JPH05217387A - 半導体メモリ装置 - Google Patents

半導体メモリ装置

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JPH05217387A
JPH05217387A JP2014092A JP2014092A JPH05217387A JP H05217387 A JPH05217387 A JP H05217387A JP 2014092 A JP2014092 A JP 2014092A JP 2014092 A JP2014092 A JP 2014092A JP H05217387 A JPH05217387 A JP H05217387A
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power supply
supply voltage
sense amplifier
signal
memory cell
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JP2014092A
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Masayuki Yamashita
正之 山下
Tatsunori Koshiyou
辰記 古庄
Yasuhiro Korogi
泰宏 興梠
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】 【構成】 改善されたフラッシュEEPROMであっ
て、外部から与えられる電源電圧Vccの低い範囲での
データ信号の検出に適した検出特性を有するセンスアン
プ7と、Vccの高い範囲でのデータ信号の検出に適し
た検出特性を有するセンスアンプ8とを備える。Vcc
レベル検出器4は、電源電圧Vccがいずれの範囲にあ
るかを検出し、センスアンプ7および8の一方を選択的
に能動化する。 【効果】 電源電圧のレベルに応じてより適した検出特
性を有するセンスアンプを用いてデータ信号の増幅が行
なわれるので、ストアされたデータが正確に読出され得
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、一般に半導体メモリ
装置に関し、特に、変化し得る電源電圧の下で、ストア
されたデータを正確に読出すことのできる半導体メモリ
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、半導体メモリ装置は様々な電子機
器に用いられている。特に、データの消去可能でプログ
ラム可能なEPROM,EEPROMおよびフラッシュ
EEPROMは、フローティングゲートを有する不揮発
性半導体メモリとして知られる。フラッシュEEPRO
Mは、一括消去型(ストアされたデータの全ビットを電
気的にかつ同時に消去するもの)であり、ストアされた
データがバイト単位で消去され得る。これに加えて、1
つのメモリトランジスタにより1つのメモリセルが構成
されるので、半導体基板上の高い集積度が得られる。
【0003】半導体メモリが使用される小型電子機器
は、外部の電源からだけでなく、内部電源、すなわちバ
ッテリにより電源電圧が供給されることが多い。すなわ
ち、外部電源または内部電源のいずれからも選択的に電
源が供給され得る。
【0004】一般に、外部から与えられる電源電圧は、
安定した電圧レベルを有しているが、他方、バッテリの
出力電圧は、放電時間が長くなるにつれて減少される。
言い換えると、バッテリにより電源が供給されるとき、
電源電圧が変化され得る。この発明は、一般に半導体メ
モリに適用可能であるが、以下の記載では、この発明が
一例としてフラッシュEEPROMに適用される場合に
ついて説明する。
【0005】図9は、従来のフラッシュEEPROMの
回路ブロック図である。図9を参照して、EEPROM
200は、行および列に配設された多数のメモリセルM
Cを備えたメモリセルアレイ1と、ワード線X1ないし
Xmを選択的に活性化する行デコーダ2と、アクセスさ
れるべきメモリブロック(または領域)を選択する列デ
コーダ3aと、メモリブロックにおいてアクセスされる
