JPH0643505A

JPH0643505A - 光ビーム偏向装置

Info

Publication number: JPH0643505A
Application number: JP21851692A
Authority: JP
Inventors: Hidekazu Tamaoki; 英一玉置
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1992-07-24
Filing date: 1992-07-24
Publication date: 1994-02-18

Abstract

(57)【要約】【目的】円筒レンズ効果を補正でき、光量損失の少な
い簡易な構造を有する光ビーム偏向装置を提供する。【構成】レーザービームＬＢ０は収束レンズ２によっ
てＡＯＭ３の内部で集光される。このビームウエストの
位置は、円筒レンズ５の前側焦点位置に該当している。
又、円筒レンズ５は偏向方向と垂直な方向にのみパワー
を有する。その結果、円筒レンズ５を通過したレーザー
ビームＬＢ１は、その方向に関して平行化される。更
に、ＡＯＤ６は凸円筒レンズ効果が生じるように駆動信
号Ｖ_Dによって駆動されている結果、レーザービームＬ
Ｂ２は偏向方向に対しても平行化される。その際、距離
ｄは最適化されているため、スポットサイズもまた好適
なものとなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、画像描画装置などに
用いられる光ビーム偏向装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】周知の通り、音響光学偏向素子（以下、
単にＡＯＤと称す。）は無慣性で高速偏向可能であると
いう利点を有する。この利点により、ＡＯＤはレーザー
顕微鏡や画像描画装置などに広く応用されているが、そ
のような高速のラスタ走査装置にＡＯＤを用いると、結
晶中にある周波数帯域をもった超音波が存在するため
に、ＡＯＤより出射される回折光には円筒レンズ効果が
生じる（ＡｐｐｌｉｅｄＯｐｔｉｃｓＶｏｌ．１１
Ｎｏ．１０（１９７２）ｐ２１９６〜２２０２Ｌ．Ｄ．
Ｄｉｃｋｓｏｎ）。

【０００３】この円筒レンズ効果を補正するための
従来技術としては、特開昭６０−１０７８２８号公報に
開示されたものがある。本技術では、ＡＯＤの出射部に
円筒レンズ効果と逆特性を持った補正円筒レンズを設置
している。

【０００４】また、他の従来技術としては、特開平
３−１０９５２７号公報に開示されたものがある。この
技術では複数の円筒レンズを用いており、これらのレン
ズの設置位置を適切に定めることによって、ＡＯＤから
の出射光を平行光となるようにしている。このような補
正光学系は楕円開口にも使用できる調整範囲の広い光学
系である。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の方法、はいずれもエキスパンダ系と補正用に少
なくとも３組以上のレンズを必要とする。そのため、低
感度レジスト等に光ビームにより高速描画するような装
置、すなわち高エネルギービームを必要とする応用にお
いては、上記複数のレンズ内におけるビームの光量損失
が問題となる。

【０００６】また、上記従来技術においては、ＡＯＤ
の出射部に設けられた補正円筒レンズとＡＯＤとの焦点
調整が容易でないという問題点も有している。

【０００７】

【目的】この発明は、係る問題点に鑑みなされたもので
あり、以下の目的を有する。

【０００８】第１の目的は、円筒レンズ効果を高精度に
補正しつつ、光量損失の少ない簡易な構成を有する光ビ
ーム偏向装置を提供することにある。

【０００９】第２の目的は、感光材料上に照射される光
ビームのスポットサイズを最適化できる光ビーム偏向装
置を提供することである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
光ビームを感光材料上に走査し、画像を描画するための
光ビーム偏向装置であって、光ビームの集光位置に配置
され、画像信号に応じて光ビームを変調する音響光学変
調素子と、音響光学変調素子の後方光路上に配置され、
凸円筒レンズ効果が生じる方向に傾きをもつ鋸歯状波駆
動信号に応じて光ビームを走査方向に偏向する音響光学
偏向素子と、音響光学偏向素子近傍の光路上に配置さ
れ、走査方向に対してほぼ垂直な方向にのみパワーを有
するレンズとを備え、音響光学変調素子の配置位置は凸
円筒レンズ効果から算出される前側焦点位置であって、
しかもレンズの前側焦点位置でもあるようにしたもので
ある。

