構成である。
流体の磁気回路中での挙動を利用すべく構成された研磨
装置の一実施例を示すものである。第２図に示すよう加
工ヘッド１５がＸＹキャリッジ１７，１９上に取付けら
れており、この加工ヘッド１５には研磨工具２１がＺ軸
上下方向に昇降自在に取付けられる構成である。
第１図おいて研磨工具２１は研磨流体を通すための中空
の主軸２３の下端に工具交換用ホルダ２５を取付け、こ
の工具変換用ホルダ２５に適宜形状の研磨工具２１が脱
着可能に取付けられている。また前記主軸２３にはスプ
ライン軸部２７が形成されており、Ｚ軸上下方向にこの
主軸２３を昇降させるためのＺ軸モータ２９と噛み合わ
されている。さらに主軸２３に歯車３１が取付けられて
おり、主軸回転用可変モータ３３と噛み合わされてい
る。さらにまた主軸２３の上端部にスリップリング３５
が設けられており、ブラシ３７と接触している、 この主軸２３はＸ軸キャリッジ１７、Ｙ軸キャリッジ１
９によってＸＹ軸方向に移動自在に保持されている。
の主軸２３の下端に工具交換用ホルダ２５を取付け、こ
の工具変換用ホルダ２５に適宜形状の研磨工具２１が脱
着可能に取付けられている。また前記主軸２３にはスプ
ライン軸部２７が形成されており、Ｚ軸上下方向にこの
主軸２３を昇降させるためのＺ軸モータ２９と噛み合わ
されている。さらに主軸２３に歯車３１が取付けられて
おり、主軸回転用可変モータ３３と噛み合わされてい
る。さらにまた主軸２３の上端部にスリップリング３５
が設けられており、ブラシ３７と接触している、 この主軸２３はＸ軸キャリッジ１７、Ｙ軸キャリッジ１
９によってＸＹ軸方向に移動自在に保持されている。
磁気回路を構成するために主軸２３には磁界発生用マグ
ネット３９が取付けられ、磁気回路形成用ブラケット４
１内に設置されている。この磁気回路形成用ブラケット
４１内には研磨物１５として金型が置かれる。従って磁
界発生用マグネット３９が励磁されるならば、第１図に
矢印で示したように磁気回路形成用ブラケット４１、Ｘ
軸キャリッジ１７、Ｙ軸キャリッジ１９を通り、研磨工
具２１、研磨物１５を通る磁気回路が形成される。なお
この磁気回路において磁気ギャップはｇ１〜ｇ４で表わ
されている。
ネット３９が取付けられ、磁気回路形成用ブラケット４
１内に設置されている。この磁気回路形成用ブラケット
４１内には研磨物１５として金型が置かれる。従って磁
界発生用マグネット３９が励磁されるならば、第１図に
矢印で示したように磁気回路形成用ブラケット４１、Ｘ
軸キャリッジ１７、Ｙ軸キャリッジ１９を通り、研磨工
具２１、研磨物１５を通る磁気回路が形成される。なお
この磁気回路において磁気ギャップはｇ１〜ｇ４で表わ
されている。
研磨工具２１と研磨物１５との間の磁気ギャップｇ４に
対して研磨流体５を供給するために第２図に示すライン
構成が採られる。磁性体研磨粒１と磁性流体３とは回
収、分離して再使用するように配慮され、それぞれ研磨
粒タンク４３、磁性流体タンク４５に貯留されている。
なお、この実施例では荒研磨、中研磨、仕上げ研磨の３
段階の研磨を連続的に実施するために研磨粒に対しては
３段階の粒度をもつものを使用するように考慮され、研
磨粒リサイクルライン４７に荒研磨粒用第１フィルタ４
９、中研磨粒用第２フィルタ５１、仕上げ研磨粒用第３
フィルタ５３が設けられており、それぞれのリサイクラ
５５，５７，５９に接続されている。
対して研磨流体５を供給するために第２図に示すライン
構成が採られる。磁性体研磨粒１と磁性流体３とは回
収、分離して再使用するように配慮され、それぞれ研磨
粒タンク４３、磁性流体タンク４５に貯留されている。
なお、この実施例では荒研磨、中研磨、仕上げ研磨の３
段階の研磨を連続的に実施するために研磨粒に対しては
３段階の粒度をもつものを使用するように考慮され、研
磨粒リサイクルライン４７に荒研磨粒用第１フィルタ４
９、中研磨粒用第２フィルタ５１、仕上げ研磨粒用第３
フィルタ５３が設けられており、それぞれのリサイクラ
５５，５７，５９に接続されている。
磁性流体タンク４５内の磁性流体３はポンプ６１によっ
て供給ライン６３に供給され、荒研磨粒、中研磨粒、仕
上げ研磨粒のいずれか一種類の粒度の研磨粒と混合され
て研磨流体５とされ、加工ヘット１５に供給され、研磨
工具２１の先端部から研磨物１５との間の磁気ギャップ