べきビット線を選択する列デコーダ3bと、データ信号
を増幅するためのセンスアンプ5と、出力データDoを
出力するための出力バッファ6とを含む。なお、図9で
は、データ読出のための回路ブロックだけが示されてい
るが、このフラッシュEEPROM200は、データ書
込のための図示されていない回路ブロックをも備えてい
ることが指摘される。
【0006】読出動作において、行デコーダ2は、外部
から与えられる行アドレス信号(図示せず)をデコード
し、ワード線X1ないしXmの1本を選択的に活性化す
る。活性化されたワード線に接続されたメモリセルMC
は、ストアされたデータ信号に従って、ビット線BL1
ないしBLnを接地に接続する。すなわち、各メモリセ
ルMCは、ストアされたデータ信号に応答して、オンま
たはオフする。したがって、ビット線BL1ないしBL
nの電位は、行デコーダ2によりアクセスされたメモリ
セルにストアされたデータに従って、接地電位またはフ
ローティング状態にもたらされる。
【0007】列デコーダ3aは、外部から与えられる列
アドレス信号(図示せず)に応答して、ブロック選択信
号YA1ないしYAiを出力する。ブロック選択のため
のNMOSトランジスタ61ないし6iは、ブロック選
択信号YA1ないしYAiに応答して、選択的にオンす
る。列デコーダ3bも、外部から与えられる列アドレス
信号(図示せず)をデコードし、列選択信号YB1ない
しYBnを出力する。列選択のためのNMOSトランジ
スタ91ないし9nは、列選択信号YB1ないしYBn
に応答して選択的にオンする。
【0008】したがって、列デコーダ3aによって選択
されたメモリブロックから、列デコーダ3bによって選
択された1本のビット線の電位、すなわち読出されたデ
ータ信号がセンスアンプ5に伝えられる。センスアンプ
5は伝えられたデータ信号を増幅し、増幅されたデータ
信号が出力バッファ6を介して出力データDoとして出
力される。
【0009】図10は、図9に示したセンスアンプ5の
回路図である。図10を参照して、センスアンプ5は、
PMOSトランジスタ21,22および23と、NMO
Sトランジスタ24,25および26とを含む。トラン
ジスタ21,22および23は、ゲートが接地されてい
る。トランジスタ24のゲートは信号線27に接続され
る。トランジスタ22および25は、電源電位Vccと
信号線27との間に直列に接続される。トランジスタ2
3および26は、電源電位Vccと信号線27との間に
直列に接続される。信号線27は、図9に示した信号線
27に相当する。トランジスタ23および26の共通接
続ノードを介して、増幅された信号SA 5 が出力され
る。
【0010】次に、データ読出におけるセンスアンプ5
の動作について説明する。まず、行デコーダ2および列
デコーダ3a,3bによって指定されたメモリセルMC
にストアされたデータが「1」である場合について説明
する。この場合ではメモリセルMCを構成するメモリト
ランジスタがオンするものと仮定する。したがって、セ
ンスアンプ5の入力ノードN3への電位が下がるので、
トランジスタ24がオフする。したがって、ノードN2
での電位が上昇するので、トランジスタ25および26
がオンする。トランジスタ25および26のオンによ
り、ノードN3の電位がそれほど低くない低レベルに維
持される。その結果、この場合では出力ノードN1を介
して低レベルの増幅された信号SA5 が出力される。
【0011】上記の動作において、トランジスタ25
は、入力ノードN3の電位が下がりすぎないように働く
ことが指摘される。入力ノードN3の電位が下がりすぎ
ると、次の読出サイクルにおいて反転されたレベル(上
記の場合では高レベル)のデータ信号が読出されたと
き、ビット線の電位の立ち上がりが遅延されるからであ
る。したがって、トランジスタ25は、データを読出す
のに要する時間を短縮するのに貢献することが指摘され
る。
【0012】行デコーダ2および列デコーダ3a,3b
によって指定されたメモリセルMCが「0」をストアし
ている場合では、このメモリセルMCがオフする。した
がって、センスアンプ5の入力ノードN3での電位が高
レベルになるので、トランジスタ24がオンする。した