【００１１】請求項２に係る発明では、請求項１に係る
発明に関し、レンズの焦点距離を音響光学偏向素子の焦
点距離に対して０．８〜１．２倍に限定したものであ
る。

【００１２】

【作用】請求項１に係る発明では、光ビームは音響光学
変調素子内で集光され、当該素子によって変調を受けた
後、発散ビームとして音響光学偏向素子へ入射する。一
方、音響光学偏向素子は、駆動信号により凸円筒レンズ
と等価な振舞いをする。しかも、音響光学偏向素子を凸
円筒レンズとみなしたときのその前側焦点位置に、音響
光学変調素子が配置されている。従って、音響光学偏向
素子より出射した光ビームは、走査方向に関して平行な
ビームとなる。更に音響光学偏向素子近傍の光路上に配
置されたレンズは、走査方向に対してほぼ垂直な方向に
関して、光ビームを平行化する。

【００１３】請求項２に係る発明では、レンズの焦点距
離が音響光学偏向素子の焦点距離に対して０．８〜１．
２倍に限定されることにより、音響光学偏向素子に入射
する光ビームの径が適切化される。

【００１４】

【実施例】

（１）画像描画装置の構成図１は、この発明の一実施例である画像描画装置の光学
的並びに電気的構成を模式的に示した図である。本描画
装置は、光源部、光ビーム偏向装置、縮小光学
系、ステージ部及び電気制御系より構成される。以
下、各部の構成について説明する。

【００１５】光源部光源部は、レーザー発振器１（例えばコヒーレント社製
Ｉｎｎｏｖａ３０６：アルゴンレーザー）、数個の
折り返し用ミラー及び収束レンズ２よりなる。この収束
レンズ２としては、焦点距離２２０mmの単レンズが用い
られており、レーザー発振器１のビームウエスト位置
（出口端より１．５メートル内部に入った個所）から約
２．６メートル離して設置すると、ビームウエスト伝播
の関係により、収束レンズ２から約２２５mmの所にビー
ム径７５μｍのビームウエストが形成される。この位置
に、後述する音響光学変調器３が配置されている。

【００１６】光ビーム偏向装置光ビーム偏向装置は、音響光学変調器３（以下、単にＡ
ＯＭと称す。例えばクリスタル・テクノロジー社製ｍ
ｏｄｅｌ３２００）、λ／４波長板４、円筒レンズ５
及びＡＯＤ６よりなる。ここで、ＡＯＭ３及びＡＯＤ６
は、それぞれ後述する駆動信号Ｖ_M、Ｖ_Dによって駆動
されている。これらの各構成要素の位置関係について、
以下、図２に基づき説明する。

【００１７】図２は、光ビーム偏向装置の横方向の光路
系統図である。まず、ＡＯＭ３は収束レンズ２の後側焦
点の位置に配置されている。ここで、記号ｆ₁は、収束
レンズ２の焦点距離を示す。従って、レーザー発振器１
より出射したレーザービームＬＢ０は、収束レンズ２に
よってＡＯＭ３の内部にビームウエストを形成する。

【００１８】一方、円筒レンズ５は、その光軸がＡＯＭ
３から出射したレーザービームＬＢ１の主光線と一致す
るように配置されており、しかもその前側焦点（焦点距
離ｆ₂）がＡＯＭ３内部のビームウエスト位置に配置さ
れている。この円筒レンズ５は、後述するＡＯＤ６の凸
円筒レンズ効果の生じる方向（走査方向）と垂直な方向
にパワーを有している。

【００１９】また、ＡＯＤ６（例えばニューポート社製
Ｍｏｄｅｌ４５１００）は、後述する様に、駆動信
号Ｖ_Dによって凸円筒レンズ効果を有する方向に鋸歯状
波駆動されている。そこで、このＡＯＤ６を仮想的な凸
円筒レンズと考えた上で、それによって導出される焦点
距離Ｆに基づき、その前側焦点の位置がＡＯＭ３内部の
ビームウエスト位置になる様に、ＡＯＤ６が設置されて
いる。この点に関しての詳細な説明は、後述する。

