JPH0644573A - 光軸制御装置 - Google Patents
光軸制御装置Info
- Publication number
- JPH0644573A JPH0644573A JP2412208A JP41220890A JPH0644573A JP H0644573 A JPH0644573 A JP H0644573A JP 2412208 A JP2412208 A JP 2412208A JP 41220890 A JP41220890 A JP 41220890A JP H0644573 A JPH0644573 A JP H0644573A
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- Japan
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- light
- optical axis
- lens
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- light receiving
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Abstract
(57)【要約】
〔目的〕レーザチューブの交換等よる光源位置の微小変
化に対しても、後段の光学系の配置調整をする必要がな
く、光学装置上で常に安定した光軸と光径を保てるよう
にする。 〔構成〕レーザ光源１、第１駆動手段２により移動自在
な第１集光レンズ３、コリメートレンズ４、コーナキュ
ーブ６、λ／４板７、偏光ビームスプリッタ８、第１受
光素子９、検出器１０、フィードバック回路１１より成
る光軸制御装置において、前記偏光ビームスプリッタ８
により反射された光束を集光する第２集光レンズ１２
と、該第２集光レンズによって集光された点を固定焦点
とし、移動自在なズームレンズを有する多焦点レンズ系
１３と、該多焦点レンズ系１３を射出した光束を分岐さ
せるダイクロイックミラー１４、該ダイクロイックミラ
ー１４で分岐された光束を受光する第２受光素子１６
と、該第２受光素子の受光結果を画像表示する表示手段
１７とを備えた。
化に対しても、後段の光学系の配置調整をする必要がな
く、光学装置上で常に安定した光軸と光径を保てるよう
にする。 〔構成〕レーザ光源１、第１駆動手段２により移動自在
な第１集光レンズ３、コリメートレンズ４、コーナキュ
ーブ６、λ／４板７、偏光ビームスプリッタ８、第１受
光素子９、検出器１０、フィードバック回路１１より成
る光軸制御装置において、前記偏光ビームスプリッタ８
により反射された光束を集光する第２集光レンズ１２
と、該第２集光レンズによって集光された点を固定焦点
とし、移動自在なズームレンズを有する多焦点レンズ系
１３と、該多焦点レンズ系１３を射出した光束を分岐さ
せるダイクロイックミラー１４、該ダイクロイックミラ
ー１４で分岐された光束を受光する第２受光素子１６
と、該第２受光素子の受光結果を画像表示する表示手段
１７とを備えた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、光ディスク原盤露光
装置における、光軸制御装置に関するものである。
装置における、光軸制御装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、光ディスク原盤露光装置にお
いては、レーザ光軸を安定化させるための光軸制御装置
が種々考えられている。例えば、特開平２−１１３４３
９公報においては、ミラーを用いて光軸変動を平行移動
化し、コーナキューブを光軸に垂直な面内において２次
元移動させることによって光軸を安定化させることが開
示されている。
いては、レーザ光軸を安定化させるための光軸制御装置
が種々考えられている。例えば、特開平２−１１３４３
９公報においては、ミラーを用いて光軸変動を平行移動
化し、コーナキューブを光軸に垂直な面内において２次
元移動させることによって光軸を安定化させることが開
示されている。
【０００３】また、上記構成に加えて、λ／４板を前記
コーナキューブ出射側に配置することにより、射出光量
の利用効率の向上を図った技術もある。
コーナキューブ出射側に配置することにより、射出光量
の利用効率の向上を図った技術もある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の光軸制御装置においては、光源から射出する発散光
を平行光とするコリメート光学系は固定されているた
