JPH06117419A - ニューマチック・アクチュエータを用いた作業装置 - Google Patents
ニューマチック・アクチュエータを用いた作業装置Info
- Publication number
- JPH06117419A JPH06117419A JP28509092A JP28509092A JPH06117419A JP H06117419 A JPH06117419 A JP H06117419A JP 28509092 A JP28509092 A JP 28509092A JP 28509092 A JP28509092 A JP 28509092A JP H06117419 A JPH06117419 A JP H06117419A
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- valve
- valve seat
- pressurized fluid
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 防爆エリアに設置する場合でも、応答性や精
度を悪くすることがなく、電気部品や電線を簡易な構成
で防爆構造とするようにした。 【構成】 アクチュエータ本体1に加圧流体の給排用の
配管2,3を取付けると共に、アクチュエータ本体1内
に電磁弁25,33やセンサ6等の電気部品を取付けて
ある。電気部品との信号の伝送あるいは通電を行うため
に電気部品とコントローラ8とに接続される電線7をア
クチュエータ本体1内及び供給用配管2内に配線してあ
る。
度を悪くすることがなく、電気部品や電線を簡易な構成
で防爆構造とするようにした。 【構成】 アクチュエータ本体1に加圧流体の給排用の
配管2,3を取付けると共に、アクチュエータ本体1内
に電磁弁25,33やセンサ6等の電気部品を取付けて
ある。電気部品との信号の伝送あるいは通電を行うため
に電気部品とコントローラ8とに接続される電線7をア
クチュエータ本体1内及び供給用配管2内に配線してあ
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、加圧流体の導入によ
り作動するニューマチック・アクチュエータを用いた作
業装置に関する。
り作動するニューマチック・アクチュエータを用いた作
業装置に関する。
【0002】
【従来の技術】加圧流体を導入することにより作動する
ニューマチック・アクチュエータは、電動モータや液圧
シリンダを用いる装置に比べ、重量も軽く運動が滑らか
で位置決めが確実に行えるなど、従来のアクチュエータ
にない数多くの優れた特徴を有している。
ニューマチック・アクチュエータは、電動モータや液圧
シリンダを用いる装置に比べ、重量も軽く運動が滑らか
で位置決めが確実に行えるなど、従来のアクチュエータ
にない数多くの優れた特徴を有している。
【0003】このような、ニューマチック・アクチュエ
ータを危険領域で使用する場合、図9に示すように、ア
クチュエータ本体1に加圧流体を給排するための配管1
00を長くして電磁弁101,センサ102及び電線1
03を危険領域から遠ざけ非危険領域に設置するように
していた。1つのアクチュエータ本体1に対し2つの電
磁弁101を用い、一方の電磁弁101は加圧流体供給
源104に、他方の電磁弁101は排気ポート105に
夫々接続されている。電線103はコントローラ106
に接続され、コントローラ106により電磁弁101や
センサ102を制御している。
ータを危険領域で使用する場合、図9に示すように、ア
クチュエータ本体1に加圧流体を給排するための配管1
00を長くして電磁弁101,センサ102及び電線1
03を危険領域から遠ざけ非危険領域に設置するように
していた。1つのアクチュエータ本体1に対し2つの電
磁弁101を用い、一方の電磁弁101は加圧流体供給
源104に、他方の電磁弁101は排気ポート105に
夫々接続されている。電線103はコントローラ106
に接続され、コントローラ106により電磁弁101や
センサ102を制御している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】耐圧・内圧防爆構造に
