JPH0643662A - 電子回路用基板に対する露光方法と、その装置 - Google Patents
電子回路用基板に対する露光方法と、その装置Info
- Publication number
- JPH0643662A JPH0643662A JP3114134A JP11413491A JPH0643662A JP H0643662 A JPH0643662 A JP H0643662A JP 3114134 A JP3114134 A JP 3114134A JP 11413491 A JP11413491 A JP 11413491A JP H0643662 A JPH0643662 A JP H0643662A
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- Japan
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- detecting means
- mask film
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ワ−クの整合部と、露光処理部を分離して配
設した露光処理工程において、露光部に固定したマスク
フィルムの経時的変化に合理的に対応できるようにする
こと。 【構成】 露光部２にマスクフィルムの位置関係を検証
する第１の検知手段７を設け、この第１の検知手段７の
検証内容を受けて整合部１に調整作動をうながす第２の
検知手段８を演算調整手段９を介して、当該整合部１に
設けるとともに、整合済みのワ−クをそのままの状態で
露光部２へ搬送する搬送手段３を整合部１と露光部２の
間に往復移動可能に配設する。この結果、露光部２での
マスクフィルムの位置関係に常時、合致するワ−クの存
在が実現し、精緻な回路パタ−ンなどの画像が正確にし
てかつ、簡便にワ−クに露光処理できることになる。
設した露光処理工程において、露光部に固定したマスク
フィルムの経時的変化に合理的に対応できるようにする
こと。 【構成】 露光部２にマスクフィルムの位置関係を検証
する第１の検知手段７を設け、この第１の検知手段７の
検証内容を受けて整合部１に調整作動をうながす第２の
検知手段８を演算調整手段９を介して、当該整合部１に
設けるとともに、整合済みのワ−クをそのままの状態で
露光部２へ搬送する搬送手段３を整合部１と露光部２の
間に往復移動可能に配設する。この結果、露光部２での
マスクフィルムの位置関係に常時、合致するワ−クの存
在が実現し、精緻な回路パタ−ンなどの画像が正確にし
てかつ、簡便にワ−クに露光処理できることになる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子回路用基板への所
定の回路パタ−ンなどの形成を行なう露光方法と、その
装置に関する。
定の回路パタ−ンなどの形成を行なう露光方法と、その
装置に関する。
【０００２】
【従来技術と本発明が解決しようとする問題点】従来か
ら、電子回路用基板（以下、ワ−クという。）に対する
所定の回路パタ−ンなどの形成には、比較的高い精度が
得られることから、スクリ−ン印刷処理に代えて、所定
の形象を画像形成したマスクフィルムをとおして露光処
理するいわゆる、露光方法によって行なわれる場合が多
い。しかして、この露光方法においても、ワ−クを所定
位置に位置決めするワ−ク整合処理と、位置決めしたワ
−クに対する露光処理を同一ステ−ジで行なうことは、
ワ−クとマスクフィルムの位置合わせと、露光処理を同
時的に行なうことから、構造が複雑化し従って、作動工
程も多くなり、より精緻なパタ−ンなどの形成の実現が
期待できなくなるという問題が発生していた。
ら、電子回路用基板（以下、ワ−クという。）に対する
所定の回路パタ−ンなどの形成には、比較的高い精度が
得られることから、スクリ−ン印刷処理に代えて、所定
の形象を画像形成したマスクフィルムをとおして露光処
理するいわゆる、露光方法によって行なわれる場合が多
