JPH0228846B2 - - Google Patents

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JPH0228846B2
JPH0228846B2 JP58218257A JP21825783A JPH0228846B2 JP H0228846 B2 JPH0228846 B2 JP H0228846B2 JP 58218257 A JP58218257 A JP 58218257A JP 21825783 A JP21825783 A JP 21825783A JP H0228846 B2 JPH0228846 B2 JP H0228846B2
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JP
Japan
Prior art keywords
light
collimator
image
lens
screen
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
JP58218257A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS60111212A (ja
Inventor
Yutaka Uesawa
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Optical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Olympus Optical Co Ltd filed Critical Olympus Optical Co Ltd
Priority to JP21825783A priority Critical patent/JPS60111212A/ja
Publication of JPS60111212A publication Critical patent/JPS60111212A/ja
Publication of JPH0228846B2 publication Critical patent/JPH0228846B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/26Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
    • G01B11/27Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
    • G01B11/272Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes using photoelectric detection means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はコリメータの調整装置に関する。
コリメータ自体は周知であり、このコリメータ
を調整する通常の調整装置の構成を第1図に示
す。コリメータ10の鏡筒1の後端に調整板2を
介して光源3を取付ける。鏡筒1に対して光軸方
向に調整可能としたレンズ枠4にコリメートレン
ズ5を取付ける。ベース8に取付けた取付治具6
にコリメータ10の鏡筒1を取付ける。最も簡単
な調整装置として、ベース8に取付けた方眼目盛
付きのスクリーン7を設ける。
コリメータ10の光源3から放射される光はコ
リメートレンズ5を通つてスクリーン7上に投射
される。この時の投影像がスクリーン7の中心に
あり、投影像の大きさがレンズ5の有効径と等し
くなるように調整すれば、光源3がコリメートレ
ンズ5の焦点に一致していることになる。このと
き平行光束がレンズ枠に対して傾いて無いことに
なる。
しかし、この方法では像の輪郭を正確に定める
のは困難であり、像の直径の判定とスクリーンの
中心にあることの判定は正確にできない。
投影像の輪郭の測定の精度を上げるためにはコ
リメータ10とスクリーン7との距離を大きくす
る必要があるが、装置が大型となる欠点がある。
第2図に示す既知のコリメータ調整装置はスク
リーン7に代えて望遠鏡21を使用する。この装
置によれば、正確に位置決めされたコリメータか
らの平行光束による投影像の大きさが読み取れる
とともに、視野中心からの像のズレ具合によつ
て、光源の焦点位置からのズレを測定できる。
望遠鏡でコリメータ22の調整を行う場合に、
望遠鏡の倍率を下げてレンズ枠に対する光束の傾
きを測定しようとすれば、傾きの度合の測定は広
い範囲についてできるが精度は悪くなり、逆に望
遠鏡の倍率を上げて傾きの度合を測定すなわち視
野中心からのズレ量を拡大して測定することによ
つて、精度を上げようとすれば測定範囲は狭くな
る。したがつて、望遠鏡の視野内に入るように組
込まれたコリメータ22以外のコリメータについ
ては、観察できない状態で視野内に入つてくるよ
うな調整を必要とするために、粗調整は困難にな
る。
第3図に示す調整装置はベース8上に光線傾き
測定機31を取付け、表示装置32にコリメータ
33からの光束の出射角が表示される。
この装置は小型で精度も高いが光束の拡がり角
の検出が不可能であるため、総合的調整のために
は他の装置を使用する必要があり、調整終了まで
の所要時間が長くなる。
本発明の目的は、コリメータの光源をコリメー
トレンズの焦点に正確に一致させるための調整を
高精度、迅速に行うコリメータ調整装置を提供す
るにある。
本発明によるコリメータ調整装置の概要は、取
付治具に取付けたコリメータからの出射光を光分
岐素子で2分割し、一方の光束を収束レンズで収
束し、収束光束を顕微鏡で拡大する。分割された
他方の光束はミラーによつて他の経路を通らせ、
光結合素子によつて拡大光束と合成してスクリー
ン上に投影する。スクリーンの目盛と合成像とは
テレビカメラに撮像され、モニターに表示され
る。
