JPH0648405Y2 - 表面低抗測定用探触子 - Google Patents
表面低抗測定用探触子Info
- Publication number
- JPH0648405Y2 JPH0648405Y2 JP1985071796U JP7179685U JPH0648405Y2 JP H0648405 Y2 JPH0648405 Y2 JP H0648405Y2 JP 1985071796 U JP1985071796 U JP 1985071796U JP 7179685 U JP7179685 U JP 7179685U JP H0648405 Y2 JPH0648405 Y2 JP H0648405Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- contact
- contactor
- ring
- spring
- probe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Measuring Instrument Details And Bridges, And Automatic Balancing Devices (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、マイクロコンピュータ、ワードプロセッサー
のプリンター等の電子機器に用いる種々の電気導伝性の
膜、フィルム、シート、ハウジング等の表面抵抗を非破
壊で測定する表面抵抗測定用探触子に関する。
のプリンター等の電子機器に用いる種々の電気導伝性の
膜、フィルム、シート、ハウジング等の表面抵抗を非破
壊で測定する表面抵抗測定用探触子に関する。
近年、導電塗装体の塗装むらの検査あるいはその平均膜
厚の検定、ハウジング等に於いては表面抵抗を測定する
ことが行われている。
厚の検定、ハウジング等に於いては表面抵抗を測定する
ことが行われている。
検体の表面抵抗は、単位正方形の相対する一辺の間の抵
抗値である。
抗値である。
絶縁体、帯電防止剤塗膜の表面抵抗の測定についてはJI
SK−6911に規定されるように同心リング電極を用いて測
定されるが、抵抗値が低い検体の表面抵抗測定について
は規定されてない。かかる方法を用いても誤差が大きい
し、また、検体の形状が規格化されており、製品を非破
壊で測定することはできない。
SK−6911に規定されるように同心リング電極を用いて測
定されるが、抵抗値が低い検体の表面抵抗測定について
は規定されてない。かかる方法を用いても誤差が大きい
し、また、検体の形状が規格化されており、製品を非破
壊で測定することはできない。
非破壊で測定できる測定器としてはシリコンウェハーの
表面抵抗を四探針法や渦電流方式により測定できる装置
が市販されているが、極めて高価である。よって、導電
膜、ハウジング等の表面抵抗を測定する簡易的な表面抵
抗の測定装置として、従来、テスター、デジタルマルチ
メータ等の抵抗測定器が一般に用いられている。これら
は一対のテストプローブ（ピン）を手でつかんで任意の
距離はなしてあて、その２点間の抵抗を測定して表面抵
抗の目安とする方法である。
表面抵抗を四探針法や渦電流方式により測定できる装置
が市販されているが、極めて高価である。よって、導電
膜、ハウジング等の表面抵抗を測定する簡易的な表面抵
抗の測定装置として、従来、テスター、デジタルマルチ
メータ等の抵抗測定器が一般に用いられている。これら
は一対のテストプローブ（ピン）を手でつかんで任意の
距離はなしてあて、その２点間の抵抗を測定して表面抵
抗の目安とする方法である。
しかしながら、この方法では、抵抗値によりプローブ先
端の形状、試料との接触面積、接触角、接触距離、接圧
等により同じ試料の同じ箇所で測定を行っても異なる値
を示すという欠点がある。
端の形状、試料との接触面積、接触角、接触距離、接圧
等により同じ試料の同じ箇所で測定を行っても異なる値
を示すという欠点がある。
また従来のものは電極が２つしかないので低抵抗サンプ
ルに対しては接触抵抗が相対的に大きくなり、正確な測
定ができなかった。
ルに対しては接触抵抗が相対的に大きくなり、正確な測
定ができなかった。
又、低抵抗の測定法として四探針法が知られているが、
四探針法の測定値は、ベル システム テクニカル ジ
ャーナル（Bell System Technical Journal）37 711（1
958）に示されている様に、サンプルの形状，寸法，位
置等により適宜補正をほどこす必要があった。
四探針法の測定値は、ベル システム テクニカル ジ
ャーナル（Bell System Technical Journal）37 711（1
958）に示されている様に、サンプルの形状，寸法，位
置等により適宜補正をほどこす必要があった。
本考案は、以上の欠点をのぞくためになされたもので、