い。しかして、この露光方法においても、ワ−クを所定
位置に位置決めするワ−ク整合処理と、位置決めしたワ
−クに対する露光処理を同一ステ−ジで行なうことは、
ワ−クとマスクフィルムの位置合わせと、露光処理を同
時的に行なうことから、構造が複雑化し従って、作動工
程も多くなり、より精緻なパタ−ンなどの形成の実現が
期待できなくなるという問題が発生していた。
【０００３】この問題に対しては、最近、露光部でのマ
スクフィルムの固定構造が比較的簡便で済む点に着目し
て、ワ−ク整合部と、露光部を分離して配設し、整合部
で位置整合したワ−クをそのままの状態に維持して露光
部へ搬送し、露光処理を行なう方法が採用されている。
つまり、ワ−クの位置整合は、ワ−ク整合部においてワ
−クの位置確認から、それにともなう当該調整機構の調
整作動の指示まですべて、ワ−ク整合部での検証内容を
衝にして行なうというものである。
スクフィルムの固定構造が比較的簡便で済む点に着目し
て、ワ−ク整合部と、露光部を分離して配設し、整合部
で位置整合したワ−クをそのままの状態に維持して露光
部へ搬送し、露光処理を行なう方法が採用されている。
つまり、ワ−クの位置整合は、ワ−ク整合部においてワ
−クの位置確認から、それにともなう当該調整機構の調
整作動の指示まですべて、ワ−ク整合部での検証内容を
衝にして行なうというものである。
【０００４】露光部でのマスクフィルムの固定が比較的
安直に行なえることは先記のとおりであるが、マスクフ
ィルムは、周知のとおりポリエステルや、塩ビなどの素
材からなり、フレキシブルなものであって、しばしば、
主として露光用ランプの光熱との関係から生じる材質自
体の経時的要因により露光部での初期設定に変化が起こ
る場合がある。現に、この種のワ−ク整合部を分離した
露光システムにおいて、露光部でのマスクフィルムの位
置の再確認を定期的にチェックしなければならないもの
が出現している。このような状況下では、折角の整合部
でのワ−クの所定位置への整合も、まったく意味をもた
ないことになりまた、精度の高い搬送手段の介在も無用
なものになってしまう。結局のところ、このようにワ−
ク整合部のみでの検証内容を衝にして行なう仕様では、
露光部でのマスクフィルムの初期設定の変化に起因し
て、連続、自動的な露光処理ができなくなるとともに、
回路パタ−ンなどの形成に正確性が得られなくなるとい
う事態を招くことになる。
安直に行なえることは先記のとおりであるが、マスクフ
ィルムは、周知のとおりポリエステルや、塩ビなどの素
材からなり、フレキシブルなものであって、しばしば、
主として露光用ランプの光熱との関係から生じる材質自
体の経時的要因により露光部での初期設定に変化が起こ
る場合がある。現に、この種のワ−ク整合部を分離した
露光システムにおいて、露光部でのマスクフィルムの位
置の再確認を定期的にチェックしなければならないもの
が出現している。このような状況下では、折角の整合部
でのワ−クの所定位置への整合も、まったく意味をもた
ないことになりまた、精度の高い搬送手段の介在も無用
なものになってしまう。結局のところ、このようにワ−
ク整合部のみでの検証内容を衝にして行なう仕様では、
露光部でのマスクフィルムの初期設定の変化に起因し
て、連続、自動的な露光処理ができなくなるとともに、
回路パタ−ンなどの形成に正確性が得られなくなるとい
う事態を招くことになる。
【０００５】
【問題解決のための手段】本発明は、かかる従来技術の
状態に鑑みてなされたものであって、露光部で特定した
マスクフィルムの位置についての検証内容を衝にして、
整合部でのワ−クの位置を調整することをもって、問題
解決のための手段としている。
状態に鑑みてなされたものであって、露光部で特定した
マスクフィルムの位置についての検証内容を衝にして、
整合部でのワ−クの位置を調整することをもって、問題
解決のための手段としている。
【０００６】
【作用】本発明によると、衝となるべき露光部でのマス
クフィルムの位置関係を検知、確認し、その検証内容を
