JPH0658272B2 - 触圧覚センサ - Google Patents
触圧覚センサInfo
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- JPH0658272B2 JPH0658272B2 JP63126662A JP12666288A JPH0658272B2 JP H0658272 B2 JPH0658272 B2 JP H0658272B2 JP 63126662 A JP63126662 A JP 63126662A JP 12666288 A JP12666288 A JP 12666288A JP H0658272 B2 JPH0658272 B2 JP H0658272B2
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- light
- light source
- color filter
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、触圧覚センサに関し、特に分布型触圧覚セン
サに関するものである。
サに関するものである。
［産業上の利用分野］ 近年、人間には危険または困難な作業を、人間に替わっ
て遂行し得る種々の機能を有するロボットが開発され、
これに伴って感覚センサも各種のものが開発されてい
る。
て遂行し得る種々の機能を有するロボットが開発され、
これに伴って感覚センサも各種のものが開発されてい
る。
［発明が解決しようとする課題］ 触圧覚センサは、ロボットハンドの把持面を正確に位置
決めしたり、触覚的に把持物体の形状を認識したり、あ
るいは接触面の変化から把持物体のすべりを検出したり
するのに必要不可欠であり、従来から開発努力がなされ
ているが、従来の触・圧覚センサには、機械的スイッチ
を用いるものや、導電ゴム等の抵抗変化を利用するもの
等があるが、これらは、一般に高密度配置ができないた
め分解能が低かったり、あるいは、高密度配置が可能な
場合でも、触圧覚センサとしての前記機能を発揮するた
めに充分な広さの検出面が確保できないという問題があ
り、これら問題点の解決が望まれている。
決めしたり、触覚的に把持物体の形状を認識したり、あ
るいは接触面の変化から把持物体のすべりを検出したり
するのに必要不可欠であり、従来から開発努力がなされ
ているが、従来の触・圧覚センサには、機械的スイッチ
を用いるものや、導電ゴム等の抵抗変化を利用するもの
等があるが、これらは、一般に高密度配置ができないた
め分解能が低かったり、あるいは、高密度配置が可能な
場合でも、触圧覚センサとしての前記機能を発揮するた
めに充分な広さの検出面が確保できないという問題があ
り、これら問題点の解決が望まれている。
この問題を解決するために、本件発明の発明者は先に新
たな触圧覚センサを開発した（昭和６０年特許出願公開
第１２０２２９号）。この新たに提案された触圧覚セン
サ５１は第１１図に示すように、透明基板の一方の面に
凹凸面５８をもつ可撓性シートからなる外層材５６を重
ね、かつライトガイド５３を通して透明基板に光を入射
し、外層材５６の凹凸面５８が物体と接触して変形した
ときに、その変形によって透明基板５７の光反射面を変
化させ、その光反射面の変化に応じて透明基板５７から
の反射光量が変化することを受光素子５５で検出して、
物体の接触及び圧力を検出するものである。この新たに
提案された触圧覚センサは充分な広さの検出面を有する
高分解能の触圧覚センサを得ることができる顕著な効果
を発揮するのであるが、透明基板５７に入射すべき光量
が比較的に大きく要し、これを低下させることが望まれ
る。
たな触圧覚センサを開発した（昭和６０年特許出願公開
第１２０２２９号）。この新たに提案された触圧覚セン
サ５１は第１１図に示すように、透明基板の一方の面に
凹凸面５８をもつ可撓性シートからなる外層材５６を重
ね、かつライトガイド５３を通して透明基板に光を入射
し、外層材５６の凹凸面５８が物体と接触して変形した
ときに、その変形によって透明基板５７の光反射面を変
化させ、その光反射面の変化に応じて透明基板５７から
の反射光量が変化することを受光素子５５で検出して、
物体の接触及び圧力を検出するものである。この新たに