電気絶縁材料によって外筒を構成し、この外筒内には中
心孔と、該中心孔と同心円状に３個の環状孔を設け、上
記中心孔内には下面に直径１〜5mmの接触面を有する棒
状接触子を、上記環状孔には夫々下端が平坦なリング状
接触子を上下動可能に嵌合し、各接触子をスプリングの
弾力により架台の下端面より0.5〜5mm突出しかつ各接触
子の弾撥力が100g以上となるように各接触子を独立に弾
撥せしめると共に、中央棒状接触子と最外周リング状接
触子を直流電源に連結し、中間部２個のリング状接触子
を測定器に接触して表面抵抗測定用探触子としたもの
で、棒状接触子とリング状接触子をスプリングの弾力に
より常に一定の角度と距離と圧力で被測定体に当接して
常に一定かつ正確にサンプルの形状，寸法，位置等の影
響をうけないで被測定体の表面抵抗を測定しうるように
したものである。
電気絶縁材料によって外筒を構成し、この外筒内には中
心孔と、該中心孔と同心円状に３個の環状孔を設け、上
記中心孔内には下面に直径１〜5mmの接触面を有する棒
状接触子を、上記環状孔には夫々下端が平坦なリング状
接触子を上下動可能に嵌合し、各接触子をスプリングの
弾力により架台の下端面より0.5〜5mm突出しかつ各接触
子の弾撥力が100g以上となるように各接触子を独立に弾
撥せしめると共に、中央棒状接触子と最外周リング状接
触子を直流電源に連結し、中間部２個のリング状接触子
を測定器に接触して表面抵抗測定用探触子としたもの
で、棒状接触子とリング状接触子をスプリングの弾力に
より常に一定の角度と距離と圧力で被測定体に当接して
常に一定かつ正確にサンプルの形状，寸法，位置等の影
響をうけないで被測定体の表面抵抗を測定しうるように
したものである。
以下図面につき本考案の一実施例を説明する。
第1,2図に示すように樹脂、木、その他の電気絶縁性材
料によって直方体又は円筒状の外筒１を構成し、この外
筒１内には中心孔２と、その外方に３つの下端が開放し
た環状の孔3,4,5を同心状に設け、この中心孔２にはス
プリングコンタクトプローブ2aを軸方向に固定し、その
下端には棒状接触子９を第１図，第３図に示すように上
下動可能に挿入し、スプリング10の弾力により弾撥して
外筒１の下端より0.5〜5mm突出せしめる。また３つの筒
型の孔3,4,5内には下端が平坦なリング状接触子6,7,8を
上下動すべく嵌合する。またリング状接触子6,7,8はス
プリング11,12,13の弾力により架台１の下端より同様に
突出するように各接触子を独立に弾撥せしめる。上記棒
状接触子９の下面はその接点の接触面積をできるだけ大
きくするため、直径１〜5mmの接触面が形成される。上
記スプリング10のバネ定数はできるだけ大きいほどよ
く、その力はスプリングコンタクトプローブ１本につき
100g以上とされる。上記スプリングコンタクトプローブ
2aと外周のリング電極８の上端は導線14,15により直流
電源（又は四探針法デジタルマルチメータの電流側）16
に接続し、また中間のリング電極6,7は導線17,18により
計器19（電圧計又は四探針法デジタルマルチメータの電
圧側）に接続する。
料によって直方体又は円筒状の外筒１を構成し、この外
筒１内には中心孔２と、その外方に３つの下端が開放し
た環状の孔3,4,5を同心状に設け、この中心孔２にはス
プリングコンタクトプローブ2aを軸方向に固定し、その
下端には棒状接触子９を第１図，第３図に示すように上
下動可能に挿入し、スプリング10の弾力により弾撥して
外筒１の下端より0.5〜5mm突出せしめる。また３つの筒
型の孔3,4,5内には下端が平坦なリング状接触子6,7,8を
上下動すべく嵌合する。またリング状接触子6,7,8はス
プリング11,12,13の弾力により架台１の下端より同様に
突出するように各接触子を独立に弾撥せしめる。上記棒
状接触子９の下面はその接点の接触面積をできるだけ大
きくするため、直径１〜5mmの接触面が形成される。上
記スプリング10のバネ定数はできるだけ大きいほどよ
く、その力はスプリングコンタクトプローブ１本につき
100g以上とされる。上記スプリングコンタクトプローブ
2aと外周のリング電極８の上端は導線14,15により直流
電源（又は四探針法デジタルマルチメータの電流側）16
に接続し、また中間のリング電極6,7は導線17,18により
計器19（電圧計又は四探針法デジタルマルチメータの電
圧側）に接続する。
上記スプリングコンタクロプローブ2aは第3,4図示のよ
うにスプリング内蔵式でもスプリング外装式のものでも
よい。
うにスプリング内蔵式でもスプリング外装式のものでも
よい。
第３図はこのスプリング内蔵式のスプリングコンタクト
プローブ2aを示すもので、架台１に固定された外筒20内
に下端に接触子９を有するピストン21を摺動すべく嵌合
し、ピストン21の上方にはスプリング10を挿入すると共
に外筒20の下部にはピストン21の頭部と係合してその脱
