JPH06508207A - 質量流量計信号を変換する方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の名称 質量流量計信号を変換する方法及び装置発明の背景 本発明は、ホスト・プロセス・コントローラからの線形指令信号を変換又は修正 して、非線形応答制御装置を作動させるための方法及び装置に関する。更に特定 すれば、本願は、質量流量コントローラに対する線形質量流量指令信号を修正し て、質量流量コントローラの応答自体が非線形の時でも、質量流量コントローラ が前記指令に応答して、線形な気体質量流量出力が得られるようにする方法及び 装置に関するものである。

従来の熱式質量流量コントローラに関連する問題の１つは、気体流の一部が通迷 するセンサ管周囲に通常は単一又は一対の巻線を備えた熱式質量流量惑知素子の 電気的応答が、そのセンサ管を通る気体又は蒸気の実際の質量流量に対して非線 形であることである。

ドイルの以前の米国特許第４６５８８５５号では、質量流量コントローラが、演 算増幅器、ダイオード及びポテンショメータで構成された複数の精密リミツタを 備えたセグメント発生器を含んでいる。このセグメント発生器は質量流量コント ローラのブリッジ出力信号に断片的な（ｐｉｅｃｅｗｉｓｅ）線形化を与える。

しかしながら、このタイプのセグメント発生器は、質量流量コントローラが製造 される時に手で調整しなければならず、しかも質量流量コントローラを拡散炉の 気体シェルフ又は化学的蒸着装置の気体供給システム、又はプラズマシステム等 に組込む時にも、この手による調整の設定を保持していなければならない。

加えて、前記セグメント発生器は流量曲線に沿って２５５、５０％、７５％及び １００％の４点で調整するのみであるので、それらの点間二非線形な歪が残り、 質量流量コントローラにおいて打ち消されないことがある。

従来の熱式質量流量コントローラは気体シェルフ内で経年劣化するにつれて、即 ち、部品が摩滅したりセンサ管内に物質が蓄積する等のために、それらの応答が 変化するという欠点をも有する。結果として、それらの線形化セグメント発生器 の手による設定が変化しなくても、質量流量コントローラの応答が変動すること もある。

そのようなシステムを再度線形化するためには、従来から気体シェルフの気体配 管内の鉛管取り付は具から質量流量コントローラを取り外す必要があり、そのた めに気体配管を空気中に解放することになり、買置流量コントローラが再び線形 化された時、再度組み立てられた気体システムを焼きあげなければならないとい う必要性がある。これは、ウェハ製造者にとって、時間がかかると共に非常に高 価なものである。場合によっては、ウェハの歩留りが熱式質量流量コントローラ における変化による悪影響を受けるまで、熱式買置流量計の再較正を渋ることに つながる。

ここで必要とされているのは、質量流量コントローラの効果的な現場での再較正 を可能とし、しかも所与の流量指令信号に対して非常に精度の高い応答を供給す る方法及び装置である。

発明の概要 本発明は、質量流量計の信号、より具体的にはスタンドアロン型の質量流量計又 は質量流量コントローラの質量流量測定部分から受け取った非線形な質量流量感 知信号を変換するための方法及び装！を含む。変換された質量流量感知信号は本 発明の装置によって生成され、直接デジタル・コントローラ等のようなホスト・ プロセス・コントローラに供給される。この装置は、熱式質量流量コントローラ と共に用いられる時は、ホスト・プロセス・コントローラからの線形な質量流量 指令信号を受け取り、変換された質量流量指令信号を生成する。該信号は質量流 量指令ノード又は質量流量コントローラの設定点信号ノードによって受け取られ る。このような非線形質量流量指令信号はアナログ信号の形状であり、従来０及 び５ポルトの間のいずれかの値を取り、０ポルトが０質量流量を表わし、５ボル トが１００％即ち当該買置流量コントローラを通る最大流量を表わす。質量流量 指令信号によって駆動されている質量流量コントローラが指令信号に対し非線形 応答を有するとすると、例えば、名目上２０％の流量を表わす１ボルトの信号が 質量流量コントローラに送られる時、質量流量コントローラは線形な質量流量指 令信号に非線形に応答するので、質量流量コントローラは１５に又は２５％の質 特表十Ｇ−５０８２０７（３） 本装置は、マイクロコントローラに接続されている不揮発性メモリに、質量流量 オフセット又は質量流量補正を表わす値の多エンドリ表を記憶しである。この装 置がホスト・プロセス・コントローラから線形な質量流量指令信号を受け取ると 、その線形質置流量指令信号はマイクロコントローラ内のアナログ／デジタル変 換器によってデジタル化される。このデジタル化された流量指令信号に応答して 、マイクロコントローラの処理ユニットはマイクロコントローラの不揮発性メモ リの参照表にアクセスし、マイクロコントローラの処理ユニットはデジタル化さ れた質量流量補正信号を発生する。このデジタル化された質量流量補正信号はマ イクロコントローラ内のデジタル／アナログ変換器に供給される。デジタル／ア ナログ変換器はアナログ流量指令補正信号を生成する。このアナログ流量指令信 号はホスト・プロセス・コントローラから受信された線形質量流量指令補正信号 と加算され、変換された即ち補正された質量流量指令アナログ信号を生成し、こ れが熱式質量流量コントローラの指令ピンに供給される。

熱式質量流量コントローラは感知された質量流量信号を発生するセンサ出力ピン 即ちノードを備え、この信号は質量流量コントローラの非線形な応答によりて乱 される。感知された質量流量信号は前記装置によりて受け取られ、デジタル化さ れる。処理ユニットはＥＦＲＯＭから流量補正値にアクセスする。流量補正値は 、アナログの感知された流量補正信号を生成するデジタル／アナログ変換器に供 給される。このアナログ感知流量補正信号は加算増幅器においてアナログの感知 された質量流量信号から減算され、変換された即ち線形化された質量流量信号を 生成する。この線形化された質量流量信号はホスト・プロセス・コントローラに 供給される。このようにして、ホスト・プロセス・コントローラは線形のＯ〜５ ポルトの質量流量指令信号を送ると共に、ホスト・プロセス・コントローラには 完全に透明な状態で、線形な第２質量流量信号を受け取る。これらの信号は本発 明の装置によって修正され、非線形に応答する質量流量コントローラは線形な　 □信号を扱うホスト・プロセス・コントローラに応答して作動することができる 。

修正されている信号は指令信号であって、ドイルによって教示されているような 流量コントローラ内の内部ブリッジ信号ではない。　１・ＥＦＲＯＭの参照表に 記憶されるデータを発生するために、本発明を具現した較正システムが提供され る。この較正システムは、正弦波信号を用いて１組の校正値全体を掃引する手段 を含んでいる。この正弦波信号は、質量流量コントローラの時定数の約１０倍長 い周期を有する。過去において見出された問題の１つは、質量流量コントローラ を較正するためには、各指令された流量の後に、整定時間を設けなければならな いことである。この整定時間は、例えば、従来の流量コントローラにおいて４個 又は５個の点に対しては３０分以上の較正時間を必要とする。

単一の周波数又は正弦波曲線を用いることによって、２５６個の点のような多数 の点を約３０秒程度の間に高速に掃引し終えることができる。これは、質量流量 コントローラを較正することができる速度の度合いが数段高くなることを表わす 。単一の周波数のみを質量流量コントローラに入力しているので、質量流量コン トローラの時定数に主に起因する遅れは一定な位相シフトを生じる。この位相シ フトを、第１の正弦波掃引の後、較正器によって調和させることができる。第２ の正弦波掃引の後、位相調整された流量信号は１点ずつ設定点と比較され、２５ ６個の点全部の較正表を僅か１分で発生することができる。発生された較正表は デジタル・リンクを通じて本発明の指令信号修正装置に送られ、ここでマイクロ コントローラの不揮発性メモリに記憶される。不揮発性メモリは、１０個までの 表を記憶できる十分な空間を有しており、表の各々は例えば真なる気体種類（例 えば、窒素、ホスフィン、酸素、オキシ塩化燐、ジポラン、六フッ化硫黄、シラ ン等）に対する質量流量較正オフセットを表わすことができる。

