JPH0660384A - ピックアップ検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 光ピックアップの組み立て工程における対物
レンズアクチュエータの傾き調整において、スポット検
査工程の自動化を可能にし、作業者の負担を軽減すると
共に、品質のバラつきを防止する。 【構成】 ピークとなる点Ｐに関して、ほぼ線対称の位
置で、かつ所定の値Ｉにほぼ等しい強度を有する２点Ａ
ｉ，Ｂｉの組を複数求め、各組に関して、点Ｐから２点
Ａｉ，Ｂｉまでの距離Ｐ（Ａｉ），Ｐ（Ｂｉ）の比Ｒｉ
＝Ｐ（Ａｉ）／Ｐ（Ｂｉ）を求め、各Ｒｉの値が所定値
Ｒｊを超えたとき、異常スポットと判断する。 【効果】 異常スポットをバラつきなく正確に検知する
ことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、光ピックアップの組
み立て工程における対物レンズアクチュエータの傾き調
整で使用する光ピックアップのスポット検査装置に係
り、特に、スポット検査工程が自動的に行えるようにし
て、作業者の負担を軽減すると共に、品質のバラつきを
防止した光ピックアップのスポット検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】光ピックアップの組み立て工程では、対
物レンズアクチュエータの傾き調整が必要である。従来
から、対物レンズアクチュエータの傾きの調整方法とし
ては、顕微鏡とカメラ、モニターを使用し、光ディスク
の代りに、同じ厚さを有するカバーガラスを基準面と平
行に設置して、対物レンズのスポットを顕微鏡で拡大し
て観察する光学ヘッド調整方法が用いられている（特開
昭６３−２５３５３８号公報）。

【０００３】図１３は、従来の光学ヘッド調整工程を行
う調整装置について、その要部構成の一例を示す図であ
る。図において、１は光ピックアップのハウジング、２
は偏向プリズム、３はアクチュエータ、４はネジ、５は
対物レンズ、６はカバーガラス、７は顕微鏡、８はカメ
ラコントローラ、９はＴＶモニター、ＬＢはレーザ光を
示す。

【０００４】この図１３に示すように、光ピックアップ
のハウジング１には、偏向プリズム２が設けられてい
る。また、ハウジング１の上部に、アクチュエータ３が
あり、その中に、対物レンズ５が設けられている。

【０００５】アクチュエータ３は、ネジ４によってハウ
ジング１に固定されているが、ネジ４の締め方を調整す
ることにより、アクチュエータ３の傾きを調整すること
ができる。また、光ディスクと同じ厚みを有するカバー
ガラス６が、アクチュエータ３の上部に、光ピックアッ
プのハウジング１と平行に設置されている。

【０００６】従来の対物レンズアクチュエータの傾きの
調整工程は、次のように行う。偏向プリズム２に、レー
ザ光ＬＢを入射し、対物レンズ５によって形成されるス
ポットを顕微鏡７で観察する。顕微鏡７には、図示され
ないカメラが接続されており、カメラコントローラ８を
通して、ＴＶモニター９の画面上にスポットが表示され
る。

【０００７】作業者は、このスポットの表示を見なが
ら、１次のサイドローブが対称となるように、アクチュ
エータ３の傾きを調整する。以上のような工程によっ
て、対物レンズアクチュエータの傾きの調整が行われ
る。

【０００８】この調整工程は、アクチュエータに組み込
まれている対物レンズの傾きを光ディスクと並行に調整
することにより、スポット形状を良好にする目的で行わ
れるものである。そのために、図１３に関連して説明し
たように、スポット像をＴＶモニターで観察しながら行
うが、この工程は、スポット形状を良好にすると同時
に、異常な形状のスポットを除去する工程（換言すれ
ば、スポットの形状を検査する工程）も兼ねている場合
が多い。

【０００９】このスポット検査工程は、通常、経験的な
許容限度見本を用いて、作業者の目視によって行われ
る。そのため、作業者の負担が大きいばかりでなく、そ
の主観が入りやすいので、品質にバラつきが生じる要因
にもなる、という不都合があった。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】この発明では、従来の
光学的情報記録再生装置のスポット検査時に生じるこの
ような不都合を解決し、スポット検査工程が自動的に行
えるようにして、作業者の負担を軽減すると共に、品質
のバラつきを防止したピックアップ検査装置を提供する
ことを目的とする。具体的にいえば、先に出願したピッ
クアップ検査装置（平成４年７月２０日出願の２件）を
さらに改良し、一層簡易にスポット検査が行えるように
したピックアップ検査装置を提供することを目的とす
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この発明では、第１に、
レンズからの出射光を撮像素子上に結像させ、該素子上
の点（ｘ，ｙ）における強度Ｉ（ｘ，ｙ）を用いて演算
処理を行うピックアップ検査装置において、処理手段と
して、前記強度Ｉ（ｘ，ｙ）がピークとなる点Ｐ（ｘ
ｐ，ｙｐ）を求める手段と、前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を
通り、かつ、前記撮像素子上の複数の直線の上における
強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求める手段と、前記ピークとな
る点Ｐに関して、ほぼ線対称の位置にあり、かつ、所定
の値Ｉにほぼ等しい強度を有する２点Ａｉ，Ｂｉの組を
複数（ｉ＝１，……，ｎ）求める手段と、前記各組に関
して、ピークとなる点Ｐから前記２点Ａｉ，Ｂｉにいた
るまでの距離Ｐ（Ａｉ），Ｐ（Ｂｉ）の比Ｒｉを、Ｒｉ
＝Ｐ（Ａｉ）／Ｐ（Ｂｉ）またはＲｉ＝Ｐ（Ｂｉ）／Ｐ
（Ａｉ）によって求める手段と、前記各Ｒｉの値と、所
定の値Ｒｊとの大小を比較する手段、とを備えた構成で
ある。

【００１２】第２に、レンズからの出射光を撮像素子上
に結像させ、該素子上の点（ｘ，ｙ）における強度Ｉ
（ｘ，ｙ）を用いて演算処理を行うピックアップ検査装
置において、処理手段として、前記強度Ｉ（ｘ，ｙ）が
ピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を求める手段と、前記
点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、前記撮像素子上の複
数の直線の上における強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求める手
段と、前記ピークとなる点Ｐに関して、ほぼ線対称の位
置にあり、かつ、所定の値Ｉにほぼ等しい強度を有する
２点Ａｉ，Ｂｉの組を複数（ｉ＝１，……，ｎ）求める
手段と、前記各組に関して、ピークとなる点Ｐから前記
２点Ａｉ，Ｂｉにいたるまでの距離Ｐ（Ａｉ），Ｐ（Ｂ
ｉ）の比Ｒｉを求める手段と、

【数３】 の値と、所定の値Ｒｊとの大小を比較する手段、とを備
えた構成である。

【００１３】第３に、レンズからの出射光を撮像素子上
に結像させ、該素子上の点（ｘ，ｙ）における強度Ｉ
（ｘ，ｙ）を用いて演算処理を行うピックアップ検査装
置において、処理手段として、前記強度Ｉ（ｘ，ｙ）が
ピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を求める手段と、前記
点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、前記撮像素子上の複
数の直線の上における強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求める手
段と、前記ピークとなる点Ｐに関して、ほぼ線対称の位
置にあり、かつ、所定の値Ｉにほぼ等しい強度を有する
２点Ａｉ，Ｂｉの組を複数（ｉ＝１，……，ｎ）求める
手段と、前記所定の値Ｉを複数（Ｉ１，Ｉ２，……，Ｉ
ｍ）設け、各所定の値Ｉｋに対応する２点Ａｉ，Ｂｉの
組を複数求める手段と、前記ピークとなる点Ｐから２点
Ａｉ，Ｂｉにいたるまでの距離Ｐ（Ａｉ），Ｐ（Ｂｉ）
の比Ｒｉの最大値Ｔｋ（Ｔｋは所定の値Ｉｋに対応した
最大値で、合計ｍ個存在する）を求める手段と、前記Ｔ
ｋの最小値Ｔmin に対する前記Ｔｋの最大値Ｔmax の変
化率ＴＲを、ＴＲ＝（Ｔmax −Ｔmin ）／Ｔmin によっ
て求める手段と、前記変化率ＴＲと、所定の値Ｉｊとの
大小を比較する手段、とを備えた構成である。