【００２０】縮小光学系縮小光学系は、リレーレンズ系７および対物レンズ８よ
り構成される。リレーレンズ系７はレーザービームＬＢ
２を対物レンズ８の中心部へ導き、また、対物レンズ８
はレーザービームＬＢ２のビーム系を縮小する。

【００２１】ステージ部ステージ部は、Ｘ−Ｙステージ１０とステージドライバ
ー１３とより構成される。このＸ−Ｙステージ１０の詳
細な構成および動作については、特願平１−１４００９
９号に開示されている。したがって、ここではその詳細
な説明については述べないが、以下、簡単に説明する。
すなわち、Ｘ−Ｙステージ１０の移動台１６は、ステー
ジドライバー１３からの信号によってＸ方向（偏向方向
に該当）及びＹ方向に移動される。なお移動台１６に
は、感光レジストを塗布したクロムマスクブランクス９
が備え付けられている。

【００２２】電気制御系電気制御系は、前述したＡＯＭ３およびＡＯＤ６をそれ
ぞれ駆動制御するための回路部である。その構成は、制
御回路１４を中心として、計算機１５、ＡＯＭドライバ
１１およびＡＯＤドライバ１２よりなる。制御回路１
４、各ドライバ１１、１２の詳細な動作および構成につ
いては、特願平１−１４００９９号や従来技術で述べた
特開平３−１０９５２７号公報に開示されており、ここ
ではその説明について触れない。なお、駆動信号Ｖ_Mは
画像データに基づき作成され、駆動信号Ｖ_Dは制御回路
１４の内部のクロックにより形成される。

【００２３】（２）駆動信号Ｖ_Dと凸円筒レンズ効果との関係ＡＯＤ６は駆動信号Ｖ_Dによって周波数掃引されるが、
その掃引時間や周波数帯域によって、ＡＯＤ６内におけ
る円筒レンズ効果が凸円筒レンズ効果となるか、それと
も凹円筒レンズ効果となるかが定まる。ここでは、鋸歯
状の駆動信号Ｖ_Dと凸円筒レンズ効果との関係を、図６
および図７に基づき説明する。

【００２４】凸円筒レンズ効果を生じさせるためには、
ＡＯＤ６に入射するレーザービームＬＢ１の入射方向に
応じて、駆動信号Ｖ_Dを決定する必要がある。

【００２５】すなわち、図６に示したレーザービームＬ
Ｂ１に対しては、レーザービームＬＢ２の波数が減少す
る方向に駆動信号Ｖ_Dを定めなければならない。従っ
て、高周波から低周波への周波数掃引を行なうこととな
る。その結果、図６では超音波の周波数ν１とν２との
大小関係はν１＞ν２となる。

【００２６】図７に示したレーザービームＬＢ１の入射
方向に対しては、逆に低周波から高周波への周波数掃引
を行う必要がある。その結果、ＡＯＤ６内部に生じる超
音波の周波数はν１＜ν２の関係となる。

【００２７】本実施例では、図６に示したケースが採用
されており、駆動信号Ｖ_Dは高周波から低周波へとその
周波数を変化させる。その掃引時間は４２μｓであり、
周波数帯域４５．３ＭＨｚである。

【００２８】なお、両図６、７に記載した各ベクトル表
示は、次の通りである。ベクトルｋｉは入射光を、ベク
トルｋｄは回折光を、ベクトルｋａは超音波の波数ベク
トルを示している。

【００２９】（３）光ビーム偏向装置の機能ここでは、上述した光ビーム偏向装置によって凸円筒レ
ンズ効果がどのように補正され、しかも光ビームがどの
ように平行ビーム化されるかを、図２および図３に基づ
き説明する。なお、図３は、光ビーム偏向装置の縦方向
の光路系統図であり、円筒レンズ５とＡＯＤ６を中心と
して描かれている。

