JPH06500882A - ダイナミック半導体メモリ - Google Patents

ダイナミック半導体メモリ

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 低い全ピークを流の際の短いアクセス時間を達成するための読出し増幅器駆動回 路を有するダイナミック半導体メモリ本発明は請求の範囲lの前文によるダイナ ミック半導体メモリに関する。
この形式のダイナミ、り半導体メモリは1989VLS1回路シンポジュームの ダイジェスト・オブ・テクニカルペーパーズ(第103〜104頁)の間材ばか (東芝)の“高密度r)RAM用のデコーディノドーソース感度増幅器”という 標題の刊行物から公知である。それは続出し増幅器あたり、抵抗として接続され ておりまた読出し増幅器のSAN入力端と5ANN線との間に位置しているトラ ンジスタと、読出し増幅器のSAN入力端と蟇Lst位線との間に位置しており また列デコーダからのビット線選択信号により駆動可能である別のトランジスタ とををするダイナミック半導体メモリである。こうして各続出し増幅器に対して 2つの付加されたトランジスタが必要であるので、このことから占有場所がさら に大きくなる。
本発明の課題は、冒頭に記載した種類のダイナミック半導体メモリであって、最 小のチップ占有面積および低い全ビークtiの際に短いアクセス時間を可能にす るダイナミック半導体メモリを提供することである。この課題は本発明によれば 請求の範囲1の特徴部分にあげられている特徴により解決される。
本発明により達成可能な利点は特に、本発明により構成されたダイナミック半導 体メモリでは、引用された東芝のダイナミック半導体メモリにくらべて、ブロッ クごとに存在する評価時間を短縮するための加速回路に基づいて、はるかに少な い面積しか必要とされない。
請求の範囲2ないし12にはダイナミック半導体メモリの好ましい実施例があげ られている。
以下、図面により本発明を一層詳細に説明する。
第1図は読出し増幅器から成る読出し増幅器ブロックおよびローカルなSANド ライバを有するダイナミック半導体メモリ、第2図は第1図によりメモリセルに 結合された続出し増幅器の詳細回路図、第3図は1つのSANドライバの詳細回 路図、第4図は各ワード線ブロックに対して固有の列デコーダが設けられている かぎり、本発明による半導体メモリにおける列デコーダにより駆動される加速回 路と一緒にローカルなSANドライバを示す図、第5図は本発明による半導体メ モリにおける上位の列デコーダおよび行デコーダにより駆動される加速回路と一 緒にローカルなSANドライバを示す図、第6図は、加速回路がドライバトラン ジスタと選択トランジスタとから成っており、また上位の列デコーダが存在して いる場合に対して、本発明による半導体メモリにおける上位の列デコーダにより 駆動される加速回路と一緒にローカルなSANドライバを示す図、 第7図は本発明による半導体メモリにおけるアドレス指定可能な選択デコーダお よびオア回路の形態の付加回路を有する加速回路を駆動するための回路、第7a 図は第7図に対する変形回路を有する図、また第8図は本発明による半導体メモ リの加速回路の作用を説明するための電圧一時間ダイアダラムである。
第1図には、ワード線ブロックWLBにまとめられており、またビット線ブロッ クTBまたはTB’にグループ化されている多数のビット線対BLおよびBLN またはBL’およびBLN’から成っている多数のワード線WLを有するダイナ ミック半導体メモリの一部分が示されている。ビット線ブロックTBのなかでた とえばメモリセルZはワードvAWLおよびビット線BLと接続されており、メ モリセルZのトランジスタのゲート端子はワード線WLと、ドレイン端子はビッ ト&!B Lと、またソース端子はセルコンデンサを介して1&準電位と接続さ れている。読出し増幅器ブロックLVBは、ビット線対BL、BLNと接続され ておりまたSAN入力入力端出2する多数の読出し増幅器LVから成っている。
