JPH065086A - 半導体記憶装置 - Google Patents
半導体記憶装置Info
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- JPH065086A JPH065086A JP16481092A JP16481092A JPH065086A JP H065086 A JPH065086 A JP H065086A JP 16481092 A JP16481092 A JP 16481092A JP 16481092 A JP16481092 A JP 16481092A JP H065086 A JPH065086 A JP H065086A
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- memory cell
- sense amplifier
- address decoder
- memory device
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Abstract
に起因する読出し特性の変化を抑制し、その均一化を図
る。 【構成】 メモリセルから読み出したデータ信号を列ア
ドレスデコーダ2からの信号に基づき動作するセンスア
ンプ3中の動作アンプ11にて補正し、出力することでV
SSライン6,6と各メモリセルとの距離の差に起因する
ソース電位差を解消し、読出し特性を均一化する。
Description
メモリセルトランジスタを持つ各メモリセルからの読出
し特性の均一化を可能としたEPROM ,EEPROM等の半導体
記憶装置に関する。
体記憶装置を示すブロック図であり、図中1はメモリセ
ルアレイ、2は列アドレスデコーダ、3はセンスアン
プ、4は行アドレスデコーダを示している。メモリセル
アレイ1は多数のメモリセルをマトリックス状に配列し
て構成されており、同一のビット線BLに連なる各メモリ
セルトランジスタQM を構成するnチャネルMOS トラン
ジスタのドレインは列アドレスデコーダ2により、操作
される図示しないスイッチング素子を介してセンスアン
プ3に接続され、またソースはポリシリコン製の共有の
ソース電位供給ライン5に接続され、またこのソース電
位供給ライン5はその両端部を夫々Al製のVSSライン
6,6を介して図示しない電圧源に接続されている。
作を説明する。この種のEPROM を有するメモリセルにあ
っては、通常データの書込みがない状態ではメモリセル
を構成するトランジスタのフローティングゲートに電荷
が注入されていない「1」の状態に保持され、またデー
タが書込まれるとそのメモリセルを構成するトランジス
タのフローティングゲートに電荷が注入されて「0」の
状態となり、この注入された電荷によってメモリセルの
閾値が変調、例えば大きくなり、この変化がセンスアン
プによって検出され、データが読み出されることとな
る。
ードラインWLが選択されると、これにゲートが接続され
ているメモリセルトランジスタのゲートがアクティブ状
態となり、ゲート電圧が閾値に達したメモリセルトラン
ジスタからはVSSライン6,6、共有のソース電位供給
ライン5を通じてソース電位がビットラインBLに供給さ
れる。列アドレスデコーダ2にてビットラインBLが選択
され、選択されたビットラインBLのデータがセンスアン
プ3で増幅され出力される。
メモリセルとVSSライン6,6から遠く位置するメモリ
セルとにおけるメモリセルの閾値と電源電圧VCCとの関
係を示すグラフであり、横軸に電源電圧VCCを、また縦
軸に閾値をとって示してある。グラフ中実線はVSSライ
ン6,6の近くに位置するメモリセルの、また破線は遠
く位置するメモリセルの各閾値を示している。
6,6の近くに位置するメモリセルの閾値は高く、遠く
に位置するメモリセルの閾値は低くなっていることが解
る。このような差が生じる原因は、このメモリセルの閾
値はデータを書込むデータプログラム時間にも依存する
が、前述した如くメモリセルトランジスタのソースが共
有のソース電位供給ライン5に接続されている場合、V
SSライン6,6からの距離が各メモリセル夫々によって
異なっているため、ソース抵抗値もこれに対応して異な
ることによるものであって、この結果VSSライン6,6
に近いメモリセルとVSSライン6,6から遠いメモリセ
ルとでは夫々の閾値, アクセスタイムが異なってくるこ
とによる。
鑑みなされたものであって、その目的とするところはソ
ース電位を共有するメモリセルトランジスタを持つメモ
リセルからのデータの読み出しを行う場合も、VSSライ
ンから各メモリセル迄の距離の差に起因してソース電位
に差が存在していても均一な読出し特性が設けられ、信
頼性を大幅に高める半導体記憶装置を提供するにある。
体記憶装置は、電圧源に接続された共有のソース電位供
給ラインに夫々ビット線を介してソースを接続されたメ
モリセルを構成するトランジスタを備え、アドレスデコ
ーダの選択に基づき前記メモリセルのデータをセンスア
ンプを通じて読み出すようにした半導体記憶装置におい
て、アドレスデコーダからの信号に基づき各メモリセル
と前記電圧源との距離に対応してソース電位をセンスア
ンプにて補正するようにしたことを特徴とする。
圧源に接続された共有のソース電位供給ラインに夫々ビ
ット線を介してソースを接続されたメモリセルを構成す
るトランジスタを備え、アドレスデコーダの選択に基づ
き前記メモリセルのデータをセンスアンプを通じて読み
出すようにした半導体記憶装置において、アドレスデコ
ーダからの信号をこれに対応したディジタル/アナログ
信号に変換するD/A コンバータと、該D/A コンバータに
基づきセンスアンプにおける電流検出用トランジスタの
利得係数を前記電圧源から各メモリセルに至る距離に対