提案された触圧覚センサは充分な広さの検出面を有する
高分解能の触圧覚センサを得ることができる顕著な効果
を発揮するのであるが、透明基板５７に入射すべき光量
が比較的に大きく要し、これを低下させることが望まれ
る。
この発明は上記の如き事情に鑑みてなされたものであっ
て、分解能が高くロボットハンドへの装着を可能とする
コンパクトな構成であり、しかも機能発揮のために充分
な広さの検出面を確保でき、入射光量が小さくてすむ、
高密度分布型触圧覚センサを提供することを目的として
いる。
て、分解能が高くロボットハンドへの装着を可能とする
コンパクトな構成であり、しかも機能発揮のために充分
な広さの検出面を確保でき、入射光量が小さくてすむ、
高密度分布型触圧覚センサを提供することを目的として
いる。
［課題を解決するための手段］ この目的に対応して、この発明の触圧覚センサは内側面
に弾性変形可能な多数の突起を有する外層材と前記突起
に接触した前記外層材に沿って配設された基板とを備え
た検出部材を有し、前記基板は蛍光物質を分散させた透
光性材料で構成され、かつ、前記基板に光を入射し得る
光源と前記基板から出射した光を色フィルタを介して受
光する受光装置とを備えることを特徴としている。
に弾性変形可能な多数の突起を有する外層材と前記突起
に接触した前記外層材に沿って配設された基板とを備え
た検出部材を有し、前記基板は蛍光物質を分散させた透
光性材料で構成され、かつ、前記基板に光を入射し得る
光源と前記基板から出射した光を色フィルタを介して受
光する受光装置とを備えることを特徴としている。
［作用］ このように構成された触圧覚センサでは、光源からの光
が基板に入り蛍光物質を励起して蛍光を発する。外層材
の凹凸面が物体と接触して変形したときに、その変形に
よって基板の反射面が変化し、その光反射面の変化に応
じて基板からの反射光量が変化することを受光装置で検
出して物体の接触圧力、接触形状を検出する。
が基板に入り蛍光物質を励起して蛍光を発する。外層材
の凹凸面が物体と接触して変形したときに、その変形に
よって基板の反射面が変化し、その光反射面の変化に応
じて基板からの反射光量が変化することを受光装置で検
出して物体の接触圧力、接触形状を検出する。
［実施例］ 以下、この発明の詳細を、一実施例を示す図面について
説明する。
説明する。
第１図、第２図及び第３図において、１は触圧覚センサ
である。検出部材２と光源３と色フィルター４と受光装
置５とを重ねて備えている。
である。検出部材２と光源３と色フィルター４と受光装
置５とを重ねて備えている。
検出部材２は外層材６と基板７とを重ねて構成される。
外層材６は、例えば白色のシリコンゴムのような、可撓
性を有するシート状の材料からなり、かつ光をよく反射
し得る材料で構成されており、基板７と接する側の面
（内側面）には、一様に細かいピッチで分布する凹凸か
らなる凹凸面８が形成されており、その凸部８ａの先端
点において基板７の面１１と接している。凹凸の形状と
しては例えば円錐形等を用いることができる。
外層材６は、例えば白色のシリコンゴムのような、可撓
性を有するシート状の材料からなり、かつ光をよく反射
し得る材料で構成されており、基板７と接する側の面
（内側面）には、一様に細かいピッチで分布する凹凸か
らなる凹凸面８が形成されており、その凸部８ａの先端
点において基板７の面１１と接している。凹凸の形状と
しては例えば円錐形等を用いることができる。
外層材６の凸部８ａに接触した状態で基材７が重ねられ
ている。基材７はアクリル、ポリカーボネート等の透明
性の高い材料で構成され、かつ蛍光物質１２を分散させ
ている。蛍光物質としては例えば青〜緑を吸収し赤を発
光するPerylene等を用いることができる。
ている。基材７はアクリル、ポリカーボネート等の透明
性の高い材料で構成され、かつ蛍光物質１２を分散させ
ている。蛍光物質としては例えば青〜緑を吸収し赤を発
光するPerylene等を用いることができる。
基板７の面１１と平行な面１３に対向する位置には、ス
ペーサ１４を介して光源３が重ねられている。面１３と
光源３との間には空間９が位置する。光源３としては基
板７の蛍光物質１２を励起できる蛍光色より短波長の光
を発する面発光型の光源であることが好ましい。また、