SAN入力入力端出2−カルな5ANN線2を介してローカルなSANドライバ LTNの出力端A2と接続されている。このローカルなSANドライバLTNは nの駆動線SENおよび基準電圧線VSSと接続されている。類似の仕方でこの ことは別のどノド線ブロックTB’、TB”ほかに対して当てはまる。すなわち 別の図示されているビット線ブロックTB′はたとえばビット線対BL’および BLN 、メモリセルZ′、読出し増幅器ブロックLVB ′、ローカルな5A NN線2′およびローカルなSANドライバLTN’を存する。ピント線プロ/ りTB”に対してはここには続出し増幅器ブロックLVB”のみが示されている 。
ピント線BL8よびワード&!WLによりアドレス指定されたメモリセルZ l ;!続出し増幅器LVにより続出されまた評価される。確実な、それにもかかわ らず迅速な評価のために、最適化された駆動機能を有するローカルなSANドラ イバl5TNを有するコンセプトは特に存利である。ローカルなSANドライバ LTNはその際にたとえば64の読出し増幅器を有する続出し増幅器ブロックを ドライブする。nの駆動線SENがSANドライバLTNのn相の駆動のために 存在している。
第2図には、結合されたメモリセルZを存する通常の読出し増幅器の回路が示さ れている。続出し増幅器はその際に王としてnチャネル部分SANおよびPチャ ネル部分SAPから成っている。pチャネル部分SAPは直接にビット線対BL およびBLNと接続されており、また2つのPチャネルトランジスタT3および T4から成っている。TBのドレイン端子はビット線BLと、TBのソース端子 はT4のドレイン端子と、またTBのゲート端子はビット線BLNと接続されて いる。SAP入力端E1はトランジスタT4のドレイン端子と、ソース端子はビ ット線BLNと、またトランジスタT4のゲートはビット線BLと接続されてい る。nチャスル部分SANはpチャネル部分SAPと類似の仕方で交叉接続され ており、また両nチャ茅ルトランジスタT5およびT6を有する。トランジスタ T5のドレイン端子はその際にビット線セクション14と、トランジスタT5の ソース端子はi・ランジスタT6のドレイン端子と、またトランジスタT5のゲ ートはビット線セクション15と接続されている。トランジスタT6のドレイン 端子はSAN入力入力端出2トランジスタT6のソース端子はビット線セクショ ン15と、またトランジスタT6のゲート端子はビット線セクション14と接続 されている。ビット線対BL、BLNとビット線セクション14および15との 間に、駆動線13により駆動可能である両トランスファトランジスタ7および9 が位置している。ビット線セクノ5ン14および15は別の両トランスファトラ ンジスタ16HよびI7により10出力端10Aおよびl0NAに通過接続可能 である。トランジスタ16および17のゲートはピント線−選択入力端C3LE と接続されている。3つの別のnチャネルトランジスタ6.8および10は1つ の短絡/予充電回路を形成しており、その際にトランジスタ6のドレイン端子は 入力端5と、ソース端子はビット線BLと、またゲート端子は入力端12と、ト ランジスタT8のドレイン端子はピントIBLと、ソース端子はビット線BLN と、ゲート端子は入力端12と、トランジスタTIOのドレイン端子はビット線 BLNと、ソース端子は入力端11と、またゲート端子は入力端12と接続され ている。メモリセルZのトランジスタ3のドレイン端子はピント線BLと、ソー ス端子はセルコンデンサ4を介して基準電位と、またゲートはワード線WLと接 続されている。
トランジスタ6.8および10を有する短絡/予充電回路によりビット線BLお よびBLNは一時的に短絡され、また同一の予充電レベルに充電される。トラン スファトランジスタ7および9が導通している際には、ワード線WLによりアド レス指定されたすべてのセルが予充電されたビット線上に読出される。こうして たとえば第2図に示されているメモリセルZがピント線BL上に続出され、また 交叉結合されたnチャネルトランジスタT5およびT6により評価され、その際 にビット線BLとBLNとの間の差電圧が増幅される。交叉結合された両Pチャ ネルトランジスタT3およびT4はその際に別の評価過程をサポートする。評価 過程が終了すると、両トランスファトランジスタ16および17はビット線選択 入力端C3LEにおけるビット線選択信号により導通状態になり、またビット線 BLおよびBLNは■0出力端10Aおよびl0NAに通過接続される。nチャ ネル部分SANを能動化するためSAN入力入力端出2能なかぎり迅速に基準電 位にもたらされなければならない、可能なかぎり迅速な能動化が行われ、またそ れにもかかわらず誤評価が生しないように、入力端E2に適切な制御電圧が必要 である。最適化された電圧/時間関数を有する適切な制御電圧はたとえばSAN ドライバのなかで発生され得る。類似のことが相応の仕方でSAP入力端E1に 対して当てはまる。