め、消耗品であるレーザチューブの交換等の処置を行な
う度に、該レーザチューブの設置位置が微少変化するた
めに、射出光の広がり角に微少変動が生じて、この微少
変化に前記コリメート光学系が対応しきれず、光束が拡
散したり、収束したりする。このため、後段の光学系を
調整する必要が生じ、製造時に設定した光学系を恒久的
に維持することが困難であるという問題点があった。
来の光軸制御装置においては、光源から射出する発散光
を平行光とするコリメート光学系は固定されているた
め、消耗品であるレーザチューブの交換等の処置を行な
う度に、該レーザチューブの設置位置が微少変化するた
めに、射出光の広がり角に微少変動が生じて、この微少
変化に前記コリメート光学系が対応しきれず、光束が拡
散したり、収束したりする。このため、後段の光学系を
調整する必要が生じ、製造時に設定した光学系を恒久的
に維持することが困難であるという問題点があった。
【０００４】そこで、この発明は、上述した従来の問題
点を解消して、レーザチューブの交換等により光源位置
が微少変化する場合でも、常に安定した光軸と光束径を
維持することができる光軸制御装置を提供することを課
題としている。
点を解消して、レーザチューブの交換等により光源位置
が微少変化する場合でも、常に安定した光軸と光束径を
維持することができる光軸制御装置を提供することを課
題としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明の要旨とすると
ころは、請求項１においては、レーザ光源と、該レーザ
光源からの拡散光を集光し、第１駆動手段により光軸方
向に移動自在な第１集光レンズと、該第１集光レンズを
射出した光束を平行光にするコリメートレンズと、該平
行光の光軸を第２駆動手段により光軸に垂直な面内で２
次元移動調節するためのコーナキューブと、該コーナキ
ューブを射出したλ／４板を介して入射した大部分の光
束を直角方向に反射し、一部の光束を直進透過させる偏
光ビームスプリッタと、該偏光ビームスプリッタを直進
透過した光束を受光する第１受光素子と、該第１受光素
子の受光信号から光軸の位置ずれを検知する検出器と、
該検出器の検出結果から前記コーナキューブが光軸を所
定位置に保つべく移動するように前記第２駆動手段を制
御するフィードバック回路とを備えた光軸制御装置にお
いて、前記偏光ビームスプリッタにより直角方向に反射
された光束を集光する第２集光レンズと、該第２集光レ
ンズによって集光された点を固定焦点とし、移動自在な
ズームレンズを有する多焦点レンズ系と、該多焦点レン
ズ系を射出した光束の大部分を直進透過し、一部の光束
を略直角方向に反射するダイクロイックミラーと、該ダ
イクロイックミラーによって反射された光束を受光する
第２受光素子と、該第２受光素子による受光結果を画像
表示して光束径を判定するための表示手段とを備え、ま
た、請求項２においては、レーザ光源と、該レーザ光源
からの拡散光を集光し、第１駆動手段により光軸方向に
移動自在な第１集光レンズと、該第１集光レンズを射出
した光束を平行光にする第１コリメートレンズと、該平
行光の光軸を第２駆動手段により光軸に垂直な面内で２
次元移動調節するためのコーナキューブと、該コーナキ
ューブを射出したλ／４板を介して入射した大部分の光
束を直角方向に反射し、一部の光束を直進透過させる偏
光ビームスプリッタと、該偏光ビームスプリッタを直進
透過した光束を受光する第１受光素子と、該第１受光素
子の受光信号から光軸の位置ずれを検知する検出器と、
該検出器の検出結果から前記コーナキューブが光軸を所
定位置に保つべく移動するように前記第２駆動手段を制
御するフィードバック回路とを備えた光軸制御装置にお
いて、前記偏光ビームスプリッタにより直角方向に反射
された光束を集光する第２集光レンズと、該第２集光レ
ンズによって集光された点を固定焦点とし、移動自在な
ズームレンズを有する多焦点レンズ系と、該多焦点レン
ズ系を射出した光束の大部分を直進透過し、一部の光束
を略直角方向に反射するダイクロイックミラーと、該ダ
イクロイックミラーによって反射された光束を集光する
第２コリメートレンズと、該第２コリメートレンズによ
る焦点像を受光する第２受光素子と、該第２受光素子に
よる受光結果を画像表示して平行光の判定を行なうため
の表示手段とを備えたことにある。
ころは、請求項１においては、レーザ光源と、該レーザ
光源からの拡散光を集光し、第１駆動手段により光軸方
向に移動自在な第１集光レンズと、該第１集光レンズを
射出した光束を平行光にするコリメートレンズと、該平
行光の光軸を第２駆動手段により光軸に垂直な面内で２