【００１４】第４に、レンズからの出射光を撮像素子上
に結像させ、該素子上の点（ｘ，ｙ）における強度Ｉ
（ｘ，ｙ）を用いて演算処理を行うピックアップ検査装
置において、処理手段として、前記強度Ｉ（ｘ，ｙ）が
ピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を求める手段と、前記
点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、前記撮像素子上の複
数の直線の上における強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求める手
段と、前記ピークとなる点Ｐに関して、ほぼ線対称の位
置にあり、かつ、所定の値Ｉにほぼ等しい強度を有する
２点Ａｉ，Ｂｉの組を複数（ｉ＝１，……，ｎ）求める
手段と、前記所定の値Ｉを複数（Ｉ１，Ｉ２，……，Ｉ
ｍ）設け、各所定の値Ｉｋに対応する２点Ａｉ，Ｂｉの
組を複数求める手段と、前記ピークとなる点Ｐから２点
Ａｉ，Ｂｉにいたるまでの距離Ｐ（Ａｉ），Ｐ（Ｂｉ）
の比Ｒｉの平均値ＴＡｋ（ＴＡｋは、合計ｍ個存在す
る）を、

【数４】 で求める手段と、前記ＴＡの最小値ＴＡmin に対する前
記ＴＡの最大値ＴＡmax の変化率ＴＡＲを、ＴＡＲ＝
（ＴＡmax −ＴＡmin ）／ＴＡmin によって求める手段
と、前記変化率ＴＡＲと、所定の値ＴＡｊとの大小を比
較する手段、とを備えた構成である。

【００１５】第５に、レンズからの出射光を撮像素子上
に結像させ、該素子上の点（ｘ，ｙ）における強度Ｉ
（ｘ，ｙ）を用いて演算処理を行うピックアップ検査装
置において、処理手段として、前記強度Ｉ（ｘ，ｙ）が
ピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を求める手段と、前記
点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、前記撮像素子上の複
数の直線の上における強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求める手
段と、前記ピークとなる点Ｐに関して、ほぼ線対称の位
置にあり、かつ、所定の値Ｉにほぼ等しい強度を有する
２点Ａｉ，Ｂｉの組を複数（ｉ＝１，……，ｎ）求める
手段と、前記ピークとなる点Ｐから２点Ａｉ，Ｂｉにい
たるまでの距離Ｐ（Ａｉ），Ｐ（Ｂｉ）の和Ｌｉを求め
る手段と、前記各組の中で該距離の和Ｌｉが最大となる
２点Ａ１，Ｂ１、および最小となる２点Ａ２，Ｂ２を求
める手段と、線分Ａ１，Ｂ１と線分Ａ２，Ｂ２のなす角
θを求める手段と、前記角θと、所定の値θｊとの大小
を比較する手段、とを備えた構成である。

【００１６】第６に、レンズからの出射光を撮像素子上
に結像させ、該素子上の点（ｘ，ｙ）における強度Ｉ
（ｘ，ｙ）を用いて演算処理を行うピックアップ検査装
置において、処理手段として、前記強度Ｉ（ｘ，ｙ）が
ピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を求める手段と、前記
点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、前記撮像素子上の複
数の直線の上における強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求める手
段と、前記ピークとなる点Ｐに関して、ほぼ線対称の位
置にあり、かつ、所定の値Ｉにほぼ等しい強度を有する
２点Ａｉ，Ｂｉの組を複数（ｉ＝１，……，ｎ）求める
手段と、前記ピークとなる点Ｐから２点Ａｉ，Ｂｉにい
たるまでの距離Ｐ（Ａｉ），Ｐ（Ｂｉ）の和Ｌｉを求め
る手段と、前記各組の中で該距離の和Ｌｉが最小となる
２点Ａ，Ｂを求める手段と、線分Ａ，Ｂと各検査装置に
予め設定された基準となる線分Ｔとのなす角δを求める
手段と、前記角δと、所定の値δｊとの大小を比較する
手段、とを備えた構成である。

【００１７】第７に、上記第１から第６の検査装置にお
いて、点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）の代りに、強度Ｉ（ｘ，ｙ）
がしきい値Ｉth以上である点の強度分布の重心Ｇ（ｘ
ｇ，ｙｇ）を用いて演算処理を行う手段を備えた構成で
ある。

【００１８】

【作用】この発明では、カメラコントローラからのスポ
ット画像を一旦フレームメモリに取り込み、この画像に
演算処理を行うことによって、スポットの良否が自動的
に判定できるようにしている。具体的にいえば、撮像素
子上のスポット画像がフレームメモリ上に投影されるた
め、撮像素子上の想定したｘ，ｙ座標を、フレームメモ
リのｘ，ｙ座標として取り扱うことが可能となり、スポ
ットの各部分の強度Ｉは、フレームメモリの座標（ｘ，
ｙ）の関数Ｉ（ｘ，ｙ）として処理することができる。

【００１９】具体的には、強度Ｉがピークとなる点Ｐを
中心として、スポット強度の非対称性を検出して、スポ
ットの正常／異常を判断する。まず、１本または複数本
の直線Ｌｉについて、強度がピークとなる点Ｐを通る直
線と閉曲線との交点Ａ，Ｂとの比（ここでＲとする）、
すなわち、Ｒ＝ＰＡ／ＰＢの値を求めることにより、メ
インローブの歪み具合い（スポットの歪み具合いに相当
する）を知ることができる、という点に着目して、スポ
ットの正常／異常を判断するようにしている（請求項１
から請求項４の発明）。

【００２０】また、このような判断基準では検知できな
いスポットの歪は、距離の和Ｌｉが最大となる２点Ａ
１，Ｂ１と、最小となる２点Ａ２，Ｂ２、をそれぞれ結
ぶ線分（Ａ１，Ｂ１）と線分（Ａ２，Ｂ２）の間の角θ
が所定値θｊより小さいとき、スポットを異常と判断す
る（請求項５の発明）。さらに、組み立ての誤りによっ
て、半導体レーザが光軸に対してネジれた位置で固定さ
れたとき、距離の和Ｌｉが最大となる２点Ａ，Ｂを結ぶ
線分（Ａ，Ｂ）と、検査装置に設けられた基準となる線
分Ｔの間の角δが所定値δｊより小さいとき、スポット
を異常と判断する（請求項６の発明）。

【００２１】最後に、スポットの強度が全体的に強く
て、ピーク付近で飽和している場合には、強度Ｉ（ｘ，
ｙ）がしきい値Ｉth以上である点の強度分布の重心Ｇ
（ｘｇ，ｙｇ）によって、スポットの正常／異常を判断
する（請求項７の発明）。

【００２２】

【実施例１】次に、この発明のピックアップ検査装置に
ついて、図面を参照しながら、その実施例を詳細に説明
する。この実施例は、主として、請求項１の発明に関連
しているが、ハード構成やスポットの正常異常の判断の
基本原理は、請求項２から請求項７の発明とも関連して
いる。

【００２３】図１は、この発明のピックアップ検査装置
について、その要部構成の一実施例を示す機能ブロック
図である。図における符号は図１３と同様であり、ま
た、１１はフレームメモリ、１２は９と同様なＴＶモニ
ター、１３はコンピュータ、１４はディスプレイを示
す。

【００２４】この図１で、光ピックアップのハウジング
１からカメラコントローラ８までの構成と動作は、先の
図１３と同様である。この図１に示すこの発明では、ス
ポットの像を、コンピュータ１３からのコマンドによっ
て、顕微鏡７，カメラコントローラ８を通して、フレー
ムメモリ１１に取り込み、その生画像をＴＶモニター１
２の画面上に表示する。