ワ−ク整合部へ伝達する第１の検知手段が露光部に設け
られ、この第１の検知手段からの検証内容を受け、これ
に従って整合部の整合調整機構へ調整作動をうながす第
２の検知手段が演算調整手段を介して、整合部に配設し
てあるので、露光部でのマスクフィルムの位置に常時、
合致した整合部でのワ−クの位置整合が得られることに
なり、マスクフィルムの露光部での固定状態に経時的変
化が発生しても、このマスクフィルムの位置変化に正確
に対応したワ−クの位置調整が可能になる。
クフィルムの位置関係を検知、確認し、その検証内容を
ワ−ク整合部へ伝達する第１の検知手段が露光部に設け
られ、この第１の検知手段からの検証内容を受け、これ
に従って整合部の整合調整機構へ調整作動をうながす第
２の検知手段が演算調整手段を介して、整合部に配設し
てあるので、露光部でのマスクフィルムの位置に常時、
合致した整合部でのワ−クの位置整合が得られることに
なり、マスクフィルムの露光部での固定状態に経時的変
化が発生しても、このマスクフィルムの位置変化に正確
に対応したワ−クの位置調整が可能になる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の実施例を装置構造を基にして
詳説する。
詳説する。
【０００８】整合部１と露光部２は直列状に配設してあ
り、搬送手段３が整合部１と、露光部２の中央部を貫通
して往復移動可能に設けてある。露光部２は、露光テ−
ブル２ａとマスクフィルムＦの取付枠４を具備してい
る。露光テ−ブル２ａには透光用の穴部５が設けてあ
り、透光板６をとおして第１の検知手段７が露光テ−ブ
ル２ａ上方に位置するマスクフィルムＦの位置関係を検
証する。露光部２の中央部つまり、露光テ−ブル２ａの
中央部を貫通して移動する搬送手段３は先記のとおり、
整合部１をも貫通して移動できるものであって、整合部
１で位置整合したワ−クＷをそのままの状態で露光部２
の所定位置へ搬送するが、ここでは、整合部１と露光部
２の表面に対して、上下に多段階移動可能な一体状のも
のに形成してある。
り、搬送手段３が整合部１と、露光部２の中央部を貫通
して往復移動可能に設けてある。露光部２は、露光テ−
ブル２ａとマスクフィルムＦの取付枠４を具備してい
る。露光テ−ブル２ａには透光用の穴部５が設けてあ
り、透光板６をとおして第１の検知手段７が露光テ−ブ
ル２ａ上方に位置するマスクフィルムＦの位置関係を検
証する。露光部２の中央部つまり、露光テ−ブル２ａの
中央部を貫通して移動する搬送手段３は先記のとおり、
整合部１をも貫通して移動できるものであって、整合部
１で位置整合したワ−クＷをそのままの状態で露光部２
の所定位置へ搬送するが、ここでは、整合部１と露光部
２の表面に対して、上下に多段階移動可能な一体状のも
のに形成してある。
【０００９】露光部２に設けた第１の検知手段７は、Ｃ
ＣＤカメラを利用したものであって露光部２の中央部つ
まり、露光テ−ブル２ａの中央部を貫通して移動する搬
送手段３に対して前進移動と、後退移動ができるように
してある。このことは、取扱い対象であるワ−クＷのサ
イズの大小に順応して、マスクフィルムＦの位置関係を
迅速に特定できるとともに、マスクフィルムＦの端面近
傍に形成した基準部を標的にした検証作用を期待できる
という効用がある。マスクフィルムＦの端面近傍の基準
部を標的にすることは、マスクフィルムＦの中央部や、
その近傍の基準部を検証するのに対して、より高い精度
の検証結果が得られることになる。マスクフィルムＦに
形成する基準部は、一定のマ−ク印であってもあるいは
また、或る大きさをもった透孔であってもよい。
ＣＤカメラを利用したものであって露光部２の中央部つ
まり、露光テ−ブル２ａの中央部を貫通して移動する搬
送手段３に対して前進移動と、後退移動ができるように
してある。このことは、取扱い対象であるワ−クＷのサ
イズの大小に順応して、マスクフィルムＦの位置関係を
迅速に特定できるとともに、マスクフィルムＦの端面近
傍に形成した基準部を標的にした検証作用を期待できる
