JPH066164A - チップ形電子部品およびその製造方法 - Google Patents
チップ形電子部品およびその製造方法Info
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- JPH066164A JPH066164A JP18444392A JP18444392A JPH066164A JP H066164 A JPH066164 A JP H066164A JP 18444392 A JP18444392 A JP 18444392A JP 18444392 A JP18444392 A JP 18444392A JP H066164 A JPH066164 A JP H066164A
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- Japan
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- plated
- resin
- electrodes
- case
- electronic component
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ケースに設けた電極間の絶縁抵抗の劣化およ
びばらつきを無くすると共に、同電極間のショート不良
が発生しないようにしたチップ形電子部品およびその製
造方法を提供する。 【構成】 このチップ形電子部品は、チップ形圧電共振
子の場合の例であり、下ケース36および上蓋38から
成るケース34内に圧電共振素子2を収納し、同素子2
の端子電極10〜12と下ケース36の内部電極40〜
42とを導電接着剤で導電接合した構造をしている。下
ケース36および上蓋38は、それぞれ、メッキされる
樹脂とメッキされない樹脂とを、電極になるべき部分に
おいて前者が後者から露出するように一体成型し、かつ
露出していたメッキされる樹脂の表面にメッキを施すこ
とで、各内部電極40〜42および各外部電極43〜4
5を形成したものである。
びばらつきを無くすると共に、同電極間のショート不良
が発生しないようにしたチップ形電子部品およびその製
造方法を提供する。 【構成】 このチップ形電子部品は、チップ形圧電共振
子の場合の例であり、下ケース36および上蓋38から
成るケース34内に圧電共振素子2を収納し、同素子2
の端子電極10〜12と下ケース36の内部電極40〜
42とを導電接着剤で導電接合した構造をしている。下
ケース36および上蓋38は、それぞれ、メッキされる
樹脂とメッキされない樹脂とを、電極になるべき部分に
おいて前者が後者から露出するように一体成型し、かつ
露出していたメッキされる樹脂の表面にメッキを施すこ
とで、各内部電極40〜42および各外部電極43〜4
5を形成したものである。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、例えばチップ形圧電
共振子、チップ形正特性サーミスタ等のチップ形電子部
品およびその製造方法に関する。
共振子、チップ形正特性サーミスタ等のチップ形電子部
品およびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】図4は、従来のチップ形圧電共振子の一
例を示す分解斜視図である。このチップ形圧電共振子
は、チップ形圧電フィルタの場合の例であり、厚みすべ
り振動モードを利用するエネルギー閉じ込め型の二重モ
ードの圧電共振素子2をフィルタ素子として用いてい
る。この圧電共振素子2がこの例では電子部品素子であ
る。
例を示す分解斜視図である。このチップ形圧電共振子
は、チップ形圧電フィルタの場合の例であり、厚みすべ
り振動モードを利用するエネルギー閉じ込め型の二重モ
ードの圧電共振素子2をフィルタ素子として用いてい
る。この圧電共振素子2がこの例では電子部品素子であ
る。
【0003】この圧電共振素子2は、短冊状の圧電基板
4の一方の主面に分割タイプの二つの振動電極6、7を
形成し、他方の主面に各振動電極6、7と対向するよう
に振動電極8、9をそれぞれ形成し、かつ振動電極6〜
9に端子電極10〜12を接続して成る。
4の一方の主面に分割タイプの二つの振動電極6、7を
形成し、他方の主面に各振動電極6、7と対向するよう
に振動電極8、9をそれぞれ形成し、かつ振動電極6〜
9に端子電極10〜12を接続して成る。
【0004】そして従来は、このような圧電共振素子2