この像の位置、形状によつてコリメータの調整
を、すなわち光源をコリメートレンズの焦点に一
致させる調整を行う。
本発明の調整装置では、コリメータからの光束
の一部はレンズ系を通らずにスクリーンに投影さ
れるため、コリメータの粗調整を容易に行うこと
ができる。すなわち、光束の大きさがレンズの口
径と同じ大きさになるように、かつスクリーンの
所定位置(例えば中心)に位置するように、コリ
メートレンズを光軸方向(前後)に移動したりあ
るいは、光源を光軸と直角方向に移動すればよ
い。このときは、まだコリメータとスクリーンと
の距離が充分でないため、感度が低く粗調整であ
る。一方、レンズ系を通つて収束され、更に顕微
鏡で拡大された像によつて、粗調整終了後の微調
整を容易に行うことができる。すなわち、コリメ
ートレンズの焦点に光源があるときには光源の像
の大きさが最小になり、焦点位置からズレたとき
には像の大きさが大きくなつていくので、この光
源の像の大きさが最小になるように、かつ光源の
像がスクリーンの所定位置(例えば中心)に位置
するように、コリメートレンズを光軸方向(前
後)に移動したりあるいは光源を光軸と直角方向
に移動する。このときは、光源の像が拡大されて
いるので感度が高く、従つて所定位置(例えば中
心)からのズレ量も大きく投影されるので、ズレ
量を無くする微調整を容易に行なえる。このよう
に粗調整と微調整の2段階で調整を行うのは、後
者のみでは調整前に光源が光軸から離れていると
スクリーンに投影されない場合があり、スクリー
ンに確実に投影するために前者が必要となる。こ
れによつて、1個のモニターテレビ上に2個の投
影像が同時に得られ、それぞれ粗調整,微調整用
として使用されるため、調整精度は良く、調整時
間は短い。
本発明を例示とした実施例並びに図面について
説明する。
本発明によるコリメータ調整装置の平面図の概
略を第4図a,bに示す。ベース57に位置調整
可能に取付けられた取付治具41に調整機構を内
蔵されたコリメータ65を取付ける。コリメータ
65からの出射光はハーフプリズム枠63に取付
けたハーフプリズム42に入射して2分割され
る。ベース57に取付けた直進ステージ64上に
レンズ枠46を介して光軸方向に調整可能に取付
けた収束レンズ45にハーフプリズム42を通つ
た直進分岐光66が入射してレンズ45によつて
収束される。収束された光束は顕微鏡47で拡大
される。
この時の拡大率は前述のように感度をよくする
ために、例えば投影像がコリメータの口径程度に
拡大される倍率とする。
ハーフプリズム42で分岐された偏向分岐光6
7はベース57に取付けたプリズム枠44に取付
けた直角プリズム43で偏向される。
ベース57にミラー枠51,53を取付け、そ
れぞれミラー50,52を保持する。直角プリズ
ム43を通つた分岐光67はミラー50によつて
更に直角に偏向し、ベース57に取付けたミラー
枠49に取付けたハーフミラー48を通る。
顕微鏡47によつて拡大された直進光束59は
ハーフミラー48によつて反射し、偏向分岐光6
7に合成される。この合成光58はミラー52に
入射して偏向し、ベース57に取付けたスクリー
ン54に投影される。この投影像をテレビカメラ
56で撮像され、テレビモニター60上に像6
1,62として表示される。このとき光源3がコ
リメートレンズ5の焦点位置から外れた位置(焦
面上にあるが焦点位置ではない)にあるときは、
収束レンズ45によつて点線で示す光束となり、
スクリーン54上ではスクリーン54の中心から
ズレることになる。なお2つの投影像が第4図a
のように重なつたときは見にくいので、ミラー4
8,52の調整によつて、像61,62の位置は
第4図bのようにモニター60の面上の任意の位
置とすることができる。これによつて2つの像は
見やすくなり、各像の任意の位置において鏡筒1
を回転したときに各像が動かなければ(スクリー
ン上に投影された像が移動しなければ)、光源3
がコリメートレンズ5の焦点位置にあることにな
る。
このような調整装置による光源とコリメートレ
ンズの調整について第4図aにより説明する。
コリメータを除く上述の各要素は、光軸上にあ
らかじめ設定配置されている。調整すべきコリメ
ータ65を取付治具に取付けてからの光源3とコ
リメートレンズ5の粗調整は、以下のようにして
行う。
第1に偏向分岐光67によるモニター60上の
像61を、モニター60のほぼ中心(スクリーン
54のほぼ中心でも同じことが言える。)となる
ように、光源3を取付けた調整板2を鏡筒1の後
端で光軸と直角の方向に移動調整する。また像6
1の大きさがコリメータの口径にテレビカメラの
倍率を乗じた大きさになるようにコリメートレン
ズ5を取付けたレンズ枠4を光軸方向に移動調整
する。(図では、わかりやすくするために、上記
乗じた大きさと像61の大きさをほぼ等倍にして
ある。)このように、調整板2とレンズ枠4の調
整によつて、平行光束をスクリーン54(モニタ
60でも同じ)のほぼ中心(ほぼ目盛中心)に投
影するための粗調整を行う。偏向分岐光67はレ
ンズを通らないため、収束、拡散はなく、また光
束通過距離が比較的長いため、比較的正確な平行
光束を得られるが、この平行光束は光源3が焦面
上にあれば得られるので、光源3が焦点にあると
は限らない。また像61の大きさを上記の乗じた
大きさに正確に合わせることが難しい。さらに像
がスクリーン54の中心に一致していることの確
認が難しいことがあげられる。なお、この時は直
進光束66による像62もモニター60上に表示
されている。
次に、微調整を行う。これは前述のように、コ
リメートレンズ5の焦点位置に光源3があるとき
には結像された像の大きさが最小になるので、最
小で鮮明な光源3の像62がモニター60の中心
に来るように、光源3を取付けた調整板2、コリ
メートレンズ5を取付けたレンズ枠3を粗調整の
位置からわずかに移動しながら微調整を行う。像
62は、光源3が拡大されたものなので、スクリ
ーン54の中心に極めて高い精度で位置させるこ