本発明の主要な特徴は、線形な指令信号に応答して、非線形質置流量コントロー ラを制御するための補正された指令信号を発生する熱式買置流量指令信号線形化 装置を提供することである。

本発明の別の特徴は、ホスト・プロセス・コントローラに供給するために、買置 流量コントローラによって感知された質量流量信号出力を線形化する装置を提供 することである。

本発明の別の特徴は、単一周波数の正弦波掃引を用いることによって多数の点を 迅速に較正することができる質量流量コントローラ用較正システムを提供するこ とである。

本発明のその他の目的及び利点は、以下の明細書及び特許請求の範囲を添付図面 を参照して精読することにより当業者には明白となろう。

図面の簡単な説明 第１図は本発明を具現化するシステムのブロック図である。

第２図は、第１図に示した信号変換器の概略図である。

第３図は、第２図に示した信号変換器に含まれるマイクロコントローラのブロッ ク図である。

第４図は、ＩＢＭ互換型ＰＣＡＴマイクロコンピュータのＡＴババス接続す　す るため、及び東１図に示した較正器に接続するために構成されたインターフニー （ニ ス基板のブロック図である。

第５図は、並列／直列インターフェースの概略図である。　１□第６図は、ホス ト・プロセッサと較正された質量流量コントローラとの間に接　？続された本発 明の変換器のブロック図である。　１第７図は、起動時にマイクロコントローラ によって実行されるケーブル開始ル　（−チンの流れ図である。　１ 第８図は、起動時にマイクロコントローラによって実行されるチェック・メモ　 ：′す・システム・ルーチンの流れ図である。　１第９図は、起動時にマイクロ コントローラによって実行される１ｎｉｔ　ａｌｌルーチンの流れ図である。

第１０図は、起動時にマイクロコントローラによって実行されるチェック・ス　 □イッチ・ルーチンの流れ図である。

第１１図は、通常の制御動作において、マイクロコントローラによって実行さ　 □れる流量モード・ルーチンの流れ図である。　′第１２１ｊｉ！Ｊは、アナロ グ／デジタル変換器を動作可能にするタイマ・ルーチンの流れ図である。

第１３図は、アナログ／デジタル変換器ルーチンの流れ図である。

ｊＦｒ１４図は、マイクロコントローラが通常の制御モードか或いは較正モード か　□を判定するための流れ図である。

第１５図は、パーソナル・コンピュータとマイクロコントローラとの間の較正情 報の転送を制御するための流れ図である。

第１６図は、較正中に較正システム及び買置流量コントローラからの入力アナロ グ信号を読み取り記憶するためのルーチンの流れ図である。

ｊＦ１１７図は、指定された較正表からの較正データを用いて、流量モードで動 作させるための較正システムからの指令を確認するためのルーチンの流れ図を示 している。

第１８Ａ図及び第１８Ｂ図は、較正システムから本発明装置の揮発性メモリへの 情報転送ルーチンの流れ図である。

第１９図は、揮発性から不揮発性メモリへダウンロードされた較正データを具体 的に転送するルーチンの流れ図である。

第２０Ａ図及び第２０Ｂ図は、不揮発性メモリから較正システムにデータを転送 するルーチンの流れ図である。

第２１図は、ソフトウェア・リセット・ルーチンの流れ図である。

第２２図は、未処理エラーのためのスイッチ・リセット・ルーチンの流れ図であ る。

第２３図は、パーソナル・コンピュータにおいて較正システムを実行するための 主ルーチンの流れ図である。

第２４図は、正弦較正関数を発生すると共に、結果的に得られたデータ補正点を 信号変換器へダウンロードするための較正ルーチンの流れ図である。

好適実施例の詳細な説明 ここで図面、特に第１図を参照すると、本発明を具現した非線型な質量流量計信 号を変換する装置、即ち信号変換器１０がそこに概略的に示されている。

信号変換器１０は、検査対称の質量流量コントローラ１２及び通信アダプタ・カ ード１４に結合されている。被検斎質量流量コントローラ１２は気体ループ１６ に接続され、標準質量流量計１８から気体を受ける。標準質量流量計１８は転送 標準又は二次標準とすることができ、さらにこれはユニット・インストルメンツ 社のＸＣＡＬ−２００自動較正器２０に接続されている。ＣＸＡＬ−２００はＸ ＣＡＬ−２００システムの一部であり、これは、メトラバイト　ダッシュ−１６ 信号処理ボードを有するアイビーエム　ＰＣ／ＡＴパーソナル・コンピュータを 備えたコンピュータ２２を含んでいる。前記ボードは通信バス２４に接続され、 これは更に較正器２０及び第４図に示したタイプの並列インターフェース８に接 続されており、並列インターフェース８は、これも較正器２０に接続されている 通信バス２６に接続されている。ソフトウェア一覧表は２９〜１４０頁にある。

２９〜３４頁及び１１６〜１４０頁に掲載されたソフトウェアは信号変換器１０ 内のマイクロコントローラ上で実行する。３５〜５５ページのソフトウェアは通 信アダプタ１４を制御する。また５６〜６３頁に掲載されたソフトウェアはイン ターフェース８上で実行する。圧縮気体タンク２８を備えた気体源が気体供給線 ３０を介して較正器２０に接続されている。較正器２０は気体供給線３２を介し て気体を二次標準質量流量計１８に送出する。質量流量計１８は通傷線３４によ って質量流量基準信号を較正システムに供給するように接続されており、較正シ ステムはＰＣ／ＡＴコンピュータで実行されるソフトウェアによって制御される ロユニット・インストルメンツＸＣＡＬ−２００システムと共に入手可能な標準 ＵＩＣＡＬＳＹＳソフトウェアが用いられるが、正弦波較正を行うためにパーソ ナル・コンピュータ２２上で実行するＡ−３６〜Ａ−８７頁にあるソフトウェア は用いられない。動作時、コンピュータ２２は指令された流量を選択するように 較正器２０に指令する。流量は標準質量流量計１８によって測定され、較正器２ ０にフィードバックされる。質量流量コントローラの出力信号も較正器２０に供 給され、前記標準と比較され、オフセット値が決定されて較正器２０内のメモリ に記憶される。より具体的には、較正器２０は３個又は４個の点を通過するので はなく、時間に関して正弦波関数である値を有する複数の点を順に通過する。こ の正弦波関数は単一周波数を有する単純な正弦波である。正弦波の周期は、質量 流量コントローラ１２の時定数の約１０倍である。

次に第２図及び第３図は、信号変換器１０をより詳細に示している。信号変換器 １０は、全体的に符号４０で指示されているシダネティクス８７Ｃ５５２マイク ロコントローラを含み、これが７４ＨＣ５７３Ｄであるラッチ４２に接続される と共に、２８Ｃ６５ＥＰＲＯＭメモリ４４にも接続されている。ＥＰＲＯＭメモ リ４４はその中に較正データを記憶するために用いられる。この信号変換器のた めの電力は第１電源４６及び第２電源４８によって供給され、これらの電源は調 整された＋８ボルト、＋５ボルト及び−５ボルトの電位を通常のように発生する 。