を、共にセラミックス製の下ケース16と上蓋18から
成るケース14内に次のようにして収納して、チップ形
圧電共振子を製造していた。
を、共にセラミックス製の下ケース16と上蓋18から
成るケース14内に次のようにして収納して、チップ形
圧電共振子を製造していた。
【0005】即ち、圧電共振素子2の各端子電極10〜
12に対応する位置に内部電極20〜22を形成した下
ケース16内に圧電共振素子2を収納し、その各端子電
極10〜12と内部電極20〜22とを導電接着剤(導
電ペーストとも呼ばれる。以下同じ)でそれぞれ導電接
合する。
12に対応する位置に内部電極20〜22を形成した下
ケース16内に圧電共振素子2を収納し、その各端子電
極10〜12と内部電極20〜22とを導電接着剤(導
電ペーストとも呼ばれる。以下同じ)でそれぞれ導電接
合する。
【0006】上蓋18には下ケース16の各内部電極2
0〜22に対応する位置に外部電極23〜25がそれぞ
れ形成されており、このような上蓋18を下ケース16
に被せてその周縁部を接着剤で接着して密封性を保つよ
うにする。このとき、各内部電極20〜22はその端面
部がケース14の側面に露出している。
0〜22に対応する位置に外部電極23〜25がそれぞ
れ形成されており、このような上蓋18を下ケース16
に被せてその周縁部を接着剤で接着して密封性を保つよ
うにする。このとき、各内部電極20〜22はその端面
部がケース14の側面に露出している。
【0007】その後、このケース14の側面に、露出し
ている各内部電極20〜22と上蓋18の各外部電極2
3〜25とをそれぞれつなぐように、側面電極26〜2
8を形成する。
ている各内部電極20〜22と上蓋18の各外部電極2
3〜25とをそれぞれつなぐように、側面電極26〜2
8を形成する。
【0008】以上のような工程によって、チップ形圧電
共振子が得られる。
共振子が得られる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】上記下ケース16の内
部電極20〜22は、従来は例えば図5に示すように、
当該内部電極20〜22に対応する部分が開口したマス
ク30を用いて、真空蒸着やスパッタによって電極材料
(例えば銀パラジウムや銅等)を被着することで形成し
ていた。
部電極20〜22は、従来は例えば図5に示すように、
当該内部電極20〜22に対応する部分が開口したマス
ク30を用いて、真空蒸着やスパッタによって電極材料
(例えば銀パラジウムや銅等)を被着することで形成し
ていた。
【0010】ところが、下ケース16の電極を形成すべ
き部分が三次元構造をしていて、マスク30と下ケース
16の電極を形成すべき部分との間には隙間が不可避的
に生じるため、被着時の電極材料の廻り込みが起こり、
そのため、内部電極20〜22が目標どおりに形成され
ずに、隣合う電極同士が近づいたり接したりして、電極
間でショートが発生したり、あるいはショートに至らな
くても絶縁抵抗の劣化やばらつきが発生することがある
という問題があった。図5は、内部電極20と22とが
B部でショートしている例を示す。また、マスク30と
下ケース16との位置ずれが起こる可能性もあり、これ
によっても同様の問題が発生する。
き部分が三次元構造をしていて、マスク30と下ケース
16の電極を形成すべき部分との間には隙間が不可避的
に生じるため、被着時の電極材料の廻り込みが起こり、
そのため、内部電極20〜22が目標どおりに形成され
ずに、隣合う電極同士が近づいたり接したりして、電極
間でショートが発生したり、あるいはショートに至らな
くても絶縁抵抗の劣化やばらつきが発生することがある
という問題があった。図5は、内部電極20と22とが
B部でショートしている例を示す。また、マスク30と
下ケース16との位置ずれが起こる可能性もあり、これ
によっても同様の問題が発生する。
【0011】この種の問題は、上記のようなチップ形圧
電共振子に限らず、同様の構造をしたチップ形正特性サ
ーミスタ等の他のチップ形電子部品についても同様に存
在する。
電共振子に限らず、同様の構造をしたチップ形正特性サ
ーミスタ等の他のチップ形電子部品についても同様に存
在する。
【0012】そこでこの発明は、ケースに設けた電極間
の絶縁抵抗の劣化およびばらつきを無くすると共に、同
電極間のショート不良が発生しないようにしたチップ形
電子部品およびその製造方法を提供することを主たる目
的とする。
の絶縁抵抗の劣化およびばらつきを無くすると共に、同