次元移動調節するためのコーナキューブと、該コーナキ
ューブを射出したλ／４板を介して入射した大部分の光
束を直角方向に反射し、一部の光束を直進透過させる偏
光ビームスプリッタと、該偏光ビームスプリッタを直進
透過した光束を受光する第１受光素子と、該第１受光素
子の受光信号から光軸の位置ずれを検知する検出器と、
該検出器の検出結果から前記コーナキューブが光軸を所
定位置に保つべく移動するように前記第２駆動手段を制
御するフィードバック回路とを備えた光軸制御装置にお
いて、前記偏光ビームスプリッタにより直角方向に反射
された光束を集光する第２集光レンズと、該第２集光レ
ンズによって集光された点を固定焦点とし、移動自在な
ズームレンズを有する多焦点レンズ系と、該多焦点レン
ズ系を射出した光束の大部分を直進透過し、一部の光束
を略直角方向に反射するダイクロイックミラーと、該ダ
イクロイックミラーによって反射された光束を受光する
第２受光素子と、該第２受光素子による受光結果を画像
表示して光束径を判定するための表示手段とを備え、ま
た、請求項２においては、レーザ光源と、該レーザ光源
からの拡散光を集光し、第１駆動手段により光軸方向に
移動自在な第１集光レンズと、該第１集光レンズを射出
した光束を平行光にする第１コリメートレンズと、該平
行光の光軸を第２駆動手段により光軸に垂直な面内で２
次元移動調節するためのコーナキューブと、該コーナキ
ューブを射出したλ／４板を介して入射した大部分の光
束を直角方向に反射し、一部の光束を直進透過させる偏
光ビームスプリッタと、該偏光ビームスプリッタを直進
透過した光束を受光する第１受光素子と、該第１受光素
子の受光信号から光軸の位置ずれを検知する検出器と、
該検出器の検出結果から前記コーナキューブが光軸を所
定位置に保つべく移動するように前記第２駆動手段を制
御するフィードバック回路とを備えた光軸制御装置にお
いて、前記偏光ビームスプリッタにより直角方向に反射
された光束を集光する第２集光レンズと、該第２集光レ
ンズによって集光された点を固定焦点とし、移動自在な
ズームレンズを有する多焦点レンズ系と、該多焦点レン
ズ系を射出した光束の大部分を直進透過し、一部の光束
を略直角方向に反射するダイクロイックミラーと、該ダ
イクロイックミラーによって反射された光束を集光する
第２コリメートレンズと、該第２コリメートレンズによ
る焦点像を受光する第２受光素子と、該第２受光素子に
よる受光結果を画像表示して平行光の判定を行なうため
の表示手段とを備えたことにある。
【０００６】
【作用】したがって、請求項１では、多焦点レンズ系を
透過した光束を第２受光素子で受光して、その光束径を
表示手段で画像表示するので、該画像を見ながら、前記
多焦点レンズ系のズームレンズを動かすことにより光束
径の調節を行なえる。
透過した光束を第２受光素子で受光して、その光束径を
表示手段で画像表示するので、該画像を見ながら、前記
多焦点レンズ系のズームレンズを動かすことにより光束
径の調節を行なえる。
【０００７】また、請求項２では、多焦点レンズ系を透
過した光束に第２コリメートレンズを介して第２受光素
子で受光させて、請求項１と同様にその光束径を画像表
示するので、該画像を見ながら、前記ズームレンズを動
かすことにより光束の平行度の調節を行なうものであ
る。
過した光束に第２コリメートレンズを介して第２受光素
子で受光させて、請求項１と同様にその光束径を画像表
示するので、該画像を見ながら、前記ズームレンズを動
かすことにより光束の平行度の調節を行なうものであ
る。
【０００８】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面を参照して説
明する。第１図において、符号１はＬＤ（半導体レー
ザ）等のレーザ光源、２は駆動機構（第１駆動手段）３
に取り付けられて微少移動可能とされた第１集光レン
ズ、４はコリメートレンズ、５はミラー、６はコーナキ
ューブ、７はλ／４板、８は偏光ビームスプリッタ、９
は受光素子である４分割フォトダイオード、１０は光束
の基準位置からのずれを検知する検出器、１０は光束の
位置ずれを制御するフィードバック回路、１１は偏光ビ
ームスプリッタ８からの光束を集光する第２集光レン
ズ、１２はカメラのズームレンズ様の多焦点レンズ系を
それぞれ示す
明する。第１図において、符号１はＬＤ（半導体レー
ザ）等のレーザ光源、２は駆動機構（第１駆動手段）３
に取り付けられて微少移動可能とされた第１集光レン
ズ、４はコリメートレンズ、５はミラー、６はコーナキ
ューブ、７はλ／４板、８は偏光ビームスプリッタ、９