動作時、信号変換器は、第６図に最良に見られるように、１対のアナログ信号線 ５０及び５２を介して質量流量コントローラ１２に接続されている。アナログ信 号線５０は補正された、即ち変換された質量流速指令信号を質量流量コントロー ラ１２の設定点ピンに送る。線５２は、補正されていない即ち生の感知された質 量流量２号を買置流量コントローラ１２から信号変換器１０に伝える。信号変換 器１０からホスト・プロセス・コントローラ５６までの線５４は、補正された即 ち変換された線型質量流量感知信号をホスト・プロセス・コントローラ５６に伝 える。ホスト・プロセス・コントローラ５６から信号変換器１０に接続されてい る線５８は線型の質量流量指令信号を信号変換器１０に伝える。線５８及び５４ 上の信号は流量に関して実質的に線型な信号であり、線５０及び５２上の信号は 流量に対して非線型な信号である。

線５８からの線型質量流量指令信号は、演算増幅器６４の非反転入力ピン６２に 接続されている抵抗器６０に供給される。演算増幅器６４は加算増幅器として構 成されており、その出力は線５０に接続されている。線５０は質量流量コントロ ーラ１２の設定点ビンに接続されている。加えて、線５８は線型質量流量信号を フィルタ７０を介して、マイクロコントローラ４０のＡＤＣＯ入カピン７４に接 続されている＄１７２に供給する。その信号はマイクロコントローラ４０に供給 されるが、基板上のアナログ／デジタル変換器７６によって受けとられる。アナ ログ／デジタル変換器７６は８ビツトのデジタル化された信号を生成し、マイク ロコントローラ４０の中央処理ユニット７８に供給する。中央処理ユニット７８ は、ＣＰＵ７８に結合されたシステムバス８２に接続されている８にのＥＰＲＯ Ｍメモリ８０に記憶されている制御プログラムの制御の下で動作する。更にシス テムバス８２に、それぞれ８６及び８８と付番されている線ＰＷＭＯ及びＰＷＭ ｌに出力を供給するパルス幅変調器８４を備えたオンボード型ののデジタル／ア ナログ変換器が結合されている。パルス幅変調された０ビン８６は抵抗器９０に 接続されている。パルス幅変調された１ビン８８は抵抗器９２に接続されている 。

抵抗器９０は、ＬＴＣ１０６２ＣＳである５極低域パターウアース・フィルタ９ ４に接続されている。抵抗器９２は同様の低域５極バターウアース・フィルタ９ ６に接続されている。パルス幅変調機構と低域通過フィルタとの組み合せはアナ ログ出力信号を発生し、パルス幅変調器８６及び８８並びに低域フィルタ９４及 び９６はデジタル／アナログ変換器として作動する。フィルタ９４に接続されて いる出力線１００は抵抗器１０２を介して信号を増幅器１０４に供給する。増幅 器１０４は、抵抗器６０と共に増幅器６４の加算機能に接続されている抵抗器１ ０８に線１０６を介して信号を供給する。同様に、線８８上の出力信号は低域フ ィルタ９６を介して線１１０に供給され、線１０は増幅器１０４に接続されてい る抵抗器１１２を駆動する。増幅器１０４は増幅器１２０にも接続されており、 増幅器１２０の線型化された流量信号出力ｌ！５４は、それ自体の出力に接続さ れている。増幅器１２０は生の即ち調整されていない質量流量コントローラの感 知信号を、線１２４に結合されている抵抗器１２２を介して線５２から受けとる 。

線１２４は増幅器１２０の非反転ピン１２６に結合されている。

ＥＰＲＯＭメモリ４４は、その中に多数の較正表即ち設定点表を記憶してあり、 その各々は補正値を記憶するための２５６個の点から成っている。信号変換器１ ０はマイクロコントローラ４０によって作動し、線５８を介してＩＩ型信号ＭＦ ＣＩＮを受取てピン７４に供給する。ここで該信号はマイクロコントローラ４０ によって処理されてデジタル信号に変換され、ＥＦＲＯＭ４４の較正表の選択さ れた部分にアクセスするために用いられる。オフセット信号は外部データ・バス １３０を介してマイクロコントローラ４０に供給される。外部データ・バス１３ ０はパルス幅変調器８４を制御して線８６及び８８に出力を供給するのに用いら れる。その出力は低域フィルタ処理され、増幅器１０４を介して加算増幅器６４ に供給される。加算増幅器６４は、低域フィルタ９４から受けとられたアナログ の補正信号を１！５８からの線形信号に加算し、補正されたアナログの質量流量 コントローラ信号を線５０上に供給し、質量流量コントローラに供給する＠同様 に、線５２を介してフィードバックされた感知された信号はＡＤＣ４ビン１４２ に結合された線１４０に送出されると共に、アナログ／デジタル変換器７６に供 給され、ここでデジタル化され、システム・バス８２を通じてＣＰＵ７８に供給 され、バス１３０を介してＥＦＲＯＭ４４にアクセスするためにＣＰＵ７８によ って用いられる。

ＥＦＲＯＭ４４に記憶されている較正表からのオフセットはバス８２を介してパ ルス幅変調器８４に供給され、ここでパルス幅変調信号がビン８６に生成され、 低域フィルタ９４に供給される。フィルタ９４は、アナログの感知された質量流 量補正信号を生成し、増幅器１０４を通じて増幅器１２０の反転入力に供給する 。

その非反転入力は、補正前の感知された買置流量信号を受け取り、これから補正 信号を減算して、補正済みの感知された質量流量アナログ信号を生成し、このア ナログ信号は線５４を通じてホスト・プロセス・コントローラ５６に出力される 。

ある状況では、周囲温度に対するオフセットも供給することが望ましい場合があ る。ここでは本発明に用いられていないが、温度感知形電流源１５０がマイクロ コントローラ４０に結合され、温度を表わすアナログ入力を供給する。

より具体的には、マイクロコントローラ４０は、Ａｌ−６頁及びＡ３８−１１２ 頁に含まれる添付資料に記載され、ソフトウェア流れ図からなる第７図−第２２ 図に示されるソフトウェアの実行によって動作するものである。

ここで第７図を参照すると、ケーブル又は信号変換器開始ルーチンがそこに示さ れており、これはステップ２００で開始され、次にステップ２０２で、０がノ（ ルス幅変換器グリスケーリング・レジスタに記憶される。パルス幅変調器はステ ップ２０４で測定範囲の中心に設定される。ステップ２０６で、レジスタ・Ｉく ンク０が選択される。ステップ２０８でＲＡＭが初期化される。割り込みがステ ・ノブ２１０で不能にされる。信号変換器１０がステップ２１２からウオームス タートにより起動される時、先のステップ２００〜２０８が実行されずに、最初 の割り込みが不能にされる。ステップ２１０に続いて、ステップ２１４でスタッ ク・ポインタが初期化される。チェック・システム・メモリ・ルーチン（ｃｈｅ ｃｋｓｙｓｔｅｍ　ｍｅｍｏｒｙ　ｒｏｕｔｉｎｅ）がステ・ツブ２１６で呼び 出される。初期　１ｎｉｔ　ａｌｌルーチンがステップ２１８で呼び出され、ス テップ２２０ではチェック・スイッチ・ルーチン（ｃｈｅｃｋ　５ｗ１ｔｃｈ　 ｒｏｕｔｉｎｅ）が呼び出される。ステップ２２２で流量検査ルーチンが以前の 実行に対して検査される。ステップ２２４で制御が流量横歪ルーチンに移転され る。較正検量フラグ（ｃａｌｉｂ　ｔｓｔ）がオフであれば、ステップ２２６で 較正有特表十〇−５０８２０７（５） トする。そうでなければ、Ｒ１及びデータ・ポインタの双方に０がロードされる 。