という効用がある。マスクフィルムＦの端面近傍の基準
部を標的にすることは、マスクフィルムＦの中央部や、
その近傍の基準部を検証するのに対して、より高い精度
の検証結果が得られることになる。マスクフィルムＦに
形成する基準部は、一定のマ−ク印であってもあるいは
また、或る大きさをもった透孔であってもよい。
【００１０】整合部１は、χ，ｙ，θの三軸ステ−ジを
主要素として構成される整合調整機構１ａからなりま
た、露光部２の第１の検知手段７のマスクフィルムＦの
位置関係に係わる検証内容を受ける第２の検知手段８を
具備する。三軸ステ−ジを主要素とする調整機構１ａ
は、露光部２の第１の検知手段７のマスクフィルムＦに
関する検証内容に従って作用する当該第２の検知手段８
によって、調整作動を行なう。要するに、整合部１のワ
−クＷは、マスクフィルムＦの位置関係を検証した第１
の検知手段７の検証内容の伝達を受けて、第２の検知手
段８によって整合されることになる。
主要素として構成される整合調整機構１ａからなりま
た、露光部２の第１の検知手段７のマスクフィルムＦの
位置関係に係わる検証内容を受ける第２の検知手段８を
具備する。三軸ステ−ジを主要素とする調整機構１ａ
は、露光部２の第１の検知手段７のマスクフィルムＦに
関する検証内容に従って作用する当該第２の検知手段８
によって、調整作動を行なう。要するに、整合部１のワ
−クＷは、マスクフィルムＦの位置関係を検証した第１
の検知手段７の検証内容の伝達を受けて、第２の検知手
段８によって整合されることになる。
【００１１】このとき、第１の検知手段７と、第２の検
知手段８の相方の位置関係を演算調整する手段９が介在
することは勿論であって、第２の検知手段８が演算調整
手段９の作用によって、露光部２の第１の検知手段７の
マスクフィルムＦに関する検証内容を正確にかつ、迅速
に整合部１に指示できることになる。整合部１の第２の
検知手段８もまた、ＣＣＤカメラを利用し更に、整合部
１の中央部に対して進退移動可能にしてある。第２の検
知手段８が、進退移動可能にしてあることは、搬送手段
３によって搬送されるワ−クＷのサイズの相違に迅速に
対応できるとともに、ワ−クＷの端面近傍の基準部を標
的にした検知作用が期待できる利点を有するが、このこ
とは、先記の露光部２での第１の検知手段７が露光部２
の中央部に対して進退移動することから得られる効果と
同様の効果が得られるということである。つまり、ワ−
クＷの中央部や、その近傍を検証するより、高い精度の
検証内容が得られることになる。また、ワ−クＷ端面の
近傍に形成する基準部が、一定のマ−ク印であってもあ
るいは、透孔であってもよいことは勿論である。
知手段８の相方の位置関係を演算調整する手段９が介在
することは勿論であって、第２の検知手段８が演算調整
手段９の作用によって、露光部２の第１の検知手段７の
マスクフィルムＦに関する検証内容を正確にかつ、迅速
に整合部１に指示できることになる。整合部１の第２の
検知手段８もまた、ＣＣＤカメラを利用し更に、整合部
１の中央部に対して進退移動可能にしてある。第２の検
知手段８が、進退移動可能にしてあることは、搬送手段
３によって搬送されるワ−クＷのサイズの相違に迅速に
対応できるとともに、ワ−クＷの端面近傍の基準部を標
的にした検知作用が期待できる利点を有するが、このこ
とは、先記の露光部２での第１の検知手段７が露光部２
の中央部に対して進退移動することから得られる効果と
同様の効果が得られるということである。つまり、ワ−
クＷの中央部や、その近傍を検証するより、高い精度の
検証内容が得られることになる。また、ワ−クＷ端面の
近傍に形成する基準部が、一定のマ−ク印であってもあ
るいは、透孔であってもよいことは勿論である。
【００１２】以上の装置構造の説明から明らかなとお
り、露光部２の取付枠４に固定したマスクフィルムＦは
常に、その位置関係が第１の検知手段７によって検証さ
れ、この検証内容は、演算調整手段９であるコンピュ−
タ−装置を介して、整合部１の第２の検知手段８に伝達
されている。かくして、第２の検知手段８は、露光部２