電極間のショート不良が発生しないようにしたチップ形
電子部品およびその製造方法を提供することを主たる目
的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明のチップ形電子部品は、メッキされる樹脂
とメッキされない樹脂とを、電極になるべき部分におい
て前者が後者から露出するように一体成型して成るケー
スであって、露出していたメッキされる樹脂の表面にメ
ッキを施して電極を形成したものの内部に、端子電極を
有する電子部品素子を収納し、この電子部品素子の端子
電極とケースの電極とを導電接着剤によって導電接合し
た構造をしていることを特徴とする。
め、この発明のチップ形電子部品は、メッキされる樹脂
とメッキされない樹脂とを、電極になるべき部分におい
て前者が後者から露出するように一体成型して成るケー
スであって、露出していたメッキされる樹脂の表面にメ
ッキを施して電極を形成したものの内部に、端子電極を
有する電子部品素子を収納し、この電子部品素子の端子
電極とケースの電極とを導電接着剤によって導電接合し
た構造をしていることを特徴とする。
【0014】また、この発明の製造方法は、メッキされ
る樹脂とメッキされない樹脂とを、電極になるべき部分
において前者が後者から露出するように一体成型して成
るケースを用意し、このケースにメッキを施して、露出
していたメッキされる樹脂の表面に電極を形成し、この
ようにして電極が形成されたケース内に端子電極を有す
る電子部品素子を収納し、この電子部品素子の端子電極
とケースの電極とを導電接着剤で導電接合してチップ形
電子部品を作ることを特徴とする。
る樹脂とメッキされない樹脂とを、電極になるべき部分
において前者が後者から露出するように一体成型して成
るケースを用意し、このケースにメッキを施して、露出
していたメッキされる樹脂の表面に電極を形成し、この
ようにして電極が形成されたケース内に端子電極を有す
る電子部品素子を収納し、この電子部品素子の端子電極
とケースの電極とを導電接着剤で導電接合してチップ形
電子部品を作ることを特徴とする。
【0015】
【作用】上記チップ形電子部品においては、メッキされ
る樹脂とメッキされない樹脂とを一体成型してケースが
形成されているため、しかもそのメッキされる樹脂の表
面にのみメッキが施されるため、従来の真空蒸着やスパ
ッタを用いたチップ形電子部品に比べて、ケースの電極
の寸法精度が非常に良くなる。その結果、ケースの電極
間の絶縁抵抗の劣化およびばらつきが無くなり、品質が
向上する。更に同様の理由から、ケースの電極間のショ
ート不良が発生することも無くなり、生産性も向上す
る。
る樹脂とメッキされない樹脂とを一体成型してケースが
形成されているため、しかもそのメッキされる樹脂の表
面にのみメッキが施されるため、従来の真空蒸着やスパ
ッタを用いたチップ形電子部品に比べて、ケースの電極
の寸法精度が非常に良くなる。その結果、ケースの電極
間の絶縁抵抗の劣化およびばらつきが無くなり、品質が
向上する。更に同様の理由から、ケースの電極間のショ
ート不良が発生することも無くなり、生産性も向上す
る。
【0016】また、上記製造方法においては、メッキさ
れる樹脂とメッキされない樹脂とを一体成型してケース
が形成されているため、しかもそのメッキされる樹脂の
表面にのみメッキが施されるため、従来の真空蒸着やス
パッタを用いる場合に比べて、ケースに形成する電極の
寸法精度が非常に良くなる。その結果、ケースの電極間
の絶縁抵抗の劣化およびばらつきが無くなり、チップ形
電子部品の品質が向上する。更に同様の理由から、ケー
スの電極間のショート不良が発生することも無くなり、
チップ形電子部品の生産性も向上する。
れる樹脂とメッキされない樹脂とを一体成型してケース
が形成されているため、しかもそのメッキされる樹脂の
表面にのみメッキが施されるため、従来の真空蒸着やス
パッタを用いる場合に比べて、ケースに形成する電極の
寸法精度が非常に良くなる。その結果、ケースの電極間
の絶縁抵抗の劣化およびばらつきが無くなり、チップ形
電子部品の品質が向上する。更に同様の理由から、ケー
スの電極間のショート不良が発生することも無くなり、
チップ形電子部品の生産性も向上する。
【0017】
【実施例】以下においても従来例と同様にチップ形圧電
共振子を例に説明する。
共振子を例に説明する。
【0018】図1は、この発明の一実施例に係るチップ
形圧電共振子を示す分解斜視図である。図4の従来例と