ステップ２３０で、リターン値が主関数によって戻される。ステップ２３２でリ ターン値が０であれば、ステップ２３４のＣ終了（ｅｘｉｔ）ルーチンに入る。

リターン値が１であれば、ステップ２３６でチェック指令ルーチン（ｃｈｅｃｋ ｃｏｍｍａｎｄ　ｒｏｕｔｉｎｅ）に入る。

ここで第８図を参照して、ステップ２１６からのチェック・システム・メモリ（ ｃｈｅｃｋ　ｓｙｓ　ｍｅｍ）ルーチンに入る。ステップ２５０で、システム・ メモリ有効フラグ（ｓｙｓ　ｍｅｍ　ｖａｌｉｄ＼を０にセットする。カウント ダウン・カウンタＲ２Ｒ３をシステム・メモリ長さにセットし、不揮発性メモリ ４４のサイズをマイクロコントローラ４０に指示する。ステップ２５４でＤＰＴ Ｒを不揮発性メモリ４４の基底アドレスに等しくセットする。ステップ２５６で Ｒ４を０に等しくセットする。ステップ２５８．２６０及び２６２−Ｃ’ＥＰＲ ＯＭの内容の和を取り、チェック・サム機能を実行する。ステップ２６４で、チ ェック・サム・バイトを含むＥＰＲＯＭの最終位置をＲ５にロードする。チェッ ク・サムＲ４は記憶チェック・サム値と比較される。それらが等しければ、ステ ップ２６８でｓｙｓ　ｍｅｍ　ｖａＨｄを１に等しくセットする。ステップ２７ ０でサンプル・カウントを４に等しく設定するが、これは特定の流量データ点を サンプルしなければならない回数である。ステップ２７２で、データ・ポインタ の内容をアキュムレータにロードし、信号変換器又はケーブル開始ルーチンはス テラ　゛ブ２７４へ戻る。チェック・サムが記憶チェック・サムと等しければ、 ステップ２７８で汎用フラグをクリアする。ステップ２７６でアキュムレータを クリアし、ステップ２１８で、ケーブル開始ルーチンが全初期化ルーチンに入る 。

ここで１ｎｉｔ　ａｌｌルーチンを示す第９図を参照すると、ステップ２８０で 、システム状態の下位ビットを０にセットし、ステップ２８２でプロセス状態フ ラグをクリアし、ステップ２８４でタイマ状態フラグをクリアする。ステップ２ ８６で、最下位ビットを除いて汎用フラグを０にセットする。ステップ２８８で 、初回実行（ｆｉｒｓｔ　ｔｉｍｅ　ｔｈｒｕ）変数を真に等しくセットする。

ステップ２９０で、ポートＰＯ，ＰＬ、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４を／％イにセットし 、それらのビット全てを１に等しくセットする。ステップ２９２でレジスタ・ノ くンク３を選択する。ステップ２９４及び２９６で、レジスタＯに設定点Ｉくツ ブ７・アドレスをロードし、レジスタ１に雑（ｍｉｓｃｅｌｌａｎｅｏｕｓ）ア ナログ・アドレス（ｍｉｓｃ　ａｎａｌｏｇ）をロードする。ステップ２９８で Ｒ２に４をロードし、ステップ３００でＲ４に８をロードし、Ａ／Ｄ変換に対し てロードされた開始ビットを存在させ、マルチプレクサ・チャンネルをＯにセ・ ノドする＝ステップ３０２で、アナログ／デジタル変換器のマルチプレクサ・チ ャンネル１に対する開始ビットのビット・パターンをＲ５にロードする。ステッ プ３０４でＡ／Ｄ変換用制御レジスタに０をロードする。ステップ３０６で、以 前のレジスタ・バンクを選択する。ステップ３０８でｓｙｓ　ｍｅｍ　ｖａｌｉ ｄビットを検査する。これが１に等しＪフれば、制御がステップ３１０に移転し 、ここでデータ・ポインタにＤＡＣＨＩＮＵＬＬをロードする。ｓｙｓ　ｍｅｍ 　ｖａｌｉｄビットが０に等しければ、ステップ３１２でパルス幅上位及び下位 バイトを中央範囲にセットする。ステップ３２０で、それらは記憶バイトＮＵＬ 　Ｈｌ及びＮＵＬ　ＬＯにそのまま返送（ｅｃｈｏ）される。ステップ３２８で それらをノぐルス幅変調器線０及び１に転送し、フィルタ処理されていない信号 を発生し、Ｒ８６及び８８に供給する。データ・ポインタ・ビットが全て／−イ であれば、ｓｙｓｍｅｍ　ｖｌｉｄフラグをクリアし、再びステップ３０８で検 査する。データ・ポインタ・ビットの全てがノ１イではないなら、ステップ３２ ２を実行して、ＮＵＬ　ＨＩＧＨ及びＰＷＨＩ値にデータ・ポインタによって示 された値をロードする。ステップ３２４でデータ・ポインタを増分する。ステッ プ３２６でＮＵＬ−ＬＯ及びＰＷＬＯをロードし、ＮＵＬ　ＨＩ、ＮＵＬ　ＬＯ ｌＰＷＨＩ及びｐｗＬＯの値がメモリ内の連続した位置に記憶される。

ステップ３２８を実行した後、ステップ３３０で直列インターフェース１を初期 化する。ステップ３３２でレジスタ・バンク２を選択する。ステップ３３４でタ イム・カウンタを初期化する。それに続いて、ステップ３３６で以前のレジスタ ・バンクを選択し、ステップ３３８〜３４４でタイマを初期化し起動する。ルチ ・ルーチンに通常は入る。

ここで第１０図を参照すると、マイクロコントローラ４０のポート４に接続され ているＤＩＰスイッチ１４３をチェックするためのルーチンが、そこに示されて いる。ステップ３５０で、ポート４からの電気信号が変数Ａにロードされる。

ステップ３５２で、そのバイトの上位４ビツト又は上位ニブルをマスクオフする 。

ステップ３５４で検査を行ない、下位ニブルが全て１であるかどうかを決定する 。

そうでなければ、ステップ３５６で変数Ａの補数を取る。ステップ３５８で変数 Ａの値を検査し、それが有効な較正ページを示す１１より小さいかどうかを決定 する。小さければ、ステップ３６０で、特定な気体表を選択を示すのに用いられ る変数である較正表基本変数（ｃａｌ　ｔｂｌ　ｂａｓｅ）に変数Ａをロートス る。ステップ３６１で、較正ページ有効フラグをロードし、ステップ３６２でこ のルーチンが戻る。変数Ａの下位ニブルが全て１の場合、ステップ３６６に入り 、較正検査フラグ（ｃａｌｉｂ　ｔｓｔ）を検査する。それがＯであれば、この ルーチンはリターンする。それが１であれば、較正ページ有効フラグをクリアす る。

即ち０にセットして、スイッチから有効な較正ページが感知されなかったことを 示す。

ここで第１１図を参照すると、ステップ２４２で流量モートルーチン（ｆｌ。

ｗ　ｍｏｄｅ　ｒｏｕｔｉｎｅ）に入る。ステップ３６８でシリアルＩ１０を初 −期化し、ステップ３７０で受信フラグを１に等しくセットする。ステップ３７ ２で全ての割り込みを可能にすると共に、ステップ３７４で較正フラグを検査す る。