第3図には1つの可能なSANドライバが示されている。それはnの駆動線SE NIないし5ENnにより駆動可能であるローカルなn相のSANドライバであ る。トランジスタNTIのドレイン端子はドライバ出力端A2と、ソース端子は ダイオードDを介して基準電位VSSと、またゲート端子はnの制御線SENの 時間的に第1の相5ENIと接続されている。ダイオードDはその際に導通方向 の極性に接続されており、またそれに対して並列にトランジスタNT2が位!し ており、そのゲートは線5EN2と接続されている。トランジスタNT3のドレ イン端子はドライバ出力端A2と、ソース端子は基準電位線VtSと、またゲー ト端子は第3の駆動線5EN3と接続されている。理想的な駆動曲線の可能なか ぎり良好な近似を達成するため、NT3と類似してNTnまでの別のトランジス タがトランジスタNT3に並列に接続され得る。第nのドライバトランジスタN Tnのゲートはその際に駆動線5ENnと接続されている。駆動線5ENI・・ ・5ENnの信号がローカルなSANドライバの外側で形成可能であるか、また はそれらがローカルなSANドライバのなかでそれぞれ伝播時間回路によりたと えば駆動線5ENIの信号から形成可能であるかは下位の意義を存する。
制御線5ENIが高電位を得ると、トランジスタNTIは導通状態になり、また ドライバ出力端A2における電圧はダイオードDのしきい電圧をとる。いま第2 の駆動線5EN2が高電位を得ると直ちに、ドライバトランジスタNT2が同じ く導通状態になり、またドライバ出力端A2と基準電位線VSSとの間にトラン ジスタNTIおよびNT2の直列に接続されている両チャネル抵抗が位置してお り、これらがドライバを流の結果としてA2における電圧降下を生しさせる0次 々と付加的に導通状態になるドライバトランジスタNT3ないしNTnによりチ ャネル抵抗が並列に接続され、またより低い全抵抗によりA2と基1!電位線V SSとの間のより低い電圧に通ずる。
第4図には、ドライバトランジスタNTn÷1からのみ成り、また本発明による ダイナミック半導体メモリの構成部分である加速回路が示されている。この場合 のように、ワード線ブロックWLBあたり固有の列デコーダC0DEC1が存在 しているとき、ドライバトランジスタNTn+1はそのゲート端子においてビッ ト線ブロック−選択信号BSLによってのみ駆動される。ドライバトランジスタ NTn+1のドレイン端子はローカルなSANトライバLTNの出力端A2と接 続されており、またそのソース端子は基準電位線■8.′と接続されている。基 準電位線■8.゛は有利な仕方でローカルなSANドライバに対する基準電位線 VSSがら隔てられて構成されている。なぜならば、それに基づいて供給線上の 電圧降下の結果としての相互影響が排除されているからである。ローカルなSA Nドライバはnの駆動線SENにより駆動され、またその出力端A2はローカル な5ANN線2と接続されている。
本発明によるダイナミック半導体メモリの読出しの際にはワード線ブロックWL Bのすべてのローカルなn相のSANドライバがnの共通の駆動線SENにより 駆動される。ローカルな5ANN線2の電圧はその際に第8図中にPで示されて いる1つの値へ低下する。ワード線ブロックWLBのすべてのドライバトランジ スタNTn+lがなお遮断状態にあるかぎり、1つの評価が加速なしに行われる 。