応して調整することを特徴とする。
との間の距離の差に起因するソース電位の差がセンスア
ンプにより補正されることとなる。第2の本発明にあっ
ては、D/Aコンバータに基づきセンスアンプ内におけ
る電流検出用トランジスタの利得係数を、電圧源と各メ
モリセルとの距離に対応して微調整することが可能とな
る。
具体的に説明する。図3は本発明に係る半導体記憶装置
の模式図であり、図中1はメモリセルアレイ、2は列ア
ドレスデコーダ、3はセンスアンプ、4は行アドレスデ
コーダを夫々を示している。
成されるメモリセルトランジスタを持つ多数のメモリセ
ルをm行,n列のマトリックス状に配列して構成されて
おり、同じ行のメモリセルトランジスタQM はそのゲー
トをワード線WLを介して行アドレスデコーダ4に、また
ソースはポリシリコンからなる共有のソース電位供給ラ
イン5を介してメモリセルアレイ1の両側に沿って配設
したVSSライン6,6に、更にドレインは途中に列アド
レスデコーダ2にて制御されるセレクト用トランジスタ
Q1 〜Qn を介装させたビット線BLを介してセンスアン
プ3に接続されている。そして列アドレスデコーダ2か
らセンスアンプ3にはソース電位差を補正するためのセ
ンスアンプ補正信号が出力されるようになっている。
の補正回路の具体的構成を示す回路図であり、図4にお
いて11はカレントミラー回路で構成される動作アンプ、
12は閾値変更回路を示している。動作アンプ11には図示
しないリファレンス用メモリセルからのリファレンス信
号Ref が入力され、またメモリセルトランジスタQMを
構成するnチャネルMOS トランジスタのドレインは途中
にnチャネルMOS トランジスタ21〜23を介在させたビッ
ト線BLにて動作アンプ11に接続され、また動作アンプ11
には閾値変更回路12及び電源電圧VCCが途中にpチャネ
ルMOS トランジスタ24を介在させて接続され、閾値変更
回路12は電源電位VCCに直列接続したpチャネルMOS ト
ランジスタ25,26 を備えており、pチャネルMOS トラン
ジスタ25のゲートは前記列アドレスデコーダ2に接続さ
れ、ここに列アドレスデコーダ2からセンスアンプ補正
信号が入力され、またpチャネルMOS トランジスタ26の
ゲートはそのソース側に夫々接続されている。
スタQM を構成するnチャネルMOSトランジスタからデ
ータ信号が、また閾値変更回路12から閾値補正信号が、
更にリファレンス用メモリセルトランジスタからのリフ
ァレンス信号Ref が夫々入力されており、これらに基づ
いてメモリセルトランジスタQM からのデータ信号が基
準トランジスタのリファレンス信号Ref と等しくなるよ
う補正して出力するようになっている。
動作について具体的に説明する。図3に示すVSSライン
6,6の近くに位置するメモリセルQM が選択された場
合にはセンスアンプ補正信号はローレベルとなり、pチ
ャネルMOS トランジスタ25の利得係数βを大きくし、図
2に実線で示す閾値と等しい読み出し特性が得られる。
またVSSライン6,6から遠くに位置するメモリセルが
選択されたときはセンスアンプ補正信号がハイレベル
「H」となって閾値変更回路12がインアクティブ状態と
なり、pチャネルMOS トランジスタ全体のインピーダン
スが大きく、即ち利得係数βが小さくなり、その結果、
閾値は図2に破線で示す閾値よりも高くなり、実線で示
す閾値に接近した特性を示すこととなる。VSSライン
6,6からどれだけ遠くなったメモリセルに対してセン
スアンプ補正信号をハイレベル「H」とするかは、必要
に応じて設定すればよい。
の増幅回路を示す回路図である。この回路においては閾
値変更回路12におけるpチャネルMOS トランジスタ25の
ゲートにディジタル・アナログ(D/A) 変換器28を設け、
該D/A 変換器28のディジタル信号入力端に列アドレスデ
コーダ2からのセンスアンプ補正信号が入力されるよう
にしてある。
センスアンプ補正信号が入力されると、夫々に対応した
アナログ信号に変換されてpチャネルMOS トランジスタ
25のゲートに印加され、pチャネルMOS トランジスタ25
の利得係数βをVSSライン6,6に近く位置するメモリ
セルから遠くなるに従ってその距離に対応して利得係数
を小さくすべくアナログ的に微調整するようになってい
る。
SSライン6,6から各メモリセル迄の距離の差の如何に
かかわらず、ソース電位差が略均一に補正されることと
なる。他の構成及び動作は図4に示す実施例と実質的に
同じであり、対応する部分に同じ番号を付して説明を省
略する。
源から各メモリセル迄の距離に対応してメモリセルから
の信号を補正することとしているから、メモリセル数を
増大してもその閾値,アクセスタイム等の読出し特性が
変わらず、読出しデータの信頼性を大幅に向上し得る優
れた効果を奏するものである。
応してこれをD/A 変換器によりアナログ信号に変換し、
このアナログ信号によってセンスアンプの電流検出用ト
ランジスタの利得係数を微調節することが可能となり、
より精細な読出し特性の均一化が図れ、信頼性を一層高
め得る等本発明は優れた効果を奏するものである。
ラフである。
ンプの増幅回路図である。
ンプの他の増幅回路図である。
体記憶装置を示すブロック図であり、図中1はメモリセ
ルアレイ、2は列アドレスデコーダ、3はセンスアン
プ、4は行アドレスデコーダを示している。メモリセル
アレイ1は多数のメモリセルをマトリックス状に配列し
て構成されており、同一のビット線BLに連なる各メモリ
セルトランジスタQM を構成するnチャネルMOS トラン
ジスタのドレインは列アドレスデコーダ2により、操作
される図示しないスイッチング素子を介してセンスアン
プ3に接続され、またソースはポリシリコン製の共有の