【００２５】一方、コンピュータ１３は、コマンドを出
力した後、フレームメモリ１１に蓄積された画像に、請
求項１から請求項７の処理を加え、その結果をディスプ
レイ１４に表示する。次に、アクチュエータに組み込ま
れている対物レンズの傾きが良好に調整された場合のス
ポットの強度分布について説明する。

【００２６】図２は、対物レンズの傾きが良好に調整さ
れ、かつ、歪みがない場合のスポットの強度分布の一例
を示す図である。図で、ｘ，ｙはそれぞれｘ軸とｙ軸、
Ｉはスポットの強度、Ｐは強度がピークとなる点、Ｉ１
はスポットの所定の強度、２１はスポットの強度分布曲
線、２２は直線、２３はｘｙ平面と垂直な面、２４はｘ
ｙ平面と平行な面を示し、θ１はｘ軸と直線２２との間
の角度を示す。

【００２７】この図２に示すように、対物レンズの傾き
が良好に調整され、かつ、歪みがない場合、スポットの
強度分布は釣鐘状の形状２１になる。ここで、このスポ
ットの像が結ばれる撮像素子の面（一般に撮像素子は平
面状である）を想定して、この面上に、ｘ軸およびｙ軸
を取る。

【００２８】そして、撮像素子上の点（ｘ，ｙ）におけ
るスポットの強度をＩ（ｘ，ｙ），強度がピークとなる
点をＰ（ｘｐ，ｙｐ）とする。なお、この図２では、理
解を容易にするために、点Ｐと座標原点とを一致させて
図示している。次に、点Ｐを通り、ｘ軸と角度θ１をな
す直線２２上でのスポットの強度分布を考察すると、次
の図３に示すようになる。

【００２９】図３は、図２で、点Ｐを通り、ｘ軸と角度
θ１をなす直線２２上でのスポットの強度分布の一例を
示す図である。図で、２５はスポットの強度分布曲線、
２６と２７はその１次リング、２８はメインローブ、２
９と３０は矢印を示し、Ｉはスポットの強度の所定値を
示す。

【００３０】先の図２のスポットの強度分布曲線２１
で、点Ｐを通り、ｘ軸と角度θ１をなす直線２２上での
スポットの強度分布は、この図３に２５で示すような曲
線になる。すなわち、メインローブ２８の両側に、それ
ぞれ、そのピークをもつ１次リング２６，２７が生じ
る。

【００３１】また、強度が所定値Ｉを有する点を通り、
図２のｘｙ平面と平行な面２４で切断したスポットの強
度分布は、所定値Ｉが十分に大きい場合、次の図４に示
すような閉曲線となる。図４は、所定値Ｉを有する点を
通り、図２のｘｙ平面と平行な面２４で切断したスポッ
トの強度分布の一例を示す図である。図における符号は
図２および図３と同様であり、３１はスポットの強度曲
線を示す。

【００３２】所定値Ｉが十分に大きい場合、スポットの
強度分布は、この図４に示すような閉曲線３１を描く。
ところで、このスポットを詳しく観察すると、スポット
が正常なときは、この閉曲線３１は楕円になり、スポッ
トが異常なときには、閉曲線３１は歪んだ楕円になる。

【００３３】図５は、スポットが正常な場合について、
所定値Ｉを有する点を通り、図２のｘｙ平面と平行な面
２４で切断したスポットの形状の一例を示す図である。
図において、３２は閉曲線、Ｐは強度がピークになる
点、ＡとＢは強度がピークとなる点Ｐを通る直線と閉曲
線との交点を示す。図６は、スポットが異常な場合につ
いて、所定値Ｉを有する点を通り、図２のｘｙ平面と平
行な面２４で切断したスポットの形状の一例を示す図で
ある。図における符号は、図５と同様である。

【００３４】この図５と図６から明らかなように、スポ
ットが正常なときは、閉曲線３２が楕円になり、スポッ
トが異常なときは、歪んだ楕円になる。そして、強度が
ピークとなる点Ｐを通る直線と閉曲線３２との交点Ａ，
Ｂは、図５に示すように、閉曲線３２がきれいな楕円で
あれば、ＰＡ／ＰＢ≒１であるが、そうでないとき（ス
ポットが異常なとき）は、図６に示すように、ＰＡ／Ｐ
Ｂ≪１、またはＰＢ／ＰＡ≫１である。

【００３５】そこで、この発明のピックアップ検査装置
では、この図５と図６に示した強度がピークとなる点Ｐ
を通る直線と閉曲線３２との交点Ａ，Ｂとの比（ここで
Ｒとする）を求めることによって、スポットの歪み具合
いを判断する。すなわち、Ｒ＝ＰＡ／ＰＢの値を求める
ことにより、メインローブの歪み具合い（スポットの歪
み具合いに相当する）を知ることができる、という点に
着目して、スポットの正常／異常を判断するようにして
いる。

【００３６】このことは、物理的にいえば、スポットの
平面的な対称性を見ることを意味する。なお、図１に示
したＴＶモニター１２の画面上には、この図５や図６の
ようなスポットの生画像が表示される。

【００３７】すでに述べたように、撮像素子上のスポッ
ト画像がフレームメモリ上に投影されるので、撮像素子
上の想定したｘ，ｙ座標を、フレームメモリのｘ，ｙ座
標として取り扱うことが可能となり、スポットの各部分
の強度Ｉは、フレームメモリの座標（ｘ，ｙ）の関数Ｉ
（ｘ，ｙ）として処理することができる。

【００３８】そして、Ｒ＝ＰＡ／ＰＢの値を求め、この
値Ｒが所定の値Ｒｊを超えているときは、異常なスポッ
トである、と判断する。このような判断は、次の〜
の手順で行う。

【００３９】 図１のフレームメモリ１１上にスポッ
ト画像を取り込む。 強度Ｉ（ｘ，ｙ）がピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙ
ｐ）を求める。

【００４０】 点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通る複数の直線
Ｌｎを設定し、各直線Ｌｎ上での強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）
を求める。 ここで、直線Ｌｎは、ｙ＝（ｘ−ｘｐ）×（tan θｎ）
＋ｙｐで表わすことができ、θｎは直線Ｌｎとｘ軸との
なす角である。

【００４１】この処理は、先の図２に示したように、ｘ
ｙ平面と垂直な平面２３で、強度分布曲線２１を切断
し、図３の曲線２５を得る処理に相当する。 各直線Ｌｎに関して、先ので求めた強度分布Ｉの
（１次リングが）ピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を中
心として、ｘ座標またはｙ座標の正方向に、強度Ｉ
（ｘ，ｙ）が所定値Ｉとなる点（ｘ，ｙ）を探す。

【００４２】この処理は、先の図３において、点Ｐから
矢印２９の方向に、点Ａｉ（ｘ１，ｙ１）を探す処理に
相当する。この処理の終了後、負方向についても同様の
処理を行う。すなわち、点Ｐから矢印３０の方向に、点
Ｂｉ（ｘ２，ｙ２）を探す。

【００４３】 正方向と負方向の各組に関し、点Ｐ
（ｘｐ，ｙｐ）から、点Ａｉ（ｘ１，ｙ１）と、点Ｂｉ
（ｘ２，ｙ２）にいたる距離ＰＡｉ，ＰＢｉを求める。 距離ＰＡｉは、ＰＡｉ＝√［（ｘ１−ｘｐ）²＋（ｙ１
−ｙｐ）²］であり、距離ＰＢｉは、ＰＢｉ＝√［（ｘ
２−ｘｐ）²＋（ｙ２−ｙｐ）²］である。

【００４４】次に、正方向と負方向の距離ＰＡｉ，ＰＢ
ｉから、両者の比Ｒｉを求める。すなわち、Ｒｉ＝ＰＡ
ｉ／ＰＢｉ、あるいは、逆に、Ｒｉ＝ＰＢｉ／ＰＡｉの
演算を行う。