光源３は基板７からの蛍光を透過させる透明性が必要で
あり、このようなことから、光源３はガラス板上に薄膜
ＥＬ（エレクトロ・ルミネッセンス）を形成したものを
使用することができる。この場合、薄膜ＥＬはＺｎＳベ
ース、ＴｂＦ３ドープで緑、ＳｒＳベースＳｅＦ３ドー
プで青の発光となる。色フィルタ４は蛍光色を選択的に
透過するカラーフィルタであり、第４図に示すように、
光源３の光よりも長波長の蛍光を透過させる特性をもつ
ものである。ダイクロイックミラーを用いると透過光以
外を反射するので、基板７の蛍光物質１２の励起強度を
強められるので好ましい。受光装置５はレンズ１５及び
光電変換素子群１６とからなっている。
ペーサ１４を介して光源３が重ねられている。面１３と
光源３との間には空間９が位置する。光源３としては基
板７の蛍光物質１２を励起できる蛍光色より短波長の光
を発する面発光型の光源であることが好ましい。また、
光源３は基板７からの蛍光を透過させる透明性が必要で
あり、このようなことから、光源３はガラス板上に薄膜
ＥＬ（エレクトロ・ルミネッセンス）を形成したものを
使用することができる。この場合、薄膜ＥＬはＺｎＳベ
ース、ＴｂＦ３ドープで緑、ＳｒＳベースＳｅＦ３ドー
プで青の発光となる。色フィルタ４は蛍光色を選択的に
透過するカラーフィルタであり、第４図に示すように、
光源３の光よりも長波長の蛍光を透過させる特性をもつ
ものである。ダイクロイックミラーを用いると透過光以
外を反射するので、基板７の蛍光物質１２の励起強度を
強められるので好ましい。受光装置５はレンズ１５及び
光電変換素子群１６とからなっている。
レンズ１５はロッドレンズ或いは屈折率分布型のマイク
ロレンズアレーで構成されている。光電変換素子群１６
はフォトトランジスタアレー、フォトダイオードアレー
で構成されている。これらはディスクリート素子を組合
せてもよいが、ａ−Ｓｉ（アモルファス・シリコン）等
を用いて薄膜素子としてガラス等の適当な基板上に集積
する方が好ましい。光電変換素子群１６を薄膜化集積素
子とする場合には、触圧覚センサが小型のものの場合に
は素子サイズ１０mm×１０mm程度のＣＣＤまたはＭＯＳ
型単板素子を用いることができる。また、触圧覚センサ
を大型化した場合には、単結晶Ｓｉを用いる前記の方式
では第１図に示すような構成は難しいので、ａ−Ｓｉの
ＰＩＮ型フォトダイオード（第５図）を受光素子として
ＭＯＳトランジスタもａ−Ｓｉで形成すれば、基板とし
て無アルカリガラス等を用い第６図に示すような素子サ
イズ１００mm×１００mm以上の大型の光電変換素子アレ
ーを作成できる。
ロレンズアレーで構成されている。光電変換素子群１６
はフォトトランジスタアレー、フォトダイオードアレー
で構成されている。これらはディスクリート素子を組合
せてもよいが、ａ−Ｓｉ（アモルファス・シリコン）等
を用いて薄膜素子としてガラス等の適当な基板上に集積
する方が好ましい。光電変換素子群１６を薄膜化集積素
子とする場合には、触圧覚センサが小型のものの場合に
は素子サイズ１０mm×１０mm程度のＣＣＤまたはＭＯＳ
型単板素子を用いることができる。また、触圧覚センサ
を大型化した場合には、単結晶Ｓｉを用いる前記の方式
では第１図に示すような構成は難しいので、ａ−Ｓｉの
ＰＩＮ型フォトダイオード（第５図）を受光素子として
ＭＯＳトランジスタもａ−Ｓｉで形成すれば、基板とし
て無アルカリガラス等を用い第６図に示すような素子サ
イズ１００mm×１００mm以上の大型の光電変換素子アレ
ーを作成できる。
なお、第５図及び第６図において符号１７はフォトダイ
オード、１８は透明電極、２１は電極、２２は絶縁膜で
ある。絶縁膜２２は通常ＳｉＯ２またはＳｉ３Ｎ４で構
成する。
オード、１８は透明電極、２１は電極、２２は絶縁膜で
ある。絶縁膜２２は通常ＳｉＯ２またはＳｉ３Ｎ４で構
成する。
このように構成された触圧覚センサ１は例えばロボット
ハンドの手先のフレーム２４に組込まれ、外層材６が外
方に露出している状態にする。
ハンドの手先のフレーム２４に組込まれ、外層材６が外
方に露出している状態にする。
このように構成された触圧覚センサ１において、光源３
が発光し基板７の中に光４１が照射されると、その光４
１が蛍光物質１２を励起して、基板７内に蛍光４２が発