は受光素子である４分割フォトダイオード、１０は光束
の基準位置からのずれを検知する検出器、１０は光束の
位置ずれを制御するフィードバック回路、１１は偏光ビ
ームスプリッタ８からの光束を集光する第２集光レン
ズ、１２はカメラのズームレンズ様の多焦点レンズ系を
それぞれ示す
【０００９】上記構成において、レーザ光源１から射出
した角度変動を伴ったレーザ光Ａは集光レンズ２に入射
し、駆動機構３による光軸方向（矢印方向）の微少移動
によって角度変動がある場合でも、光束は光軸上の一点
に収束させられる。そして、その点を焦点とするコリメ
ートレンズ４によって角度変動は光軸に対して平行な変
動となり、ミラー５を介してコーナキューブ６に入射す
る。このコーナキューブ６で２面反射して射出した光束
はλ／４板７を通過して元の直線偏光となり、偏光ビー
ムスプリッタ８に入射する。偏光ビームスプリッタ８を
透過した光束は４分割フォトダイオード（第１受光素
子）９を介して検出器１０に入射する。この検出器１０
においては、光軸の基準位置からのずれを検知して、該
基準位置からの偏差をフィードバック回路１１へ信号出
力する。フィードバック回路１１は検出器１０から入力
される信号に応じて、コーナキューブ６を光軸に対して
垂直面内で２次元移動させる図示しない駆動機構（第２
駆動手段）の駆動を制御することにより、光軸を常に定
位置に保つようにする。
した角度変動を伴ったレーザ光Ａは集光レンズ２に入射
し、駆動機構３による光軸方向（矢印方向）の微少移動
によって角度変動がある場合でも、光束は光軸上の一点
に収束させられる。そして、その点を焦点とするコリメ
ートレンズ４によって角度変動は光軸に対して平行な変
動となり、ミラー５を介してコーナキューブ６に入射す
る。このコーナキューブ６で２面反射して射出した光束
はλ／４板７を通過して元の直線偏光となり、偏光ビー
ムスプリッタ８に入射する。偏光ビームスプリッタ８を
透過した光束は４分割フォトダイオード（第１受光素
子）９を介して検出器１０に入射する。この検出器１０
においては、光軸の基準位置からのずれを検知して、該
基準位置からの偏差をフィードバック回路１１へ信号出
力する。フィードバック回路１１は検出器１０から入力
される信号に応じて、コーナキューブ６を光軸に対して
垂直面内で２次元移動させる図示しない駆動機構（第２
駆動手段）の駆動を制御することにより、光軸を常に定
位置に保つようにする。
【００１０】一方、偏光ビームスプリッタ８の反射光束
は、入射光軸に対して同一軸又は同一方向軸となって射
出するが、第１集光レンズ２及びコリメートレンズ４で
は光束の広がり角までも平行光化することができない分
を第２集光レンズ１２で光軸上に集光させる。そして、
その点を固定焦点とする多焦点レンズ系１３のズームレ
ンズを移動させることにより、出射光径をアナログ的に
調節する。
は、入射光軸に対して同一軸又は同一方向軸となって射
出するが、第１集光レンズ２及びコリメートレンズ４で
は光束の広がり角までも平行光化することができない分
を第２集光レンズ１２で光軸上に集光させる。そして、
その点を固定焦点とする多焦点レンズ系１３のズームレ
ンズを移動させることにより、出射光径をアナログ的に
調節する。
【００１１】また、多焦点レンズ系１３による光束径の
調節を容易にする構成（請求項１）について示す。第２
図に示すように、多焦点レンズ系１３の後方位置に、光
束の一部を直角方向に反射するダイクロイックミラー１
４を配置し、その反射光をＣＣＤ等の受光素子（第２受
光素子）１６又は光束径測定器で測定する。そして、受
光素子１６からの出力信号を表示手段であるモニター１
７に入力して、光束径を分かり安く画像化し、これを肉
眼で判定しながら多焦点レンズ系１３のズームレンズを
動かして光束径を調節する。
調節を容易にする構成（請求項１）について示す。第２
図に示すように、多焦点レンズ系１３の後方位置に、光
束の一部を直角方向に反射するダイクロイックミラー１
４を配置し、その反射光をＣＣＤ等の受光素子（第２受
光素子）１６又は光束径測定器で測定する。そして、受
光素子１６からの出力信号を表示手段であるモニター１
７に入力して、光束径を分かり安く画像化し、これを肉
眼で判定しながら多焦点レンズ系１３のズームレンズを
動かして光束径を調節する。
【００１２】次に、請求項２の実施例について第３図を
参照して説明する。当該実施例は、第１図及び第２図に
示す請求項１の実施例の構成に加えて、受光素子１６で
受光する前にコリメートレンズ１５を配置している。こ
れにより、多焦点レンズ系１３を射出した光束が平行光
