JPH0643518Y2 - 分子ポンプのシール装置 - Google Patents
分子ポンプのシール装置Info
- Publication number
- JPH0643518Y2 JPH0643518Y2 JP6686188U JP6686188U JPH0643518Y2 JP H0643518 Y2 JPH0643518 Y2 JP H0643518Y2 JP 6686188 U JP6686188 U JP 6686188U JP 6686188 U JP6686188 U JP 6686188U JP H0643518 Y2 JPH0643518 Y2 JP H0643518Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- molecular pump
- sealing device
- thread groove
- screw
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 （１）産業上の利用分野 本考案は半導体製造装置等に使用される分子ポンプのシ
ール装置に関する。
ール装置に関する。
（２）従来の技術 従来の分子ポンプとして、第２図に示すように、ロータ
内面（ａ）に対向して右ねじ及び左ねじのねじ溝を有す
るねじシール（ｂ）を軸受ケーシング（ｃ）に固定した
ものが知られている。尚（ｄ）はガスパージ孔を示す。
内面（ａ）に対向して右ねじ及び左ねじのねじ溝を有す
るねじシール（ｂ）を軸受ケーシング（ｃ）に固定した
ものが知られている。尚（ｄ）はガスパージ孔を示す。
（３）考案が解決しようとする問題点 しかし上記従来の分子ポンプのシール方法においては、
ねじシールのねじ溝に半導体製造の過程においてエッチ
ング等により生成される生成物が付着し、ロータを停止
させるとロータが冷却し、ロータの回転による遠心力及
び熱膨張等により大きくなっていたロータ内面が収縮し
てねじ溝に付着していた生成物と接触する。そして再び
回転させる場合その生成物によりロータが始動しなくな
ることが多い。
ねじシールのねじ溝に半導体製造の過程においてエッチ
ング等により生成される生成物が付着し、ロータを停止
させるとロータが冷却し、ロータの回転による遠心力及
び熱膨張等により大きくなっていたロータ内面が収縮し
てねじ溝に付着していた生成物と接触する。そして再び
回転させる場合その生成物によりロータが始動しなくな
ることが多い。
そのためロータを回転軸から取り外し分解清掃する必要
があり、組立後はロータの動バランス等の回転性能を検
査せねばならない等の組立調整に多大の工数を要してい
た。
があり、組立後はロータの動バランス等の回転性能を検
査せねばならない等の組立調整に多大の工数を要してい
た。
本考案は、上記のような問題点を解消し、ロータを回転
軸から取り外すことなくねじシール部の清掃を可能にし
たシール装置を提供することを目的とする。
軸から取り外すことなくねじシール部の清掃を可能にし
たシール装置を提供することを目的とする。
（４）問題点を解決するための手段 この目的を達成するために、本考案はロータの内面に対
向して軸受ハウジングの外周に設けたねじ溝部を、上下
方向に移動可能に形成したことを特徴とする。
向して軸受ハウジングの外周に設けたねじ溝部を、上下
方向に移動可能に形成したことを特徴とする。
（５）作用 モータハウジングの外周に止めねじその他の手段により
固定されたねじ溝部を取り外し下方に移動する。移動さ
れたねじ溝部を清掃し再び上方に移動してモータハウジ
ングの外周に固定する。これによりロータを回転軸より
取り外すことなく容易にねじシールを清掃することがで
きる。
固定されたねじ溝部を取り外し下方に移動する。移動さ
れたねじ溝部を清掃し再び上方に移動してモータハウジ
ングの外周に固定する。これによりロータを回転軸より
取り外すことなく容易にねじシールを清掃することがで
きる。
（６）実施例 本考案の１実施例を第１図に従って説明する。
（１）は静翼（２）を内周面に形成した略筒状のハウジ
ングを示し、該外部筐体（１）内には動翼（３）を外周
面に形成したキャップ状のロータ（４）を回転自在に配
設してある。（５）は前記ハウジング（１）の下端部に
固着した軸受ハウジングを示し、該軸受ハウジング
（５）は前記ロータ（４）の凹部にその下方から嵌入す
ると共に、その内部に電動モータ（６）を配設し、該電
動モータ（６）と前記ロータ（４）とは回転軸（７）に
より連結固定されている。（6a）はモータステータ、
（6b）はモータロータを示す。
ングを示し、該外部筐体（１）内には動翼（３）を外周
面に形成したキャップ状のロータ（４）を回転自在に配
設してある。（５）は前記ハウジング（１）の下端部に
固着した軸受ハウジングを示し、該軸受ハウジング
（５）は前記ロータ（４）の凹部にその下方から嵌入す
ると共に、その内部に電動モータ（６）を配設し、該電
動モータ（６）と前記ロータ（４）とは回転軸（７）に
より連結固定されている。（6a）はモータステータ、
（6b）はモータロータを示す。
（８）は前記軸受ハウジング（５）内に開口する第１ガ
ス吐出孔、（９）は該軸受ハウジング（５）の外周に開
口する第２ガス吐出孔を示し、ガス供給管（10）から不
活性ガスを供給される。
ス吐出孔、（９）は該軸受ハウジング（５）の外周に開
口する第２ガス吐出孔を示し、ガス供給管（10）から不
活性ガスを供給される。
（12）は外周部にその上方部分と下方部分とが互いに逆
ねじを形成されたねじ溝部を示し、該ねじ溝部（12）は
止めねじ（12a）…（12a）で軸受ハウジング（５）にね
じ止めされており、前記逆ねじの境界部には、前記第２
ガス吐出孔（９）の先端と連通したガス吐出開口（12
b）を有する。（13）は吸気口、（14）は排気口、（1
1）は軸受を示す。
ねじを形成されたねじ溝部を示し、該ねじ溝部（12）は
止めねじ（12a）…（12a）で軸受ハウジング（５）にね