【００３０】先ず、ＡＯＭ３に入射したレーザービーム
ＬＢ０は駆動信号Ｖ_Mによって変調され、そのレーザー
ビームＬＢ１は発散光として円筒レンズ５に入射する。

【００３１】円筒レンズ５は、既述した通り、その前側
焦点位置がＡＯＭ３内部のビームウエスト位置とほぼ一
致するように設置されており、ＡＯＤ６の偏向方向（以
下、単に横方向と称する。）と垂直な方向（以下、単に
縦方向と称する。）にパワーを有している。従って、円
筒レンズ５より出射したレーザービームＬＢ１は、その
縦方向が平行光であり、その横方向は発散光のままであ
る（図３参照）。

【００３２】ＡＯＤ６は駆動信号Ｖ_Dによって凸円筒レ
ンズ効果が生じる様に駆動されており、これを仮想的な
凸円筒レンズと見なすことができる。このとき、当該凸
円筒レンズ効果による焦点距離Ｆは、数１によって与え
られることが知られている。

【００３３】

【数１】

【００３４】本実施例では、波長λ＝４５７．９ｎｍで
あるから、焦点距離Ｆは約７７１mmとなる。この様に、
その凸円筒レンズ効果の前側焦点位置がＡＯＭ３内部の
ビームウエスト位置にほぼ一致されているので、レーザ
ービームＬＢ１は横方向に対して平行となる。

【００３５】この様に、本光ビーム偏向装置において
は、ＡＯＤ６を凸円筒レンズ効果が生じる方向に鋸歯
状に駆動すること、凸円筒レンズ効果から計算される
前側焦点位置に、変調用のＡＯＭ３を配置すること、
凸円筒レンズ効果のない縦方向にパワーを持つ円筒レン
ズ５をＡＯＭ３とＡＯＤ６との間の光路上に配置し、且
つその前側焦点位置をＡＯＭ３内部のビームウエスト位
置とすることによって、縦及び横方向のいずれにも平行
な光ビームを実現することができる。従って、実質的に
必要な補正用レンズは、円筒レンズ５のみとなり、レン
ズ系が少ないので調整が容易なばかりでなく、光量損失
が少く光の利用効率が良いという利点を発揮する。しか
も、常に円筒レンズ５の光軸近傍を利用しているので、
収差発生原因とならない結果、本ビーム偏向装置の光学
性能を向上させることも可能となる。

【００３６】ここで、ＡＯＤ６に入射するレーザービー
ムＬＢ１のビーム径について考察する。一般に、ビーム
径ω₀のビームウエスト位置から距離Ｘだけ離れた位置
における光ビームのビーム径ωは、数２によって与えら
れることが知られている（結像光学入門松居吉哉著
啓学出版第５章参照）。

【００３７】

【数２】

【００３８】従って、本実施例ではＡＯＭ３におけるビ
ームウエスト径ω₀は７５μｍであるから、ＡＯＤ６に
入射するレーザービームＬＢ１のビーム径ωは約６mmと
なる。この値は、ＡＯＤ６の開口径（アパーチャ）６．
２mmとほぼ一致しており、本ビーム偏向装置は従来技術
の様なビームエキスパンダを必要としない。

【００３９】ＡＯＤ６から出射したレーザービームＬＢ
２は、リレーレンズ系７を通り、対物レンズ８によって
クロムマスクブランクス９上にスポットを形成し、ＡＯ
Ｄ６に掃引信号Ｖ_Dを与えることにより、一定距離のビ
ーム走査を行う。本実施例では、クロムマスクブランク
ス９上のビーム径は２μｍであり、５１２μｍの走査を
行っている。

【００４０】（４）ビーム径とスポットサイズとの関係前述の条件〜を満足すれば、レーザービームＬＢ２
をその縦方向及び横方向に対しても平行な光ビームとす
ることができる。しかしながら、実際に光ビームを感光
材料上に照射するにあたっては、ビームスポットの縦方
向の径と横方向の径との比が、理想的には１：１にある
ことが望まれる。これは、輪郭がシャープな画像を描画
するためである。そこで、ビームスポット径を理想的な
円形に近づけるために、ＡＯＤ６に入射するレーザービ
ームＬＢ１のビーム径を適切化する必要が生じる。この
ことは、円筒レンズ５とＡＯＤ６との距離を適切な値に
することと等価である。以下、この様な観点から、ビー
ム径（ＡＯＤ６に於ける）とスポットサイズとの関係に
ついて議論することとする。