となっているか否かの判定を、モニター１７の画像にて
行ない、この判定に応じて前記ズームレンズを動かして
調節するものである。
参照して説明する。当該実施例は、第１図及び第２図に
示す請求項１の実施例の構成に加えて、受光素子１６で
受光する前にコリメートレンズ１５を配置している。こ
れにより、多焦点レンズ系１３を射出した光束が平行光
となっているか否かの判定を、モニター１７の画像にて
行ない、この判定に応じて前記ズームレンズを動かして
調節するものである。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よれば、従来の光軸制御装置の光束射出部にズームレン
ズを有する多焦点レンズ系を配置し、その射出光束の一
部を受光素子で受光して、画像表示する構成としたの
で、レーザチューブの交換、又は別機種の光源を装着し
た場合でも、画像を見ながら前記ズームレンズを動かす
ことにより、容易に光束径の調整を行なうことができ、
所定の光束径を維持することができる。
よれば、従来の光軸制御装置の光束射出部にズームレン
ズを有する多焦点レンズ系を配置し、その射出光束の一
部を受光素子で受光して、画像表示する構成としたの
で、レーザチューブの交換、又は別機種の光源を装着し
た場合でも、画像を見ながら前記ズームレンズを動かす
ことにより、容易に光束径の調整を行なうことができ、
所定の光束径を維持することができる。
【００１４】また、請求項２の発明によれば、前記多焦
点レンズ系の射出光束にコリメートレンズを通過させ
て、請求項１と同様に画像表示する構成としたので、請
求項１と同様に光源の交換を行なった場合でも、画像を
見ながらズームレンズを動かすことにより、容易に平行
光精度の調整を行なうことができる。
点レンズ系の射出光束にコリメートレンズを通過させ
て、請求項１と同様に画像表示する構成としたので、請
求項１と同様に光源の交換を行なった場合でも、画像を
見ながらズームレンズを動かすことにより、容易に平行
光精度の調整を行なうことができる。
【００１５】また、請求項１及び２に共通して、光束径
及び平行光の設定が任意に行なえるので、光学系全体の
設計が容易になり、又、多焦点レンズ系の光軸出し装着
作業を容易に行なうことができるものである。
及び平行光の設定が任意に行なえるので、光学系全体の
設計が容易になり、又、多焦点レンズ系の光軸出し装着
作業を容易に行なうことができるものである。
【図１】この発明の実施例を示す光軸制御装置の構成図
である。
である。
【図２】請求項１の実施例の構成を示す部分図である。
【図３】請求項２の実施例の構成を示す部分図である。
１ レーザ光源 ２ 第１集光レンズ ３ 第１駆動手段 ４ コリメートレンズ ５ 第２駆動手段 ６ コーナキューブ ７ λ／４板 ８ 偏光ビームスプリッタ ９ 第１受光素子 １０ 検出器 １１ フィードバック回路 １２ 第２集光レンズ １３ 多焦点レンズ系 １４ ダイクロイックミラー １５ 第２コリメートレンズ １６ 第２受光素子 １７ 表示手段（モニター）
Claims (2)
- 【請求項１】レーザ光源と、該レーザ光源からの拡散光
を集光し、第１駆動手段により光軸方向に移動自在な第
１集光レンズと、該第１集光レンズを射出した光束を平
行光にするコリメートレンズと、該平行光の光軸を第２
駆動手段により光軸に垂直な面内で２次元移動調節する
ためのコーナキューブと、該コーナキューブを射出した
λ／４板を介して入射した大部分の光束を直角方向に反
射し、一部の光束を直進透過させる偏光ビームスプリッ
タと、該偏光ビームスプリッタを直進透過した光束を受
光する第１受光素子と、該第１受光素子の受光信号から
光軸の位置ずれを検知する検出器と、該検出器の検出結
果から前記コーナキューブが光軸を所定位置に保つべく
移動するように前記第２駆動手段を制御するフィードバ
ック回路とを備えた光軸制御装置において、前記偏光ビ
ームスプリッタにより直角方向に反射された光束を集光
する第２集光レンズと、該第２集光レンズによって集光
された点を固定焦点とし、移動自在なズームレンズを有
する多焦点レンズ系と、該多焦点レンズ系を射出した光
束の大部分を直進透過し、一部の光束を略直角方向に反
射するダイクロイックミラーと、該ダイクロイックミラ
ーによって反射された光束を受光する第２受光素子と、
該第２受光素子による受光結果を画像表示して光束径を
判定するための表示手段とを備えたことを特徴とする光
軸制御装置。 - 【請求項２】レーザ光源と、該レーザ光源からの拡散光
を集光し、第１駆動手段により光軸方向に移動自在な第