ｇ４に供給される。
て供給ライン６３に供給され、荒研磨粒、中研磨粒、仕
上げ研磨粒のいずれか一種類の粒度の研磨粒と混合され
て研磨流体５とされ、加工ヘット１５に供給され、研磨
工具２１の先端部から研磨物１５との間の磁気ギャップ
ｇ４に供給される。
この研磨流体５による研磨物１５の研磨動作は上記第３
図乃至第５図に基づいて説明した研磨原理による。つま
り、第６図および第７図に示すようにマグネット３９を
励磁させ工具２１から研磨物１５に至る磁界を発生させ
ると、磁性体の研磨粒１を含む研磨流体５は磁気ギャッ
プｇ４において研磨物１５に対してある一定の圧力で接
触する。そこで工具２１を回転させるならば、研磨流体
５は工具２１の磁界に拘束されてともに回転し、研磨物
１５表面を研磨流体５中の研磨粒１によって研磨するこ
とになる。
図乃至第５図に基づいて説明した研磨原理による。つま
り、第６図および第７図に示すようにマグネット３９を
励磁させ工具２１から研磨物１５に至る磁界を発生させ
ると、磁性体の研磨粒１を含む研磨流体５は磁気ギャッ
プｇ４において研磨物１５に対してある一定の圧力で接
触する。そこで工具２１を回転させるならば、研磨流体
５は工具２１の磁界に拘束されてともに回転し、研磨物
１５表面を研磨流体５中の研磨粒１によって研磨するこ
とになる。
そこで第６図に示すように研磨物１５の表面が平らな場
合には工具２１としてその端面が平坦なものを用いるな
らば短時間で効果的な研磨が行なえる。逆に第７図に示
すように、研磨物１５の表面が自由曲面を持つ場合、工
具２１を交換し、先端の形状が半球状形の工具を用いる
のである。こうするならば第７図に示すように工具２１
から研磨物１５に至る磁力線は研磨物１５の各部位にお
いてその法線方向に入るため、どの部位においても研磨
物１５の表面を均一に研磨することができる。
合には工具２１としてその端面が平坦なものを用いるな
らば短時間で効果的な研磨が行なえる。逆に第７図に示
すように、研磨物１５の表面が自由曲面を持つ場合、工
具２１を交換し、先端の形状が半球状形の工具を用いる
のである。こうするならば第７図に示すように工具２１
から研磨物１５に至る磁力線は研磨物１５の各部位にお
いてその法線方向に入るため、どの部位においても研磨
物１５の表面を均一に研磨することができる。
ここで研磨物１５の各部位の形状に合わせて工具２１を
交換する必要があるが、その場合の交換工具の実施例を
第８図および第９図に基づいて説明する。工具交換用ホ
ルダ２５はその中央にスピンドル軸６５を備え回転自在
に支持している。そしてこのスピンドル軸６５の端部に
は位置決め用キー６７によって研磨工具２１が固定され
ている。そしてこのスピンドル軸６５の中央には研磨流
体供給口６９が形成されており、継手シール７１を介し
て研磨工具２１の中央の研磨流体供給路７３と接続され
ている。
交換する必要があるが、その場合の交換工具の実施例を
第８図および第９図に基づいて説明する。工具交換用ホ
ルダ２５はその中央にスピンドル軸６５を備え回転自在
に支持している。そしてこのスピンドル軸６５の端部に
は位置決め用キー６７によって研磨工具２１が固定され
ている。そしてこのスピンドル軸６５の中央には研磨流
体供給口６９が形成されており、継手シール７１を介し
て研磨工具２１の中央の研磨流体供給路７３と接続され
ている。
そしてこの研磨工具２１は第９図に示すように所定の交
換場所において補助具である自動工具交換ハンド７５に
取付けられた交換用の他の研磨工具２１a ，２１b 間に
おいて交換するのである。つまり今第９図における研磨
工具２１a を工具交換用ホルダ２９に取付けており、他
の研磨工具２１b と交換する必要がある場合には、ＸＹ
キャリッジによって加工ヘッド１５全体を所定交換位置
まで移動させ、ハンド７５を回転させてまず使用してい
る研磨工具２１a を工具交換用ホルダ２５から取外しハ
ンド７５にうつし、つぎにハンド７５を回転させ別の研
磨工具２１b を交換用ホルダ２５の位置に回転させ、新
にこの研磨工具２１b をホルダ２５に取付けるようにす
るのである。
換場所において補助具である自動工具交換ハンド７５に
取付けられた交換用の他の研磨工具２１a ，２１b 間に
おいて交換するのである。つまり今第９図における研磨