較正フラグがＯに等しければ、ステップ３７６で検査を行ない、ＤＩＰスイッチ １４３の状態が変化したかどうかを決定する。無変化であれば、ステップ３８０ に入る。変化していれば、制御をステップ３７８でスイッチ・リセットルーチン に移転する。ステップ３８０でデータ・ポインタがロードされる０ステツプ３８ ２でデータ・ポインタの下位部分をＯに等しくセットし、ステップ３８４でその データ・ポインタをスタック上でロードする。ステップ３８６でＮＵＬ　Ｈｌが ＤＰＴＲからロードされ、ステップ３８８及び３９０で上位及び下位バイトをＮ ＵＬ　Ｈｌ及びＮＵＬ　ＬＯにロードする。この時点で、スタックはステップけ れば、ステップ３９６でＡ／Ｄ変換割り込みを不能にする。それが１に等しけれ ば、ステップ４００で検査に入り、全ての送信及び受信フラグが０にセットされ ているかどうかを決定する。それがセットされていなければ、ステップ３９６に 入で割り込みを不能にし、ステップ３９８においてチェック指令ルーチンの指令 部分の待機に入る。

送信フラグ又は受信フラグのいずれかが１に等しく設定されていれば、ステ・ノ ブ４０２に入り、ＭＳＯＯＩが０に等しいか検査する。ステップ４０２で検査を 行い、４個のサンプルが２５０マイクロ秒の間隔で取り込まれていることを確認 する。ステップ４０４で質量流量コントローラ１２のピンＪを検査し、それが０ に等しく設定されていて質量流量コントローラ１２のバルブがオフにセ・ノドさ れていることを示しているかどうかを決定する。それが０に等しくセットされて いれば、制御をステップ４１６へ移転し、ここでパルス幅変調器８４をデータ・ ポインタが指示しているアドレスの内容でロードする。

ステップ４１８でデータ・ポインタを増分し、ステ・ノブ４２０でノ（ルス幅変 調器１に次のアドレスの内容をロードする。ステップ４２２で受信フラグを検査 する。これがＯに等しければ、Ａ／Ｄ割り込みを不能にする。Ｏに等しくなけれ ば、ステップ４２６で検査を行ない、流量モードフラグが０に等しいかどうかを 決定する。これがＯに等しければ、ステップ４２８で較正検査フラグを検査し、 較正検査が０に等しくセントされていれば、ステップ３７８でスイッチ・リセッ トに入る。

質量流量コントローラ１２のピンＪが０に等しくない場合、ステップ４０６に入 り、サンプル記憶部をクリアする。ステップ４０８で設定点バッファから４つの サンプルが取り込まれる。それらの平均をとり、ステップ４１２でその平均を記 憶する。ステップ４１４で、以前のデータ・ポインタの内容にサンプル平均の２ 倍を加えたものをデータ・ポインタにロードする。

第１２図にはタイマ・ルーチン４３０が記載されている。タイマ・ルーチン４３ ０は、マイクロコントローラ４０に２５０マイクロ秒が経過したことを示す信号 を供給することによって機能する。これを行なう為に、ステップ４３２でプログ ラム状態ワードをスタックにブツシュする。ステップ４３４でレジスタ・）くン 特表十に−５０８２０７（６） り３を選択する。ステップ４３６で設定点Δ／Ｄ変換を初期化する。言換えれば 、ホスト・プロセス・コントローラ５６から受け取った線形指令信号をデジタル 値に変換する。ステップ４３８でレジスタ・バンク２を選択し、ステップ４４０ で２５０マイクロ秒フラグを１に等しくセットする。ＲＯ値は元は４であったが 、１減分する。ステップ４４２及びステップ４４４でＲＯを検査し、それが０に 等しいかどうかを決定する。ＲＯが０より大きければ、ステップ４４６で元のレ ジスタ・バンクを選択し、ステップ４４８でリターンし終了する。ＲＯが０に等 しければ、ステップ４５０でそれを４にセットする。ステップ４５２でミリ秒０ ０１変数を１にセットする。ステップ４５４でＲ１を減分し、ステップ４５６で 検査する。Ｒ１が０に等しければ、ステップ４５８に入り、それを１０に等しく セットする。ステップ４６０で１０ミリ秒フラグをセントし、ステップ４６２で Ｒ２を減分する。Ｒ２がＯに等しくない場合、ステップ４４６に入る。それが０ に等しくないなら、ステップ４４６で元のレジスタ・バンクを選択する。それが Ｏに等しければ、ステップ４６６でＲ２を１００に等しくセットする。ステップ ４６８で５ＥＣＯＩを１に等しくセットする。

第１３図において、アナログ／デジタル変換器ルーチン４７０に入る。ステップ ４７２で、プログラム状態ワード及びアキュムレータの内容をスタックにブツシ ュする。ステップ４７４でレジスタ・バンク３を選択する。ステップ４７６で検 査を行ない、信号変換器が流量モードであるか否かを決定する。流量モードであ れば、制御はステップ４８２に分岐する。流量モーやでなければ、較正モードで あるはずである。制御は較正検査ステップ４７８に移転される。較正検査が０に 等しければ、制御をステップ４８０の較正Ａ／Ｄモードに移転する。較正検査が Ｏに等しくなければ、制御をステップ４８２のｒＡＤｃＯＮを取り込む」に移転 する。、Ａ　Ｄ　ＣＯＮはアナログ／デジタル変換器の制御変数である。ステッ プ４８４で、ＡＡＤＲＮビットが１に等しくセットされているならば、制御をス テップ４８６に移転し、ここでアナログ／デジタル変換器のデジタルの内容を取 り込む。それらはＲＯが指示する位置にロードされる。ステップ４８８でＲＯを １だけ増分する。ステップ４９０でＲ２を１だけ減分する。ステップ４９２でＲ ２を検査する。それが０に等しくなければ、アナログ／デジタル変換器レジスタ を０をクリアする。ステップ６００〜６０８において、送信バッファの内容が較 正器２０に返送される。ステップ６１０で較正モードフラグを０に等しくセット し、制御をステップ２３６のチェック指令に戻す。

第１６図に、ステップ４８０即ちＡ／Ｄ用較正モードが示されている。このルー チンに入ると、ステップ６１２でＡＤＣＯＮ及びＡＤＣＨ値をメモリから取り込 む。ステップ６１４でそのビットを再配列し、ステップ６１６で記憶する。ステ ップ６１８でＲＯを増分し、ステップ６２０でマルチプレクサ・アドレスＲ４を 取り込む。ステップ６２４でマルチプレクサ・アドレス・チャンネルを検査し、 それが４に等しいかどうかを決定する。そうであれば、ステップ６２４でＲ４を ０に等しくセットする。ステップ６２６でＲＯ１，：　Ｃ−アナログ−バッファ の内容をロードする。ステップ６２８で開始ビットをＲ４に加算する。マルチプ レクサ・チャンネルがＲ４にセントされていなければ、制御を直接にステップ６ ２８に移転する。ステップ６３０でＡＤＣＯＮを０に等しくセットし、ステップ ６３２でアキュムレータとプログラム状態ワードをスクノクから復元し、その後 ステップ６３４でこのルーチンを終える。

ここで第１７図を参照すると、流量検査ルーチン２２４がそこに示されている。

ステップ６３６で指令フラグを１に等しくセットする。ステップ６３８で較正検 査フラグ（ｃａｌｉｂ　ｔｓｔ）を工に等しくセットする。ステップ６４０で指 令の内容を指令バッファにセーブする。ステップ６４２で較正ページ（ｃａｌ− ｐａｇｅ）を指令バッファから取り込み、ステップ６４４で検査し、それが１１ より小さいどうかを決定窓する。それが１１より小さくなければ、ステップ６４ ６でページ境界エラー・フラグ（ｐｇ　ｂｎｄｒｙ　ｅｒｒｏｒ）をセットし、 ステップ６４８でシステム状態バイトを再び通信バッファにロードすると共に、 ステップ６５０で、確認されたバイトを送信バッフ７にロードする。較正ページ 値が１１より小さければ、ステップ６５４で較正表基底（ｃａｌ　ｔａｂ−ｂａ ｓｅ）を通信バッファからロードし、ステップ６５４で返送のために通信バッフ ァに転送する。その後、ステップ６５０を行なう。ステップ６５０に続いて、送 信フラグを１に等しくセットする。バックグラウンド送信機能が完了したなら、 送信フラグを０に等しく設定する。それをステップ６５８で検査し、一旦それが ０特表十Ｇ　−５０８２０７（７） に等しくなったなら、ステップ６６０で送信をチェックして、送信が承認できる どうかを決定する。承認できなければ、ステップ３７８のソフトウェア°リセッ トに入る。承認できれば、ステップ２４２の流量モードに入る。

