JPH0656163B2 - ニユ−マチツク・アクチユエ−タ - Google Patents

ニユ−マチツク・アクチユエ−タ

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JPH0656163B2
JPH0656163B2 JP59253494A JP25349484A JPH0656163B2 JP H0656163 B2 JPH0656163 B2 JP H0656163B2 JP 59253494 A JP59253494 A JP 59253494A JP 25349484 A JP25349484 A JP 25349484A JP H0656163 B2 JPH0656163 B2 JP H0656163B2
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/08Characterised by the construction of the motor unit
    • F15B15/10Characterised by the construction of the motor unit the motor being of diaphragm type
    • F15B15/103Characterised by the construction of the motor unit the motor being of diaphragm type using inflatable bodies that contract when fluid pressure is applied, e.g. pneumatic artificial muscles or McKibben-type actuators

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  • Analytical Chemistry (AREA)
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  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Actuator (AREA)
  • Magnetically Actuated Valves (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、加圧流体の導入により膨径変形し軸線方向に
収縮力を生起するニューマチック・アクチュエータ、具
体的には加圧流体の給排を電気信号に応じ調整自在とし
たニューマチック・アクチュエータに関するものであ
る。
(従来技術とその問題) 加圧流体を導入することにより半径方向に膨張しつつ長
手方向に収縮するニューマチック・アクチュエータは、
電動モータや液圧シリンダを用いる装置に比べ、重量も
軽く運動が滑らかで位置決めが確実に行なえるなど、従
来のアクチュエータにない数多くの優れた特徴を有して
いる。このようなアクチュエータとしては例えば第4図
に示すようなものが特公昭52−40378号公報によ
り従来既知である。第4図において1は管状体、2はそ
の外周の編組み補強構造、3は両端の閉鎖部材、4はか
しめキャップである。
管状体1は、ゴム又はゴム状弾性材料がエアー不透週
性、可撓性の面で重宝に活用されるが、均等材料、たと
えば各種のプラスチック材料で代替しても良い。
編組み補強構造2は、管状体1の内圧充てんによる最大
膨径時においていわゆる静止角(54°44′)に至るよう
な編組み構造をしており、有機又は無機質高張力繊維
類、たとえば芳香族ポリアミド繊維(ケブラー:商品
名)や、極細金属ワイヤの如きフィラメントの撚りまた
は無撚りの束などが適合する。
閉鎖部材3の一方は少なくとも片側で、ニップル5の長
さ方向に形成した孔6を介し管状体1の内部空洞7に連
通する接続孔8をあけ、ここにフィッティング9を取付
ける。このフィッティング9には図示しないが操作圧力
源、たとえばエアーコンプレッサを第5図(a)に示す
電磁式流量制御弁10を含む管路により接続し、管状体1
の内部空洞7内に制御圧力を適用することにより編組み
補強構造2の編組み角の拡大、つまりパンタグラフ運動
によって、管状体1の膨径と、それに由来した軸方向の
収縮、すなわち閉鎖部材3の連結ピン孔間距離の縮小を
もたらす。
なお、電磁式流量制御弁10は、第5図(a)に明示した
ように、操作圧力源に接続された加圧流体を導入する導
入口11a及び加圧流体を排出する排出口11bを有するハウ