生する。この時に第７図に示す如く外層材６の外面から
外層材６に垂直方向から力Ｆがかかると、外層材６が弾
性変形を起こし、外層材６の凹凸面８が押し潰されて変
形するが、弱く押されている箇所では凸部８ａの先端近
傍だけが基板７の面１１に接し、強く押されている箇所
では、その力の強さに応じて凹部の一部あるいは全部が
面１１に接した状態となる。
が発光し基板７の中に光４１が照射されると、その光４
１が蛍光物質１２を励起して、基板７内に蛍光４２が発
生する。この時に第７図に示す如く外層材６の外面から
外層材６に垂直方向から力Ｆがかかると、外層材６が弾
性変形を起こし、外層材６の凹凸面８が押し潰されて変
形するが、弱く押されている箇所では凸部８ａの先端近
傍だけが基板７の面１１に接し、強く押されている箇所
では、その力の強さに応じて凹部の一部あるいは全部が
面１１に接した状態となる。
一方、光学上、透明板の中をある臨界角以下の入射角
で、透明板の表面に向かって進行する光は、透明板の表
面が空気に接している場合には殆ど全反射して再び透明
板７の中に戻るが、透明板７の表面がこの実施例におけ
るシートのような物質に接している場合には、透明板７
の表面を透過し、またその物質にその光が反射された場
合は、その反射光は再び透明板の表面を透過して透明板
の中に戻るという性質を有する。
で、透明板の表面に向かって進行する光は、透明板の表
面が空気に接している場合には殆ど全反射して再び透明
板７の中に戻るが、透明板７の表面がこの実施例におけ
るシートのような物質に接している場合には、透明板７
の表面を透過し、またその物質にその光が反射された場
合は、その反射光は再び透明板の表面を透過して透明板
の中に戻るという性質を有する。
さて、力Ｆによって外層材６が押付けられている箇所以
外では基板７の面１１の大部分は、外層材６の凹凸面の
凹部に入っている空気に接しており、基板７の中の蛍光
４２は、おおむね前記臨界角以下の入射角で基板７の面
１１に向かって進行するので、面１１において殆ど全反
射して再び基板７の中に戻り、基板７の他方の面１３に
向かうが、面１３は空気と接しているので面１３におい
ても光は殆ど全反射して基板７の中に戻される。
外では基板７の面１１の大部分は、外層材６の凹凸面の
凹部に入っている空気に接しており、基板７の中の蛍光
４２は、おおむね前記臨界角以下の入射角で基板７の面
１１に向かって進行するので、面１１において殆ど全反
射して再び基板７の中に戻り、基板７の他方の面１３に
向かうが、面１３は空気と接しているので面１３におい
ても光は殆ど全反射して基板７の中に戻される。
外層材６が押付けられている箇所では、基板７の面１１
に達した蛍光４２は面１１を透過して白いシリコンゴム
等の外層材６の表面で反射して再び、面１１を透過し、
基板７の中に入る。
に達した蛍光４２は面１１を透過して白いシリコンゴム
等の外層材６の表面で反射して再び、面１１を透過し、
基板７の中に入る。
この時の外層材６の表面における反射は外層材６の材質
上、乱反射となるので、反射角は入射角と必ずしも一致
せず、面１１と垂直に近いものも出て、これら面１１と
垂直に近い蛍光４３は面１１を透過し、垂直に近い入射
角で面１３に達するので、前記臨界角以上となり面１３
をも透過して、面１３に対向して位置する光源３を通過
し、色フィルタ４に達する。色フィルタでフィルタリン
グされて蛍光だけがレンズ１５を通して光電変換素子群
１６に入る。光電変換素子群１６は入射光量に応じた電
気信号を出力する。
上、乱反射となるので、反射角は入射角と必ずしも一致
せず、面１１と垂直に近いものも出て、これら面１１と
垂直に近い蛍光４３は面１１を透過し、垂直に近い入射
角で面１３に達するので、前記臨界角以上となり面１３
をも透過して、面１３に対向して位置する光源３を通過
し、色フィルタ４に達する。色フィルタでフィルタリン
グされて蛍光だけがレンズ１５を通して光電変換素子群
１６に入る。光電変換素子群１６は入射光量に応じた電
気信号を出力する。
外層材４を押す力Ｆによって強く押されている部分ほど
外層材６が基板７の面１１と接する面積が大きくなり、
従ってその位置に対応する位置にある光電変換素子群１
６に達する光量も多く、光電変換素子群１６による電気
出力も大きくなる。
外層材６が基板７の面１１と接する面積が大きくなり、