いま列デコーダC0DEC1からのビット線ブロック−選択信号が高い電位を得 ると、ドライバトランジスタNTn+lが導通状態になり、またローカルな5A NN線が比較的迅速に基準電位にもたらされる。ローカルな5ANN線2が比較 的迅速に基準電位に放電するためには、ローカルな5ANN線上の比較的高いピ ーク電流が必要である。しかしながらこの高いピーク電流は本発明による半導体 メモリでは単一のビット線ブロックにのみ生ずるので、本発明によるダイナミッ ク半導体メモリの全ピーク電流は加速回路によりごくわずかしか高められていな い。
第5図に示されている回路は、上位の列デコーダCDECが同時に複数のワード 線ブロックに対して利用される本発明によるダイナミック半導体メモリに関する 。第5図に示されている回路は、ドライバトランジスタNTn+1の駆動の点で のみ第4図に示されている回路と相違している。一義的に1つのビット線ブロッ クを選択するためには、ビット線ブロック−選択信号BSLが先ず演算論理回路 VLのなかでワード線ブロックー選択信号WSLと論理演算されなければならな い、演算論理回路VLの出力端VはそのためにドライバトランジスタNTn+1 のゲートと接続されている。列デコーダCDECのなかでのビット線ブロックー 選択信号の形成は第7図および第8図の説明のなかで一層詳細に説明されている 。
ワード線ブロックー選択信号WSLの形成は、列デコーダの場合のようにたいて いプリコート化されたアドレス線が論理演算によりワード線ブロックー選沢信号 WSLにまとめられている行デコーダのなかで行われる。ドライバトランジスタ NTn+1がビット線ブロック−選択信号BSLによってのみ駆動されたならば 、確かにビット線ブロック−選択信号BSLにより駆動線SENのなかでアドレ ス指定されたワード線ブロックWLBのみが評価され得ようが、比較的高い電流 がドライバトランジスタを通って、従ってまた他のワード線ブロックに流れ、ま た全ビー久電流に悪影響をもたらすであろう。
本発明によるダイナミック半導体メモリの第6図に示されている加速回路はドラ イバトランジスタNTn+lおよび選択トランジスタSTがら成っており、その 際に両トランジスタは、ドライバトランジスタNTn÷1のドレイン端子がロー カルな5ANN線2と、またドライバトランジスタNTn÷1のソース端子が選 択トランジスタのドレイン端子と、またそのソース端子が基1電位線右、′と接 続されているように直列に接続されている。ローカルなSANドライバが、第4 図および第5図で説明したように、nの駆動線SENにより駆動され、またその 出力端A2はローカルなS A N N線2と接続されている。nの駆動線SE Nの個別の駆動線5ENxは選択トランジスタSTのゲートと接続されている。
好ましい仕方で選択トランジスタSTのゲートは駆動線5ENnの最後の第n相 により駆動される。駆動線5ENxによりワード線ブロックの一義的な決定が行 われる。なぜならば、列デコーダは上位にあり、また複数のワード線ブロックを 同時に駆動するからである。ビット線ブロックの選択は、第4図の場合のように 、列デコーダCDECのなかで形成可能であるビット線ブロックー選択信号BS Lにより行われる。
nの駆動線5ENO行アドレスから発生された信号は、次々とローカルなSAN ドライバLTNのすべてのnの相を発生するため、次々と時間的にずらされて高 電位を得る。各ワード線ブロックに対するnの駆動!SENは別々に存在してい るので、ワード線ブロックの選択はnの駆動線SENの1つにより行われ得る。
選択されたビット線ブロノ、りのドライバトランジスタNTn+1は最初に、既 にローカルなSANドライバのすべてのnの段がスイッチオンされている1つの 時点n4−1でビット線ブロック−選択信号BSLにより導通状態になるので、 第nの相(x=n)の駆動線5ENxが選択トランジスタSTの駆動のために十 分である。ドライバトランジスタNTn+1に直列に接続されている選択トラン ジスタSTにより、選択されたワード線ブロックに付属のビット線ブロックのみ が加速された評価を受け、従ってまた全ピーク電流は、上位の列デコーダCDE Cにより各ワード線ブロックのなかでビット線ブロックがビット線−選択信号B SLにより選択されるにもかかわらず、ごくわずかしか高められない。