するには、電磁弁を耐圧構造のケース等で囲む必要もあ
った。あるいは、本質防爆構造にするには、電磁弁10
1あるいは図示しないセンサ等の電気部品を防爆エリア
内に設けるために電磁弁101あるいは図示しないセン
サ等の電気部品へ供給する電流値を制限し、かつ防爆バ
リア第3種接地以上のアースが必要となる。防爆を考慮
する場合、従来のニューマチック・アクチュエータの構
造では、上述のように配管100を長くしなければなら
ず、そのために電磁弁101が開閉し、その圧力がアク
チュエータ本体1に伝わるには多くの時間を要し、フィ
ードバックゲインを大きくすることができなかった。従
って、アクチュエータ本体の応答性も精度も悪くなる。
フィードバックゲインを大きくすると、その時間遅れの
為に振動が発生し、安定性も悪くなる。
するには、電磁弁を耐圧構造のケース等で囲む必要もあ
った。あるいは、本質防爆構造にするには、電磁弁10
1あるいは図示しないセンサ等の電気部品を防爆エリア
内に設けるために電磁弁101あるいは図示しないセン
サ等の電気部品へ供給する電流値を制限し、かつ防爆バ
リア第3種接地以上のアースが必要となる。防爆を考慮
する場合、従来のニューマチック・アクチュエータの構
造では、上述のように配管100を長くしなければなら
ず、そのために電磁弁101が開閉し、その圧力がアク
チュエータ本体1に伝わるには多くの時間を要し、フィ
ードバックゲインを大きくすることができなかった。従
って、アクチュエータ本体の応答性も精度も悪くなる。
フィードバックゲインを大きくすると、その時間遅れの
為に振動が発生し、安定性も悪くなる。
【0005】そこで、この発明は、防爆エリアに設置す
る場合でも、応答性や精度を悪くすることがなく、簡易
な構成で電気部品を防爆構造にすることが可能なニュー
マチック・アクチュエータを用いた作業装置を提供する
ことを目的とする。
る場合でも、応答性や精度を悪くすることがなく、簡易
な構成で電気部品を防爆構造にすることが可能なニュー
マチック・アクチュエータを用いた作業装置を提供する
ことを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
め、この発明は、加圧流体の供給により作動するニュー
マチック・アクチュエータを用いた作業装置において、
アクチュエータ本体に加圧流体の給排用の配管を取付け
ると共に、アクチュエータ本体内に電磁弁やセンサ等の
電気部品を取付け、電気部品との信号の伝送あるいは通
電を行うために電気部品と電源とに接続される電線をア
クチュエータ本体内及び供給用配管内に配線したもので
ある。
め、この発明は、加圧流体の供給により作動するニュー
マチック・アクチュエータを用いた作業装置において、
アクチュエータ本体に加圧流体の給排用の配管を取付け
ると共に、アクチュエータ本体内に電磁弁やセンサ等の
電気部品を取付け、電気部品との信号の伝送あるいは通
電を行うために電気部品と電源とに接続される電線をア
クチュエータ本体内及び供給用配管内に配線したもので
ある。
【0007】
【作用】この発明では、例えばアクチュエータ本体内に
電磁弁を設け、アクチュエータ本体内に圧縮空気を供給
すると、内圧防爆構造となる。したがって、特別に防爆
構造にするためのケースや管等は必要でなくなる。ま
た、配管が長くなっても電磁弁が内部に設置されている
ので応答性に優れ、精度も良いニューマチック・アクチ
ュエータとすることが可能である。
電磁弁を設け、アクチュエータ本体内に圧縮空気を供給
すると、内圧防爆構造となる。したがって、特別に防爆
構造にするためのケースや管等は必要でなくなる。ま
た、配管が長くなっても電磁弁が内部に設置されている
ので応答性に優れ、精度も良いニューマチック・アクチ
ュエータとすることが可能である。
【0008】
【実施例】以下に、この発明の好適な実施例を図面を参
照にして説明する。
照にして説明する。
【0009】図1において、アクチュエータ本体1には
供給用配管2と排気用配管3とが接続してあり、これら
は加圧流体供給源4と排気ポート5とに夫々接続してあ