ソース電位供給ライン5に接続され、またこのソース電
位供給ライン5はその両端部を夫々アルミ製のVSSライ
ン6,6を介して図示しない電圧源に接続されている。
動作について具体的に説明する。図3に示すVSSライン
6,6の近くに位置するメモリセルQM が選択された場
合にはセンスアンプ補正信号はローレベル「L」とな
り、pチャネルMOS トランジスタ25の利得係数βを大き
くし、図2に実線で示す閾値と等しい読み出し特性が得
られる。またVSSライン6,6から遠くに位置するメモ
リセルが選択されたときはセンスアンプ補正信号がハイ
レベル「H」となって閾値変更回路12がインアクティブ
状態となり、pチャネルMOS トランジスタ全体のインピ
ーダンスが大きく、即ち利得係数βが小さくなり、その
結果、閾値は図2に破線で示す閾値よりも高くなり、実
線で示す閾値に接近した特性を示すこととなる。VSSラ
イン6,6からどれだけ遠くなったメモリセルに対して
センスアンプ補正信号をハイレベル「H」とするかは、
必要に応じて設定すればよい。
Claims (2)
- 【請求項1】 電圧源に接続された共有のソース電位供
給ラインに夫々ビット線を介してソースを接続されたメ
モリセルを構成するトランジスタを備え、アドレスデコ
ーダの選択に基づき前記メモリセルのデータをセンスア
ンプを通じて読み出すようにした半導体記憶装置におい
て、 アドレスデコーダからの信号に基づき各メモリセルと前
記電圧源との距離に対応してソース電位をセンスアンプ
にて補正するようにしたことを特徴とする半導体記憶装
置。 - 【請求項2】 電圧源に接続された共有のソース電位供
給ラインに夫々ビット線を介してソースを接続されたメ
モリセルを構成するトランジスタを備え、アドレスデコ
ーダの選択に基づき前記メモリセルのデータをセンスア
ンプを通じて読み出すようにした半導体記憶装置におい
て、 アドレスデコーダからの信号をこれに対応したディジタ
ル/アナログ信号に変換するD/A コンバータと、該D/A
コンバータに基づきセンスアンプにおける電流検出用ト
ランジスタの利得係数を前記電圧源から各メモリセルに
至る距離に対応して調整することを特徴とする半導体記
憶装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16481092A JP2769760B2 (ja) | 1992-06-23 | 1992-06-23 | 半導体記憶装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16481092A JP2769760B2 (ja) | 1992-06-23 | 1992-06-23 | 半導体記憶装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH065086A true JPH065086A (ja) | 1994-01-14 |
JP2769760B2 JP2769760B2 (ja) | 1998-06-25 |
Family
ID=15800352
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16481092A Expired - Lifetime JP2769760B2 (ja) | 1992-06-23 | 1992-06-23 | 半導体記憶装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2769760B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100327345B1 (ko) * | 1999-04-08 | 2002-03-06 | 윤종용 | 가변 전류 이득 특성을 갖는 입출력 센스앰프를 구비한메모리 장치 |
KR20030030824A (ko) * | 2001-10-12 | 2003-04-18 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | 소스 전위를 제어하여 프로그램 동작을 최적화한 불휘발성메모리 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6353799A (ja) * | 1986-08-25 | 1988-03-08 | Hitachi Ltd | 半導体記憶装置 |
-
1992
- 1992-06-23 JP JP16481092A patent/JP2769760B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6353799A (ja) * | 1986-08-25 | 1988-03-08 | Hitachi Ltd | 半導体記憶装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100327345B1 (ko) * | 1999-04-08 | 2002-03-06 | 윤종용 | 가변 전류 이득 특성을 갖는 입출력 센스앰프를 구비한메모리 장치 |
KR20030030824A (ko) * | 2001-10-12 | 2003-04-18 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | 소스 전위를 제어하여 프로그램 동작을 최적화한 불휘발성메모리 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2769760B2 (ja) | 1998-06-25 |
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