【００４５】 任意の数の値Ｒｉについて、所定値Ｒ
ｊと比較し、Ｒｉ＞所定値Ｒｊのとき、スポットを異常
と判断し、それ以外のスポットは、正常と判断する。 以上の手順〜の内、〜は、請求項１から請求項
７の発明と基本的に共通する手順であり、手順が異な
る。

【００４６】図７は、この発明のピックアップ検査装置
において、スポット検査時の基本的な処理の流れを示す
フローチャートである。図において、＃１〜＃４はステ
ップを示す。

【００４７】ステップ＃１で、図１のフレームメモリ１
１上にスポット画像を取り込む。次のステップ＃２で、
強度Ｉ（ｘ，ｙ）がピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を
求める。

【００４８】ステップ＃３で、点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通
る複数の直線Ｌｎを設定し、各直線Ｌｎ上での強度分布
Ｉ（ｘ，ｙ）を求める。ステップ＃４へ進み、先のステ
ップ＃３で求めた各直線Ｌｎに関して、ピークとなる点
Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を中心として、ｘ座標またはｙ座標の
正方向および負方向に、強度Ｉ（ｘ，ｙ）が所定値Ｉと
なる点Ａｉ（ｘ１，ｙ１）および点Ｂｉ（ｘ２，ｙ２）
を求める。

【００４９】以上のステップ＃１〜＃４の処理は、先に
述べた手順〜の処理であり、この発明のピックアッ
プ検査装置に共通の処理である。

【００５０】なお、図７のステップ＃２で行う処理、す
なわち、強度分布Ｉｎ（ｘ，ｙ）における１次リングの
ピークを検出する処理は、従来から公知である。以下の
説明では、ステップ＃１〜＃４の処理を、基本的な処理
と呼ぶ。

【００５１】この実施例（請求項１の発明）では、その
後、手順で、先の図７のステップ＃４で求めた点Ｐ
（ｘｐ，ｙｐ）と点Ａｉ（ｘ１，ｙ１）の距離ＰＡｉ、
および点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）と点Ｂｉ（ｘ２，ｙ２）の距
離ＰＢｉとを、次の式(1) および(2) によって求める。 ＰＡｉ＝√［（ｘ１−ｘｐ）²＋（ｙ１−ｙｐ）²］ …… (1) ＰＢｉ＝√［（ｘ２−ｘｐ）²＋（ｙ２−ｙｐ）²］ …… (2)

【００５２】そして、先に述べた手順の処理、すなわ
ち、値Ｒｉと所定の値Ｒｊとの比較を行う。この実施例
の場合には、この値Ｒｉと所定の値Ｒｊとの比較は、任
意の値Ｒｉについて行う。

【００５３】図８は、この発明のピックアップ検査装置
において、スポット検査時の主要な処理の流れを示すフ
ローチャートである。図において、＃１１〜＃１７はス
テップを示す。ステップ＃１１で、先の図７のフローの
処理を行い、点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を中心とするｘ座標ま
たはｙ座標の正方向および負方向に、強度Ｉ（ｘ，ｙ）
が所定値Ｉとなる点Ａｉ（ｘ１，ｙ１）および点Ｂｉ
（ｘ２，ｙ２）を求める。

【００５４】その後、このステップ＃１１で得られた距
離ＰＡｉ，ＰＢｉから、両者の比Ｒｉ＝ＰＡｉ／ＰＢｉ
を求める。この場合に、逆数として、Ｒｉ＝ＰＢｉ／Ｐ
Ａｉを求めてもよい。ステップ＃１２で、ｉ＝１にす
る。ステップ＃１３へ進み、ｉ≦ｎであるかどうかチェ
ックする。

【００５５】もし、ｉ≦ｎでなければ、ステップ＃１４
で、スポットは正常と判断して、この図８のフローを終
了する。また、ｉ≦ｎであれば、ステップ＃１５へ進
み、Ｒｉ＞Ｒｊであるかどうかチェックする。

【００５６】もし、Ｒｉ＞Ｒｊでなければ、ステップ＃
１６で、ｉ＝ｉ＋１にして、再び先のステップ＃１３へ
戻り、以下同様の処理を行う。また、ステップ＃１５で
判断した結果、Ｒｉ＞Ｒｊであれば、ステップ＃１７へ
進み、スポットは異常と判断して、この図８のフローを
終了する。

【００５７】以上のステップ＃１１〜＃１７の処理によ
り、複数本の直線Ｌｎについて、点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）
と、点Ａｉ（ｘ１，ｙ１）および点Ｂｉ（ｘ２，ｙ２）
の距離ＰＡｉおよび距離ＰＢｉが求められ、さらに、両
者の比Ｒｉ＝ＰＡｉ／ＰＢｉと所定の値Ｒｊとが比較さ
れて、スポットの正常／異常が判断される。

【００５８】

【実施例２】次に、第２の実施例を説明する。この実施
例は、請求項２の発明に対応している。先の第１の実施
例では、任意の値Ｒｉについて所定値Ｒｊと比較し、Ｒ
ｉ＞Ｒｊであれば、スポットが異常と判断した。

【００５９】この方法は、処理が速い、という利点はあ
るが、反面で、ノイズに弱い、という問題がある。例え
ば、ノイズの影響によって、ある１本の直線Ｌについ
て、値Ｒｉが異常値値Ｒｅになると、Ｒｉ＝Ｒｅ＞Ｒｊ
であれば、スポットが異常と判断する。

【００６０】この場合には、仮りに、他の直線Ｌｎにつ
いては、値Ｒｉが全て所定値Ｒｊ以下であっても、異常
なスポットと判断される、というケースが発生する。こ
の第２の実施例では、このような不都合を解消するため
に、任意の値Ｒｉではなく、複数の直線Ｌｎについての
値Ｒｉの平均値で、スポットの正常／異常を判断する。

【００６１】このように、複数の直線Ｌｎについての値
Ｒｉの平均値を、所定値Ｒｊと比較すれば、先に述べた
ようなノイズ等の影響によって、誤った判断を行う恐れ
が少なくなる（請求項２の発明）。なお、この第２の実
施例の場合には、ノイズ等に対しては強くなるが、先の
実施例に比べて、処理速度が低下することになる。

【００６２】このような判断基準は、スポットに要求さ
れる品質の厳しさや測定の精度に応じて、任意に設定す
ることができる。図９は、第２の実施例について、スポ
ット検査時の主要な処理の流れを示すフローチャートで
ある。図において、＃２１〜＃２７はステップを示す。

【００６３】ステップ＃２１で、先の図７のフローの処
理を行い、点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を中心とするｘ座標また
はｙ座標の正方向および負方向に、強度Ｉ（ｘ，ｙ）が
所定値Ｉとなる点Ａｉ（ｘ１，ｙ１）および点Ｂｉ（ｘ
２，ｙ２）を求める。

【００６４】その後、このステップ＃２１で得られた距
離ＰＡｉ，ＰＢｉから、Ｒｉ＝ＰＡｉ／ＰＢｉを演算す
る。ステップ＃２２で、ｉ＝１，Ｓ＝０にする。Ｓは値
Ｒｉの積分値である。ステップ＃２３へ進み、ｉ≦ｎで
あるかどうかチェックする。

【００６５】もし、ｉ≦ｎであれば、ステップ＃２４へ
進み、Ｓ＝Ｓ＋Ｒｉ，ｉ＝ｉ＋１にして、再び先のステ
ップ＃２３へ戻り、以下同様の処理を繰り返えす。そし
て、ステップ＃２３で判断した結果、ｉ≦ｎでなけれ
ば、ステップ＃２５へ進み、（Ｓ／ｎ）＞Ｒｊであるか
どうかチェックする。