本発明によるダイナミック半導体メモリにおいてブロック選択信号BSLを発生 するための可能性は第7図に示されている。第7図に示されている回路では加速 回路は、第4図の場合のように直接にビット線ブロックー選択信号BSLにより 駆動可能であるドライバトランジスタNTn+1からのみ成っている。しかしド ライバトランジスタは第5図の場合のように演算論理回路VLを介して駆動され てもよいし、または第6図の場合のように選択トランジスタSTと直列に接続さ れていてもよい。ドライバトランジスタNTnlのドレイン端子はローカルなS ANドライバLTNの出力端A2と、またローカルな5ANN線2を介して読出 し増幅器ブロックLVBの続出し増幅器LVI・・・LViの入力端E2と接続 されている。ドライバトランジスタNTn+1のソース端子は基準電位線■8. ′と接続されている。読出し増幅器LVI・・・LViのIO出力端10Aおよ びrONAはそれぞれIO線ICIよびIONと接続されている。アドレス指定 可能な選択デコーダCDEC’がその出力端にビット線−選択信号C3LI・・ ・C3Liを発生し、これらの信号は読出し増幅器LVI・・・LViのビット 線−選択入力端C3LEに供給可能である0選択デコーダCDEC’のなかで( 1アウトオブエ)選択が行われる。すなわち、それぞれただ1つのビット線−選 択信号、たとえばC3L1が高電位にされ、また残りのどノド線−選択信号は低 電位を導く。ビット線−選択信号C3L 1・・・CLS iにより選択される すべてのビット線は同一のビット線ブロックLVBに属するので、すべてのビッ ト線−選択信号C3LI・・・CLSlはビット線ブロック−選択信号BSLに オア回路ORにより論理演算される。
アドレス指定された列デコーダCDEC’の選択入力端はプリコート化された、 たとえば(1アウトオブ8)プリコート化された列アドレスYAおよびYBと、 またアドレス指定可能な列デコーダCDEC’の選択入力端はプリコート化され た、たとえば(1アウトオブ4)プリコート化された列アドレスYCおよびYD の部分Y’CおよびY’Dと接続されている。
列アドレスY^およびYBが(1アウトオブ8)プリコート化されており、また 列アドレスYCおよびYDがそれぞれ(1アウトオブ4)プリコート化されてい る場合には、アドレス指定可能な列デコーダCDEC’が続出し増幅器ブロック LVBあたりi=8・8−64の読出し増幅器を駆動し得るし、またこのアドレ ス指定可能な列デコーダCDEC′の4・4−16がアドレス指定され得る。
列デコーダCDEC’のアドレス指定のためには、最も簡単な場合、正論理の場 合には、それぞれただ1つのアドレス線Y’CおよびY’Dが必要である。読出 し増幅器ブロックLVBがたとえば64の読出し増幅器から成っているならば、 (1アウトオブ64)コード化されたビット線−選択信号により正確に1つのビ ット線対が10線10およびIONの1つの対に通過接続され得る。多くの場合 にIO線IOおよびIONの複数の対が存在しており、またこうして同時に複数 のビット線対が並列に読出され得るが、このことはビット線・選択信号の形成に 直接的な影響を及ぼさない、たとえば■0線10およびIONの2つの対が存在 しているならば、(2アウトオブi)コード化およびたとえば8の代わりにただ 4つのプリコート化された列−アドレス線YBを有する選択デコーダのみが必要 である。
オア回路ORによるピント線−選択信号の論理演算は比較的費用がかかり、また どちらかと言えば原理的な可能性を示す、従って第7a図に、列デコーダCDE Cのなかでビット線ブロック−選択信号BSLを発生するための別の可能性が示 されている。第7図の場合のように、コード化された、たとえば(1アウトオブ 8)プリコート化された列アドレスに対するアドレス線YAおよびVBはアドレ ス指定可能な選択デコーダCDEC”と接続されている。アドレス線YCおよび YDのアドレス線Y’CおよびY’Dは第7図の場合のようにアドレス指定可能 な選択デコーダCDEC”のアドレス指定のために使用され、さらにアドレス線 YCおよびYDのアドレス線Y”CおよびY”Dは1つの付加回路ZSのなかで ビット線ブロック−選択信号の並列形成のために利用され、その際にアドレス線 Y′CおよびY’Dはアドレス線Y”CおよびY”Dと同一であってよい0時間 的理由からビット線ブロックー選択信号BSLの並列形成が必要でないならば、 ビット線ブロック−選択信号BSLはそれにより一層簡単に構成された選択デコ ーダのアドレス指定のために使用され得る。