出を阻止するストッパ22を設けたものである。
プローブ2aを示すもので、架台１に固定された外筒20内
に下端に接触子９を有するピストン21を摺動すべく嵌合
し、ピストン21の上方にはスプリング10を挿入すると共
に外筒20の下部にはピストン21の頭部と係合してその脱
出を阻止するストッパ22を設けたものである。
第４図はスプリング外装式のスプリングコンタクトプロ
ーブ2aを示すもので、上記ピストン21の突出部外側にス
プリング10を挿入したものである。
ーブ2aを示すもので、上記ピストン21の突出部外側にス
プリング10を挿入したものである。
本考案はかかる構成によりなるものであるから、架台１
を測定すべき基板上におき、の下端面を基板上に当接す
ると、接触子９とリング電極6,7,8はスプリング10,11,1
2,13の圧力により、基板に対し一定角度と一定距離と一
定圧力で当接する。直流電源16より出た直流電流は導線
14,15を介して棒状接触子９とリング状接触子８間の基
板に流れ、中間のリング電極6,7間の電圧は計器19によ
り測定され、その電圧よりその間の抵抗値を測定でき
る。本測定法は基本的に四探針法であり、したがって接
触抵抗の影響がほとんどなく正確にその表面抵抗を測定
することができるものである。なお、リング状接触子6,
7,8と棒状接触子９との間の面積が一定になるようにデ
ィメンジョンをきめると計算に便利である。
を測定すべき基板上におき、の下端面を基板上に当接す
ると、接触子９とリング電極6,7,8はスプリング10,11,1
2,13の圧力により、基板に対し一定角度と一定距離と一
定圧力で当接する。直流電源16より出た直流電流は導線
14,15を介して棒状接触子９とリング状接触子８間の基
板に流れ、中間のリング電極6,7間の電圧は計器19によ
り測定され、その電圧よりその間の抵抗値を測定でき
る。本測定法は基本的に四探針法であり、したがって接
触抵抗の影響がほとんどなく正確にその表面抵抗を測定
することができるものである。なお、リング状接触子6,
7,8と棒状接触子９との間の面積が一定になるようにデ
ィメンジョンをきめると計算に便利である。
リング状接触子6,7の間の面積が１cm2となるような電極
の各寸法を例示すると以下の通りである。
の各寸法を例示すると以下の通りである。
接触子９の外径 r1； 1.0mm リング電極６の内径 r2； 2.0mm 〃 〃 r3； 3.0mm リング電極７の内径 r4； 6.4mm 〃 〃 外径 r5； 7.4mm 〃 ８の内径 r6； 9.0mm 〃 〃 外径 r7; 10.0mm 尚、この寸法の測定器を四探針法デジタルマルチメータ
（横河ヒューレットパッカード（株）製.3478Aマルチメ
ータ）に接続し、ニッケル系導電性塗料（三菱油化
（株）製．商品名MCP−120）を塗布したABS製シートの
表面抵抗測定例を表１に示す。
（横河ヒューレットパッカード（株）製.3478Aマルチメ
ータ）に接続し、ニッケル系導電性塗料（三菱油化
（株）製．商品名MCP−120）を塗布したABS製シートの
表面抵抗測定例を表１に示す。
上記結果により、本考案により測定した表面抵抗値は、
参考例に示した四探針法のようにサンプルの寸法の影響
をうけずに表面抵抗を正確に測定できることが確認され
た。
参考例に示した四探針法のようにサンプルの寸法の影響
をうけずに表面抵抗を正確に測定できることが確認され
た。
本考案の効果を摘記すると以下の通りである。
（１）探触子を被測定物に圧着すると、その接触子は一
定荷重で押圧されるので測定値が安定する。
定荷重で押圧されるので測定値が安定する。
（２）探触子が被測定物に当たる角度、距離が一定なた
め誰が測定しても一定の値が得られる。
め誰が測定しても一定の値が得られる。
（３）軽量な上、コンパクトなので、コーナー部等測定
しにくい箇所も楽にはかれると共に被測定物に傷をつけ
にくい。
しにくい箇所も楽にはかれると共に被測定物に傷をつけ
にくい。
（４）本測定器は四探針法による抵抗測定を行うため接
触抵抗の影響がほどんどなく、正確に表面抵抗を測定で
きる。
触抵抗の影響がほどんどなく、正確に表面抵抗を測定で
きる。
（５）測定サンプルの形状，寸法，測定位置による測定
値のずれが少なく、補正がしやすい。
値のずれが少なく、補正がしやすい。
なお、上記棒状接触子及びリング状接触子に金メッキを
ほどこすと、更に測定値の信頼性が向上する。また各接
触子をソケット式にするといたんできても簡単に交換で
きると共に傷つきやすい面を測定する際には、バネ定数
の小さなスプリングコンタクトプローブに交換して測定
できるのでその面を傷つけずに測定できるものである。
ほどこすと、更に測定値の信頼性が向上する。また各接
触子をソケット式にするといたんできても簡単に交換で
きると共に傷つきやすい面を測定する際には、バネ定数
の小さなスプリングコンタクトプローブに交換して測定