１集光レンズと、該第１集光レンズを射出した光束を平
行光にする第１コリメートレンズと、該平行光の光軸を
第２駆動手段により光軸に垂直な面内で２次元移動調節
するためのコーナキューブと、該コーナキューブを射出
したλ／４板を介して入射した大部分の光束を直角方向
に反射し、一部の光束を直進透過させる偏光ビームスプ
リッタと、該偏光ビームスプリッタを直進透過した光束
を受光する第１受光素子と、該第１受光素子の受光信号
から光軸の位置ずれを検知する検出器と、該検出器の検
出結果から前記コーナキューブが光軸を所定位置に保つ
べく移動するように前記第２駆動手段を制御するフィー
ドバック回路とを備えた光軸制御装置において、前記偏
光ビームスプリッタにより直角方向に反射された光束を
集光する第２集光レンズと、該第２集光レンズによって
集光された点を固定焦点とし、移動自在なズームレンズ
を有する多焦点レンズ系と、該多焦点レンズ系を射出し
た光束の大部分を直進透過し、一部の光束を略直角方向
に反射するダイクロイックミラーと、該ダイクロイック
ミラーによって反射された光束を集光する第２コリメー
トレンズと、該第２コリメートレンズによる焦点像を受
光する第２受光素子と、該第２受光素子による受光結果
を画像表示して平行光の判定を行なうための表示手段と
を備えたことを特徴とする光軸制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2412208A JPH0644573A (ja) | 1990-12-19 | 1990-12-19 | 光軸制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2412208A JPH0644573A (ja) | 1990-12-19 | 1990-12-19 | 光軸制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0644573A true JPH0644573A (ja) | 1994-02-18 |
Family
ID=18521078
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2412208A Pending JPH0644573A (ja) | 1990-12-19 | 1990-12-19 | 光軸制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0644573A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09129889A (ja) * | 1995-10-31 | 1997-05-16 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |
| CN113639966A (zh) * | 2021-08-04 | 2021-11-12 | 孝感华中精密仪器有限公司 | 一种高低温条件下连续变焦电视光轴一致性检测装置 |
-
1990
- 1990-12-19 JP JP2412208A patent/JPH0644573A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09129889A (ja) * | 1995-10-31 | 1997-05-16 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |
| US5776804A (en) * | 1995-10-31 | 1998-07-07 | Nec Corporation | Process of fabricating semiconductor device having non-single crystal thin film transistor free from residual hydrogen left therein during hydrogen treatment stage |
| CN113639966A (zh) * | 2021-08-04 | 2021-11-12 | 孝感华中精密仪器有限公司 | 一种高低温条件下连续变焦电视光轴一致性检测装置 |
| CN113639966B (zh) * | 2021-08-04 | 2024-01-12 | 孝感华中精密仪器有限公司 | 一种高低温条件下连续变焦电视光轴一致性检测装置 |
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