での検証内容に従って、整合部１のワ−クＷの位置整合
を、χ，ｙ，θの三軸ステ−ジからなる調整機構１ａに
指示して、実現させることになる。従って、マスクフィ
ルムＦの初期設定に経時的変化が生じても、この変化は
即座に、第１の検知手段７によって検証され、演算調整
手段９であるコンピュ−タ−装置を介して整合部１の第
２の検知手段８に伝達されることになり、整合部１での
ワ−クＷの位置は露光部２のマスクフィルムＦの位置変
化に正確に対応した位置に即座に、修正されることにな
る。かくして、位置整合されたワ−クＷは、常時、整合
部１での整合状態をそのまま維持して、移動する搬送手
段３によって、露光部２の所定位置すなわち、露光部２
のマスクフィルムＦの固定位置へ搬送される。この結
果、露光部２では常に、マスクフィルムＦとワ−クＷが
完全に合致し、マスクフィルムの画像が正確にワ−クに
露光処理されることになる。なお、図中１０は露光用の
光源でありまた、１１と１２は、調整機構１ａに配設し
た調整用ロ−ラ−であって、ワ−クＷのχ，ｙ軸方向の
仮位置決めを行なう。
り、露光部２の取付枠４に固定したマスクフィルムＦは
常に、その位置関係が第１の検知手段７によって検証さ
れ、この検証内容は、演算調整手段９であるコンピュ−
タ−装置を介して、整合部１の第２の検知手段８に伝達
されている。かくして、第２の検知手段８は、露光部２
での検証内容に従って、整合部１のワ−クＷの位置整合
を、χ，ｙ，θの三軸ステ−ジからなる調整機構１ａに
指示して、実現させることになる。従って、マスクフィ
ルムＦの初期設定に経時的変化が生じても、この変化は
即座に、第１の検知手段７によって検証され、演算調整
手段９であるコンピュ−タ−装置を介して整合部１の第
２の検知手段８に伝達されることになり、整合部１での
ワ−クＷの位置は露光部２のマスクフィルムＦの位置変
化に正確に対応した位置に即座に、修正されることにな
る。かくして、位置整合されたワ−クＷは、常時、整合
部１での整合状態をそのまま維持して、移動する搬送手
段３によって、露光部２の所定位置すなわち、露光部２
のマスクフィルムＦの固定位置へ搬送される。この結
果、露光部２では常に、マスクフィルムＦとワ−クＷが
完全に合致し、マスクフィルムの画像が正確にワ−クに
露光処理されることになる。なお、図中１０は露光用の
光源でありまた、１１と１２は、調整機構１ａに配設し
た調整用ロ−ラ−であって、ワ−クＷのχ，ｙ軸方向の
仮位置決めを行なう。
【００１３】
【効果】本発明は、以上のとおり露光部に設けた第１の
検知手段と整合部に設けた第２の検知手段の協働作用の
下で、露光部でのマスクフィルムの位置関係についての
検証内容を衝にして、整合部のワ−クの位置調整を行な
うことを要旨とするものであるから、従来露光部でのマ
スクフィルムの経時的変化に合理的に対応できなかった
不便性が、簡便に解消できるようになった。
検知手段と整合部に設けた第２の検知手段の協働作用の
下で、露光部でのマスクフィルムの位置関係についての
検証内容を衝にして、整合部のワ−クの位置調整を行な
うことを要旨とするものであるから、従来露光部でのマ
スクフィルムの経時的変化に合理的に対応できなかった
不便性が、簡便に解消できるようになった。
【図１】本発明に係わる装置の上面概略説明図である。
【図２】図１のＡ−Ａ一部側断面図である。
【符号の説明】 １ 整合部 １ａ 位置調整機構 ２ 露光部 ２ａ 露光テ−ブル ３ 搬送手段 ７ 第１の検知手段 ８ 第２の検知手段 ９ 演算調整手段 Ｆ マスクフィルム Ｗ ワ−ク
Claims (4)
- 【請求項１】 露光部外に配設した整合部で位置整合し
たワ−クを露光部の所定位置に固定したマスクフィルム
を介して露光する電子回路用基板に対する露光方法にお
いて、露光部にマスクフィルムの露光位置を検証しか
つ、当該検証内容を常時、ワ−ク整合部に設けた第２の
検知手段に伝達する第１の検知手段を設け、露光部の第
１の検知手段と、整合部の第２の検知手段とのそれぞれ