る。アクチュエータ本体1内にはセンサ6と電磁弁2
5,33とが設けてあり、これらに接続される電線7は
アクチュエータ本体1内から供給用配管2内に配線され
ている。配管2内の電線7はコントローラ8に接続して
ある。配管2内から電線7を取り出す位置はアクチュエ
ータ本体1から離れた安全領域であって、その取り出し
位置で加圧流体が漏出しないように手当しておく。ま
た、アクチュエータ本体1及び供給用配管2の内部圧力
は外気圧よりも高く、仮りに漏出が生じ外気圧との差が
5mmHg以下になった場合には保護回路によりコントロー
ラ8からの電流の供給等を停止させるようにしておく。
このような保護回路を設けることにより内圧防爆構造と
なる。
供給用配管2と排気用配管3とが接続してあり、これら
は加圧流体供給源4と排気ポート5とに夫々接続してあ
る。アクチュエータ本体1内にはセンサ6と電磁弁2
5,33とが設けてあり、これらに接続される電線7は
アクチュエータ本体1内から供給用配管2内に配線され
ている。配管2内の電線7はコントローラ8に接続して
ある。配管2内から電線7を取り出す位置はアクチュエ
ータ本体1から離れた安全領域であって、その取り出し
位置で加圧流体が漏出しないように手当しておく。ま
た、アクチュエータ本体1及び供給用配管2の内部圧力
は外気圧よりも高く、仮りに漏出が生じ外気圧との差が
5mmHg以下になった場合には保護回路によりコントロー
ラ8からの電流の供給等を停止させるようにしておく。
このような保護回路を設けることにより内圧防爆構造と
なる。
【0010】配管2,3として使用される材質は、硬い
鋼管でも良いし、柔らかいウレタン材料等のチューブで
も良い。
鋼管でも良いし、柔らかいウレタン材料等のチューブで
も良い。
【0011】アクチュエータ本体1は、図2に示すよう
に、両端開口を閉鎖部材10,11にて封止合着したゴ
ム状弾性体よりなる管状体12を備えている。管状体1
2の閉鎖部材10,11への取付けは、かしめキャップ
13,14で図っている。管状体12の外周には編組み
補強構造15を設けてある。この編組み補強構造15
は、管状体12の内圧充填による最大膨径時においてい
わゆる静止角(54°44′)に至るような編組み構造
をしており、有機又は無機質高張力繊維類、例えば芳香
族ポリアミド繊維(ケブラー:商品名)や極細金属ワイ
ヤの如きフィラメントの撚り又は無撚りの束などが適合
する。管状体12は、ゴム又はゴム状弾性材料がエアー
不透過性、可撓性の面で重宝に活用されるが、均等材
料、例えば各種のプラスチック材料で代替しても良い。
に、両端開口を閉鎖部材10,11にて封止合着したゴ
ム状弾性体よりなる管状体12を備えている。管状体1
2の閉鎖部材10,11への取付けは、かしめキャップ
13,14で図っている。管状体12の外周には編組み
補強構造15を設けてある。この編組み補強構造15
は、管状体12の内圧充填による最大膨径時においてい
わゆる静止角(54°44′)に至るような編組み構造
をしており、有機又は無機質高張力繊維類、例えば芳香
族ポリアミド繊維(ケブラー:商品名)や極細金属ワイ
ヤの如きフィラメントの撚り又は無撚りの束などが適合
する。管状体12は、ゴム又はゴム状弾性材料がエアー
不透過性、可撓性の面で重宝に活用されるが、均等材
料、例えば各種のプラスチック材料で代替しても良い。
【0012】閉鎖部材10,11はそれぞれ図3及び図
4に示す構造をしており、加圧流体供給源4より供給さ
れる加圧流体をフィッティング16,孔17を経てアク
チュエータ本体1の内部空洞18に導く部材を導入側閉
鎖部材10,内部空洞18から孔17,フィッティング
16を経て加圧流体を外方に導く部材を排出側閉鎖部材
11とする。図3に示したように導入側閉鎖部材10
は、フィッティング16及び供給用配管2を介して供給
源4に連結された閉鎖部材本体19と、この本体19
に、例えば螺着により一体に固着したハウジング20を
有する。閉鎖部材本体19は、本体の軸線に同心に平行
に延在する弁座部材21と、この弁座部材を平行に貫通
すると共に、フィッティング16の貫通孔に開口する導
入口を有する連通路としての孔17とを有し、弁座部材