がって、ノードN2の電位が低レベルになるので、トラ
ンジスタ25および26がオフする。その結果、入力ノ
ードN3の電位が高くなりすぎるのが防がれる。この場
合では、出力ノードN1を介して、高レベルの増幅され
た信号SA5 が出力される。
【0013】図11は、変化する電源電圧Vccの下で
のセンスアンプ5の出力電圧遷移図である。図11を参
照して、横軸は電源電圧Vccの変化を示し、縦軸がセ
ンスアンプ5の出力電圧の変化を示している。図11を
参照して、メモリセルから読出されたデータが「0」で
あるとき、センスアンプ5はラインSA5 0 により示さ
れた出力電圧を出力する。一方、メモリセルがデータ
「1」をストアしているとき、センスアンプ5はライン
SA5 1 により示された出力電圧を出力する。図11に
見られるように、データ「0」の出力電圧SA5 0 およ
びデータ「1」の出力電圧SA5 1 は、電源電圧Vcc
が変化するにつれて変化される。
【0014】これに加えて、図11に示したラインVt
hは、センスアンプ5の出力に接続された次段の回路
(たとえば図9に示した出力バッファ6)のしきい電圧
の変化を示している。すなわち、ラインVthは、セン
スアンプ5の出力電圧を受ける回路、たとえばインバー
タのしきい電圧を示している。
【0015】従来のフラッシュEEPROM200は、
固定された電源電圧Vccの下で適切に動作するよう設
計されている。すなわち、センスアンプ5は、固定され
た電源電圧、たとえばVcc=5ボルトの下で、メモリ
セルからのデータ信号が正しく検出できるように設計さ
れている。言い換えると、従来のセンスアンプ5は、固
定された電源電圧(Vcc=5ボルト)が供給されたと
き、次段に接続された回路のしきい電圧Vthに適した
出力データ信号SA5 0 およびSA5 1 を出力する。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】したがって、電子機器
が内部電源としてのバッテリにより電源電圧を供給され
ているとき、バッテリの放電時間の経過に従って出力電
圧が次第に低くなる。このことは、半導体メモリへ供給
される電源電圧Vccが次第に低くなることを意味す
る。図11から理解されるように、センスアンプ5の出
力電圧SA5 0 およびSA5 1 および次段の回路のしき
い電圧Vthは、5ボルトの電源電圧Vccの供給の下
で最適なように設計されている。言い換えると、5ボル
トの電源電圧の下で、正しいデータの読出が行なわれる
ように設計されている。供給される電源電圧Vccの低
下により、センスアンプ5の出力電圧SA5 0 およびS
5 1と次段の回路のしきい定電圧Vthとの間の関係
が、図11において矢印ARに示した方向に変化するの
で、データ読出のための最適な関係が壊される。特に、
電源電圧Vccが3ボルト近く以下に低下した場合で
は、いずれの出力電圧SA 5 0 およびSA5 1 もしきい
電圧Vthを越える。このことは、このような電源電圧
Vccの下ではすべてのデータが「0」として読出され
ることを意味する。言い換えると、電源電圧Vccの低
下により、データ読出において誤りが引き起こされる。
【0017】上記のような問題をさけるためには、3ボ
ルトの電源電圧Vccの下で最適な検出特性を有するセ
ンスアンプを備えた別の半導体メモリを追加的に設ける
という対策が考えられるが、小型電子機器において用い
られる半導体装置の数が増加し、スペースの面およびコ
ストの面からも好ましくない。
【0018】この発明は、上記のような課題を解決する
ためになされたもので、変化し得る電源電圧の下で動作
し得る半導体メモリ装置において、ストアされたデータ
を正確に読出すことを目的とする。
【0019】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明に係る半
導体メモリ装置は、行および列に配設された複数のメモ
リセルを備えたメモリセルアレイと、メモリセルアレイ
から出力されたデータ信号をそれぞれ受けるように接続
された第1および第2のセンスアンプとを含む。第1の
センスアンプは、電源電圧の予め定められた低い範囲で
のデータ信号の検出に適した検出特性を有する。第2の