できるのでその面を傷つけずに測定できるものである。
第１図は本考案の一実施例を示す縦断面図、第２図はそ
の下端面図、第３図はスプリング内装型プローブの断面
図、第４図はスプリング外装型プローブの断面図であ
る。 １……外筒、２……中心孔、2a……スプリングコンタク
トプローブ、3,4,5……環状の孔、6,7,8……リング状接
触子、９……棒状接触子、10,11,12,13……スプリン
グ。
の下端面図、第３図はスプリング内装型プローブの断面
図、第４図はスプリング外装型プローブの断面図であ
る。 １……外筒、２……中心孔、2a……スプリングコンタク
トプローブ、3,4,5……環状の孔、6,7,8……リング状接
触子、９……棒状接触子、10,11,12,13……スプリン
グ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 栗原 浩 三重県四日市市東邦町１番地 三菱油化株 式会社四日市事業所内 (56)参考文献 実開 昭52−87943（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−69165（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】電気絶縁材料によって外筒を構成し、この
外筒内には中心孔と、該中心孔と同心円状に３個の環状
孔を設け、上記中心孔内には下面に直径１〜5mmの接触
面を有する棒状接触子を、上記環状孔には夫々下端が平
坦なリング状接触子を上下動可能に嵌合し、各接触子を
スプリングの弾力により架台の下端面より0.5〜5mm突出
しかつ各接触子の弾撥力が100g以上となるように各接触
子を独立に弾撥せしめると共に、中央棒状接触子と最外
周リング状接触子を直流電源に連結し、中間部２個のリ
ング状接触子を電位測定器に接触してなる表面抵抗測定
用探触子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985071796U JPH0648405Y2 (ja) | 1985-05-14 | 1985-05-14 | 表面低抗測定用探触子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985071796U JPH0648405Y2 (ja) | 1985-05-14 | 1985-05-14 | 表面低抗測定用探触子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61187465U JPS61187465U (ja) | 1986-11-21 |
| JPH0648405Y2 true JPH0648405Y2 (ja) | 1994-12-12 |
Family
ID=30609608
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985071796U Expired - Lifetime JPH0648405Y2 (ja) | 1985-05-14 | 1985-05-14 | 表面低抗測定用探触子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0648405Y2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102410822B (zh) * | 2010-09-21 | 2013-07-24 | 捷毅系统股份有限公司 | 厚度量测装置及其方法 |
| JP2021503591A (ja) * | 2018-11-02 | 2021-02-12 | ハンズ レーザー テクノロジー インダストリー グループ カンパニー リミテッド | 品質検査装置、方法、システム及び一体型プローブ組立体 |
| CN109596677A (zh) * | 2018-11-02 | 2019-04-09 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 一种质量检测装置、方法、系统及一体式探针组件 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5287943U (ja) * | 1975-12-25 | 1977-06-30 | ||
| JPS6169165U (ja) * | 1984-10-11 | 1986-05-12 |
-
1985
- 1985-05-14 JP JP1985071796U patent/JPH0648405Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61187465U (ja) | 1986-11-21 |
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