21は端部に弁座21aを有する。弁座21aに対向し
て球状の弁体22を配置する。なお弁座21aは弁体2
2に実質的に線接触するよう円錐状表面を有するのが良
い。ハウジング20は、閉鎖部材本体19に離間した側
で、弁体22を介して連通路としての孔17に連通しハ
ウジング20の半径方向に貫通して加圧流体を内部空洞
18に導く排出口23を有すると共に、弁座21aの軸
線方向に偏移可能であって、弁体22を弁座方向に押圧
する絞り調整部材24を内蔵する。絞り調整部材24は
磁性材料で形成し、好適には絞り調整部材24とハウジ
ング20との間に、例えばウレタンフォームのような低
弾性のシートを配設し、絞り調整部材24及び弁体22
の自励振動を阻止するようにする。また弁体22は鋼球
を用いても良いが、プラスチック、好適にはアセタール
樹脂よりなる弁体を用い、一方弁座21aは弁体22と
の接触を考慮したならば、アルミナ質または炭化ケイ素
質のセラミックで形成するのが耐摩耗の点からも有利で
ある。
4に示す構造をしており、加圧流体供給源4より供給さ
れる加圧流体をフィッティング16,孔17を経てアク
チュエータ本体1の内部空洞18に導く部材を導入側閉
鎖部材10,内部空洞18から孔17,フィッティング
16を経て加圧流体を外方に導く部材を排出側閉鎖部材
11とする。図3に示したように導入側閉鎖部材10
は、フィッティング16及び供給用配管2を介して供給
源4に連結された閉鎖部材本体19と、この本体19
に、例えば螺着により一体に固着したハウジング20を
有する。閉鎖部材本体19は、本体の軸線に同心に平行
に延在する弁座部材21と、この弁座部材を平行に貫通
すると共に、フィッティング16の貫通孔に開口する導
入口を有する連通路としての孔17とを有し、弁座部材
21は端部に弁座21aを有する。弁座21aに対向し
て球状の弁体22を配置する。なお弁座21aは弁体2
2に実質的に線接触するよう円錐状表面を有するのが良
い。ハウジング20は、閉鎖部材本体19に離間した側
で、弁体22を介して連通路としての孔17に連通しハ
ウジング20の半径方向に貫通して加圧流体を内部空洞
18に導く排出口23を有すると共に、弁座21aの軸
線方向に偏移可能であって、弁体22を弁座方向に押圧
する絞り調整部材24を内蔵する。絞り調整部材24は
磁性材料で形成し、好適には絞り調整部材24とハウジ
ング20との間に、例えばウレタンフォームのような低
弾性のシートを配設し、絞り調整部材24及び弁体22
の自励振動を阻止するようにする。また弁体22は鋼球
を用いても良いが、プラスチック、好適にはアセタール
樹脂よりなる弁体を用い、一方弁座21aは弁体22と
の接触を考慮したならば、アルミナ質または炭化ケイ素
質のセラミックで形成するのが耐摩耗の点からも有利で
ある。
【0013】弁座部材21の周囲に電磁石25を配設す
る。なお電磁石25は、ハウジング20の内周面に固着
した遮蔽板26に保持固着する。絞り調整部材24に対
向する遮蔽板26の部分を開口し、電磁石25に作用す
る電気信号に対応して絞り調整部材24を弁座21a方
向に偏移させるようにする。
る。なお電磁石25は、ハウジング20の内周面に固着
した遮蔽板26に保持固着する。絞り調整部材24に対
向する遮蔽板26の部分を開口し、電磁石25に作用す
る電気信号に対応して絞り調整部材24を弁座21a方
向に偏移させるようにする。
【0014】排出側閉鎖部材11は、図4に示したよう
に閉鎖部材本体27と、この本体27に、例えば螺着に
より一体に固着したハウジング28とを備える。ハウジ
ング28は本体27の軸線に同心に平行に延在する弁座
部材29と、この弁座部材29を平行に貫通すると共
に、管状体12の内部空洞18に開口する導入口を有す
る連通路としての孔17とを有し、弁座部材29は端部
に弁座29aを有する。この弁座29aに対向して球状
の弁体30を配設する。弁座29aは、導入側閉鎖部材
10の弁座21aと同様に弁体30と実質的に線接触す
るよう円錐状表面を有するのが良い。閉鎖部材本体27
は、弁体30を介して連通路としての孔17に連通し本
体27の半径方向に貫通して加圧流体をアクチュエータ