ここで第１８Ａ図及び箪１８Ｂ図を参照すると、ダウンロード・ルーチン６６２ がそこに記載されている。このダウンロード・ルーチンにおいて、ステップ６６ ４でＡ／Ｄ割り込みが不能にされる。ステップ６６６で、指令フラグを１に等し くセットする。ステップ６６８でダウンロード・フラグ（ｄｏｗｎ　１ｏａｄ） を１に等しくセットし、ステップ６７０で指令バッファの内容に指令をロードす る。ステップ６７２で指令バッファのダウンロード・パラメータを記憶し、ステ ップ６７４でチェック・アドレスを呼び出す。ステップ６７６でページ境界エラ ーについて検査する。該フラグが０に等しければ、ステップ６７８でパケット・ 力’７：／ト°７５グ（ｐａｋｅ　ｔ　ｃｏｕｎ　ｔ）を検査する。パケット・ カウント・フラグが１であれば、ステップ６８０で指令バッファの内容を返送の ために送信バッファに入れる。次にステップ６８２で、通信バッファを受信バッ ファと等しくしてデータを受信し、ステップ６８４で確認バイトを送信バッファ にロードする。ステップ６８６で送信フラグを１に等しく設定し、返送の準備を 整える。送信？ラグが０になるまで、ステップ６８８でバックグラウンド送信に ついて送信フラグを検査する。送信承認に対してステップ６９０は検量を行なう 。承認されなければ、ステップ３７８のソフトウェア・リセットに入る。承認さ れれば、ステップ６９２で受信フラグを１に等しくセットする。ステップ６９４ で受信フラグを検査する。これが０であれば、ステップ６９６でＳＴＸバイトを 通信バッファから取り込み、ステップ６９８でそのＳＴＸバイトを検査する。こ れが２に等しければ、ステップ７００で指令バイトを通信バッファから取り込む 。２に等しくなければ、制御をステップ３７８のスイッチ・リセットに移転する 。指令バイトを通信バッファから取り込んだなら、ステップ７０２でその指令が ダウンロードのためのものかどうかを検査する。そうでなければ、スイッチ・リ セットに入る。

そうであれば、ステップ７０４で受信が確認されたかについて検査を行なう。

ステップ７０６で、エラー・コード及びシステム状態を指令バッファにロードス ル。ステラ’；’７０８で指令バッファを送信バッファにセットする。ステップ ７を通信バッファに配する。ステップ８０２でアドレス承認可畦が生じる。ステ ップ８０４で退出準備完了フラグを１にセットする。これをステップ８０６で送 信フラグが０に等しくなるまで検査する。ステップ８０８で送信承認を検査する 。

送信が失敗したなら、ステップ８２６に入る。送信が成功したなら、ステップ８ １０でパケット・カウントを減分する。ステップ８１２でそれを検査して、それ が０に等しいかどうかを決定する。それがＯに等しければ、ウオームスタート・ ルーチン２１２に入る。それがＯに等しくなければ、ステップ８１４でデータ・ 　。

ポインタにアップロード・フロム・アドレスをロードする。ステップ８１６でＲ Ｏに受信バッファ・アドレスをロードする。ステップ８１８でＲ１に送信バッフ ァアドレスをロードする。ステップ８２０でＳＴＸ及び指令フラグをクリアする 。

ステップ８２２で受信フラグを１に等しくセットする。ステップ８２４で、受信 フラグが０に等しくなるまで、これを検査する。受信フラグがＯに等しくなった 時、制御を第２０Ｂ図に示すステップ８３４に移転する。受信が確認されれば、 制御をステップ８３６に移転し、指令バッファからＳＴＸバイトを取り込む。ス テップ８３８でＳＴＸを検査し、それが２に等しいかどうかを決定する。そうで あれば、ＳＴＸフラグを１に等しくセットする。ステップ８４０及びステップ８ ４２で、指令バイトを指令バッファから取り込む。ステップ８４４で指令を検査 し、それがアップロード指令であるかどうかを決定する。そうでなければ、制御 はステップ８５２に移転する。そうであれば、制御はステ・ノブ８４６に移転し 、ここで指令フラグを１に等しくセットする。ステップ８４８で古いアップロー ド・パラメータを記憶部からアクセスすると共に、ステップ８５０で新しいアッ プロード・パラメータを指令バッファからアクセスする。ステップ８５２で検査 を行ない、古いものが新しいものと等しいかどうかを決定する。これらが等しく なければ、制御をステップ８２６に移転する。古いものが新しいものと等しけれ ば、ステップ７７２でそのデータを送出する。

第２１図に、指令リセット・ルーチン８５４を示す。ステ・ツブ８５６で指令フ ラグを、ステップ８５８で指令リセット・フラグをそれぞれ１にセ・ノドする。

指令バッファの内容はＣＯＭＭＡＮＤにロードされる。ステップ８６２で確認ノ くイトを送信バッファにロードする。ステップ８６４で送信フラグを１に等しく セ・ソ特表十Ｇニー５０８２０７　（８） トする。ステップ８６６で、送信フラグを検査する。それが０に達した時、バッ クグラウンド送信が生じた後に、ソフトウェア・リセットがステップ３７８で起 きる。

第２２図に、ソフトウェア・リセット・ルーチン３７８が記載されている。ステ ップ８６８で全ての割り込みを不能にする。ステップ８７０でレジスタ・バンク Ｏを選択する。ステップ８７２でアキュムレータをクリアする。ステップ８７、 　４でアキュムレータをスタックに転送する。ステップ８７６でアキュムレータ を再度スタックに入れ、ステップ８７８でこのルーチンからリターンする。

第２２図は、コンピュータ２２上で較正器２０を作動させて質量流量コントロー ラ１２を較正するために実行する主較正ルーチンを示す。この主ルーチンでは、 ステップ８８１でパラメータを初期化する。ステップ８８２では、初期状態では 表示はパーソナル・コンピュータ２２用である。ステップ８８４でそれを初期化 し、ステップ８８６でハードウェア・モードを０に初期化する。ハードウェア初 期化エラーについて、ステップ８８８で検査する。なければ、ステップ８９０で 検査を行ない、キーボードが活性化されているかどうかを決定する。そうなって いれば、ステップ８９２でキーボード入力を検索する。そうなっていなければ、 ステップ８９４でメニュー指令ルーチンに入り、ステップ８９６．９００．９０ ４．９１０．９１２．９１８．９２２及び９２６で機能キーＦ２〜ＦＩＯの作動 を検査する。キーＦ２が較正ページの変更のために打たれていれば、ステップ８ ９８でそれを変更する。キーＦ３が打たれていれば、ステップ９０２で検査サイ クル時間を増分する。キーＦ４が打たれていれば、ステップ９０６で較正ルーチ ンに入り、ステップ９０８で表示をリセットする。Ｒ５であれば、ステップ９１ ４で最大設定点を変更する。Ｒ６が打たれていれば、ステップ９１６で最少設定 点を変更する。Ｒ７が打たれていれば、ステップ９２０で較正／横蓋切替モード に入る。ＦＩＯに入るなら、較正プロセスを中断（ａｂｏｒｔ）する。ステップ ９２６でシフト−Ｒ３が打たれるなら、検査サイクル時間を減分する。キー検査 を行なった後、ステップ９３０で状態を検査し、それが０に等しいかどうかを決 定する。等しくなければ、ステップ９３２で中断フラグが真に等しいかについて 度検査する。０に等しければ、中断フラグを偽にセントする。ステップ９４０で 、初期化フラグをステップ９４２で増分する。その後、ステップ９４４で中断フ ラグを再度検査する。それが偽であれば、ステップ８９０に入る。それが真であ れば、ステップ９４６でハードウェア・モード１を初期化し、ステップ９４８で 表示をリセットする。