とができる。これによつて直進する平行光束66
がレンズ45によつて最小の焦点を結ぶことが確
認され、光源3がコリメートレンズ5の焦点位置
に位置したことになるので、コリメータ65の調
整を終了する。
第5図は本発明の第2の実施例を示し、ミラー
52に入射するまでの構成は第4図と同様であ
る。
ミラー52で反射された光束はスクリーン54
の代わりにスクリーンとしてテレビカメラ70の
撮像面71に投影される。この像は目盛入のテレ
ビモニター72に表示される。調整については前
述と同様である。
上述によつて明らかにされた通り、コリメータ
から出射する光束を2分割して別個の光学系を通
つた後に、結像させない光束と結像させた後拡大
した像とを合成してスクリーンに、更に1台のテ
レビモニターに投影することによつて、一方を粗
調整用、他方を微調整用とすることが可能となつ
た。このため、高精度で広い検出範囲を得ること
ができ、前記従来の矛盾した要求を共に満足でき
る。更に、テレビカメラで撮像することによつ
て、直接目視できない赤外線,紫外線用のコリメ
ータの調整も可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図ないし第3図は既知のコリメータ調整装
置の説明図、第4図a,b、第5図は本発明の第
1,第2の実施例によるコリメータ調整装置の図
である。 1……鏡筒、3……光源、4……レンズ枠、5
……コリメートレンズ、6,41……取付治具、
7,54……スクリーン、8,57……ベース、
10,22,33,65……コリメータ、21…
…望遠鏡、42……ハーフプリズム、43……直
角プリズム、45……収束レンズ、47……顕微
鏡、48……ハーフミラー、50,52……ミラ
ー、56,70……テレビカメラ、60,72…
…テレビモニター。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 位置決めの調整をすべき光源とコリメートレ
    ンズを収納した鏡筒を取付けるコリメータ取付部
    材と、 コリメータ光軸上にあつてコリメートレンズを
    通過した光束を2分割する光分岐素子と、 該光分岐素子の一方の分岐光束を収束させ前記
    光源を結像するレンズと、 該レンズによつて結像された像を拡大する顕微
    鏡と、 前記光分岐素子の他方の分岐光束をレンズ系を
    通さずに、前記顕微鏡を通つた光束とともに合成
    させる光結合素子と、 前記一方の分岐光束または他方の分岐光束を前
    記光結合素子に向けて偏向する光学系と、 該光結合素子により合成された光束を投影する
    スクリーンと、 を備える上記スクリーン上の上記他方の分岐光束
    像によつて粗調整を行い、上記一方の分岐光束の
    位置と大きさによつて微調整を行うことを特徴と
    するコリメータ調整装置。 2 前記スクリーンは、テレビカメラ撮像面であ
    ることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の
    コリメータ調整装置。 3 前記スクリーンは、投影像を撮像表示するテ
    レビカメラと、モニターテレビとを備えることを
    特徴とする特許請求の範囲第1項記載のコリメー
    タ調整装置。
JP21825783A 1983-11-19 1983-11-19 コリメ−タ調整装置 Granted JPS60111212A (ja)

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JPS60111212A JPS60111212A (ja) 1985-06-17
JPH0228846B2 true JPH0228846B2 (ja) 1990-06-26

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0541807U (ja) * 1991-10-31 1993-06-08 日本ビクター株式会社 プラテンローラの支持機構

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07117475B2 (ja) * 1990-07-25 1995-12-18 松下電器産業株式会社 光源ユニット用照明特性評価装置
DE102019118825A1 (de) * 2019-07-11 2021-01-14 MÖLLER-WEDEL OPTICAL GmbH Vorrichtung und Verfahren zum Vermessen eines halbfertigen Prismas

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5223266A (en) * 1975-08-15 1977-02-22 Hitachi Ltd Semiconductor device
JPS5897008A (ja) * 1981-12-04 1983-06-09 Hitachi Ltd 半導体レ−ザとコリメ−タレンズの位置決め方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5223266A (en) * 1975-08-15 1977-02-22 Hitachi Ltd Semiconductor device
JPS5897008A (ja) * 1981-12-04 1983-06-09 Hitachi Ltd 半導体レ−ザとコリメ−タレンズの位置決め方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0541807U (ja) * 1991-10-31 1993-06-08 日本ビクター株式会社 プラテンローラの支持機構

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