本体1の外方に排出する排出口31を有すると共に、弁
座29aの軸線方向に偏移可能であって弁体30を弁座
29aの方向に押圧する絞り調整部材32を内蔵する。
なお絞り調整部材32は磁性材料で形成するのは勿論、
弁体30、弁座29aも導入側閉鎖部材10のものと等
しいか、あるいは同等の材料で形成する。
に閉鎖部材本体27と、この本体27に、例えば螺着に
より一体に固着したハウジング28とを備える。ハウジ
ング28は本体27の軸線に同心に平行に延在する弁座
部材29と、この弁座部材29を平行に貫通すると共
に、管状体12の内部空洞18に開口する導入口を有す
る連通路としての孔17とを有し、弁座部材29は端部
に弁座29aを有する。この弁座29aに対向して球状
の弁体30を配設する。弁座29aは、導入側閉鎖部材
10の弁座21aと同様に弁体30と実質的に線接触す
るよう円錐状表面を有するのが良い。閉鎖部材本体27
は、弁体30を介して連通路としての孔17に連通し本
体27の半径方向に貫通して加圧流体をアクチュエータ
本体1の外方に排出する排出口31を有すると共に、弁
座29aの軸線方向に偏移可能であって弁体30を弁座
29aの方向に押圧する絞り調整部材32を内蔵する。
なお絞り調整部材32は磁性材料で形成するのは勿論、
弁体30、弁座29aも導入側閉鎖部材10のものと等
しいか、あるいは同等の材料で形成する。
【0015】弁座部材29の周囲に電磁石33を配設す
る。この電磁石33は本体27の内周面に固着した遮蔽
板34に保持固着する。絞り調整部材32に対向する遮
蔽板34の部分を開口し、電磁石33に作用する電気信
号に対応して絞り調整部材32を弁座方向に偏移させる
ようにする。
る。この電磁石33は本体27の内周面に固着した遮蔽
板34に保持固着する。絞り調整部材32に対向する遮
蔽板34の部分を開口し、電磁石33に作用する電気信
号に対応して絞り調整部材32を弁座方向に偏移させる
ようにする。
【0016】図5に示す導入側閉鎖部材10は、電磁石
25及びこの電磁石25を保持しハウジング20に固着
する遮蔽板26を球状の弁体22を介して同心に配置す
る。そして絞り調整部材24は、一端に磁性材料よりな
り電磁石25の磁力が作用する吸着部分24aを有し、
他端には弁体22に係合し吸着部分24aの偏移に関連
して弁体22を弁座方向に押圧する係合部分24bを有
し、遮蔽板26に摺動自在に装着されている。また、本
実施例においても、ハウジング20及び閉鎖部材本体1
9、ハウジング20及び遮蔽部材26はそれぞれ互いに
螺着し一体に構成したが、接着剤を用いることも可能で
あり、ハウジング20及び閉鎖部材本体19は分割せず
に一体に構成しても良い。なお符号35は本体19及び
ハウジング20をシールする弾性リングである。
25及びこの電磁石25を保持しハウジング20に固着
する遮蔽板26を球状の弁体22を介して同心に配置す
る。そして絞り調整部材24は、一端に磁性材料よりな
り電磁石25の磁力が作用する吸着部分24aを有し、
他端には弁体22に係合し吸着部分24aの偏移に関連
して弁体22を弁座方向に押圧する係合部分24bを有
し、遮蔽板26に摺動自在に装着されている。また、本
実施例においても、ハウジング20及び閉鎖部材本体1
9、ハウジング20及び遮蔽部材26はそれぞれ互いに
螺着し一体に構成したが、接着剤を用いることも可能で
あり、ハウジング20及び閉鎖部材本体19は分割せず
に一体に構成しても良い。なお符号35は本体19及び
ハウジング20をシールする弾性リングである。
【0017】図6に排出側閉鎖部材11の変形例を示
す。導入側閉鎖部材10と同様にハウジング28に形成
した弁座29aに弁体30を介して離間して対向して電
磁石33及び電磁石33を保持しハウジング28に固着
する遮蔽板34を閉鎖部材本体27に同心に配置する。
絞り調整部材32は、一端に吸着部分32aを、他端に
弁体30に係合する係合部分32bをそれぞれ有し、遮
蔽板34に摺動自在に装着されている。本実施例では、
管状体12の内部空洞18に開口する導入孔を有する連
通路としての孔17を、ハウジング28の半径方向に貫