第２４図に、較正ルーチンが記載されている。ステップ９５４でケーブル・デー タ即ち信号変換器データ指令ページを選択する。ステップ９５６で並列／直列イ ンターフェース及び信号変換器即ちケーブルを初期化する。ステップ９５８で正 弦波状データを発生する。ステップ９６０でその正弦波状データをデジタル／ア ナログ変換器バッファに転送する。ステップ９６２で、ステップ９６０で正弦波 状データとして選択されている設定点即ちデータ点を較正器２０に転送し、較正 器２０は選択された量の気体を管２３２を通して流させる。設定点を検査し、そ れがＯに等しいかどうかを決定する。等しくなければ、ステップ９６８で標準質 量流量測定器１８の出力を読み取る。ステップ９７０で、いずれかのエントリが コンピュータ２２の参照表内に既に記憶されていれば、その時点における流量を 線形化即ち補正する試みを行なう。このステップを実行した後、流量出力を表示 する。ステップ９７４で理想的な流量を計算し、ステップ９７０における先の線 形化の結果としての偏差も計算する。ステップ９７６で、計算された理想的値な 及び偏差の値を表示する。ステップ９７８で、これらの値を履歴表に加える。

ステップ９８０で、この履歴表を評価する。ステップ９８２で、前記値が時間と 共に変化しているか或いは安定しているかについて検査を行なう。ステップ９８ ４で検査を行い、補正がエラー・マージン内であるかどうかを決定する。そうで あれば、それ以上の検査点についての検査ステップ９８８に入る。それ以上の検 査点が望ましいなら、制御をステップ９６２に移転し戻す。そうでなければ、検 査した設定点から２５６個のの補正点を計算し、その後ステップ９９２でその２ ５６個の点を信号変換器１０にダウンロードし、ルーチンを終える。

ステップ９６９で設定点が０に等しくセットされた場合、ステップ９６６で質量 流量コントローラの出力を読み取り、制御をステップ９７２に移転する。

以上のように、第２４図のルーチンは、２５６個までの点の多点正弦データを発 生し、この正弦波の周期は質量流量コントローラの時定数の１０倍である。この 正弦波は小さなデジタル増分で漸増するので、質量流量コントローラ１２の整定 時間に殆ど影響を与えないことが認められる。

上述に関して、本発明のいくつかの目的が達成され、その他の有利な結果も得ら れたことが分る。

本発明の範囲から逸脱することなく種々の変更を行なうことができるので、上述 の記載に含まれる全ての事項は例示としてであり、制限の意味で解釈しないこと を意図するものである。

特表平に−５ｏｓ２ｏ７（９） １１ｊｔａＬ２ｅＷ＠Ｃｔｏｒ＠１４１ｉ＆表平ｔ；−ｓｏｓ２ｏ７（１０） 特表平Ｌ；−５０８２０７（１ｊ） ｐｏｐ　ｐａｗ ｒ＠を 特表十ｔｉ−５０８２０７（１２） 特表十蚤；−５０８２０７（１３） 特表平ｂ　−Ｌ）０８２０　’；’　（”）ｔＮ’ｏ！Ｆ　Ｂｅｎｄ　ｏｆ　Ｘ ２００　ｓｐ＊ｅＬｆｉｅ　ｄｅｆｉｎｉｔｉｏｎｓＩＦ’ＤＥｒ　Ｉｊｅａｌ Ｘ２００　１Ｘ２００　５ｐｅｃｉｆｉｃ　ｄ＠ｆＬｎＬｔＬａｎｓ■表十〇− ５０８２０７（１６） ””’　ＭＶ　ｅＸ、２　＋ｄｏｕｂｌ＊　ｅｈ＊ｅｋ　５ｔａｔｕｓｌＪ表平 ［１−５０８２０？　（１７）ｂｙｔｊ　ｕｄａｔｌコ２１　ａ　（０ｘｔｒ、 ０ｘｆｆ、Ｏｇｔｆ、０ｘ９２．　０ｘｆｄ、０ｘｂｂ、（ｈ＋ｏｏ、ＯＫＯＯ ＩＯｍＯＯ，Ｏｓ＋ＯＯ，ＯｚＯ〕＃　０１１００１　０ｘＯＯ，０ｘＯＯ，０ ｘＯＯ，Ｄ重Ｇｏ）１／＊　−−ｂｆｒ　ｈ６１ｄ＠　ｔｈｅ　＠ｕｔｂ６％Ｉ ｎｄ　ｅｏｍａｆＩｄ　ｐａｅｋａｔ　會ｌ紗Ｙｔｇｓ　−−Ｍｒｌ　ｌ・）　 −４０ｍ０２．　Ｏ＋ｇＯ１，０ｘＯＯ，０ｍ０Ｏ，０ｍ０Ｏ，０ｘＯＯ，０ｗ ０Ｏ，１ｈｏｏ。

