JPH0658666A - エアーナイフの液切り方法及びエアーナイフの目詰り排除方法 - Google Patents

エアーナイフの液切り方法及びエアーナイフの目詰り排除方法

Info

Publication number
JPH0658666A
JPH0658666A JP23156592A JP23156592A JPH0658666A JP H0658666 A JPH0658666 A JP H0658666A JP 23156592 A JP23156592 A JP 23156592A JP 23156592 A JP23156592 A JP 23156592A JP H0658666 A JPH0658666 A JP H0658666A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
air
air knife
substrate
draining
knives
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP23156592A
Other languages
English (en)
Inventor
Takeshi Endo
剛 遠藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SPC Electronics Corp
Original Assignee
SPC Electronics Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SPC Electronics Corp filed Critical SPC Electronics Corp
Priority to JP23156592A priority Critical patent/JPH0658666A/ja
Publication of JPH0658666A publication Critical patent/JPH0658666A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【目的】 薄板基板を安定した搬送を行い又、エアーナ
イフのスリットの目詰りを排除する。 【構成】 0.4〜1.1mmの厚さの薄板基板を搬送
する際に、上下のエアーナイフから0.5〜1.0Kg
/cm2 のエアー圧のエアーを噴出して液切りを行うエ
アーナイフの液切り方法及び一定時間基板が供給されな
い場合に高圧エアーナイフから噴出して汚物等を噴出さ
れるエアーナイフ目詰り排除方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はエアーナイフの液切り方
法及びエアーナイフ目詰り排除方法に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来はガラス平板及び透明樹脂シート等
の基板表面の液切りを完全に行うために、エアーナイフ
のエアー圧は高めに設定しており、本特許出願人におい
ては、エアー圧は通常1〜2Kg/cm2 で表面の液切
りを行っていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来のガラス平板の厚
さは1.1mmが主流であったが、液晶ディスプレイ材
質の変化により軽量の樹脂平板が用いられるようになっ
てきた。現状生産ラインの洗浄装置にこの0.4〜1.
1mmのガラス平板や軽量樹脂シート等の基板を流して
現状の同じエアー圧で液切りを行なうと、ガラス平板や
樹脂シートが搬送ローラから浮き上がったり、はずれた
りして基板破損等が生じる恐れがある。又、現在のエア
ーナイフは、長期間使用すると、微細なゴミがエアー吹
き出し口のスリットに詰まり、目詰りを起こすことがあ
る。目詰りが生じると基板表面の液切りが十分に行えな
くなる。
【0004】そこで、本発明においては、薄板の基板に
対してエアー圧を低くして安定した搬送を行えるように
すると共に高圧エアーをスリットから排出させて目詰り
を排除することができる方法を提供しようとするもので
ある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は前記課題を解決
するために、0.4〜1.1mmの厚さの薄板基板を搬
送する際に、上下のエアーナイフから0.5〜1.0K
g/cm2 のエアー圧のエアーを噴出して液切りを行う
エアーナイフの液切り方法を構成する。又、一定時間基
板が供給されない場合に高圧エアーナイフから噴射して
汚物等を噴出されるエアーナイフ目詰り排除方法を構成
する。
【0006】
【作用】本発明は前記のように構成したもので、0.4
〜1.0Kg/cm2 のエアーを噴出させて液切りを行
うことにより搬送ローラ上に薄板基板を浮き上がらせる
ことなく、搬送を行って液切りを行う。又、基板が搬送
されない場合に高圧エアーを噴射して汚物等を噴出さ
せ、目詰りを防止及び排除する。
【0007】
【実施例】本発明の実施例を図1に基づいて詳細に説明
する。ガラス平板及び透明樹脂シート0.4〜1.1m
mの厚さを有する薄板基板1を搬送ローラ2で搬送す
る。この搬送ローラ2の上下のエアーナイフ3,3が位
置し、エアーナイフ3,3にエアーを供給するエアー導
管4の途中に自動ボールバルブ5を設けて供給するエア
ー圧を0.5〜1.0Kg/cm2 に調整するようにな
っている。
【0008】前記搬送ローラ2の進入側にはセンサ6を
設置し、このセンサ6で薄板基板1の厚さを検知し、自
動ボールバルブ5に信号を送って薄板基板1の厚さに合
ったエアー圧をエアーナイフ3,3のスリットから噴出
させて液切りを行うようになっている。エアー圧は1.
0Kg/cm2 以上だと薄板基板1が搬送ローラから浮
き上がって搬送ローラからはずれることがあり、0.4
Kg/cm2 以下だと液切りに支障を来たす。
【0009】又、一定時間薄板基板が搬送ローラ上に流
れてこない場合には、自動ボールバルブ5を全開にして
3〜4Kg/cm2 の高圧エアーをエアーナイフ3,3
のスリットから排出させて、汚物等を除去して目詰りを
排除する。
【0010】
【発明の効果】本発明は前記のように構成したもので、
エアーナイフから排出するエアー圧を調整することによ
り、薄板基板を円滑に搬送することができると共に液切
りも確実に行うことができる。
【0011】又、高圧エアーを噴射して目詰りを防止し
することができる。
【0012】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るエアーナイフの液切り方法及びエ
アーナイフ目詰り排除方法に用いる装置の正面図。
【符号の説明】
1 薄板基板 2 搬送ローラ 3 エアーナイフ 4 エアー導管 5 自動ボールバルブ 6 センサ