【００６６】もし、（Ｓ／ｎ）＞Ｒｊでなければ、ステ
ップ＃２６で、スポットは正常と判断して、この図９の
フローを終了する。また、ステップ＃２５で判断した結
果、（Ｓ／ｎ）＞Ｒｊであれば、ステップ＃２７へ進
み、スポットは異常と判断して、この図９のフローを終
了する。

【００６７】以上のステップ＃２１〜＃２７の処理によ
って、複数本の直線Ｌｎについて２点Ａｉ，Ｂｉにいた
るまでの距離Ｐ（Ａｉ），Ｐ（Ｂｉ）の比Ｒｉと、各組
の距離Ｐ（Ａｉ），Ｐ（Ｂｉ）の比Ｒｉの平均値とが求
められ、所定値Ｒｊと比較されるので、先の第１の実施
例に比べて、判断の精度が向上される。

【００６８】

【実施例３】次に、第３の実施例を説明する。この実施
例は、請求項３の発明に対応している。先の第２の実施
例では、複数本の直線Ｌｎについて、２点Ａｉ，Ｂｉに
いたるまでの距離Ｐ（Ａｉ），Ｐ（Ｂｉ）の比Ｒｉを求
め、各組に関する値Ｒｉの平均値が、所定の値Ｒｊより
大のとき、スポットが異常と判断した。

【００６９】この場合の値Ｒｉは、所定値Ｉの値、すな
わち、どの断面で見るかによって異なるが、所定値Ｉの
値が変っても値Ｒｉが変らない場合、そのスポットの強
度は均等である、ということができる。そのため、所定
値Ｉの値に対応した値Ｒｉの変化は、スポット強度の不
均一性を表わすことになる。換言すれば、スポットの強
度方向に対称性を見ていることを意味する。

【００７０】この第３の実施例では、先の第２の実施例
を改良し、複数本の直線Ｌｉについて、その右側と左側
との評価方法によれば、ある直線Ｌについてはアンバラ
ンスでも、他の直線Ｌについてはバランスがとれている
場合、全体の平均で良否を判断する。したがって、先の
第２の実施例の評価方法よりも、ノイズに強い、という
利点がある。

【００７１】この第３の実施例の処理は、先の第１の実
施例で述べた手順では、とをｎ回繰り返えし、ｎ回
の平均値について、手順とを行うことに相当する。
第３の実施例における判断は、次の〜の手順で行
う。

【００７２】 スポット強度の所定の値Ｉ１につい
て、先の第１の実施例で述べた手順〜を実行して、
点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）と点Ａｉ（ｘ１，ｙ１）の距離ＰＡ
ｉ、および点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）と点Ｂｉ（ｘ２，ｙ２）
の距離ＰＢｉとを、先の式(1)および(2) によって求
め、比Ｒｉ＝ＰＡｉ／ＰＢｉを演算する。 値Ｒｉの最大値Ｔ１を求める。

【００７３】 所定の値Ｉ２，Ｉ３，……，Ｉｍにつ
いて、上記との手順を繰り返えして、各最大値Ｔ
２，Ｔ３，……，Ｔｍを求める。 Ｔｋ（Ｔｋは所定の値Ｉｋに対応した最大値で、合
計ｍ個存在する）の最大値Ｔmax と最小値Ｔmin を求め
る。

【００７４】 変化率ＴＲを、ＴＲ＝（Ｔmax −Ｔmi
n ）／Ｔmin によって求め、この変化率ＴＲが、ＴＲ＞
Ｔｊのとき、スポットを異常と判断する。 以上が、第３の実施例におけるスポット検査時の手順で
ある。なお、手順と同様であるから、フローチャート
は、省略するが、基本的には図９と類似する。

【００７５】

【実施例４】次に、第４の実施例を説明する。この実施
例は、請求項４の発明に対応している。この第４の実施
例では、ノイズによる影響を除くために、先の第２の実
施例で第１の実施例の値Ｒｉの平均値を採用したのと同
様に、先の第３の実施例で採用した値Ｒｉの平均値ＴＡ
を求め、この値Ｒｉの平均値ＴＡによって、スポットの
正常／異常を判断する。

【００７６】したがって、この第４の実施例の方が、第
３の実施例よりも、ノイズに対して強い評価が可能にな
るが、反面で、処理速度は低下する。この第４の実施例
では、次の〜の手順で判断する。

【００７７】 スポット強度の所定の値Ｉ１につい
て、先の第１の実施例で述べた手順〜を実行して、
点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）と点Ａｉ（ｘ１，ｙ１）の距離ＰＡ
ｉ、および点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）と点Ｂｉ（ｘ２，ｙ２）
の距離ＰＢｉとを、先の式(1)および(2) によって求
め、比Ｒｉ＝ＰＡｉ／ＰＢｉを演算する。 値Ｒｉの平均値ＴＡ１を求める。

【００７８】 所定の値Ｉ２，Ｉ３，……，Ｉｍにつ
いて、上記との手順を繰り返えして、各最大値ＴＡ
２，ＴＡ３，……，ＴＡｍを求める。 ＴＡの最大値ＴＡmax と最小値ＴＡmin を求める。

【００７９】 ＴＡＲ＝（ＴＡmax −ＴＡmin ）／Ｔ
Ａmin によって変化率ＴＡＲを求め、この変化率ＴＡＲ
が、ＴＡＲ＞ＴＡｊのとき、スポットを異常と判断す
る。 以上が、第４の実施例におけるスポット検査時の手順で
ある。なお、手順と同様であるから、フローチャートは
省略する。

【００８０】

【実施例５】次に、第５の実施例を説明する。この実施
例は、請求項５の発明に対応している。以上の第１から
第４の実施例では、主としてピークを中心としてスポッ
ト強度の非対称性を検出して、スポットの正常／異常を
判断した。

【００８１】しかし、長方形に近い形状に歪んだような
スポットの場合には、正確な判断が行えない。図１０
は、長方形に近い形状のスポットの一例を示す図であ
る。図で、θは点Ａと点Ｂとを結ぶ線と、他の線との間
の角度を示す。

【００８２】この図１０に示すように、長方形に近い形
状に歪んだようなスポットも、まれには発生する。この
ようなスポットは、極端に歪んだスポットである。図１
０のようなスポットの場合、点Ｐと点Ａの距離ＰＡ、お
よび点Ｐと点Ｂの距離ＰＢとは、ＰＡ＝ＰＢであるか
ら、比Ｒ＝ＰＡ／ＰＢを演算すると、正常と判断されて
しまう。

【００８３】この第５の実施例では、図１０に示したよ
うに、長方形に近い形状に歪んだようなスポットについ
て、確実に異常が検出できるようにしている。この第５
の実施例では、次の〜の手順で判断する。

【００８４】 スポット強度の所定の値Ｉ１につい
て、先の第１の実施例で述べた手順〜を実行して、
点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）と点Ａｉ（ｘ１，ｙ１）の距離ＰＡ
ｉ、および点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）と点Ｂｉ（ｘ２，ｙ２）
の距離ＰＢｉとを、先の式(1)および(2) によって求
め、比Ｒｉ＝ＰＡｉ／ＰＢｉを演算する。 点Ｐから各２点にいたる距離ＰＡｉ，ＰＢｉの和Ｌ
ｉを、Ｌｉ＝ＰＡｉ＋ＰＢｉによって求める。

【００８５】 求められた距離の和Ｌｉが最大となる
２点Ａ１，Ｂ１、および和Ｌｉが最小となる２点Ａ２，
Ｂ２、を求める。 線分Ａ１，Ｂ１と線分Ａ２，Ｂ２のなす角θを求め
る。

【００８６】 求められた角θと、所定の値θｊとの
大小を比較する。具体的にいえば、角θ＜所定の値θｊ
のとき、スポットを異常と判断する。 例えば、先の図６に示したスポット（異常スポット）の
場合には、角θはほぼ９０°であるが、この図１０に示
したスポットの場合、明らかに９０°より小さい。