従ってその位置に対応する位置にある光電変換素子群１
６に達する光量も多く、光電変換素子群１６による電気
出力も大きくなる。
これらの光電変換素子群１６からの電気出力はコンピュ
ータによって処理され、力Ｆによる外層材６への圧力分
布が検出される。即ち、外層材６への圧力の位置と大き
さとの分布を検出することが出来、どんな形状ものがど
の位の強さでシートを押しているかを識別することがで
きる。
ータによって処理され、力Ｆによる外層材６への圧力分
布が検出される。即ち、外層材６への圧力の位置と大き
さとの分布を検出することが出来、どんな形状ものがど
の位の強さでシートを押しているかを識別することがで
きる。
このときの圧力分布を、コンピュータからモニタテレビ
に映像として送ることもできる。
に映像として送ることもできる。
［実験例］ 白色系の型取り用硬化型２液性シリコンゴムを用い１２
０℃、２時間の硬化条件にてシート状に形成して外層材
６とした。この時金型を用いて一方の面はピッチが０．
５mmで頂角が９０゜の円錐形の凹凸が密に分布するよう
にする。シート厚さは１．０mmとした。
０℃、２時間の硬化条件にてシート状に形成して外層材
６とした。この時金型を用いて一方の面はピッチが０．
５mmで頂角が９０゜の円錐形の凹凸が密に分布するよう
にする。シート厚さは１．０mmとした。
次に、蛍光物質として、青〜緑の光を吸収し赤色を発光
する有機系蛍光染料のPeryleneを用意し、これをポリカ
ーボネート樹脂中に分散させ板状に成形する。板厚は５
mmとした。こうして蛍光物質が均一にドープされた透明
の基板が得られる。Peryleneの発光特性は第４図に示し
た。
する有機系蛍光染料のPeryleneを用意し、これをポリカ
ーボネート樹脂中に分散させ板状に成形する。板厚は５
mmとした。こうして蛍光物質が均一にドープされた透明
の基板が得られる。Peryleneの発光特性は第４図に示し
た。
次に第８図に示すように、厚さ１mmのパイレックスガラ
ス基板２６上に１０００ÅのＩＴＯ（Indium-Tin-Oxid
e）の透明電極２７を蒸着で形成し、更に３０００Åの
Ｙ２Ｏ３による絶縁膜２８、１μｍのＣｅドープＳｒＳ
による発光層３１、３０００ÅのＹ２Ｏ３による絶縁膜
３２、１０００ÅのＩＴＯの透明電極３３を順次にやは
り蒸着法により形成したＥＬ（エレクトロルミネッセン
ス）平面発光素子で光源３を作る。発光は透明電極２
７，３３の間に５ＫＨｚ、１２０Ｖの電圧を印加して得
る。本発光体の発光特性は第４図に示した。
ス基板２６上に１０００ÅのＩＴＯ（Indium-Tin-Oxid
e）の透明電極２７を蒸着で形成し、更に３０００Åの
Ｙ２Ｏ３による絶縁膜２８、１μｍのＣｅドープＳｒＳ
による発光層３１、３０００ÅのＹ２Ｏ３による絶縁膜
３２、１０００ÅのＩＴＯの透明電極３３を順次にやは
り蒸着法により形成したＥＬ（エレクトロルミネッセン
ス）平面発光素子で光源３を作る。発光は透明電極２
７，３３の間に５ＫＨｚ、１２０Ｖの電圧を印加して得
る。本発光体の発光特性は第４図に示した。
次に屈折率の異なる透明多層膜を設計した膜厚で積層す
ることによって特定波長の光を透過させる色フィルタ４
は容易に作成できて、これはダイクロイック・ミラーと
して良く知られている。
ることによって特定波長の光を透過させる色フィルタ４
は容易に作成できて、これはダイクロイック・ミラーと
して良く知られている。
ここでは第４図に示したような透過特性のダイクロイッ
ク・ミラーを厚さ１mmのパイレックスガラス基板上に形
成した。
ク・ミラーを厚さ１mmのパイレックスガラス基板上に形
成した。
次にレンズ１５として分布屈折率平板マイクロレンズを
用意する。ガラス基板に直径０．９mm、ピッチ１．０mm
の２次元レンズアレーとし、各レンズの開口数は０．２
３であった。
用意する。ガラス基板に直径０．９mm、ピッチ１．０mm
の２次元レンズアレーとし、各レンズの開口数は０．２
３であった。
次に光電変換素子群１６としてフォトトランジスアレー
を形成した。
を形成した。
以上を第１図のように積層する。この時基板７と光源３
との間には０．５mmの厚さのスペーサ１４を入れて、両
者の間に空間を設ける。
との間には０．５mmの厚さのスペーサ１４を入れて、両
