JPH065086A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

Info

Publication number
JPH065086A
JPH065086A JP16481092A JP16481092A JPH065086A JP H065086 A JPH065086 A JP H065086A JP 16481092 A JP16481092 A JP 16481092A JP 16481092 A JP16481092 A JP 16481092A JP H065086 A JPH065086 A JP H065086A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
memory cell
sense amplifier
address decoder
memory device
source
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP16481092A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2769760B2 (ja
Inventor
Shozo Shirota
省三 城田
Takahiro Otsuka
隆広 大塚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP16481092A priority Critical patent/JP2769760B2/ja
Publication of JPH065086A publication Critical patent/JPH065086A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2769760B2 publication Critical patent/JP2769760B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Semiconductor Memories (AREA)
  • Non-Volatile Memory (AREA)
  • Read Only Memory (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 VSSラインと各メモリセルとの間の距離の差
に起因する読出し特性の変化を抑制し、その均一化を図
る。 【構成】 メモリセルから読み出したデータ信号を列ア
ドレスデコーダ2からの信号に基づき動作するセンスア
ンプ3中の動作アンプ11にて補正し、出力することでV
SSライン6,6と各メモリセルとの距離の差に起因する
ソース電位差を解消し、読出し特性を均一化する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ソース電位を共有する
メモリセルトランジスタを持つ各メモリセルからの読出
し特性の均一化を可能としたEPROM ,EEPROM等の半導体
記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図1は従来におけるEPROM を備えた半導
体記憶装置を示すブロック図であり、図中1はメモリセ
ルアレイ、2は列アドレスデコーダ、3はセンスアン
プ、4は行アドレスデコーダを示している。メモリセル
アレイ1は多数のメモリセルをマトリックス状に配列し
て構成されており、同一のビット線BLに連なる各メモリ
セルトランジスタQM を構成するnチャネルMOS トラン
ジスタのドレインは列アドレスデコーダ2により、操作
される図示しないスイッチング素子を介してセンスアン
プ3に接続され、またソースはポリシリコン製の共有の
ソース電位供給ライン5に接続され、またこのソース電
位供給ライン5はその両端部を夫々Al製のVSSライン
6,6を介して図示しない電圧源に接続されている。
【0003】次にこのような従来の半導体記憶装置の動
作を説明する。この種のEPROM を有するメモリセルにあ
っては、通常データの書込みがない状態ではメモリセル
を構成するトランジスタのフローティングゲートに電荷
が注入されていない「1」の状態に保持され、またデー
タが書込まれるとそのメモリセルを構成するトランジス
タのフローティングゲートに電荷が注入されて「0」の
状態となり、この注入された電荷によってメモリセルの
閾値が変調、例えば大きくなり、この変化がセンスアン
プによって検出され、データが読み出されることとな
る。
【0004】即ち、行アドレスデコーダ4にて所定のワ
ードラインWLが選択されると、これにゲートが接続され
ているメモリセルトランジスタのゲートがアクティブ状
態となり、ゲート電圧が閾値に達したメモリセルトラン
ジスタからはVSSライン6,6、共有のソース電位供給
ライン5を通じてソース電位がビットラインBLに供給さ
れる。列アドレスデコーダ2にてビットラインBLが選択
され、選択されたビットラインBLのデータがセンスアン
プ3で増幅され出力される。
【0005】図2はVSSライン6,6の近くに位置する
メモリセルとVSSライン6,6から遠く位置するメモリ
セルとにおけるメモリセルの閾値と電源電圧VCCとの関
係を示すグラフであり、横軸に電源電圧VCCを、また縦
軸に閾値をとって示してある。グラフ中実線はVSSライ
ン6,6の近くに位置するメモリセルの、また破線は遠
く位置するメモリセルの各閾値を示している。
【0006】このグラフから明らかな如く、VSSライン
6,6の近くに位置するメモリセルの閾値は高く、遠く