【００８７】そこで、θ＜θｊ（所定の値）のとき、ス
ポットを異常と判断する。この第５の実施例は、他の実
施例と併用することによって、より正確な検査を可能に
する。ここでも、手順を示したので、フローチャート
は、省略する。

【００８８】

【実施例６】次に、第６の実施例を説明する。この実施
例は、請求項６の発明に対応している。以上の第１から
第５の実施例では、スポットの歪みが存在する場合に、
そのスポットを異常と判断した。

【００８９】ところが、スポットとしては歪みがなく、
きれいな形状でも、ピックアップとしては不良となる場
合が存在する。図１１は、歪みのないスポットの各一例
を示す図である。図において、３３は光ディスクのトラ
ック、３４〜３６はスポットを示す。

【００９０】この図１１に示すように、光ディスクのト
ラック３３上に形成されるスポットの形状は、トラック
３３と光スポットとの相対的な位置関係によって異な
る。例えば、スポットの短軸がトラック３３の接線方向
と平行の場合３４、また、スポットの短軸がトラック３
３と垂直の場合３５である。

【００９１】そして、いずれを選択するかは、設計思想
によって決定される。光ディスクドライブの光源として
用いられるのは、通常半導体レーザであり、このような
トラックと光スポットとの相対的な位置関係は、半導体
レーザの接合面とトラック接線との位置関係で決まり、
両者が垂直のときスポット３４、平行のときスポット３
５となる。

【００９２】しかし、組み立て時のエラー等によって、
半導体レーザが、光軸に対してネジれた位置で固定され
てしまった場合には、スポットとトラックとの関係は、
スポット３６のようになる。この第６の実施例は、この
ような組み立て時のエラーを検出することを目的とす
る。

【００９３】第６の実施例における判断は、次の〜
の手順で行う。 スポット強度の所定の値Ｉ１について、先の第１の
実施例で述べた手順〜を実行して、点Ｐ（ｘｐ，ｙ
ｐ）と点Ａｉ（ｘ１，ｙ１）の距離ＰＡｉ、および点Ｐ
（ｘｐ，ｙｐ）と点Ｂｉ（ｘ２，ｙ２）の距離ＰＢｉと
を、先の式(1)および(2) によって求め、比Ｒｉ＝ＰＡ
ｉ／ＰＢｉを演算する。 点Ｐから各２点にいたる距離ＰＡｉ，ＰＢｉの和Ｌ
ｉを、Ｌｉ＝ＰＡｉ＋ＰＢｉによって求める。

【００９４】 求められた距離の和Ｌｉが最大となる
２点Ａ，Ｂ、を求める。 線分Ａ，Ｂと、検査装置に設けられた基準となる線
分Ｔとのなす角δを求める。

【００９５】 求められた角δと、所定の値δｊとの
大小を比較する。具体的にいえば、角δ＜所定の値δｊ
のとき、スポットを異常と判断する。 ここで、検査装置に設けられた基準となる線分Ｔとは、
トラックの接線を意味している。その理由は、ピックア
ップは、検査装置に対して一定（一義的）の姿勢で取り
付けられるのが普通であり、検査装置上に光ディスクの
トラック接線を想定するのは容易であるからである。

【００９６】また、この検査装置に設けられた基準とな
る線分Ｔは、図１におけるフレームメモリ上の特定の線
分として考えることもできる。したがって、線分Ａ，Ｂ
と、トラック接線とのなす角δを、容易に求めることが
でき、組み付け誤りを検出することができる。

【００９７】

【実施例７】次に、第７の実施例を説明する。この実施
例は、請求項７の発明に対応しているが、請求項１から
請求項６の発明にも関連する。以上に説明した第１から
第６の実施例は、常に、スポットの強度がピークとなる
点Ｐを中心にして検査する場合である。

【００９８】しかし、スポットの強度が全体的に強く、
カメラからの出力がピーク付近で飽和している場合に
は、強度がピークとなる点Ｐを検知することができな
い。図１２は、カメラからの出力がピーク付近で飽和し
ている場合のスポットの強度分布の一例を示す図であ
る。図の３７は飽和部分を示す。

【００９９】この図１２に示すように、スポットの強度
が全体的に強く、カメラからの出力がピーク付近で飽和
している場合には、点Ｐにおける強度Ｉ（ｘ，ｙ）は、
しきい値Ｉth以上である点の強度分布の重心Ｇ（ｘｇ，
ｙｇ）で代用する。この場合の強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）の
重心Ｇ（ｘｇ，ｙｇ）は、次に示す式(1)と(2) で定義
される。

【０１００】

【数５】

【０１０１】ここで、総和は、Ｉ（ｉ，ｊ）≧Ｉth以上
である全ての（ｉ，ｊ）について演算する。

【０１０２】このような演算によって得られるの重心Ｇ
（ｘｇ，ｙｇ）を用いれば、ピーク付近の飽和を気にす
る必要なしに、スポットの強度を上げて、その正常／異
常の判断を行うことができる。また、このように、全体
の強度を上げた場合には、リング部分の強度も上がるの
で、１次リングのピークが検出し易くなる、という利点
も生じる。

【０１０３】この第７の実施例では、先に説明した各実
施例で、点Ｐ（ｘ，ｙ）を、先の式(1) と(2) に示した
点Ｇ（ｘｇ，ｙｇ）に置き換えればよい。したがって、
請求項１から請求項６の各発明に適用することができ
る。なお、図２、図３、図４等では、中心点ＰがＧに相
当することになる。

【０１０４】

【発明の効果】請求項１の発明では、強度Ｉ（ｘ，ｙ）
がピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を求める手段と、前
記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、撮像素子上の複数
の直線の上における強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求める手段
と、前記ピークとなる点Ｐに関して、ほぼ線対称の位置
にあり、かつ、所定の値Ｉにほぼ等しい強度を有する２
点Ａｉ，Ｂｉの組を複数（ｉ＝１，……，ｎ）求める手
段と、各組に関して、ピークとなる点Ｐから前記２点Ａ
ｉ，Ｂｉにいたるまでの距離Ｐ（Ａｉ），Ｐ（Ｂｉ）の
比Ｒｉを、Ｒｉ＝Ｐ（Ａｉ）／Ｐ（Ｂｉ）またはＲｉ＝
Ｐ（Ｂｉ）／Ｐ（Ａｉ）によって求める手段と、各Ｒｉ
の値と、所定の値Ｒｊとの大小を比較する手段、とを有
している。したがって、メインローブの平面的な歪みを
高速度で検出することが可能になり、歪んだスポットを
定量的に除去することができる。

【０１０５】請求項２の発明では、強度Ｉ（ｘ，ｙ）が
ピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を求める手段と、前記
点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、撮像素子上の複数の
直線の上における強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求める手段
と、前記ピークとなる点Ｐに関して、ほぼ線対称の位置
にあり、かつ、所定の値Ｉにほぼ等しい強度を有する２
点Ａｉ，Ｂｉの組を複数（ｉ＝１，……，ｎ）求める手
段と、各組に関して、ピークとなる点Ｐから前記２点Ａ
ｉ，Ｂｉにいたるまでの距離Ｐ（Ａｉ），Ｐ（Ｂｉ）の
比Ｒｉを求める手段と、

【数６】 の値と、所定の値Ｒｊとの大小を比較する手段、とを有
している。したがって、ノイズの影響を受けることな
く、メインローブの歪みを検出することが可能になり、
歪んだスポットを定量的に除去することができる。