ジング11と、球状の弁体12を弁座14に押圧する絞り調整
板15と、この絞り調整板を弁座の軸線方向に偏移させる
電磁石16とを具え、電磁石16に作用する電流の大きさを
適宜変更することにより絞り調整板15を介して弁体12を
弁座方向に偏移させ加圧流体の流量を調整することがで
きる。
このような電磁式流量制御弁及びニューマチック・アク
チュエータを用いた装置としては第5図(b)に示すよ
うに、電磁式流量制御弁17a,17b,18a,18bを電気的に
結合し制御手段19により各アクチュエータ20a,20bへの
加圧流体の給排を制御し、被駆動体21を所望量偏移させ
るものが考えられる。
しかしながら、このような装置では、例えば操作圧力源
と電磁式流量制御弁、及びこの流量制御弁とニューマチ
ック・アクチュエータを結ぶ管路におけるコネクタの数
が多く価格的に高いものとなるばかりか、コネクタ部分
における加圧流体の漏れが生じやすいなどの問題があっ
た。また必然的に配管のための空間が増大し、装置の占
有スペースが大きくなり、加圧流体の圧力応答が低下し
ニューマチック・アクチュエータの特性を充分生かしき
れないと言う問題があった。
(発明の目的) 本発明は、所要の膨径に要する操作用加圧流体量を低減
すると共に上述した問題を解決したニューマチック・ア
クチュエータを提供することを目的とする。
(発明の構成) この目的を達成するため、本発明のニューマチック・ア
クチュエータにおいては、編組み構造をもって外周を補
強したゴム又はゴム状弾性材料製の直線状管状体の量端
開口を封止合着するそれぞれの閉鎖部材を、相互に同一
軸線上に位置させ、それらの一方の閉鎖部材に、操作圧
力源からの加圧流体を導入する導入口及び、その加圧流
体を管状体内へ供給する排出口のそれぞれを設けるとと
もに、他方の閉鎖部材に、管状体内圧を導入する導入及
び、その管状体内圧を外部へ排出する排出口を設け、こ
れらの各閉鎖部材の、導入口と排出口とを連通させる連
通路に弁座を設け、この弁座に対向する球状の弁体及
び、その弁座の軸線方向に偏移可能で、弁体に係合可能
な、全体もしくは一部が磁性材料製の絞り調制部材を、
前記導入口側から順次に配設し、その絞り調整部材を弁
座に向けて無段階に偏移させる電磁石を閉鎖部材内に取
付ける。
(作用) 従って本発明のニューマチック・アクチュエータによれ
ば、閉鎖部材は管状体の両端開孔を封止するばかりでな
く、閉鎖部材内のそれぞれの電磁石に作用する電気信号
に応じて各絞り調整部材を偏移させることにより、球状
の弁体を加圧流体の有するエネルギーに抗して弁座方向
にそれぞれ偏移させ、アクチュエータの所要の膨径に要
する加圧流体量、すなわち加圧流体のアクチュエータへ
の導入及び排出量をそれぞれ調整する別個の流量制御弁
として作用する。
(実施例) 以下図面を参照して本発明のニューマチック・アクチュ
エータについて説明する。なお簡略のため第4図及び第
5図(a)の符号と同一符号を付したものは同一若しく
は同等の作用をなす。
第1図に本発明の一実施例を示す。1は管状体、2はそ
の外周の編組み補強構造、aは加圧流体導入側の閉鎖部
材、3bは加圧流体排出側の閉鎖部材、4はかしめキャ
ップを表わす。なお管状体1、編組み補強構造2等の材
質は従来既知のものと同様であり、かしめキャップ4に
より閉鎖部材3a,3bにそれぞれ固着する。
閉鎖部材3a,3bはそれぞれ第2図(a)及び(b)
に示す構造をしており、操作圧力源(図示せず)より供
給される加圧流体をフィッティング9、孔6を経てアク
チュエータの内部空洞7に導く部材を導入側閉鎖部材3
a,内部空洞7から孔6,フィッティング9を経て加圧
流体を外方に導く部材を排出側閉鎖部材3bとする。
第2図(a)に示したように導入側閉鎖部材3aは、フ
ィッティング9を介して操作圧力源に連結された閉鎖部
材本体24と、本体24に、例えば螺着により一体に固着し
たハウジング25を有する。閉鎖部材本体24は、本体の軸
線に同心に平行に延在する弁座部材26と、この弁座部材
を平行に貫通すると共に、フィッティング9の貫通孔に
開口する導入口を有する連通路としての孔6とを有し、
弁座部材26は端部に弁座26aを有する。弁座26aに対向し
て球状の弁体27を配置する。なお弁座26aは弁体27に実
質的に線接触するよう円錐状表面を有するのが良い。ハ
ウジング25は、閉鎖部材本体24に離間した側で、弁体27
を介して連通路としての孔6に連通しハウジングの半径
方向に貫通して加圧流体を内部空洞7に導く排出口28を
有すると共に、弁座の軸線方向に偏移可能であって、弁
体27を弁座方向に押圧する絞り調整部材29を内蔵する。