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 0.4〜1.1mmの厚さの薄板基板を
    搬送する際に、上下のエアーナイフから0.5〜1.0
    Kg/cm2 のエアー圧のエアーを噴出して液切りを行
    うことを特徴とするエアーナイフの液切り方法。
  2. 【請求項2】 一定時間基板が供給されない場合に高圧
    エアーナイフから噴射して汚物等を噴出されることを特
    徴とするエアーナイフ目詰り排除方法。
JP23156592A 1992-08-07 1992-08-07 エアーナイフの液切り方法及びエアーナイフの目詰り排除方法 Pending JPH0658666A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23156592A JPH0658666A (ja) 1992-08-07 1992-08-07 エアーナイフの液切り方法及びエアーナイフの目詰り排除方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23156592A JPH0658666A (ja) 1992-08-07 1992-08-07 エアーナイフの液切り方法及びエアーナイフの目詰り排除方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0658666A true JPH0658666A (ja) 1994-03-04

Family

ID=16925505

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP23156592A Pending JPH0658666A (ja) 1992-08-07 1992-08-07 エアーナイフの液切り方法及びエアーナイフの目詰り排除方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0658666A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106268046A (zh) * 2016-08-29 2017-01-04 蚌埠市宏发滤清器有限公司 对废旧空气滤清器滤纸进行吹扫的方法
CN106345194A (zh) * 2016-08-29 2017-01-25 蚌埠市宏发滤清器有限公司 废旧空气滤清器滤纸回收利用方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106268046A (zh) * 2016-08-29 2017-01-04 蚌埠市宏发滤清器有限公司 对废旧空气滤清器滤纸进行吹扫的方法
CN106345194A (zh) * 2016-08-29 2017-01-25 蚌埠市宏发滤清器有限公司 废旧空气滤清器滤纸回收利用方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3918401B2 (ja) 基板乾燥装置及び乾燥方法、並びに基板の製造方法
JP5798505B2 (ja) 基板処理装置および基板処理方法
JPH10275792A (ja) 基板乾燥装置
JPH0658666A (ja) エアーナイフの液切り方法及びエアーナイフの目詰り排除方法
NO20031182L (no) Anordning for separasjon av faststoffer ved hjelp av flotasjon
JP2007204278A (ja) 基板浮上搬送装置
JPH05253550A (ja) 物品清浄装置
JPH0735478A (ja) エアーナイフ装置
JPH08250570A (ja) ウエハの分離搬送装置及び分離搬送方法
US4854004A (en) Device for clearing the hole blockage of a liquid resist substrate
TWI275141B (en) Substrate processor
JP3550277B2 (ja) 基板処理装置
JP4229670B2 (ja) 薄板状材の搬送方法及び装置
JPH0717309B2 (ja) 薄膜剥離方法
JP3559256B2 (ja) 枚葉ワークの異物除去装置
JP3526692B2 (ja) 基板の液切り装置
KR20090057008A (ko) 웹 반송 장치 및 반송 방법
JP2000105078A (ja) エアーナイフおよびそれを用いた乾燥処理装置
JPH07308642A (ja) 基板表面乾燥装置
KR101078908B1 (ko) 인라인식 처리장치
JP3763696B2 (ja) フィルム基板の製造方法
JP2002151570A (ja) 基板搬送システム及びそれを用いた基板搬送方法
JP2003282525A (ja) 基板処理装置
JP3659526B2 (ja) 基板の液切り装置
JPS63202516A (ja) 板状物の移送装置