の位置関係に係わる情報を確認、演算する演算調整手段
を介して、露光部でのマスクフィルムの位置関係に係わ
る検証内容に従って、ワ−ク整合部のワ−クの位置調整
機構を制御し、位置調整済みワ−クをそのままの状態を
維持して整合部と露光部の間を往復移動する搬送手段に
よって露光部へ搬送して露光処理を行なうことを特徴と
する電子回路用基板に対する露光方法。 - 【請求項２】 第１の検知手段と、第２の検知手段がＣ
ＣＤカメラでありかつ、露光部と整合部において、それ
ぞれマスクフィルムとワ−クの端面近傍に形成した基準
部を標的にしながら、検知して行なうことを特徴とする
請求項１に記載した電子回路用基板に対する露光方法。 - 【請求項３】 露光部外に配設したワ−ク整合部で位置
整合したワ−クを露光部の所定位置に固定したマスクフ
ィルムを介して露光する電子回路用基板に対する露光装
置において、露光部にマスクフィルムの露光位置を検証
する第１の検知手段を設けるとともに、この第１の検知
手段からの検証内容に従って、整合部のワ−ク位置調整
機構にワ−クの位置調整作動を演算調整手段を介してう
ながす第２の検知手段を当該整合部に設定し、位置整合
したワ−クをそのままの状態で露光部へ搬送する搬送手
段を整合部と露光部の間に往復移動可能に配設したこと
を特徴とする電子回路用基板に対する露光装置。 - 【請求項４】 整合部と露光部の間に配設した搬送手段
が、整合部と露光部の中央部を貫通して往復移動するよ
うにするとともに、第１の検知手段と第２の検知手段に
ＣＣＤカメラを利用しかつ、これらの検知手段をそれぞ
れ、整合部と露光部の中央部に対して進退移動可能に設
けたことを特徴とする請求項３に記載した電子回路用基
板に対する露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3114134A JPH0643662A (ja) | 1991-04-18 | 1991-04-18 | 電子回路用基板に対する露光方法と、その装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3114134A JPH0643662A (ja) | 1991-04-18 | 1991-04-18 | 電子回路用基板に対する露光方法と、その装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0643662A true JPH0643662A (ja) | 1994-02-18 |
Family
ID=14629994
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3114134A Pending JPH0643662A (ja) | 1991-04-18 | 1991-04-18 | 電子回路用基板に対する露光方法と、その装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0643662A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107791663A (zh) * | 2016-09-07 | 2018-03-13 | 松下知识产权经营株式会社 | 丝网印刷装置以及丝网印刷方法 |
-
1991
- 1991-04-18 JP JP3114134A patent/JPH0643662A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107791663A (zh) * | 2016-09-07 | 2018-03-13 | 松下知识产权经营株式会社 | 丝网印刷装置以及丝网印刷方法 |
| CN107791663B (zh) * | 2016-09-07 | 2021-05-14 | 松下知识产权经营株式会社 | 丝网印刷装置以及丝网印刷方法 |
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