同一または相当する部分には同一符号を付し、以下にお
いては当該従来例との相違点を主に説明する。
形圧電共振子を示す分解斜視図である。図4の従来例と
同一または相当する部分には同一符号を付し、以下にお
いては当該従来例との相違点を主に説明する。
【0019】このチップ形圧電共振子の構造を、その製
造方法の一例と共に説明すると次のとおりである。
造方法の一例と共に説明すると次のとおりである。
【0020】即ち、まず、図2に示すように、メッキさ
れる樹脂36aとメッキされない樹脂36bとを、図1
の内部電極40〜42になるべき部分のみにおいてメッ
キされる樹脂36aがメッキされない樹脂36bから露
出するように一体成型して成る下ケース36、および、
メッキされる樹脂38aとメッキされない樹脂38bと
を、図1の外部電極43〜45になるべき部分のみにお
いてメッキされる樹脂38aがメッキされない樹脂38
bから露出するように一体成型して成る上蓋38を用意
する。この例では、この下ケース36と上蓋38とでケ
ース34が構成される。このような下ケース36および
上蓋38は、例えば、メッキされる樹脂とメッキされな
い樹脂の2ショットモールド法によって作製することが
できる。
れる樹脂36aとメッキされない樹脂36bとを、図1
の内部電極40〜42になるべき部分のみにおいてメッ
キされる樹脂36aがメッキされない樹脂36bから露
出するように一体成型して成る下ケース36、および、
メッキされる樹脂38aとメッキされない樹脂38bと
を、図1の外部電極43〜45になるべき部分のみにお
いてメッキされる樹脂38aがメッキされない樹脂38
bから露出するように一体成型して成る上蓋38を用意
する。この例では、この下ケース36と上蓋38とでケ
ース34が構成される。このような下ケース36および
上蓋38は、例えば、メッキされる樹脂とメッキされな
い樹脂の2ショットモールド法によって作製することが
できる。
【0021】そして、このような下ケース36および上
蓋38をメッキ槽に入れて、例えば銅のような電極材料
のメッキ(電解メッキまたは無電解メッキ)を施す(通
常は複数個同時にメッキを施す)。これによって、図3
に示すように、露出していたメッキされる樹脂36a、
38aの表面に正確にメッキが施され、内部電極40〜
42および外部電極43〜45がそれぞれ形成される。
蓋38をメッキ槽に入れて、例えば銅のような電極材料
のメッキ(電解メッキまたは無電解メッキ)を施す(通
常は複数個同時にメッキを施す)。これによって、図3
に示すように、露出していたメッキされる樹脂36a、
38aの表面に正確にメッキが施され、内部電極40〜
42および外部電極43〜45がそれぞれ形成される。
【0022】それ以降は従来例の場合と同様であり、図
1に示すように、上記のようにして内部電極40〜42
が形成された下ケース36内に前述したような圧電共振
素子2を収納し、その各端子電極10〜12と内部電極
40〜42とを導電接着剤でそれぞれ導電接合し、更に
上蓋38を被せ接着して密封する。この場合も、各内部
電極40〜42はその端面部がケース34の側面から露
出している。
1に示すように、上記のようにして内部電極40〜42
が形成された下ケース36内に前述したような圧電共振
素子2を収納し、その各端子電極10〜12と内部電極
40〜42とを導電接着剤でそれぞれ導電接合し、更に
上蓋38を被せ接着して密封する。この場合も、各内部
電極40〜42はその端面部がケース34の側面から露
出している。
【0023】その後、このケース34の側面に、露出し
ている各内部電極40〜42と上蓋38の各外部電極4
3〜45とをそれぞれつなぐように、側面電極26〜2
8を例えばスパッタ等によって形成する。
ている各内部電極40〜42と上蓋38の各外部電極4
3〜45とをそれぞれつなぐように、側面電極26〜2
8を例えばスパッタ等によって形成する。
【0024】上記のようにすれば、メッキされる樹脂と
メッキされない樹脂とを一体成型してケース34(より
具体的にはそれを構成する下ケース36および上蓋3
8)が形成されているため、しかもそのメッキされる樹
脂の表面にのみメッキが施されるため、従来の真空蒸着
やスパッタを用いる場合のように電極材料が廻り込んだ
りマスクのずれによる電極の位置ずれが起こることはな
く、従って従来技術に比べて、内部電極40〜42およ
び外部電極43〜45の寸法精度が非常に良くなる。