に位置するメモリセルの閾値は低くなっていることが解
る。このような差が生じる原因は、このメモリセルの閾
値はデータを書込むデータプログラム時間にも依存する
が、前述した如くメモリセルトランジスタのソースが共
有のソース電位供給ライン5に接続されている場合、V
SSライン6,6からの距離が各メモリセル夫々によって
異なっているため、ソース抵抗値もこれに対応して異な
ることによるものであって、この結果VSSライン6,6
に近いメモリセルとVSSライン6,6から遠いメモリセ
ルとでは夫々の閾値, アクセスタイムが異なってくるこ
とによる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明はかかる事情に
鑑みなされたものであって、その目的とするところはソ
ース電位を共有するメモリセルトランジスタを持つメモ
リセルからのデータの読み出しを行う場合も、VSSライ
ンから各メモリセル迄の距離の差に起因してソース電位
に差が存在していても均一な読出し特性が設けられ、信
頼性を大幅に高める半導体記憶装置を提供するにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】第1の本発明に係る半導
体記憶装置は、電圧源に接続された共有のソース電位供
給ラインに夫々ビット線を介してソースを接続されたメ
モリセルを構成するトランジスタを備え、アドレスデコ
ーダの選択に基づき前記メモリセルのデータをセンスア
ンプを通じて読み出すようにした半導体記憶装置におい
て、アドレスデコーダからの信号に基づき各メモリセル
と前記電圧源との距離に対応してソース電位をセンスア
ンプにて補正するようにしたことを特徴とする。
【0009】第2の本発明に係る半導体記憶装置は、電
圧源に接続された共有のソース電位供給ラインに夫々ビ
ット線を介してソースを接続されたメモリセルを構成す
るトランジスタを備え、アドレスデコーダの選択に基づ
き前記メモリセルのデータをセンスアンプを通じて読み
出すようにした半導体記憶装置において、アドレスデコ
ーダからの信号をこれに対応したディジタル/アナログ
信号に変換するD/A コンバータと、該D/A コンバータに
基づきセンスアンプにおける電流検出用トランジスタの
利得係数を前記電圧源から各メモリセルに至る距離に対
応して調整することを特徴とする。
【0010】
【作用】第1の本発明にあっては、電圧源とメモリセル
との間の距離の差に起因するソース電位の差がセンスア
ンプにより補正されることとなる。第2の本発明にあっ
ては、D/Aコンバータに基づきセンスアンプ内におけ
る電流検出用トランジスタの利得係数を、電圧源と各メ
モリセルとの距離に対応して微調整することが可能とな
る。
【0011】
【実施例】以下本発明をその実施例を示す図面に基づき
具体的に説明する。図3は本発明に係る半導体記憶装置
の模式図であり、図中1はメモリセルアレイ、2は列ア
ドレスデコーダ、3はセンスアンプ、4は行アドレスデ
コーダを夫々を示している。
【0012】メモリセルアレイ1は、例えばEPROM で構
成されるメモリセルトランジスタを持つ多数のメモリセ
ルをm行,n列のマトリックス状に配列して構成されて
おり、同じ行のメモリセルトランジスタQM はそのゲー
トをワード線WLを介して行アドレスデコーダ4に、また
ソースはポリシリコンからなる共有のソース電位供給ラ
イン5を介してメモリセルアレイ1の両側に沿って配設
したVSSライン6,6に、更にドレインは途中に列アド
レスデコーダ2にて制御されるセレクト用トランジスタ
1 〜Qn を介装させたビット線BLを介してセンスアン
プ3に接続されている。そして列アドレスデコーダ2か
らセンスアンプ3にはソース電位差を補正するためのセ
ンスアンプ補正信号が出力されるようになっている。
【0013】図4はセンスアンプ3におけるソース電位
の補正回路の具体的構成を示す回路図であり、図4にお
いて11はカレントミラー回路で構成される動作アンプ、
12は閾値変更回路を示している。動作アンプ11には図示
しないリファレンス用メモリセルからのリファレンス信
号Ref が入力され、またメモリセルトランジスタQM
構成するnチャネルMOS トランジスタのドレインは途中
にnチャネルMOS トランジスタ21〜23を介在させたビッ
ト線BLにて動作アンプ11に接続され、また動作アンプ11
には閾値変更回路12及び電源電圧VCCが途中にpチャネ
ルMOS トランジスタ24を介在させて接続され、閾値変更
回路12は電源電位VCCに直列接続したpチャネルMOS ト
ランジスタ25,26 を備えており、pチャネルMOS トラン
ジスタ25のゲートは前記列アドレスデコーダ2に接続さ
れ、ここに列アドレスデコーダ2からセンスアンプ補正
信号が入力され、またpチャネルMOS トランジスタ26の
ゲートはそのソース側に夫々接続されている。
【0014】動作アンプ11には前記メモリセルトランジ
スタQM を構成するnチャネルMOSトランジスタからデ
ータ信号が、また閾値変更回路12から閾値補正信号が、
更にリファレンス用メモリセルトランジスタからのリフ
ァレンス信号Ref が夫々入力されており、これらに基づ
いてメモリセルトランジスタQM からのデータ信号が基
準トランジスタのリファレンス信号Ref と等しくなるよ
う補正して出力するようになっている。
【0015】このような本発明に係る半導体記憶装置の
動作について具体的に説明する。図3に示すVSSライン
6,6の近くに位置するメモリセルQM が選択された場
合にはセンスアンプ補正信号はローレベルとなり、pチ
ャネルMOS トランジスタ25の利得係数βを大きくし、図