【０１０６】請求項３の発明では、強度Ｉ（ｘ，ｙ）が
ピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を求める手段と、前記
点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、撮像素子上の複数の
直線の上における強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求める手段
と、前記ピークとなる点Ｐに関して、ほぼ線対称の位置
にあり、かつ、所定の値Ｉにほぼ等しい強度を有する２
点Ａｉ，Ｂｉの組を複数（ｉ＝１，……，ｎ）求める手
段と、前記所定の値Ｉを複数（Ｉ１，Ｉ２，……，Ｉ
ｍ）設け、各所定の値Ｉｋに対応する２点Ａｉ，Ｂｉの
組を複数求める手段と、前記ピークとなる点Ｐから２点
Ａｉ，Ｂｉにいたるまでの距離Ｐ（Ａｉ），Ｐ（Ｂｉ）
の比Ｒｉの最大値Ｔｋ（Ｔｋは所定の値Ｉｋに対応した
最大値で、合計ｍ個存在する）を求める手段と、前記Ｔ
ｋの最小値Ｔmin に対する前記Ｔｋの最大値Ｔmax の変
化率ＴＲを、ＴＲ＝（Ｔmax −Ｔmin ）／Ｔmin によっ
て求める手段と、変化率ＴＲと、所定の値Ｉｊとの大小
を比較する手段、とを有している。したがって、メイン
ローブの強度方向の歪みを検出することが可能になり、
歪んだスポットを定量的に除去することができる。

【０１０７】請求項４の発明では、強度Ｉ（ｘ，ｙ）が
ピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を求める手段と、前記
点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、撮像素子上の複数の
直線の上における強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求める手段
と、前記ピークとなる点Ｐに関して、ほぼ線対称の位置
にあり、かつ、所定の値Ｉにほぼ等しい強度を有する２
点Ａｉ，Ｂｉの組を複数（ｉ＝１，……，ｎ）求める手
段と、前記所定の値Ｉを複数（Ｉ１，Ｉ２，……，Ｉ
ｍ）設け、各所定の値Ｉｋに対応する２点Ａｉ，Ｂｉの
組を複数求める手段と、前記ピークとなる点Ｐから２点
Ａｉ，Ｂｉにいたるまでの距離Ｐ（Ａｉ），Ｐ（Ｂｉ）
の比Ｒｉの平均値ＴＡｋ（ＴＡｋは、合計ｍ個存在す
る）を、

【数７】 で求める手段と、前記ＴＡの最小値ＴＡmin に対する前
記ＴＡの最大値ＴＡmax の変化率ＴＡＲを、ＴＡＲ＝
（ＴＡmax −ＴＡmin ）／ＴＡmin によって求める手段
と、変化率ＴＡＲと、所定の値ＴＡｊとの大小を比較す
る手段、とを有している。したがって、ノイズの影響を
受けることなしに、メインローブの強度方向の歪みを検
出することが可能になり、歪んだスポットを定量的に除
去することができる。

【０１０８】請求項５の発明では、強度Ｉ（ｘ，ｙ）が
ピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を求める手段と、前記
点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、撮像素子上の複数の
直線の上における強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求める手段
と、前記ピークとなる点Ｐに関して、ほぼ線対称の位置
にあり、かつ、所定の値Ｉにほぼ等しい強度を有する２
点Ａｉ，Ｂｉの組を複数（ｉ＝１，……，ｎ）求める手
段と、前記ピークとなる点Ｐから２点Ａｉ，Ｂｉにいた
るまでの距離Ｐ（Ａｉ），Ｐ（Ｂｉ）の和Ｌｉを求める
手段と、各組の中で該距離の和Ｌｉが最大となる２点Ａ
１，Ｂ１、および最小となる２点Ａ２，Ｂ２を求める手
段と、線分Ａ１，Ｂ１と線分Ａ２，Ｂ２のなす角θを求
める手段と、前記角θと、所定の値θｊとの大小を比較
する手段、とを有している。したがって、長方形に歪ん
だ極端に悪いスポットを、定量的に除去することができ
る。

【０１０９】請求項６の発明では、強度Ｉ（ｘ，ｙ）が
ピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を求める手段と、前記
点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、撮像素子上の複数の
直線の上における強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求める手段
と、前記ピークとなる点Ｐに関して、ほぼ線対称の位置
にあり、かつ、所定の値Ｉにほぼ等しい強度を有する２
点Ａｉ，Ｂｉの組を複数（ｉ＝１，……，ｎ）求める手
段と、前記ピークとなる点Ｐから２点Ａｉ，Ｂｉにいた
るまでの距離Ｐ（Ａｉ），Ｐ（Ｂｉ）の和Ｌｉを求める
手段と、各組の中で該距離の和Ｌｉが最小となる２点
Ａ，Ｂを求める手段と、線分Ａ，Ｂと各検査装置に予め
設定された基準となる線分Ｔとのなす角δを求める手段
と、前記角δと、所定の値δｊとの大小を比較する手
段、とを有している。したがって、組み付けの誤差によ
り、トラックに対して所定の位置関係にないスポットを
除去することができる。

【０１１０】請求項７の発明では、点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）
の代りに、強度Ｉ（ｘ，ｙ）がしきい値Ｉth以上である
点の強度分布の重心Ｇ（ｘｇ，ｙｇ）を用いて演算処理
を行う手段を有している。したがって、ピーク付近の飽
和を気にする必要なしに、スポットの強度を上げて、そ
の正常／異常の判断を行うことができる。また、全体の
強度を上げた場合には、リング部分の強度も上がるの
で、１次リングのピークが検出し易くなる、という利点
も有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明のピックアップ検査装置について、そ
の要部構成の一実施例を示す機能ブロック図である。

【図２】対物レンズの傾きが良好に調整され、かつ、歪
みがない場合のスポットの強度分布の一例を示す図であ
る。

【図３】図２で、点Ｐを通り、ｘ軸と角度θ１をなす直
線２２上でのスポットの強度分布の一例を示す図であ
る。

【図４】所定値Ｉを有する点を通り、図２のｘｙ平面と
平行な面２４で切断したスポットの強度分布の一例を示
す図である。

【図５】スポットが正常な場合について、所定値Ｉを有
する点を通り、図２のｘｙ平面と平行な面２４で切断し
たスポットの形状の一例を示す図である。

【図６】スポットが異常な場合について、所定値Ｉを有
する点を通り、図２のｘｙ平面と平行な面２４で切断し
たスポットの形状の一例を示す図である。

【図７】この発明のピックアップ検査装置において、ス
ポット検査時の基本的な処理の流れを示すフローチャー
トである。

【図８】この発明のピックアップ検査装置において、ス
ポット検査時の主要な処理の流れを示すフローチャート
である。

【図９】第２の実施例について、スポット検査時の主要
な処理の流れを示すフローチャートである。

【図１０】長方形に近い形状のスポットの一例を示す図
である。

【図１１】歪みのないスポットの各一例を示す図であ
る。

【図１２】カメラからの出力がピーク付近で飽和してい
る場合のスポットの強度分布の一例を示す図である。

【図１３】従来の光学ヘッド調整工程を行う調整装置に
ついて、その要部構成の一例を示す図である。

【符号の説明】

１ 光ピックアップのハウジング ２ 偏向プリズム ３ アクチュエータ ４ ネジ ５ 対物レンズ ６ カバーガラス ７ 顕微鏡 ８ カメラコントローラ １１ フレームメモリ １２ ＴＶモニター １３ コンピュータ １４ ディスプレイ