センスアンプは、電源電圧の予め定められた高い範囲で
のデータ信号の検出に適した検出特性を有する。この半
導体メモリ装置は、さらに、外部から与えられる電源電
圧のレベルが予め定められた低い範囲または予め定めら
れた高い範囲のいずれに存在するかを検出する電源電圧
レベル検出手段と、電源電圧レベル検出手段に応答し
て、第1および第2のセンスアンプの一方を選択的に能
動化する選択的能動化手段とを含む。
【0020】請求項2の発明に係る半導体メモリ装置
は、行および列に配設された複数のメモリセルを備えた
メモリセルアレイと、第1の入力ノードがメモリセルア
レイから出力されたデータ信号を受けるように接続され
た差動センスアンプと、低い基準電圧および高い基準電
圧をそれぞれ発生する第1および第2の基準電圧源と、
外部から与えられる電源電圧のレベルが予め定められた
低い範囲または予め定められた高い範囲のいずれに存在
するかを検出する電源電圧レベル検出手段と、電源電圧
レベル検出手段に応答して、第1および第2の基準電圧
の一方を選択的に差動センスアンプの第2の入力ノード
に与える選択的供与手段とを含む。
【0021】
【作用】請求項1の発明における半導体メモリ装置で
は、電源電圧レベル検出手段が、外部から与えられる電
源電圧のレベルが存在する範囲を検出し、選択的能動化
手段が検出結果に応答して第1および第2のセンスアン
プの一方を選択的に能動かする。したがって、外部から
与えられる電源電圧のレベルに適した検出特性を有する
センスアンプにより、メモリセルアレイから出力された
データ信号が増幅されるので、データ信号の正確な読出
が実現され得る。
【0022】請求項2の発明における半導体メモリ装置
では、電源電圧レベル検出手段が、外部から与えられる
電源電圧のレベルの範囲を検出し、選択的供与手段が検
出結果に応答して第1および第2の基準電圧の一方を選
択的に差動センスアンプの第2の入力ノードに与える。
したがって、外部から与えられる電源電圧が変化して
も、差動センスアンプが、供給される電源電圧に従って
与えられる基準電圧に基づいて、メモリセルアレイから
出力されたデータ信号を増幅するので、データ信号の正
確な読出が実現され得る。
【0023】
【実施例】図1は、この発明の一実施例を示すフラッシ
ュEEPROMの回路ブロック図である。図1を参照し
て、このフラッシュEEPROM100は、外部から与
えられる電源電圧のレベルの範囲を検出する電源電圧レ
ベル検出器(以下「Vccレベル検出器」という)4
と、電源電圧の低い範囲において最適化されたセンスア
ンプ7と、電源電圧の高い範囲において最適化されたセ
ンスアンプ8とを含む。他の回路構成は、図9に示した
従来のフラッシュEEPROM200と同様であるの
で、説明は省略される。ライン100は半導体基板をも
示している。
【0024】動作において、Vccレベル検出器4は、
外部から与えられる電源電圧Vccのレベルが、予め定
められた低い範囲または予め定められた高い範囲のいず
れに存在するかを検出する。すなわち、この実施例で
は、Vccレベル検出器4は、電源電圧Vccが4ボル
ト以下であるとき、低レベルの信号VSを出力する。セ
ンスアンプ7は、信号VSに応答して能動化され、一
方、センスアンプ8は反転された信号/VSに応答して
不能化される。したがって、4ボルト以下の電源電圧V
ccの下で、センスアンプ7がメモリセルアレイ1から
読出されたデータ信号を増幅し、増幅された信号を出力
バッファ6に与える。
【0025】4ボルトを越える電源電圧Vccが供給さ
れたとき、Vccレベル検出器4は高レベルの信号VS
を出力する。センスアンプ7は、信号VSに応答て不能
化され、一方、センスアンプ8は、反転された信号/V
Sに応答して能動化される。したがって、4ボルトを越
える電源電圧Vccの下で、センスアンプ8がデータ信
号を増幅し、増幅された信号を出力バッファ6に与え
る。
【0026】図2は、図1に示したVccレベル検出器
4およびセンスアンプ7および8の回路図である。図2
を参照して、Vccレベル検出器4は、外部から与えら
れる電源電圧Vccと接地との間に直列に接続されたP
MOSトランジスタ41およびNMOSトランジスタ4