絞り調整部材29は磁性材料で形成し、好適には絞り調整
部材とハウジング25との間に、例えばウレタンフォーム
のような低弾性のシートを配設し、絞り調整部材及び弁
体の自励振動を阻止するようにする。また弁体は鋼球を
用いても良いが、プラスチック、好適にはアセタール樹
脂よりなる弁体を用い、一方弁座は弁体との接触を考慮
したならば、アルミナ質または炭化ケイ素質のセラミッ
クで形成するのが耐摩耗の点からも有利である。
弁座部材26の周囲に電磁石30を配設する。なお電磁石30
は、ハウジング25の内周面に固着した遮蔽板31に保持固
着する。絞り調整部材に対向する遮蔽板31の部分を開口
し、電磁石30に作用する電気信号に対応して絞り調整部
材29を弁座方向に偏移させるようにする。
排出側閉鎖部材3bは、第2図(b)に示したように閉
鎖部材本体34と、この本体34に、例えば螺着により一体
に固着したハウジウン35とを具える。ハウジング35は本
体34の軸線に同心に平行に延在する弁座部材36と、この
弁座部材を平行に貫通すると共に、管状体の内部空洞7
に開口する導入口を有する連通路としての孔6とを有
し、弁座部材36は端部に弁座36aを有する。この弁座36a
に対向して球状の弁体37を配設する。弁座36aは、導入
側閉鎖部材3aの弁座26aと同様に弁体37と実質的に線
接触するよう円錐状表面を有するのが良い。閉鎖部材本
体34は、弁体37を介して連通路としての孔6に連通し本
体34の半径方向に貫通して加圧流体をアクチュエータの
外方に排出する排出口38を有すると共に、弁座の軸線方
向に偏移可能であって弁体37を弁座方向に押圧する絞り
調整部材39を内蔵する。なお絞り調整部材38は磁性材料
で形成するのは勿論、弁体37、弁座36aも導入側閉鎖部
材3aのものと等しいか、あるいは同等の材料で形成す
る。
弁座部材36の周囲に電磁石40を配設する。この電磁石は
本体34の内周面に固着した遮蔽板41に保持固着する。絞
り調整部材39に対向する遮蔽板41の部分を開口し、電磁
石40に作用する電気信号に対応して絞り調整部材39を弁
座方向に偏移させるようにする。
以上のように構成してなる装置によれば、加圧流体の導
入側閉鎖部材3aに設けた流量制御弁を開放方向に動作さ
せるに当っては、排出側閉鎖部材3bに設けた流量制御弁
を閉止方向に作動させ、逆に、排出側閉鎖部材3bに設け
た流量制御弁を開放方向に作動させるに当っては、導入
側閉鎖部材3aに設けたそれを閉止方向に作動させること
により、それらのそれぞれの流量制御弁の開度差に基づ
き、アクチュエータ内圧を所要に応じて適宜に増加さ
せ、または減少させることができる。本発明の他の実施
例を第3図に示す。第3図(a)は導入側閉鎖部材3a
を表わし、第3図(b)は排出側閉鎖部材3bをそれぞ
れ示す。第3図(a)に明示したように本実施例では、
導入側閉鎖部材3aは、電磁石30及びこの電磁石を保持
しハウジング25に固着する遮蔽板31を球状の弁体27を介
して弁座26aに離間して対向してハウジング25に同心に
配置する。そして絞り調整部材は、一端に磁性材料より
なり電磁石30の磁力が作用する吸着部分29aを有し、他
端には弁体27に係合し吸着部分29aの偏移に関連して弁
体27を弁座方向に押圧する係合部分29bを有し、遮蔽板3
1に摺動自在に装着されている。また、本実施例におい
ても、ハウジング25及び閉鎖部材本体24、ハウジング25
及び遮蔽部材31はそれぞれ互いに螺着し一体に構成した
が、接着剤を用いることも可能であり、ハウジング及び
閉鎖部材本体24は分割せず一体に構成しても良い。なお
符号42は本体24及びハウジング25をシールする弾性リン
グである。
第3図(b)に排出側閉鎖部材3bを示す。導入側閉鎖
部材3aと同様にハウジング35に形成した弁座36aに弁
体37を介して離間して対向して電磁石40及び電磁石40を
保持しハウジング35に固着する遮蔽板41を閉鎖部材本体
34に同心に配置する。絞り調整部材39は、一端に吸着部
分39aを、他端に弁体37に係合する係合部分39bをそれぞ
れ有し、遮蔽板41に摺動自在に装着されている。本実施
例では、管状体の内部空洞に開口する導入孔を有する連
通路としての孔6を、ハウジング35の半径方向に貫通し
て設け(第3図(C)参照)、弁座36a及び弁体37を経
て弁座部材36,ハウジング34,遮蔽板41により画成され
た空間内に流入した加圧流体をアクチュエータの外方に
導く排出口38をハウジング35の軸線方向に設ける(第3
図(d)参照)。
このように構成した本実施例の閉鎖部材によりニューマ
チック・アクチュエータ内の加圧流体の圧力は、それぞ