工具２１a を工具交換用ホルダ２９に取付けており、他
の研磨工具２１b と交換する必要がある場合には、ＸＹ
キャリッジによって加工ヘッド１５全体を所定交換位置
まで移動させ、ハンド７５を回転させてまず使用してい
る研磨工具２１a を工具交換用ホルダ２５から取外しハ
ンド７５にうつし、つぎにハンド７５を回転させ別の研
磨工具２１b を交換用ホルダ２５の位置に回転させ、新
にこの研磨工具２１b をホルダ２５に取付けるようにす
るのである。
尚、工具２１の交換の際にライン６３に圧縮空気を供給
し、ライン６３や主軸２３中の研磨流体を吹き飛ばすよ
うにし、内部を清浄に保つことができる。
し、ライン６３や主軸２３中の研磨流体を吹き飛ばすよ
うにし、内部を清浄に保つことができる。
さらに上記実施例においては主軸回転用可変モータ３３
によって主軸２３、研磨工具２１を回転させ、回転磁界
を研磨流体５との間に形成するようにしているが、この
ような実施例に限定されることはなく、例えば三相交流
を用いて回転磁界を電気的に発生させることも可能であ
る。その実施例を第１０図および第１１図に基づいて説
明する。これは前記第１図において磁界発生用マグネッ
ト３９の部分において三相交流それぞれに対応する３分
割コイル７７a ，７７b ，７７c を形成し、この各コイ
ルを三相交流電源に接続するのである。そして各コイル
７７a ，７７b ，７７c 間の磁気遮蔽を行なうために非
磁性体スペーサ７９を介在させる。このように三相交流
電源を用いた回転磁界を利用するならば、上記実施例の
ように主軸２３全体を回転させることなく回転磁界が得
られ、構造が簡単化できる。
によって主軸２３、研磨工具２１を回転させ、回転磁界
を研磨流体５との間に形成するようにしているが、この
ような実施例に限定されることはなく、例えば三相交流
を用いて回転磁界を電気的に発生させることも可能であ
る。その実施例を第１０図および第１１図に基づいて説
明する。これは前記第１図において磁界発生用マグネッ
ト３９の部分において三相交流それぞれに対応する３分
割コイル７７a ，７７b ，７７c を形成し、この各コイ
ルを三相交流電源に接続するのである。そして各コイル
７７a ，７７b ，７７c 間の磁気遮蔽を行なうために非
磁性体スペーサ７９を介在させる。このように三相交流
電源を用いた回転磁界を利用するならば、上記実施例の
ように主軸２３全体を回転させることなく回転磁界が得
られ、構造が簡単化できる。
［発明の効果］ 以上のごとき実施例の説明より理解されるように、要す
るに本発明は、主軸２３と、この主軸２３に着脱可能に
取付けられた研磨工具２１と、この研磨工具２１と研磨
物１５との間に回転磁界を形成する回転磁界形成装置
と、前記研磨工具２１と研磨物１５との間に、磁性流体
３と研磨粒１とを混合した研磨流体５を供給する研磨流
体供給装置と、前記研磨工具２１と研磨物１５との相対
的な位置決めをなす位置決め装置とを備えてなり、前記
研磨流体供給装置は、磁性流体タンク４５から前記研磨
工具２１と研磨物１５との間へ供給される磁性流体３
に、荒研磨粒、中研磨粒、仕上研磨粒を選択して混合可
能に構成してなり、前記研磨工具２１の軸心部に、当該
研磨工具２１の先端部に開口した研磨流体供給路７３を
設け、上記研磨工具２１の先端部を、当該研磨工具２１
から前記研磨物１５に至る磁力線が研磨物１５の曲面の
各部位において法線方向となるように半球形状に形成し
てなるものである。
るに本発明は、主軸２３と、この主軸２３に着脱可能に
取付けられた研磨工具２１と、この研磨工具２１と研磨
物１５との間に回転磁界を形成する回転磁界形成装置
と、前記研磨工具２１と研磨物１５との間に、磁性流体
３と研磨粒１とを混合した研磨流体５を供給する研磨流
体供給装置と、前記研磨工具２１と研磨物１５との相対
的な位置決めをなす位置決め装置とを備えてなり、前記
研磨流体供給装置は、磁性流体タンク４５から前記研磨
工具２１と研磨物１５との間へ供給される磁性流体３
に、荒研磨粒、中研磨粒、仕上研磨粒を選択して混合可
能に構成してなり、前記研磨工具２１の軸心部に、当該
研磨工具２１の先端部に開口した研磨流体供給路７３を
設け、上記研磨工具２１の先端部を、当該研磨工具２１
から前記研磨物１５に至る磁力線が研磨物１５の曲面の
各部位において法線方向となるように半球形状に形成し