メッキされない樹脂とを一体成型してケース34(より
具体的にはそれを構成する下ケース36および上蓋3
8)が形成されているため、しかもそのメッキされる樹
脂の表面にのみメッキが施されるため、従来の真空蒸着
やスパッタを用いる場合のように電極材料が廻り込んだ
りマスクのずれによる電極の位置ずれが起こることはな
く、従って従来技術に比べて、内部電極40〜42およ
び外部電極43〜45の寸法精度が非常に良くなる。
【0025】その結果、各内部電極40〜42間および
各外部電極43〜45間の絶縁抵抗の劣化およびばらつ
きが無くなり、上記チップ形圧電共振子の品質が向上す
る。例えば、各内部電極40〜42間および各外部電極
43〜45間の絶縁抵抗として、1×1012Ω以上を確
実に確保することも可能である。
各外部電極43〜45間の絶縁抵抗の劣化およびばらつ
きが無くなり、上記チップ形圧電共振子の品質が向上す
る。例えば、各内部電極40〜42間および各外部電極
43〜45間の絶縁抵抗として、1×1012Ω以上を確
実に確保することも可能である。
【0026】また、同上の理由から、各内部電極40〜
42間および外部電極43〜45間がショートするとい
うショート不良の発生率もゼロになり、チップ形圧電共
振子の生産性も向上する。
42間および外部電極43〜45間がショートするとい
うショート不良の発生率もゼロになり、チップ形圧電共
振子の生産性も向上する。
【0027】なお、上記実施例と違って、下ケース36
および上蓋38の側面電極26〜28を形成する部分に
も、前述したメッキされる樹脂36aおよび38a(図
2参照)をそれぞれ露出させておいて、その表面にメッ
キを施すようにしても良く、そのようにすれば、スパッ
タ等による側面電極形成を省略あるいは簡略化して、製
造工程の簡略化を図ることができるようになる。
および上蓋38の側面電極26〜28を形成する部分に
も、前述したメッキされる樹脂36aおよび38a(図
2参照)をそれぞれ露出させておいて、その表面にメッ
キを施すようにしても良く、そのようにすれば、スパッ
タ等による側面電極形成を省略あるいは簡略化して、製
造工程の簡略化を図ることができるようになる。
【0028】また、ケース内に収納する素子は、上記例
の圧電共振素子2以外の構造をした圧電共振素子でも良
く、更に言えば例えば正特性サーミスタ素子のような他
の電子部品素子でも良く、その場合はケースに形成する
電極の位置や数も内部に収納する素子に応じて変えれば
良い。
の圧電共振素子2以外の構造をした圧電共振素子でも良
く、更に言えば例えば正特性サーミスタ素子のような他
の電子部品素子でも良く、その場合はケースに形成する
電極の位置や数も内部に収納する素子に応じて変えれば
良い。
【0029】
【発明の効果】以上のようにこの発明のチップ形電子部
品においては、メッキされる樹脂とメッキされない樹脂
とを一体成型してケースが形成されているため、しかも
そのメッキされる樹脂の表面にのみメッキが施されるた
め、従来の真空蒸着やスパッタを用いたチップ形電子部
品に比べて、ケースの電極の寸法精度が非常に良くな
る。その結果、ケースの電極間の絶縁抵抗の劣化および
ばらつきが無くなり、品質が向上する。更に同様の理由
から、ケースの電極間のショート不良が発生することも
無くなり、生産性も向上する。
品においては、メッキされる樹脂とメッキされない樹脂
とを一体成型してケースが形成されているため、しかも
そのメッキされる樹脂の表面にのみメッキが施されるた
め、従来の真空蒸着やスパッタを用いたチップ形電子部
品に比べて、ケースの電極の寸法精度が非常に良くな
る。その結果、ケースの電極間の絶縁抵抗の劣化および
ばらつきが無くなり、品質が向上する。更に同様の理由
から、ケースの電極間のショート不良が発生することも
無くなり、生産性も向上する。
【0030】また、この発明の製造方法においては、メ
ッキされる樹脂とメッキされない樹脂とを一体成型して
ケースが形成されているため、しかもそのメッキされる
樹脂の表面にのみメッキが施されるため、従来の真空蒸
着やスパッタを用いる場合に比べて、ケースに形成する
電極の寸法精度が非常に良くなる。その結果、ケースの
電極間の絶縁抵抗の劣化およびばらつきが無くなり、チ
ップ形電子部品の品質が向上する。更に同様の理由か
ら、ケースの電極間のショート不良が発生することも無
くなり、チップ形電子部品の生産性も向上する。
ッキされる樹脂とメッキされない樹脂とを一体成型して
ケースが形成されているため、しかもそのメッキされる