2,43と、インバータ44とを含む。トランジスタ4
1はゲートか接地される。各トランジスタ42および4
3は、ゲートとドレインとが一体接続される。
【0027】各センスアンプ7および8は、図10に示
したセンスアンプ5と同じ回路構成を有しているので、
増幅動作は同様に行なわれる。しかしながら、センスア
ンプ7は、3ボルトの電源電圧Vccの下での増幅に適
した検出動作を有しており、一方、センスアンプ8は、
5ボルトの電源電圧Vccの下での増幅に適した検出特
性を有している。言い換えると、センスアンプ7および
8は、異なった電源電圧Vccの下で、データ信号を最
適に検出できるよう異なった検出特性を有している。
【0028】センスアンプ7は、PMOSトランジスタ
71,72および73と、NMOSトランジスタ74,
75および76とを含む。トランジスタ71,72およ
び73のゲートは、Vccレベル検出器4から出力され
る信号VSを受ける。センスアンプ8は、PMOSトラ
ンジスタ81,82および83と、NMOSトランジス
タ84,85および86とを含む。トランジスタ81,
82および83のゲートは、反転された信号/VSを受
ける。
【0029】図3は、変化する電源電圧Vccの下での
図2に示したセンスアンプ7の出力電圧遷移図である。
図3を参照して、横軸は電源電圧Vccの変化を示す。
ラインSA7 0 は、データ「0」が読出されるときのセ
ンスアンプ7の出力電圧の変化を示す。一方、ラインS
7 1 は、データ「1」が読出されるときのセンスアン
プ7の出力電圧の変化を示す。ラインVthは、センス
アンプ7の出力に接続される次段の回路のしきい電圧の
変化を示す。図3からわかるように、センスアンプ7
は、3ボルトの電源電圧Vccのもとで、データ信号の
最適な検出特性を有している。すなわち、3ボルトの電
源電圧が供給されたとき、次段の回路のしきい電圧Vt
hが、センスアンプ7の出力電圧SA7 0 およびSA
7 1 の中間に位置する。
【0030】図4は、変化する電源電圧Vccのもとで
の図2に示したセンスアンプ8の出力電圧遷移図であ
る。図4を参照して、ラインSA8 0 は、データ「0」
が出力されるときのセンスアンプ8の出力電圧の変化を
示す。ラインSA8 1 は、データ「1」が読出されると
きのセンスアンプ8の出力電圧の変化を示す。図4から
わかるように、センスアンプ8は、5ボルトの電源電圧
Vccのもとで最適な検出特性を有している。
【0031】図3および図4に示した特性を与えるた
め、センスアンプ7および8内に設けられたトランジス
タ73,76,83および86は、半導体基板上で図5
および図6に示すように形成される。
【0032】図5を参照して、トランジスタ73は、P
型半導体基板内に形成されたNウェル77内に形成され
る。トランジスタ73のゲートは、ポリシリコン配線5
9により形成される。トランジスタ73のソースおよび
ドレインは、Nウェル77内に形成された拡散層57に
より形成される。トランジスタ73のソースは、コンタ
クトホール55を介してアルミ配線51に接続される。
トランジスタ73のドレインは、コンタクトホールを介
してアルミ配線56に接続される。
【0033】トランジスタ76は、P型半導体基板78
内に形成される。トランジスタ76のゲートは、ポリシ
リコン配線60により形成される。トランジスタ76の
ソースおよびドレインは、P型基板78内に形成された
拡散層78により形成される。トランジスタ76のソー
スは、コンタクトホールを介してアルミ配線54に接続
される。トランジスタ76のドレインは、コンタクトホ
ールを介してアルミ配線56に接続される。
【0034】アルミ配線52上のノードNAは、図2に
示したノードNAに相当する。アルミ配線53上のノー
ドNBは、図2に示したノードNBに相当する。トラン
ジスタ73は、チャネル幅W3およびチャネル長L3を
有している。トランジスタ76は、チャネル幅W6およ
びチャネル長L6を有している。
【0035】図6は、トランジスタ83および86のレ
イアウトを示している。図6に示したレイアウトは図5
に示したものと類似しているので、詳細な説明は省略さ
れる。トランジスタ83は、チャネル幅W3′およびチ
ャネル長L3′を有している。トランジスタ86は、チ