てなるものである。
上記構成より明らかなように、本発明においては、磁性
流体のタンク４５から研磨工具２１と研磨物１５との間
へ供給される磁性流体３に対して荒研磨粒、中研磨粒、
仕上研磨粒を選択して混合可能に構成してあるから、研
磨流体５による研磨物１５の研磨作業を荒研磨、中研磨
および仕上研磨を順次連続的に行なうことができるもの
であり、荒研磨から仕上研磨を、研磨工具２１を交換す
ることなしに容易にかつ能率よく行なうことができるも
のである。
流体のタンク４５から研磨工具２１と研磨物１５との間
へ供給される磁性流体３に対して荒研磨粒、中研磨粒、
仕上研磨粒を選択して混合可能に構成してあるから、研
磨流体５による研磨物１５の研磨作業を荒研磨、中研磨
および仕上研磨を順次連続的に行なうことができるもの
であり、荒研磨から仕上研磨を、研磨工具２１を交換す
ることなしに容易にかつ能率よく行なうことができるも
のである。
また、研磨工具２１の先端部の形状は、研磨工具２１か
ら研磨物１５に至る磁力線が研磨物１５の曲面の各部位
において法線方向となるように半球状に形成してあるか
ら、研磨粒１による研磨物１５の表面が曲面であっても
容易に均一的に研磨されるものである。
ら研磨物１５に至る磁力線が研磨物１５の曲面の各部位
において法線方向となるように半球状に形成してあるか
ら、研磨粒１による研磨物１５の表面が曲面であっても
容易に均一的に研磨されるものである。
さらに、研磨工具２１の先端部に研磨流体供給路７３が
開口してあるから、研磨流体５を加工部位へ供給し乍ら
研磨加工を行うとき、加工時に生じた加工粉を洗い流し
乍ら研磨加工を行うこととなり、表面精度の良い加工を
行うことができるものである。
開口してあるから、研磨流体５を加工部位へ供給し乍ら
研磨加工を行うとき、加工時に生じた加工粉を洗い流し
乍ら研磨加工を行うこととなり、表面精度の良い加工を
行うことができるものである。
第１図はこの発明の一実施例の正面図、第２図は同上実
施例の機械システムのブロック図、第３図は上記実施例
の研磨加工原理を説明する磁気回路図、第４図はその研
磨流体と磁気回路との関係を示す磁気回路図、第５図は
磁性体研磨粒を用いる研磨流体の磁気回路中での挙動を
示す磁気回路図、第６図は平坦な研磨物の研磨状態を示
す正面図、第７図は自由曲面をもつ研磨物の研磨状態を
示す正面図、第８図は上記実施例で用いる工具交換用ホ
ルダ部分の拡大断面図、第９図は工具交換用の自動工具
チェンジハンドの平面図、第１０図は他の実施例の回転
磁界発生装置の平面図、第１１図はその断面図である。 １……研磨粒、３……磁性流体、５……研磨流体 ７……非磁性容器、９……磁気回路 １１……磁気キャップ、１３……励磁コイル １５……加工ヘッド、２３……主軸 ２５……工具交換用ホルダ ３３……主軸回転用可変モータ ３５……スリップリング、３７……ブラシ ３９……磁界発生用マグネット ４１……磁気回路形成用ブラケット ｇ１〜ｇ４……磁気ギャップ ４３……研磨粒タンク、４５……磁性流体タンク ６１……ポンプ、６３……供給ライン
施例の機械システムのブロック図、第３図は上記実施例
の研磨加工原理を説明する磁気回路図、第４図はその研
磨流体と磁気回路との関係を示す磁気回路図、第５図は
磁性体研磨粒を用いる研磨流体の磁気回路中での挙動を
示す磁気回路図、第６図は平坦な研磨物の研磨状態を示
す正面図、第７図は自由曲面をもつ研磨物の研磨状態を
示す正面図、第８図は上記実施例で用いる工具交換用ホ
ルダ部分の拡大断面図、第９図は工具交換用の自動工具
チェンジハンドの平面図、第１０図は他の実施例の回転
磁界発生装置の平面図、第１１図はその断面図である。 １……研磨粒、３……磁性流体、５……研磨流体 ７……非磁性容器、９……磁気回路 １１……磁気キャップ、１３……励磁コイル １５……加工ヘッド、２３……主軸 ２５……工具交換用ホルダ ３３……主軸回転用可変モータ ３５……スリップリング、３７……ブラシ ３９……磁界発生用マグネット ４１……磁気回路形成用ブラケット ｇ１〜ｇ４……磁気ギャップ ４３……研磨粒タンク、４５……磁性流体タンク ６１……ポンプ、６３……供給ライン
Claims (1)
- 【請求項１】主軸（２３）と、この主軸（２３）に着脱
可能に取付けられた研磨工具（２１）と、この研磨工具