その際にそのためにビット線ブロッ ク−選択信号BSLはアドレス指定可能な選択デコーダCDEC″の個別のアド レス指定入力端YCDに供給される。最も簡単な場合、正論理の場合には、(1 アウトオブ4)プリコート化された列アドレスYCに対するたとえば4つの線の ただ1つの列アドレスY”Cと、列アドレスY[lのたとえば4つの線のアドレ スY”Dに対する線とがアンド回路の形態の付加回路によりビット線ブロック− 選択信号BSLに論理演算される0列アドレスYCおよびYrJの複雑なプリコ ート化の場合、たとえば負論理の場合には、1つ以上の線、たとえば3つの線が アドレス指定可能な選択デコーダCDEC”の直接アドレス指定のために、また 1つ以上のkの線が付加回路zSのために必要とされる。
第8図に示されている電圧一時間ダイアダラムは本発明によるダイナミック半導 体メモリの加速回路に基づく評価時間の改善を示すものであり、曲線のパラメー タ表示は電圧Uのそのつどのインデックスに相応している。そこに示されている 電圧経過は読出し増幅器の能動化されていないpチャネル部分において生ずる。
電圧U2はローカルな5ANN線の電圧を示し、その点P以降で加速回路が作用 し初め、また電圧U2を加速回路なしの場合(電圧U2aにより破線で示されて いる)よりも速く基準電位に移行させる。ビット線BLと接続されているメモリ セルが論理lを記憶しているかぎり、電圧URLはこのメモリセルの読出しの際 にごくわずかしか低下せず、それに対して電圧U BLNは強く基準電位に向か って低下し、このことは差電圧UDの強い上昇を生しさせる。比較ビット線の破 線で示されている電圧経過U RLNaおよびその結果としての同じく破線で示 されている差電圧UDaは比較として加速回路なしの経過を示す。
SEN 国際調査報告 1’l””””l Al1”””’ ” PCT/DE 91100697

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.少なくとも1つのワード線ブロック(WLB)から成るメモリセル配置を有 し、また少なくとも1つのワード線ブロック(WLB)が多数のビット線ブロッ ク(TB、TB′…)から構成されており、その1つのビット線ブロックが多数 のビット線対(BL、BLN)を含んでおり、多数の読出し増幅器(LV)から 成る少なくとも1つの読出し増幅器ブロック(LVB)を有し、それぞれ1つの 読出し増幅器が読出し増幅器に所属するビット線ブロックのビット線対と接続さ れており、またnチャネル部分(SAN)およびpチャネル部分(SAP)から 構成されており、読出し増幅器のnチャネル部分(SAN)を駆動するための多 数のローカルなSANドライバを有し、また 読出し増幅器を有し、それらの増幅された読出し信号がビット線−選択信号(C SL1…CSLi)に関係して10線(IOP、ION)上に通過接線可能であ り、ビット線−選択信号(CSL1…CSLi)が列デコーダにより発生可能で あるダイナミック半導体メモリにおいて、わずかな全ピーク電流において加速さ れた評価を達成するため、それぞれビット線ブロックあたり1つのローカルなS ANドライバが存在しており、ローカルなSANドライバにおいて、第1の端子 でそのつどのローカルなSANドライバの出力端(A2)と接続されているドラ イバトランジスタ(NTn+1)を有する加速回路が付加的に存在しており、ま た加速回路が、加速された評価が、増幅された読出し信号も、ビット線−選択信 号(CSL1…CSLi)に関係してIO線(IO、ION)上に通過接続され る読出し増幅器ブロックにおいてのみ行われるように駆動可能であることを特徴 とするダイナミック半導体メモリ。
  2. 2.加速回路がドライバトランジスタ(NTn+1)からのみ成っており、個々 のワード線ブロックに対して固有の列デコーダ(CDEC1)が設けられている かぎり、ドライバトランジスタ(NTn+1)の第2の端子が直接にビット線プ ロッター選択信号(BSL)により駆動可能であり、またドライバトランジスタ (NTn+1)の第3の端子が直接に基準電位線(Vss′)と接続されている ことを特徴とする請求の範囲1記載のダイナミック半重体メモリ。