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レンズからの出射光を撮像素子上に結像
   させ、該素子上の点（ｘ，ｙ）における強度Ｉ（ｘ，
   ｙ）を用いて演算処理を行うピックアップ検査装置にお
   いて、 処理手段として、 前記強度Ｉ（ｘ，ｙ）がピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙ
   ｐ）を求める手段と、 前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、前記撮像素子上
   の複数の直線の上における強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求め
   る手段と、 前記ピークとなる点Ｐに関して、ほぼ線対称の位置にあ
   り、かつ、所定の値Ｉにほぼ等しい強度を有する２点Ａ
   ｉ，Ｂｉの組を複数（ｉ＝１，……，ｎ）求める手段
   と、 前記各組に関して、ピークとなる点Ｐから前記２点Ａ
   ｉ，Ｂｉにいたるまでの距離Ｐ（Ａｉ），Ｐ（Ｂｉ）の
   比Ｒｉを、 Ｒｉ＝Ｐ（Ａｉ）／Ｐ（Ｂｉ）またはＲｉ＝Ｐ（Ｂｉ）
   ／Ｐ（Ａｉ）によって求める手段と、 前記各Ｒｉの値と、所定の値Ｒｊとの大小を比較する手
   段、とを備えたことを特徴とする光ピックアップのスポ
   ット検査装置。
2. 【請求項２】 レンズからの出射光を撮像素子上に結像
   させ、該素子上の点（ｘ，ｙ）における強度Ｉ（ｘ，
   ｙ）を用いて演算処理を行うピックアップ検査装置にお
   いて、 処理手段として、 前記強度Ｉ（ｘ，ｙ）がピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙ
   ｐ）を求める手段と、 前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、前記撮像素子上
   の複数の直線の上における強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求め
   る手段と、 前記ピークとなる点Ｐに関して、ほぼ線対称の位置にあ
   り、かつ、所定の値Ｉにほぼ等しい強度を有する２点Ａ
   ｉ，Ｂｉの組を複数（ｉ＝１，……，ｎ）求める手段
   と、 前記各組に関して、ピークとなる点Ｐから前記２点Ａ
   ｉ，Ｂｉにいたるまでの距離Ｐ（Ａｉ），Ｐ（Ｂｉ）の
   比Ｒｉを求める手段と、 【数１】 の値と、所定の値Ｒｊとの大小を比較する手段、とを備
   えたことを特徴とする光ピックアップのスポット検査装
   置。
3. 【請求項３】 レンズからの出射光を撮像素子上に結像
   させ、該素子上の点（ｘ，ｙ）における強度Ｉ（ｘ，
   ｙ）を用いて演算処理を行うピックアップ検査装置にお
   いて、 処理手段として、 前記強度Ｉ（ｘ，ｙ）がピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙ
   ｐ）を求める手段と、 前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、前記撮像素子上
   の複数の直線の上における強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求め
   る手段と、 前記ピークとなる点Ｐに関して、ほぼ線対称の位置にあ
   り、かつ、所定の値Ｉにほぼ等しい強度を有する２点Ａ
   ｉ，Ｂｉの組を複数（ｉ＝１，……，ｎ）求める手段
   と、 前記所定の値Ｉを複数（Ｉ１，Ｉ２，……，Ｉｍ）設
   け、各所定の値Ｉｋに対応する２点Ａｉ，Ｂｉの組を複
   数求める手段と、 前記ピークとなる点Ｐから２点Ａｉ，Ｂｉにいたるまで
   の距離Ｐ（Ａｉ），Ｐ（Ｂｉ）の比Ｒｉの最大値Ｔｋ
   （Ｔｋは所定の値Ｉｋに対応した最大値で、合計ｍ個存
   在する）を求める手段と、 前記Ｔｋの最小値Ｔmin に対する前記Ｔｋの最大値Ｔma
   x の変化率ＴＲを、 ＴＲ＝（Ｔmax −Ｔmin ）／Ｔmin によって求める手段
   と、 前記変化率ＴＲと、所定の値Ｉｊとの大小を比較する手
   段、とを備えたことを特徴とする光ピックアップのスポ
   ット検査装置。
4. 【請求項４】 レンズからの出射光を撮像素子上に結像
   させ、該素子上の点（ｘ，ｙ）における強度Ｉ（ｘ，
   ｙ）を用いて演算処理を行うピックアップ検査装置にお
   いて、 処理手段として、 前記強度Ｉ（ｘ，ｙ）がピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙ
   ｐ）を求める手段と、 前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、前記撮像素子上
   の複数の直線の上における強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求め
   る手段と、 前記ピークとなる点Ｐに関して、ほぼ線対称の位置にあ
   り、かつ、所定の値Ｉにほぼ等しい強度を有する２点Ａ
   ｉ，Ｂｉの組を複数（ｉ＝１，……，ｎ）求める手段
   と、 前記所定の値Ｉを複数（Ｉ１，Ｉ２，……，Ｉｍ）設
   け、各所定の値Ｉｋに対応する２点Ａｉ，Ｂｉの組を複
   数求める手段と、 前記ピークとなる点Ｐから２点Ａｉ，Ｂｉにいたるまで
   の距離Ｐ（Ａｉ），Ｐ（Ｂｉ）の比Ｒｉの平均値ＴＡｋ
   （ＴＡｋは、合計ｍ個存在する）を、 【数２】 で求める手段と、 前記ＴＡの最小値ＴＡmin に対する前記ＴＡの最大値Ｔ
   Ａmax の変化率ＴＡＲを、 ＴＡＲ＝（ＴＡmax −ＴＡmin ）／ＴＡmin によって求
   める手段と、 前記変化率ＴＡＲと、所定の値ＴＡｊとの大小を比較す
   る手段、とを備えたことを特徴とする光ピックアップの
   スポット検査装置。
5. 【請求項５】 レンズからの出射光を撮像素子上に結像
   させ、該素子上の点（ｘ，ｙ）における強度Ｉ（ｘ，
   ｙ）を用いて演算処理を行うピックアップ検査装置にお
   いて、 処理手段として、 前記強度Ｉ（ｘ，ｙ）がピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙ
   ｐ）を求める手段と、 前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、前記撮像素子上
   の複数の直線の上における強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求め
   る手段と、 前記ピークとなる点Ｐに関して、ほぼ線対称の位置にあ
   り、かつ、所定の値Ｉにほぼ等しい強度を有する２点Ａ
   ｉ，Ｂｉの組を複数（ｉ＝１，……，ｎ）求める手段
   と、 前記ピークとなる点Ｐから２点Ａｉ，Ｂｉにいたるまで
   の距離Ｐ（Ａｉ），Ｐ（Ｂｉ）の和Ｌｉを求める手段
   と、 前記各組の中で該距離の和Ｌｉが最大となる２点Ａ１，
   Ｂ１、および最小となる２点Ａ２，Ｂ２を求める手段
   と、 線分Ａ１，Ｂ１と線分Ａ２，Ｂ２のなす角θを求める手
   段と、 前記角θと、所定の値θｊとの大小を比較する手段、と
   を備えたことを特徴とする光ピックアップのスポット検
   査装置。
6. 【請求項６】 レンズからの出射光を撮像素子上に結像
   させ、該素子上の点（ｘ，ｙ）における強度Ｉ（ｘ，
   ｙ）を用いて演算処理を行うピックアップ検査装置にお
   いて、 処理手段として、 前記強度Ｉ（ｘ，ｙ）がピークとなる点Ｐ（ｘｐ，ｙ
   ｐ）を求める手段と、 前記点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）を通り、かつ、前記撮像素子上
   の複数の直線の上における強度分布Ｉ（ｘ，ｙ）を求め
   る手段と、 前記ピークとなる点Ｐに関して、ほぼ線対称の位置にあ
   り、かつ、所定の値Ｉにほぼ等しい強度を有する２点Ａ
   ｉ，Ｂｉの組を複数（ｉ＝１，……，ｎ）求める手段
   と、 前記ピークとなる点Ｐから２点Ａｉ，Ｂｉにいたるまで
   の距離Ｐ（Ａｉ），Ｐ（Ｂｉ）の和Ｌｉを求める手段
   と、 前記各組の中で該距離の和Ｌｉが最小となる２点Ａ，Ｂ
   を求める手段と、 線分Ａ，Ｂと各検査装置に予め設定された基準となる線
   分Ｔとのなす角δを求める手段と、 前記角δと、所定の値δｊとの大小を比較する手段、と
   を備えたことを特徴とする光ピックアップのスポット検
   査装置。
7. 【請求項７】 請求項１から請求項６の検査装置におい
   て、 点Ｐ（ｘｐ，ｙｐ）の代りに、強度Ｉ（ｘ，ｙ）がしき
   い値Ｉth以上である点の強度分布の重心Ｇ（ｘｇ，ｙ
   ｇ）を用いて演算処理を行う手段を備えたことを特徴と
   する光ピックアップのスポット検査装置。