ャネル幅W6′およびチャネル長L6′を有している。
図3および図4に示した検出特性をセンスアンプ7およ
び8に与えるためには、トランジスタ73,76,83
および86の相互コンダクタンスgm3,gm6,gm
3′およびgm6′は、次に示す少なくとも一方の関係
を満たしていることが必要である。
【0036】 gm3<gm3′ …(1) gm6>gm6′ …(2) 不等式(1)または(2)の相互コンダクタンスを与え
るため、トランジスタ73,76,83および86のゲ
ート幅は次のような関係を満たしている。
【0037】 W3<W3′ …(3) W6>W6′ …(4) 不等式(3)および(4)のうち、少なくとも一方の関
係が満足されれば、図3および図4に示した検出特性を
得ることができる。
【0038】不等式(3)および(4)の関係に代え
て、チャネル長について次のような関係を満足する場合
でも同様の検出特性を得ることができる。
【0039】 L3>L3′ …(5) L6<L6′ …(6) 図7は、図2に示したVccレベル検出器4の動作を説
明するための電位遷移図である。図7を参照して、横軸
が時間の経過を示し、縦軸が電位を示す。ラインVcc
は電源電圧Vccの変化を示す。ラインNCは、図2に
示したインバータ44の入力ノードNCでの電位の変化
を示す。ラインVth′は、インバータ44のしきい電
圧の変化を示す。ラインVSは、出力信号VSの変化を
示す。たとえば、電源電圧が図7のラインVccにより
示すように変化された場合では、インバータ44のしき
い電圧はラインVth′により示すように変化する。ト
ランジスタ41は、固定された抵抗値を有する抵抗とし
て働く。各トランジスタ42および43はダイオードと
して働くので、インバータ44の入力ノードでの電位
は、ラインNCにより示すように変化する。すなわち、
ノードNCでの電位は、電源電圧Vccの低い範囲(4
ボルトよりも低い範囲)において電源電圧Vccに比例
しかつ電源電圧Vccの高い範囲(4ボルトを越える範
囲)において飽和される。したがって、電源電圧Vcc
が4ボルトを越えた後は、ノードNCでの電位がインバ
ータ44のしきい電圧Vth′よりも低くなるので、イ
ンバータ44は高レベルの信号VSを出力する。
【0040】図8は、この発明の別の実施例を示すフラ
ッシュEEPROMに適用可能な読出回路のブロック図
である。図8を参照して、この読出回路は、メモリセル
アレイから与えられるデータ信号を増幅する差動センス
アンプ90と、低い基準電圧Vre1を発生する基準電
圧源91と、高い基準電圧Vre2を発生する基準電圧
源92とを含む。基準電圧源91は、Vccレベル検出
器4から出力される低レベルの信号VSに応答して低い
基準電圧Vre1を出力する。基準電圧源92は、低レ
ベルの信号/VSに応答して高い基準電圧Vre2を出
力する。したがって、差動センスアンプ90は、電源電
圧Vccが予め定められた低い範囲(4ボルトよりも低
い範囲)にあるとき、低い基準電圧Vre1を受ける。
逆に、電源電圧Vccが予め定められた高い範囲(4ボ
ルトを越える範囲)にあるとき、差動センスアンプ90
は高い基準電圧Vre2を受ける。差動センスアンプ9
0は、与えられた基準電圧に基づいて、メモリセルアレ
イから出力されたデータ信号を差動的に増幅する。増幅
された信号は出力バッファに与えられる。
【0041】図8に示した実施例においも、電源電圧V
ccが変化した場合でも、差動センスアンプ90に与え
られる基準電圧が変化されるので、正しいデータ読出が
実現され得る。
【0042】このように、図1に示した改善されたフラ
ッシュEEPROM100は、電源電圧Vccの予め定
められた低い範囲でのデータ信号の検出に適した検出特
性を有するセンスアンプ7と、電源電圧Vccの予め定
められた高い範囲でのデータ信号の検出に適した検出特
性を有するセンスアンプ8とを備えている。電源電圧V
ccがいずれの範囲に存在するかが、Vccレベル検出
器4によって検出される。したがって、電源電圧Vcc
が変化されても、より適した検出特性を有するセンスア
ンプ7または8が選択的に能動化されるので、データ信
号の増幅において誤りが発生しない。言い換えると、変