通して設け(図7参照)、弁座29a及び弁体30を経
て弁座部材29,ハウジング28,遮蔽板34により画
成された空間内に流入した加圧流体をアクチュエータ本
体1の外方に導く排出口31をハウジング28の軸線方
向に設ける(図8参照)。
す。導入側閉鎖部材10と同様にハウジング28に形成
した弁座29aに弁体30を介して離間して対向して電
磁石33及び電磁石33を保持しハウジング28に固着
する遮蔽板34を閉鎖部材本体27に同心に配置する。
絞り調整部材32は、一端に吸着部分32aを、他端に
弁体30に係合する係合部分32bをそれぞれ有し、遮
蔽板34に摺動自在に装着されている。本実施例では、
管状体12の内部空洞18に開口する導入孔を有する連
通路としての孔17を、ハウジング28の半径方向に貫
通して設け(図7参照)、弁座29a及び弁体30を経
て弁座部材29,ハウジング28,遮蔽板34により画
成された空間内に流入した加圧流体をアクチュエータ本
体1の外方に導く排出口31をハウジング28の軸線方
向に設ける(図8参照)。
【0018】このように構成した閉鎖部材10,11に
よりニューマチック・アクチュエータ内の加圧流体の圧
力は、それぞれの電磁石に作用する電流の大きさに対応
して調整できる。本実施例では、弁座,弁体,及び電磁
石を直線状に配置したので、閉鎖部材の半径方向の寸法
を小さくすることができ、しかもニューマチック・アク
チュエータ内部空洞に各ハウジングが突出する構成であ
るので、所要の膨径に要する加圧流体量が少なくて良
い。
よりニューマチック・アクチュエータ内の加圧流体の圧
力は、それぞれの電磁石に作用する電流の大きさに対応
して調整できる。本実施例では、弁座,弁体,及び電磁
石を直線状に配置したので、閉鎖部材の半径方向の寸法
を小さくすることができ、しかもニューマチック・アク
チュエータ内部空洞に各ハウジングが突出する構成であ
るので、所要の膨径に要する加圧流体量が少なくて良
い。
【0019】上述した図2ないし図8に示すいずれの電
磁弁25,33も電線7を接続してあり、電線7はアク
チュエータ本体1内を通り、供給用配管2内を通ってコ
ントローラ8に接続してある。図2ないし図8にはセン
サ6を図示していないが、アクチュエータ本体1内の適
宜個所に圧力センサや管状体12の収縮長さを検知する
変位センサ等のセンサ6を設けることができる。さらに
は他の電気部品を設けることも可能である。
磁弁25,33も電線7を接続してあり、電線7はアク
チュエータ本体1内を通り、供給用配管2内を通ってコ
ントローラ8に接続してある。図2ないし図8にはセン
サ6を図示していないが、アクチュエータ本体1内の適
宜個所に圧力センサや管状体12の収縮長さを検知する
変位センサ等のセンサ6を設けることができる。さらに
は他の電気部品を設けることも可能である。
【0020】電磁弁25,33やセンサ6等の電気部品
をアクチュエータ本体1内に取付けてあるため、内圧防
爆構造となる。すなわち、アクチュエータ本体1内は常
に加圧流体が充填された状態にあり(管状体12の膨張
時のみならず縮小時でもアクチュエータ本体1内には加
圧流体が残存する)、加圧流体の存在によりアクチュエ
ータ本体1内は外気圧よりも高圧に保持されているた
め、高圧内の電気部品は内圧防爆構造となる。
をアクチュエータ本体1内に取付けてあるため、内圧防
爆構造となる。すなわち、アクチュエータ本体1内は常
に加圧流体が充填された状態にあり(管状体12の膨張
時のみならず縮小時でもアクチュエータ本体1内には加
圧流体が残存する)、加圧流体の存在によりアクチュエ
ータ本体1内は外気圧よりも高圧に保持されているた
め、高圧内の電気部品は内圧防爆構造となる。
【0021】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、アクチュエータ本体内に電磁弁やセンサ等の電気部
品を取付け、電気部品との信号の伝送あるいは通電を行
うために電気部品とコントローラとに接続される電線を
アクチュエータ本体内及び供給用配管内に配線したの
で、防爆構造となる。従って、防爆構造にするために特
別なケースや管等を設ける必要は全くなくなる。また、