じ止めされており、前記逆ねじの境界部には、前記第２
ガス吐出孔（９）の先端と連通したガス吐出開口（12
b）を有する。（13）は吸気口、（14）は排気口、（1
1）は軸受を示す。
次に上記実施例の動作について説明する。
電動モータ（６）によりロータ（４）を回転させると、
静翼（２）と動翼（３）の圧縮作用により吸気口（13）
から気体が吸引され、排気口（14）へ排出されると共
に、ガス供給管（10）から不活性ガスを第１ガス吐出孔
（８）、第２ガス吐出孔（９）から吐き出させる。吐き
出された不活性ガスはロータ（４）の回転により、ねじ
溝部（12）内で圧縮され、ロータ（４）の内面との間で
ガス遮蔽膜を形成し、吸気口（13）から吸気した有毒ガ
ス等が軸受ハウジング（５）内に浸入するのを防止す
る。
静翼（２）と動翼（３）の圧縮作用により吸気口（13）
から気体が吸引され、排気口（14）へ排出されると共
に、ガス供給管（10）から不活性ガスを第１ガス吐出孔
（８）、第２ガス吐出孔（９）から吐き出させる。吐き
出された不活性ガスはロータ（４）の回転により、ねじ
溝部（12）内で圧縮され、ロータ（４）の内面との間で
ガス遮蔽膜を形成し、吸気口（13）から吸気した有毒ガ
ス等が軸受ハウジング（５）内に浸入するのを防止す
る。
しかし長時間の運転により、半導体製造におけるエッチ
ング処理等で生成される反応物が漸次ねじ溝部（12）に
付着して、一度ロータ（４）を停止させると遠心力及び
熱膨張等で大きくなっていたロータ（４）が収縮して、
ねじ溝部（12）に付着した生成物と接触してロータ
（４）が回転不能の状態になる。
ング処理等で生成される反応物が漸次ねじ溝部（12）に
付着して、一度ロータ（４）を停止させると遠心力及び
熱膨張等で大きくなっていたロータ（４）が収縮して、
ねじ溝部（12）に付着した生成物と接触してロータ
（４）が回転不能の状態になる。
このような場合、先づハウジング（１）を上方に引き上
げて、ねじ溝部（12）の止めねじ（12a）…（12a）を弛
め、ねじ溝部（12）を第１図の点線図示の如く下方に移
動した後該ねじ溝部（12）の外周を清掃する。清掃が完
了すれば前記と逆にねじ溝部（12）を上方に移動して止
めねじ（12a）……（12a）により軸受ハウジング（５）
に固定する。このようにロータ（４）を取り外したり、
静翼（２）や動翼（３）の組立や調整の必要がなくな
る。
げて、ねじ溝部（12）の止めねじ（12a）…（12a）を弛
め、ねじ溝部（12）を第１図の点線図示の如く下方に移
動した後該ねじ溝部（12）の外周を清掃する。清掃が完
了すれば前記と逆にねじ溝部（12）を上方に移動して止
めねじ（12a）……（12a）により軸受ハウジング（５）
に固定する。このようにロータ（４）を取り外したり、
静翼（２）や動翼（３）の組立や調整の必要がなくな
る。
（７）考案の効果 上記のように、本考案のねじ溝部を上下方向に移動可能
に形成したことにより、分子ポンプにおけるねじシール
の清掃が容易となり、ロータの取り外しや静翼動翼の組
立調整の工数が削減でき、半導体製造等における設備の
効率的な稼動が可能になるなどの効果を有する。
に形成したことにより、分子ポンプにおけるねじシール
の清掃が容易となり、ロータの取り外しや静翼動翼の組
立調整の工数が削減でき、半導体製造等における設備の
効率的な稼動が可能になるなどの効果を有する。
第１図は本考案の１実施例を示す縦断面図、第２図は従
来例の縦断面図である。 （４）……ロータ （５）……軸受ハウジング （12）……ねじ溝部
来例の縦断面図である。 （４）……ロータ （５）……軸受ハウジング （12）……ねじ溝部
Claims (1)
- 【請求項１】ロータの内面に対向して軸受ハウジングの
外周に設けたねじ溝部を、上下方向に移動可能に形成し
たことを特徴とする分子ポンプのシール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6686188U JPH0643518Y2 (ja) | 1988-05-23 | 1988-05-23 | 分子ポンプのシール装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6686188U JPH0643518Y2 (ja) | 1988-05-23 | 1988-05-23 | 分子ポンプのシール装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01173493U JPH01173493U (ja) | 1989-12-08 |
| JPH0643518Y2 true JPH0643518Y2 (ja) | 1994-11-14 |
Family
ID=31292249
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6686188U Expired - Lifetime JPH0643518Y2 (ja) | 1988-05-23 | 1988-05-23 | 分子ポンプのシール装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0643518Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE202013002969U1 (de) * | 2013-03-27 | 2014-06-30 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
-
1988
- 1988-05-23 JP JP6686188U patent/JPH0643518Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01173493U (ja) | 1989-12-08 |
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