2に実線で示す閾値と等しい読み出し特性が得られる。
またVSSライン6,6から遠くに位置するメモリセルが
選択されたときはセンスアンプ補正信号がハイレベル
「H」となって閾値変更回路12がインアクティブ状態と
なり、pチャネルMOS トランジスタ全体のインピーダン
スが大きく、即ち利得係数βが小さくなり、その結果、
閾値は図2に破線で示す閾値よりも高くなり、実線で示
す閾値に接近した特性を示すこととなる。VSSライン
6,6からどれだけ遠くなったメモリセルに対してセン
スアンプ補正信号をハイレベル「H」とするかは、必要
に応じて設定すればよい。
【0016】図5は本発明におけるセンスアンプ3の他
の増幅回路を示す回路図である。この回路においては閾
値変更回路12におけるpチャネルMOS トランジスタ25の
ゲートにディジタル・アナログ(D/A) 変換器28を設け、
該D/A 変換器28のディジタル信号入力端に列アドレスデ
コーダ2からのセンスアンプ補正信号が入力されるよう
にしてある。
【0017】D/A 変換器28に列アドレスデコーダ2から
センスアンプ補正信号が入力されると、夫々に対応した
アナログ信号に変換されてpチャネルMOS トランジスタ
25のゲートに印加され、pチャネルMOS トランジスタ25
の利得係数βをVSSライン6,6に近く位置するメモリ
セルから遠くなるに従ってその距離に対応して利得係数
を小さくすべくアナログ的に微調整するようになってい
る。
【0018】これによって動作アンプ11からの出力はV
SSライン6,6から各メモリセル迄の距離の差の如何に
かかわらず、ソース電位差が略均一に補正されることと
なる。他の構成及び動作は図4に示す実施例と実質的に
同じであり、対応する部分に同じ番号を付して説明を省
略する。
【0019】
【発明の効果】以上の如く第1の本発明にあっては電圧
源から各メモリセル迄の距離に対応してメモリセルから
の信号を補正することとしているから、メモリセル数を
増大してもその閾値,アクセスタイム等の読出し特性が
変わらず、読出しデータの信頼性を大幅に向上し得る優
れた効果を奏するものである。
【0020】第2の本発明にあってはアドレス信号に対
応してこれをD/A 変換器によりアナログ信号に変換し、
このアナログ信号によってセンスアンプの電流検出用ト
ランジスタの利得係数を微調節することが可能となり、
より精細な読出し特性の均一化が図れ、信頼性を一層高
め得る等本発明は優れた効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来装置のブロック図である。
【図2】電源電圧とメモリセルの閾値との関係を示すグ
ラフである。
【図3】本発明に係る半導体記憶装置の模式図である。
【図4】本発明に係る半導体記憶装置におけるセンスア
ンプの増幅回路図である。
【図5】本発明に係る半導体記憶装置におけるセンスア
ンプの他の増幅回路図である。
【符号の説明】
1 メモリセルアレイ 2 列アドレスデコーダ 3 センスアンプ 4 行アドレスデコーダ 5 ソース電位供給ライン 6 VSSライン 11 動作アンプ 12 閾値変更回路 QM メモリセルトランジスタ 21〜23 nチャネルMOS トランジスタ 24〜26 pチャネルMOS トランジスタ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成4年11月4日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0002
【補正方法】変更
【補正内容】
【0002】
【従来の技術】図1は従来におけるEPROM を備えた半導
体記憶装置を示すブロック図であり、図中1はメモリセ
ルアレイ、2は列アドレスデコーダ、3はセンスアン
プ、4は行アドレスデコーダを示している。メモリセル
アレイ1は多数のメモリセルをマトリックス状に配列し
て構成されており、同一のビット線BLに連なる各メモリ
セルトランジスタQM を構成するnチャネルMOS トラン
ジスタのドレインは列アドレスデコーダ2により、操作
される図示しないスイッチング素子を介してセンスアン
プ3に接続され、またソースはポリシリコン製の共有の
ソース電位供給ライン5に接続され、またこのソース電
位供給ライン5はその両端部を夫々アルミ製のVSSライ
ン6,6を介して図示しない電圧源に接続されている。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0015
【補正方法】変更
【補正内容】
【0015】このような本発明に係る半導体記憶装置の
動作について具体的に説明する。図3に示すVSSライン
6,6の近くに位置するメモリセルQM が選択された場
合にはセンスアンプ補正信号はローレベル「L」とな
り、pチャネルMOS トランジスタ25の利得係数βを大き
くし、図2に実線で示す閾値と等しい読み出し特性が得
られる。またVSSライン6,6から遠くに位置するメモ
リセルが選択されたときはセンスアンプ補正信号がハイ
レベル「H」となって閾値変更回路12がインアクティブ
状態となり、pチャネルMOS トランジスタ全体のインピ
ーダンスが大きく、即ち利得係数βが小さくなり、その
結果、閾値は図2に破線で示す閾値よりも高くなり、実
線で示す閾値に接近した特性を示すこととなる。VSS
イン6,6からどれだけ遠くなったメモリセルに対して
センスアンプ補正信号をハイレベル「H」とするかは、
必要に応じて設定すればよい。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 29/792 H01L 29/78 371