者の間に空間を設ける。
こうして触圧覚センサが完成した。
［発明の効果］ この発明によれば分解能が高く、ロボットハンドへの装
着を可能とするコンパクトな構成で、かつ機能発揮のた
めに充分な広さを検出面で確保できる高密度分布型触圧
覚センサを得ることができる。
着を可能とするコンパクトな構成で、かつ機能発揮のた
めに充分な広さを検出面で確保できる高密度分布型触圧
覚センサを得ることができる。
特に重要なこととして、この発明の触圧覚センサでは光
導波路となるべき基板７中に蛍光物質を含んで蛍光を発
する構造となっているために、基板７中での光の減衰が
少なく、検出感度を高めることができる。
導波路となるべき基板７中に蛍光物質を含んで蛍光を発
する構造となっているために、基板７中での光の減衰が
少なく、検出感度を高めることができる。
［他の実施例］ 第９図はこの発明の他の実施例を示すもので、この実施
例においては受光装置５としてレンズ３５を備えたカメ
ラ３６を使用している。
例においては受光装置５としてレンズ３５を備えたカメ
ラ３６を使用している。
また、第１０図はこの発明の更に他の実施例を示すもの
で、この実施例においては、光源３を平面発光型とせず
に投光型とし、側方から基板７に投光する構成とし、か
つ、受光装置としてレンズ３５を備えたカメラ３６を使
用し、色フィルタ４、レンズ３５、カメラ３６を離隔し
た位置から基板７に対向させたものである。
で、この実施例においては、光源３を平面発光型とせず
に投光型とし、側方から基板７に投光する構成とし、か
つ、受光装置としてレンズ３５を備えたカメラ３６を使
用し、色フィルタ４、レンズ３５、カメラ３６を離隔し
た位置から基板７に対向させたものである。
第１図はこの発明の一実施例に係わる触圧覚センサの斜
視説明図、第２図は第１図に示す触圧覚センサの縦断面
分解説明図、第３図は第１図の触圧覚センサをロボット
ハンドに組込んだ状態を示す縦断面図、第４図は色フィ
ルタの透過特性を示すグラフ、第５図はフォトダイオー
ドを示す断面拡大説明図、第６図はＭＯＳ型撮像素子を
示す回路図、第７図は触圧覚センサの動作を示す縦断面
説明図、第８図は光源の縦断面説明図、第９図は他の実
施例の触圧覚センサの断面説明図、第１０図は他の実施
例の触圧覚センサの断面説明図、及び第１１図は従来の
触圧覚センサを示す断面説明図である。 １……触圧覚センサ ２……検出部材 ３……光源 ４……色フィルタ ５……受光装置 ６……外層材 ７……基板 ８……凹凸面 ８ａ……凸部 ９……空間 １１……面 １２……蛍光物質 １３……面 １４……スペーサ １５……レンズ １６……光電変換素子群 １７……フォトダイオード １８……透明電極 ２１……電極 ２２……絶縁膜 ２４……フレーム ２６……パイレックスガラス基板 ２７……透明電極 ２８……平面発光素子 ３５……レンズ ３６……カメラ
視説明図、第２図は第１図に示す触圧覚センサの縦断面
分解説明図、第３図は第１図の触圧覚センサをロボット
ハンドに組込んだ状態を示す縦断面図、第４図は色フィ
ルタの透過特性を示すグラフ、第５図はフォトダイオー
ドを示す断面拡大説明図、第６図はＭＯＳ型撮像素子を
示す回路図、第７図は触圧覚センサの動作を示す縦断面
説明図、第８図は光源の縦断面説明図、第９図は他の実
施例の触圧覚センサの断面説明図、第１０図は他の実施
例の触圧覚センサの断面説明図、及び第１１図は従来の
触圧覚センサを示す断面説明図である。 １……触圧覚センサ ２……検出部材 ３……光源 ４……色フィルタ ５……受光装置 ６……外層材 ７……基板 ８……凹凸面 ８ａ……凸部 ９……空間 １１……面 １２……蛍光物質 １３……面 １４……スペーサ １５……レンズ １６……光電変換素子群 １７……フォトダイオード １８……透明電極 ２１……電極 ２２……絶縁膜 ２４……フレーム ２６……パイレックスガラス基板 ２７……透明電極 ２８……平面発光素子 ３５……レンズ ３６……カメラ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き 審査官 森 雅之 (56)参考文献 特公 平６−3404（ＪＰ，Ｂ２)
Claims (4)
- 【請求項１】内側面に弾性変形可能な多数の突起を有す