０ｘＯ０，０ｍ＋００．　０ＸＯ０，０３１００，０ｘＯＯ，０ｘＯＯ，Ｏ重Ｇ ｏ、ｌ）ｗｏｏ　）１ｍ＋＋ｔｅｒｎ　ｖｏＬｄ　Ｌｎｉｔ−ｇｒａｐｈｌ　ｖ ｏｉ４　１１　／”　Ｌｎｌｔ　ｔｈｅ　＠Ｖ　ｄｉｓｐｌａｙ　ｇｒａｐｈ　 ・P ｓｘｔ釘ｎ　ｖｏｉｄ　ｄｐｙ−ｓａｍｐＬ・（ｖｏＬｄ　）１ｅｘｔ＊ｒｎ　 ｖｏＬｄ　＠ｔｏｐ−ｃａｌｌ　ｖｏｉｄ　ｌ＋　／・ｔ＠ｒ＋＋ａＬｎａｔ・ １ｎｔｒ　ａｃｔｉｖｉｔｙｓ−会１ｓｘｔ＊ｒｎ　５ｈｏｒｔ　ｔｒ＋ｔｔ− ｕｐ＃ｉｌ　ｖａｉｄ　１１　／１１　Ｌｎｉｔ　ｔｈｅｕｐｓＬ　ｂｏａｒｄ 　・ｌ持表十〇−５０８２０７（１８） ・ｈａｒｔマ・ｒＴｆｙ−・ｘｔｔｌマｏｉｄｌｊＣ＆↓ｃ−ｍＬｍ（）ｌ　／ ＊　Ｌａ５ｔ　ｔｈｅｄａｃ　ａＪ−ｔａｙ　＠／　’１ｆｌｎｖ、ｃａｌ−ｆ ｌａｇｌ　ｇａｔｏ　ｔｅｓｔ−＊ｎｔｒｙｌ　／・　Ｌｔ　ＩＴ’Ｓ　ｔｅｓ ｔ　ｍ＠、ｆｉｋ工ｐ　１１　１ｉｆ＋ｖｔａｔｕ＊　ｗａｇｓ　１１　／”　 Ｌｔ　ＣＣＩＩＩＩＩＩＩ　ｏｋ　”／特表平［１−５０８２０７（１９） １５表平ｅ−５ｏｇ２ｏ７（２０） 特表平６−５ｏｓ２ｏ７（２１） １５表十に−５ｏｇ２ｏ７（２２） ｒ＠ｔｕｒｒ＋ｌ＊ｒｒｏｒ−ｆＬａｇｌＩ７＊　ｔｆ、、。ｅｒｒｏｒ　ｆｌ ｍｇ、　ｒｅｔｕｒｎ　ｏ　・／ｒ＠ｔｕｒｆｌｌｏｌｌ ｌ書−−−−−−一−−−−−−−−−−−−−−−−−−一−−−−−−−− 　−・ｌ汁 特表十６−５０８２０７　（２３） 特表平に−５０８２０７（２４） 特表平ｆ；−５０８２０７（２６） 特表十６−５０８２０７　（２８） −ｈｏ３−Ｑｔｐ：ｘ・１１　５ｈｏｒｔ　＊ｒ　５ｈｏｒｔ　ｙ　１２特表平 に−５０８２０７（２７） １ｂ表平に−５ｏｓ２ｏ７（２Ｂ） ｌ會−−−−−−−−−一−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−一 　−・ｌ１４表十〇−５０８２０７（２９） 特表平に−５０８２０７（３０） ＣａＬ−Ｄａｔすｒｒｏｒ　ｄｍ　ｌ　１ｂＹｔｊｌ　ｄｉｄｎ’ｔ　Ｃ’０＠ ｐａｒ＠　ｔｓｕｒｌｎｇ　（ｔａｖ’ｎＬｏ龜ｄｓａ＋ｎｐｌ−ａｖ＠ｒａｇ ｅ＋　ｄｓ　ｌ　１１０　ｂｙｔｅ　ｏｒ　ｓａｍｐｌｅ　ａｙ・ｒ畠９Ｃ特表 十６−５０８２０７　（３２） 持表平に−５０８２０７（３３） 特表平に−５０８２０７（３４） ｐ６ｐ　ｐＨ％ｌ　ｌ　ｒ＠ｇｔｏｒ鎗ｔｈｅ　ｒｅｇＬ＊ｔａｒｓ特表平蚤； −５０８２０７（３５） 持表十〇−５０８２０７（３６） ｓｊ＋ｅｐ　ａｄｅ−ｒ＠ｔ　１ａｏａｌｌｏｎ　−ｄａ　Ｔｎｔｓｒｒｕｐｔ 　ａｘＬｔ＋　Ｗ”Ｋ・　ｄＣｈ・／”−−−−−−−−−一−−−”−””” ””””−”−””””””−・７７ｍ　！ｘｔ＠ｒｎａｌ　ｆｕｎｃｔｉｏｎ 　ｐｒｏｔｏｔｙｐｅｓ　・ｌ／”−−−−−−−−−−−−−−−”−−−” ’−”’−−−−−”−−””−−・ｌｎ表子ｃ；−５ｏｇ２ｏ７（３７） ＦＩＧ、　６ 特表平ｃ；−５ｏｇ２ｏ７（３８） 符表平に−５ｏｇ２ｏ７（３９） 特表平ｔ；−５０８２０７（４０） １５表＋６−５０８２０７　（４１） ｌｊ表平に−５０８２０７（４２） 国際ｖ４査報告　。−７，１，。５７１１１１１１１７Ｓ表平に−５０８２０７ （４３）

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. １．流量に関連する流体の特性を測定するシステムであって、前記流体の流体流 量特性に応答して、検出された流体流量特性信号を発生する手段と、 流体流量特性データを受け取る手段と、前記流体流量特性データを記憶する手段 と、前記の検出された流体流量特性信号と前記の記憶された流体流量特性データ とに広告して、補正された流体流量特性信号を生成する手段と、前記の補正され た流体流量特性信号を出力する手段と、を具備する測定システム。
2. ２．質量流量計システムであって、 質量流量計を透る気体の質量流量に応答して、検出された質量流量信号を発生す る手段と、 流量較正データを受け取る手段と、 前記流量較正データを記憶する手段と、前記の検出された質量流量信号と前記の 記憶された流量補正データとに応答して、補正された質量流量信号を生成する手 段と、前記の補正された質量流量信号を出力する手段と、を具備する質量流量計 システム。
3. ３．質量流量計からの検出された質量流量信号を受け取るように前記質量流量計 に接続すると共に、補正された質量流量信号をプロセス測定システムに供給する ように前記プロセス測定システムに接続するための質量流量計信号変換器であっ て、 前記質量流量計を通る気体の質量流量に応答して、前記質量流量計から、検出さ れた質量流量信号を受け取る手段と、流量較正データを受け取る手段と、 前記流量較正データを記憶する手段と、前記の検出された質量流量信号と前記の 記憶された流量較正データとに応答して、補正された質量流量信号を生成する手 段と、前記の補正された質量流量信号を前記プロセス測定システムに出力する手 段と、を具備する信号変換器。
4. ４．質量流量制御器システムであって、流量コントローラ指令較正信号データを 受け取る手段と、前記流量コントローラ指令較正信号データを記憶する手段と、 流量コントローラ指令信号を受け取る手段と、前記のアナログの流量制御指令信 号と１組の記憶された流量コントローラ指令較正信号データとに応答して、補正 された流量コントローラ制御信号を生成する手段と、 前記の補正された指令信号に応答して、気体の質量流量を制御する手段と、前記 質量流量制御器を通る気体の質量流量に応答して、検出された質量流量信号を発 生する手段と、 被測定流量改正データを受け取る手段と、前記被測定流量較正データを記憶する 手段と、前記の検出された質量流量信号と前記の記憶された被測定流量校正デー タとに応答して、補正された質量流量信号を生成する手段と、前記の補正された 質量流量信号を出力する手段と、を具備する質量流量制御器システム。
5. ５．プロセス・コントローラに接続して、該プロセス・コントローラから線形流 量指令信号を受け取ると共に、質量流量コントローラに接続して、該質量流量コ ントローラに補正された流量指令信号を供給するための質量流量制御信号変換器 であって、 流量コントローラ指令較正信号データを受け取る手段と、前記流量コントローラ 指令較正信号データを記憶する手段と、前記プロセス・コントローラから流量コ ントローラ指令信号を受け取る手段と、前記流量コントローラ指令信号と１組の 記憶された流量コントローラ指令較正信号データとに応答して、前記の補正され た流量指令信号を生成する手段と、前記の補正された流量指令信号を前記質量流 量コントローラに供給する手段と、前記質量流量コントローラを通る気体の質量 流量に応答して、前記質量流量コントローラから、検出された質量流量信号を受 け取る手段と、被測定流量較正データを受け取る手段と、前記被測定流量較正デ ータを記憶する手段と、前記の検出された質量流量信号と１組の記憶された測定 流量較正データとに応答して、補正された質量流量信号を生成する手段と、前記 プロセス・コントローラに前記の補正された質量流量信号を出力する手段と、 を具備する信号変換器。
6. ６．質量流量コントローラを較正するための装置であって、時間に関して実質的 に正弦状であり、前記質量流量コントローラの時定数の２倍よりも長い周期と流 量標準とを有する質量流量コントローラ指令信号を発生する手段と、 前記正弦状質量流量コントローラ指令信号にしたがって、前記コントローラに応 答して、前記質量流量コントローラによって生成される出力信号を感知する手段 と、 前記質量流量コントローラを通る気体を測定し、それに応答して、測定された流 量の信号を生成する手段と、 前記質量流量コントローラの出力信号を前記の測定された信号と比較し、それに 応答して、質量流量コントローラ較正信号を生成する手段と、を具備する装置。