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電圧源に接続された共有のソース電位供
    給ラインに夫々ビット線を介してソースを接続されたメ
    モリセルを構成するトランジスタを備え、アドレスデコ
    ーダの選択に基づき前記メモリセルのデータをセンスア
    ンプを通じて読み出すようにした半導体記憶装置におい
    て、 アドレスデコーダからの信号に基づき各メモリセルと前
    記電圧源との距離に対応してソース電位をセンスアンプ
    にて補正するようにしたことを特徴とする半導体記憶装
    置。
  2. 【請求項2】 電圧源に接続された共有のソース電位供
    給ラインに夫々ビット線を介してソースを接続されたメ
    モリセルを構成するトランジスタを備え、アドレスデコ
    ーダの選択に基づき前記メモリセルのデータをセンスア
    ンプを通じて読み出すようにした半導体記憶装置におい
    て、 アドレスデコーダからの信号をこれに対応したディジタ
    ル/アナログ信号に変換するD/A コンバータと、該D/A
    コンバータに基づきセンスアンプにおける電流検出用ト
    ランジスタの利得係数を前記電圧源から各メモリセルに
    至る距離に対応して調整することを特徴とする半導体記
    憶装置。
JP16481092A 1992-06-23 1992-06-23 半導体記憶装置 Expired - Lifetime JP2769760B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16481092A JP2769760B2 (ja) 1992-06-23 1992-06-23 半導体記憶装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16481092A JP2769760B2 (ja) 1992-06-23 1992-06-23 半導体記憶装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH065086A true JPH065086A (ja) 1994-01-14
JP2769760B2 JP2769760B2 (ja) 1998-06-25