る外層材と前記突起に接触した状態で前記外層材に沿っ
て配設された基板とを備えた検出部材を有し、前記基板
は蛍光物質を分散させた透光性材料で構成され、かつ、
前記基板に光を入射し得る光源と前記基板から出射した
光を色フィルタを介して受光する受光装置とを備えるこ
とを特徴とする触圧覚センサ - 【請求項２】前記光源は平面光源であり、前記受光素子
は光電変換素子であり、前記光源、色フィルタ、レンズ
アレー及び前記受光素子が順次前記基板に重ねられて配
設されていることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の触圧覚センサ - 【請求項３】前記光源は平面光源であり、前記受光素子
はカメラであり、前記光源、色フィルタが順次前記基板
に重ねられて配設され、前記受光素子は前記色フィルタ
に対向して位置していることを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の触圧覚センサ - 【請求項４】前記光源は投影型光源であって前記基板か
ら離隔して位置し、前記受光素子はカメラであって前記
色フィルタを介して前記基板に対向して位置しているこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の触圧覚セン
サ
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63126662A JPH0658272B2 (ja) | 1988-05-24 | 1988-05-24 | 触圧覚センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63126662A JPH0658272B2 (ja) | 1988-05-24 | 1988-05-24 | 触圧覚センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01296129A JPH01296129A (ja) | 1989-11-29 |
| JPH0658272B2 true JPH0658272B2 (ja) | 1994-08-03 |
Family
ID=14940765
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63126662A Expired - Lifetime JPH0658272B2 (ja) | 1988-05-24 | 1988-05-24 | 触圧覚センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0658272B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008032522A (ja) * | 2006-07-28 | 2008-02-14 | Nitta Ind Corp | 光ファイバを用いた触覚センサ |
| JP4780204B2 (ja) | 2009-02-23 | 2011-09-28 | カシオ計算機株式会社 | 圧力センサ及び圧力センサの圧力測定方法 |
| JP5864733B2 (ja) * | 2011-06-06 | 2016-02-17 | エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハー | 接合のための圧力分布を決定する方法および装置 |
| JP2013035097A (ja) * | 2011-08-08 | 2013-02-21 | Disco Corp | 移動体の接触検知方法 |
| CN114113008B (zh) * | 2021-10-22 | 2023-12-22 | 清华大学深圳国际研究生院 | 一种基于结构光的人工触觉设备和方法 |
-
1988
- 1988-05-24 JP JP63126662A patent/JPH0658272B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01296129A (ja) | 1989-11-29 |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term |