アクチュエータ本体内に電気部品が取付けてあるので、
応答性や精度を悪化させることもない。
ば、アクチュエータ本体内に電磁弁やセンサ等の電気部
品を取付け、電気部品との信号の伝送あるいは通電を行
うために電気部品とコントローラとに接続される電線を
アクチュエータ本体内及び供給用配管内に配線したの
で、防爆構造となる。従って、防爆構造にするために特
別なケースや管等を設ける必要は全くなくなる。また、
アクチュエータ本体内に電気部品が取付けてあるので、
応答性や精度を悪化させることもない。
【図1】この発明の全体概略図。
【図2】アクチュエータ本体の断面図。
【図3】供給側の閉鎖部材の断面図。
【図4】排出側の閉鎖部材の断面図。
【図5】供給側の閉鎖部材の他の例を示す断面図。
【図6】排出側の閉鎖部材の他の例を示す断面図。
【図7】図6A−A線断面図。
【図8】図7B−B線断面図。
【図9】従来の防爆エリアに設ける場合の全体の概略
図。
図。
1 アクチュエータ本体 2 供給用配管 3 排出用配管 4 加圧流体供給源 5 排出ポート 6 センサ 7 電線 8 コントローラ 10,11 閉鎖部材 12 管状体 25,33 電磁弁
Claims (1)
- 【請求項1】 加圧流体の供給により作動するニューマ
チック・アクチュエータを用いた作業装置において、 アクチュエータ本体に加圧流体の給排用の配管を取付け
ると共に、 アクチュエータ本体内に電磁弁やセンサ等の電気部品を
取付け、 電気部品との信号の伝送あるいは通電を行うために電気
部品とコントローラとに接続される電線をアクチュエー
タ本体内及び供給用配管内に配線したことを特徴とする
ニューマチック・アクチュエータを用いた作業装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28509092A JPH06117419A (ja) | 1992-09-30 | 1992-09-30 | ニューマチック・アクチュエータを用いた作業装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28509092A JPH06117419A (ja) | 1992-09-30 | 1992-09-30 | ニューマチック・アクチュエータを用いた作業装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06117419A true JPH06117419A (ja) | 1994-04-26 |
Family
ID=17687009
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28509092A Pending JPH06117419A (ja) | 1992-09-30 | 1992-09-30 | ニューマチック・アクチュエータを用いた作業装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06117419A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005045259A1 (ja) * | 2003-11-10 | 2005-05-19 | Hitachi Medical Corporation | 流体圧式アクチュエータ |
-
1992
- 1992-09-30 JP JP28509092A patent/JPH06117419A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005045259A1 (ja) * | 2003-11-10 | 2005-05-19 | Hitachi Medical Corporation | 流体圧式アクチュエータ |
US7607380B2 (en) | 2003-11-10 | 2009-10-27 | Kanda Tushin Kogyo Co., Ltd. | Fluid pressure actuator |
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