Family

ID=15800352

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16481092A Expired - Lifetime JP2769760B2 (ja) 1992-06-23 1992-06-23 半導体記憶装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2769760B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100327345B1 (ko) * 1999-04-08 2002-03-06 윤종용 가변 전류 이득 특성을 갖는 입출력 센스앰프를 구비한메모리 장치
KR20030030824A (ko) * 2001-10-12 2003-04-18 후지쯔 가부시끼가이샤 소스 전위를 제어하여 프로그램 동작을 최적화한 불휘발성메모리

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6353799A (ja) * 1986-08-25 1988-03-08 Hitachi Ltd 半導体記憶装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6353799A (ja) * 1986-08-25 1988-03-08 Hitachi Ltd 半導体記憶装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100327345B1 (ko) * 1999-04-08 2002-03-06 윤종용 가변 전류 이득 특성을 갖는 입출력 센스앰프를 구비한메모리 장치
KR20030030824A (ko) * 2001-10-12 2003-04-18 후지쯔 가부시끼가이샤 소스 전위를 제어하여 프로그램 동작을 최적화한 불휘발성메모리

Also Published As

Publication number Publication date
JP2769760B2 (ja) 1998-06-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4371956A (en) Semiconductor device
US6519195B2 (en) Semiconductor integrated circuit
US4551820A (en) Dynamic RAM integrated circuit device
US5056063A (en) Active sense amplifier with dynamic pre-charge transistor
GB2318230A (en) A ferroelectric memory device and a nondestructive accessing method thereof
US5130945A (en) Content addressable memory combining match comparisons of a plurality of cells
KR20010070137A (ko) 반도체 기억 장치
EP0661709B1 (en) Semiconductor memory having a high speed sense amplifier
US5025417A (en) Semiconductor memory device capable of preventing data of non-selected memory cell from being degraded
JP2573380B2 (ja) 不揮発性半導体メモリ
JPH05217387A (ja) 半導体メモリ装置
US6466501B2 (en) Semiconductor memory device having sense amplifier and method for driving sense amplifier
US5777925A (en) Semiconductor non-volatile memory device
US5265061A (en) Apparatus for preventing glitch for semiconductor non-volatile memory device
US5835403A (en) Multiplication of storage capacitance in memory cells by using the Miller effect
JPH065086A (ja) 半導体記憶装置
US4541077A (en) Self compensating ROM circuit
US5525918A (en) Pre-sense amplifier for monolithic memories
US5016218A (en) Nonvolatile memory with data write circuitry to reduce write errors
JP2876799B2 (ja) 半導体記憶装置
JP2676989B2 (ja) Nand型マスクrom
JPH01100797A (ja) Rom回路
JPH05120881A (ja) 半導体記憶装置
JP3238481B2 (ja) 半導体読み出し専用記憶装置
JP3197858B2 (ja) 半導体メモリ装置

Legal Events

Date Code Title Description
S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080417

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090417

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090417

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100417

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100417

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110417

Year of fee payment: 13

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110417

Year of fee payment: 13

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110417

Year of fee payment: 13

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120417

Year of fee payment: 14

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120417

Year of fee payment: 14

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130417

Year of fee payment: 15

EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130417

Year of fee payment: 15