化し得る電源電圧Vccが与えられた場合でも、ストア
されたデータが正確に読出され得る。
【0043】
【発明の効果】以上のように、請求項1の発明によれ
ば、電源電圧が変化された場合でも、より適した検出特
性を有するセンスアンプによりメモリセルからのデータ
信号が増幅されるので、ストアされたデータを正確に読
出することのできる半導体メモリ装置が得られた。
【0044】請求項2の発明によれば、電源電圧が変化
された場合でも、より適した基準電圧に基づいて差動セ
ンスアンプがメモリセルからのデータ信号を増幅するの
で、ストアされたデータを正確に読出すことのできる半
導体メモリ装置が得られた。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例を示すフラッシュEEPR
OMの回路ブロック図である。
【図2】図1に示したVccレベル検出器4およびセン
スアンプ7,8の回路図である。
【図3】変化する電源電圧の下での図2に示したセンス
アンプ7の出力電圧遷移図である。
【図4】変化する電源電圧の下での図2に示したセンス
アンプ8の出力電圧遷移図である。
【図5】図2に示したトランジスタ73および76の半
導体基板上のレイアウト図である。
【図6】図2に示したトランジスタ83および86の半
導体基板上のレイアウト図である。
【図7】図2に示したVccレベル検出器4の動作を説
明するための電位遷移図である。
【図8】この発明の別の実施例を示すフラッシュEEP
ROMの読出回路のブロック図である。
【図9】従来のフラッシュEEPROMの回路ブロック
図である。
【図10】図9に示したセンスアンプ5の回路図であ
る。
【図11】変化する電源電圧の下での図9に示したセン
スアンプ5の出力電圧遷移図である。
【符号の説明】
1 メモリセルアレイ 2 行デコーダ 3a,3b 列デコーダ 4 Vccレベル検出器 7 低電源電圧用センスアンプ 8 高電源電圧用センスアンプ 100 フラッシュEEPROM MC メモリセル

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 外部から与えられかつ変化し得る電源電
    圧の下で動作する半導体メモリ装置であって、 行および列に配設された複数のメモリセルを備えたメモ
    リセルアレイと、 前記メモリセルアレイから出力されたデータ信号をそれ
    ぞれ受けるように接続された第1および第2のセンスア
    ンプとを含み、 前記第1のセンスアンプは、電源電圧の予め定められた
    低い範囲でのデータ信号の検出に適した検出特性を有
    し、 前記第2のセンスアンプは、電源電圧の予め定められた
    高い範囲でのデータ信号の検出に適した検出特性を有
    し、 前記外部から与えられる電源電圧のレベルが前記予め定
    められた低い範囲または前記予め定められた高い範囲の
    いずれに存在するかを検出する電源電圧レベル検出手段
    と、 前記電源電圧レベル検出手段に応答して、前記第1およ
    び第2のセンスアンプの一方を選択的に能動化する選択
    的能動化手段とを含む、半導体メモリ装置。
  2. 【請求項2】 外部から与えられかつ変化し得る電源電
    圧の下で動作する半導体メモリ装置であって、 行および列に配設された複数のメモリセルを備えたメモ
    リセルアレイと、 第1および第2の入力ノードを有し、前記メモリセルア
    レイから出力されたデータ信号を前記第1の入力ノード
    を介して受ける差動センスアンプと、 低い基準電圧および高い基準電圧をそれぞれ発生する第
    1および第2の基準電圧源と、 前記外部から与えられる電源電圧のレベルが予め定めら
    れた低い範囲または予め定められた高い範囲のいずれに
    存在するかを検出する電源電圧レベル検出手段と、 前記電源電圧レベル検出手段に応答して、前記第1およ
    び第2の基準電圧の一方を選択的に前記差動センスアン
    プの前記第2の入力ノードに与える選択的供与手段とを
    含む、半導体メモリ装置。
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