れの電磁石に作用する電流の大きさに対応して調整でき
ることは記述した通りであり、本実施例では、弁座、弁
体、及び電磁石を直線状に配置したので、閉鎖部材の半
径方向の寸法を小さくすることができ、しかもニューマ
チック・アクチュエータ内部空洞に各ハウジングが突出
する構成であるので、所要の膨径に要する加圧流体量が
少なくて良い。
(発明の効果) 以上詳述した様に本発明のニューマチック・アクチュエ
ータによれば、閉鎖部材内に収容したそれぞれの電磁石
に作用する電気信号に基づいてニューマチック・アクチ
ュエータ内の圧力を調整することができるので、従来の
アクチュエータのように別個に弁を必要としないので、
弁接続部における加圧流体の漏れなどの問題がない上
に、コネクタの個数を低減することができるので、ニュ
ーマチック・アクチュエータを含む装置全体としての価
格が安価になる。また、弁体の占有空間が不要であるの
で装置全体がコンパクトに形成でき、弁体とニューマチ
ック・アクチュエータとを結ぶ管路が不要になるので、
配管が容易になり、しかもこれら管路における加圧流体
が不要になるばかりか、アクチュエータとしての応答性
が向上するなどの数多くの利点がある。さらに弁座、弁
体及び電磁石を直線状に配置することにより閉鎖部材の
半径方向の寸法を小さくすることができる上、アクチュ
エータの内部空洞内に各ハウジングが突出する構成であ
るため、膨径に要する加圧流体量を減少させると言う効
果もある。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明に係るニューマチック・アクチュエー
タの一部を断面として示す正面図、第2図は、第1図に
示すニューマチック・アクチュエータに使用するそれぞ
れの閉鎖部材の一部を示す断面図、 第3図(a),(b)は、第1図に示すニューマチック
・アクチュエータに好適なそれぞれの閉鎖部材を断面に
して示す正面図、 第3図(c)は、第3図(b)において線A−Aに沿う
断面を示す図、 第3図(d)は、第3図(c)において線B−Bに沿う
断面を示す図、 第4図は、従来のニューマチック・アクチュエータの一
部を断面として示す正面図、 第5図(a)は、電磁式流量制御弁を断面にして示す図
であり、 第5図(b)は、第4図及び第5図(a)に示すニュー
マチック・アクチュエータ及び電磁式流量弁を用いた駆
動装置を示す図である。 1……管状体、2……編組み補強構造 3……閉鎖部材、4……かしめキャップ 5……ニップル、6……孔 7……内部空洞、8……接続孔 9……フィッティング、10……電磁式流量制御弁 24,34……閉鎖部材本体 25,35……ハウジング、26,36……弁座部材 26a,36a……弁座、27,37……弁体 28,38……排出口、29,39……絞り調整部材 30,40……電磁石、31,41……遮蔽板 42……弾性リング

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】有機又は無機質張力繊維類の編組み構造
    (2)をもって外周を補強し、両端開口を二個のそれぞ
    れの閉鎖部材(3a,3b)にて封止合着したゴム又は
    ゴム状弾性材料製の直線状管状体(1)よりなり、加圧
    流体の導入により膨径変形して軸線方向に収縮力を生起
    するニューマチック・アクチュエータであって、 それぞれの閉鎖部材(3a,3b)を相互に同一軸線上
    に配置し、一方の閉鎖部材(3a)に、操作圧力源から
    の加圧流体を導入する導入口及び、その加圧流体を管状
    体内へ供給する排出口(28)を設けるとともに、他方
    の閉鎖部材(3b)に、管状体内圧を導入する導入口及
    び、その管状体内圧を外部へ排出する排出口(38)を
    設け、これらの各閉鎖部材(3a,3b)の、導入口と
    排出口(28,38)とを連通させる連通路(6)に弁
    座(26a,36a)を設け、この弁座に対向する球状
    の弁体(27,37)及び、弁座(26a,36a)の
    軸線方向に偏移可能で、前記弁体(27,37)に係合
    可能な、全部もしくは一部が磁性材料製の絞り調整部材
    (29,39)を、前記導入口側から順次に配設し、そ
    の絞り調整部材(29,39)を弁座に向けて無段階に
    偏移させる電磁石(40)を前記閉鎖部材内に取付けて
    なるニューマチック・アクチュエータ。
  2. 【請求項2】前記電磁石(40)を、弁座(26a,3
    6a)及び弁体(27,37)より下流側に配設し、前
    記絞り調整部材(29,39)を、電磁石に貫通させ