  3. 3.加速回路がドライバトランジスタ(NTn+1)からのみ成っており、ドラ イバトランジスタ(NTn+1)の第2の端子が駆動のために演算論理回路(V L)の出力端(V)と接続されており、また複数のワード線ブロックに対して共 通に上位の列デコーダ(CDEC)が設けられているかぎり演算論理回路(VL )によりビット線プロッター選択信号(BSL)がワード線プロッター選択信号 (WSL)と論理演算されており、またドライバトランジスタの第3の端子が直 接に基準電位線(Vss′)と接続されていることを特徴とする請求の範囲1記 載のダイナミック半導体メモリ。
  4. 4.演算論理回路(VL)がアンド論理演算から成っていることを特徴とする請 求の範囲3記載のダイナミック半導体メモリ。
  5. 5.加速回路がドライバトランジスタ〔NTn+1)および選択トランジスタ( ST)を有し、ドライバトランジスタ(NTn+1)の第2の端子が直接にビッ ト線プロッター選択信号(BSL)により駆動可能であり、ドライバトランジス タ(NTn+1〕の第3の端子が選択トランジスタ(ST)の第1の端子と接続 されており、また、ワード線プロッター選択を行うため、選択トランジスタ(S T)の第2の端子がローカルなSANドライバの駆動線(SENx)を介して駆 動可能であり、また選択トランジスタ(ST)の第3の端子が基準電位線(Vs s′)と接続されていることを特徴とする請求の範囲1記載のダイナミック半導 体メモリ。
  6. 6.nの駆動線(SEN1…SENn)を有するn相のSANドライバの場合に 、選択トランジスタ(ST)の第2の端子が時間的に最後の第nの相の駆動線( SENn)を介して駆動可能であることを特徴とする請求の範囲5記載のダイナ ミック半導体メモリ。
  7. 7.列デコーダ(CDEC)がビット線−選択信号(CLS1…CLSi)の発 生のためのアドレス指定可能な選択−デコーダ(CDEC′、CDEC′′)と 、ビット線プロッター選択信号(BSL)の発生のための付加回路(ZS)とを 有し、また列−アドレス線(YA、YB)が、ビット線−選択信号(CLS1… CLSi)の形成のために、選択デコーダ(CDEC′、CDEC′′)と接続 されていることを特徴とする請求の範囲1記載のダイナミック半導体メモリ。
  8. 8.それぞれ選択デコーダ(CDEC′)のすべてのビット線−選択信号(CL Sl…CLSi)がオア回路の形態の付加回路によりビット線ブロックー選択信 号(BSL)に論理演算されていることを特徴とする請求の範囲7記載のダイナ ミック半導体メモリ。
  9. 9.選択デコーダ〔CDEC′′)がアドレス指定(能動化)のための入力端( YCD)を有し、付加回路(ZS)のビット線ブロックー選択信号(BSL)を 導く出力端が選択デコーダ(CDEC′′)のアドレス指定(能動化)のための 入力端(YCD)と接続されており、また付加回路(ZS)の入力端(Y′′C 、Y′D)が別の列−アドレス線(YC、YD)と接続されていることを特徴と する請求の範囲7記載のダイナミック半導体メモリ。
  10. 10.選択デコーダ(CDEC′′〕がアドレス指定(能動化)のための入力端 (Y′C、Y′D)を有し、これらの入力端(Y′C、Y′D)が別の列−アド レス線(YC、YD)と接続されており、また付加回路(ZS)の入力端(Y′ ′C、Y′′D)が別の列−アドレス線(YC、YD)と接続されていることを 特徴とする請求の範囲7記載のダイナミック半導体メモリ。
  11. 11.付加回路(ZS)がアンド論理演算から成っていることを特徴とする請求 の範囲9または10記載のダイナミック半導体メモリ。
  12. 12.加速回路が第1の基準電位線(Vss′)と接続されており、またローカ ルなSANドライバが第1の基準電位線に対して隔てられて導かれている第2の 基準電位線(Vss)と接続されていることを特徴とする請求の範囲1記載のダ イナミック半導体メモリ。
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