樹脂の表面にのみメッキが施されるため、従来の真空蒸
着やスパッタを用いる場合に比べて、ケースに形成する
電極の寸法精度が非常に良くなる。その結果、ケースの
電極間の絶縁抵抗の劣化およびばらつきが無くなり、チ
ップ形電子部品の品質が向上する。更に同様の理由か
ら、ケースの電極間のショート不良が発生することも無
くなり、チップ形電子部品の生産性も向上する。
【図1】この発明の一実施例に係るチップ形圧電共振子
を示す分解斜視図である。
を示す分解斜視図である。
【図2】メッキを施す前のケースの一例を示す分解斜視
図である。
図である。
【図3】メッキを施した後のケースの一例を示す分解斜
視図である。
視図である。
【図4】従来のチップ形圧電共振子の一例を示す分解斜
視図である。
視図である。
【図5】図4中の下ケースの線A−Aに沿う断面をマス
クと共に示す図である。
クと共に示す図である。
2 圧電共振素子(電子部品素子) 10〜12 端子電極 26〜28 側面電極 34 ケース 36 下ケース 36a メッキされる樹脂 36b メッキされない樹脂 38 上蓋 38a メッキされる樹脂 38b メッキされない樹脂 40〜42 内部電極 43〜45 外部電極
Claims (2)
- 【請求項1】 メッキされる樹脂とメッキされない樹脂
とを、電極になるべき部分において前者が後者から露出
するように一体成型して成るケースであって、露出して
いたメッキされる樹脂の表面にメッキを施して電極を形
成したものの内部に、端子電極を有する電子部品素子を
収納し、この電子部品素子の端子電極とケースの電極と
を導電接着剤によって導電接合した構造をしていること
を特徴とするチップ形電子部品。 - 【請求項2】 メッキされる樹脂とメッキされない樹脂
とを、電極になるべき部分において前者が後者から露出
するように一体成型して成るケースを用意し、このケー
スにメッキを施して、露出していたメッキされる樹脂の
表面に電極を形成し、このようにして電極が形成された
ケース内に端子電極を有する電子部品素子を収納し、こ
の電子部品素子の端子電極とケースの電極とを導電接着
剤で導電接合してチップ形電子部品を作ることを特徴と
するチップ形電子部品の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18444392A JPH066164A (ja) | 1992-06-18 | 1992-06-18 | チップ形電子部品およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18444392A JPH066164A (ja) | 1992-06-18 | 1992-06-18 | チップ形電子部品およびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH066164A true JPH066164A (ja) | 1994-01-14 |
Family
ID=16153241
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18444392A Pending JPH066164A (ja) | 1992-06-18 | 1992-06-18 | チップ形電子部品およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH066164A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5952898A (en) * | 1996-08-30 | 1999-09-14 | Daishinku Corporation | Surface mounting piezoelectric filter with a shield electrode on a package partition wall |
WO2020111643A1 (ko) * | 2018-11-30 | 2020-06-04 | 한국기계연구원 | 단속 미세조직 층이 형성된 전자부품 임베디드 금속 부품 및 이의 제조방법 |
-
1992
- 1992-06-18 JP JP18444392A patent/JPH066164A/ja active Pending
Cited By (3)
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