    て、それに対して摺動自在に配置するとともに、その一
    端に、弁体(27,37)に係合可能な係合部分(29
    b,39b)を設け、他端に、磁性材料よりなる吸着部
    分(29a,39a)を設けてなる特許請求の範囲第1
    項に記載のニューマチック・アクチュエータ。
  3. 【請求項3】前記弁座(26a,36a)を、球状の弁
    体(27,37)に線接触可能な円錐状表面としてなる
    特許請求の範囲第1項又は第2項に記載のニューマチッ
    ク・アクチュエータ。
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3644481A1 (de) * 1986-12-24 1988-07-07 Hans Halder Antriebseinrichtung fuer bewegungsmechanismen
JP2584257B2 (ja) * 1987-11-18 1997-02-26 横浜ゴム株式会社 可撓性ホース
DE4107134A1 (de) * 1991-03-06 1992-09-10 Wenzel Ralph Vorrichtung zum erzeugen einer zugkraft mittels druckmittel
DE19730838C2 (de) * 1997-05-13 2000-07-06 Langendorf Textil Gmbh & Co Kg Schlauchsystem
WO2015083567A1 (ja) * 2013-12-03 2015-06-11 国立大学法人東京医科歯科大学 流体注入型人工筋アクチュエータ及びマニピュレータ

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1504042A (fr) * 1966-10-21 1967-12-01 Renault Dispositif de commande de récepteurs hydrauliques
GB1414301A (en) * 1972-01-14 1975-11-19 Ass Eng Ltd Fluid control valves
JPS5125554A (ja) * 1974-08-27 1976-03-02 Yardley Prod Corp Sonyutai
JPS523987A (en) * 1975-06-27 1977-01-12 Kondo Seisakusho:Kk Hydraulic drive device
JPS5240378A (en) * 1975-09-27 1977-03-29 Kansai Keiki Kogyo Kk Rotary tester for disc of watthour meter
FR2439346A1 (fr) * 1978-10-16 1980-05-16 Renault Electro-distributeur hydraulique a trois voies
JPS55129603A (en) * 1980-03-24 1980-10-07 Aisin Seiki Co Ltd Actuator
JPS5716060U (ja) * 1980-06-30 1982-01-27
DE3130056C2 (de) * 1981-07-30 1983-11-17 Festo-Maschinenfabrik Gottlieb Stoll, 7300 Esslingen Steuerventilanordnung für einen Druckmittel-Arbeitszylinder
JPS58178115A (ja) * 1982-04-12 1983-10-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電子式ガスガバナ装置
DE3483590D1 (de) * 1983-04-25 1990-12-20 Bridgestone Corp Pneumatisches stellglied fuer manipulatoren.

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Publication number Publication date
DE3542277A1 (de) 1986-06-05
JPS61130603A (ja) 1986-06-18
DE3542277C2 (ja) 1992-09-10

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