（２１）と研磨物（１５）との間に回転磁界を形成する
回転磁界形成装置と、前記研磨工具（２１）と研磨物
（１５）との間に、磁性流体（３）と研磨粒（１）とを
混合した研磨流体（５）を供給する研磨流体供給装置
と、前記研磨工具（２１）と研磨物（１５）との相対的
な位置決めをなす位置決め装置とを備えてなり、前記研
磨流体供給装置は、磁性流体タンク（４５）から前記研
磨工具（２１）と研磨物（１５）との間へ供給される磁
性流体（３）に、荒研磨粒、中研磨粒、仕上研磨粒を選
択して混合可能に構成してなり、前記研磨工具（２１）
の軸心部に、当該研磨工具（２１）の先端部に開口した
研磨流体供給路（７３）を設け、上記研磨工具（２１）
の先端部を、当該研磨工具（２１）から前記研磨物（１
５）に至る磁力線が研磨物（１５）の曲面の各部位にお
いて法線方向となるように半球形状に形成してなること
を特徴とする磁性流体を用いた研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60081486A JPH0661697B2 (ja) | 1985-04-18 | 1985-04-18 | 磁性流体を用いた研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60081486A JPH0661697B2 (ja) | 1985-04-18 | 1985-04-18 | 磁性流体を用いた研磨装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61244457A JPS61244457A (ja) | 1986-10-30 |
| JPH0661697B2 true JPH0661697B2 (ja) | 1994-08-17 |
Family
ID=13747731
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60081486A Expired - Lifetime JPH0661697B2 (ja) | 1985-04-18 | 1985-04-18 | 磁性流体を用いた研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0661697B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2682260B2 (ja) * | 1991-05-09 | 1997-11-26 | 松下電器産業株式会社 | 微小研磨方法及び微小研磨工具 |
| DE69526161T2 (de) * | 1994-09-02 | 2002-08-22 | Canon K.K., Tokio/Tokyo | Tintenstrahlgerät und Verfahren zur Adsorption von Abfallflüssigkeit |
| JP4721016B2 (ja) * | 2003-07-17 | 2011-07-13 | Ｊｓｒ株式会社 | 化学機械研磨用パッドの製造方法 |
| JP4458235B2 (ja) * | 2003-09-29 | 2010-04-28 | 株式会社不二越 | 凹端面加工法及び装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4842495A (ja) * | 1971-10-01 | 1973-06-20 | ||
| JPS591160A (ja) * | 1982-06-23 | 1984-01-06 | Toyo Kenmazai Kogyo Kk | 加工物の平面を磁気研摩する装置 |
| JPS5973272A (ja) * | 1982-10-18 | 1984-04-25 | Inoue Japax Res Inc | 数値制御研磨装置 |
-
1985
- 1985-04-18 JP JP60081486A patent/JPH0661697B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61244457A (ja) | 1986-10-30 |
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