【００４１】ここで図５は、そのような関係をシミュレ
ーションしたものである。同図中、（ａ）はアパーチャ
が有限な場合を示しており、（ｂ）はアパーチャ無限大
の場合を示している。ここでアパーチャとは、ＡＯＤ６
の開口に該当している。また、図５の横軸は、ビーム径
とアパーチャ径との比γを示しており、縦軸はスポット
サイズを示している（但し、任意単位である。）。

【００４２】同図に示す通り、アパーチャ無限大（ｂ）
の場合には、スポットサイズは回折限界によって制限さ
れ、ビーム径がアパーチャ径に対して大きくなるにつれ
て、その値は逆比例して小さくなる。しかし、アパーチ
ャ有限（ａ）の実際の場合には、ＡＯＤ６に入射したレ
ーザービームＬＢ１は開口によってトランケートされ、
ビーム径が大きくなってもそれ程小さくならないことが
理解される。一方、開口に対してビーム径が大きくなり
すぎると逆に光量損失が増すため、比γは１程度である
ことが望ましい。

【００４３】ＡＯＤ６に入射する横方向のビーム径は、
ＡＯＤ６の焦点距離（凸円筒レンズ効果による焦点距
離）Ｆによって決まる。ＡＯＤ６の開口は一定であり、
焦点距離Ｆは後述する掃引レートによって決まるので、
この掃引レートを適宜設定することにより、比γを１程
度に設定することができる。

【００４４】一方、縦方向に対しては、凸円筒レンズ効
果が生じないため、円筒レンズ５をＡＯＭ３とＡＯＤ６
との間に配置することにより、レーザービームＬＢ１を
平行化している。従って、ＡＯＤ６に入射する縦方向の
ビーム径は横方向のビーム径よりも小さくなるため、ス
ポットサイズは横方向に比べて縦方向が大きくなる。

【００４５】そこで、実際にスポットサイズがどこまで
許容されるかが問題となるが、経験的には、ビームの偏
平率が０．９〜１．１程度であれば許容できる。従っ
て、横方向の比γを１とした場合、図５より、縦方向の
比γは０．８〜１．２とすることが望ましく、この範囲
内で円筒レンズ５とＡＯＤ６との距離ｄを設定すること
により、ＡＯＤ６に入射するビーム径を好適なものにで
きる。

【００４６】さらに具体的には、円筒レンズ５の焦点距
離ｆ₂をＡＯＤ６の焦点距離Ｆに対して０．８〜１．２
倍に設定すればよく、距離ｄは焦点距離ｆ₂と焦点距離
Ｆとの差である。ＡＯＤ６の開口に入射する縦方向のビ
ーム径は、円筒レンズ５の焦点距離ｆ₂で決まるので、
ＡＯＤ６の焦点距離Ｆを基準にすれば、円筒レンズ５の
焦点距離を上記のように設定することにより、比γを
０．８〜１．２にすることができる。

【００４７】なお、比γが１より大きい（焦点距離ｆ₂
が焦点距離Ｆより長い）場合は、後述する変形例に相当
する。

【００４８】（５）ビーム径と掃引レートとの関係高速で描画するためには、一般に掃引レートを高くすれ
ばよい。しかし、掃引レートを高くすると、前述した数
１によって理解される通り、ＡＯＤ６の凸円筒レンズ効
果によって生じる焦点距離Ｆは、掃引レートに従って逆
に短くなる。一方、ＡＯＤ６におけるガウスビーム径を
記号Ｄとして表現すると、ＡＯＭ３内部におけるビーム
ウエスト径ω₀は、数３の関係によって与えられ、掃引
時間Ｔが短くなると、それに比例して小さくなる。

【００４９】

【数３】

【００５０】しかし、ビームウエスト径ω₀があまり小
さくなりすぎると、逆にＡＯＭ３の回折効率が悪化す
る。即ち、ＡＯＭ３のビーム径は、回折効率と応答速度
とを両立させるために、ビーム径内に超音波が３波長分
程存在する必要がある。このことは、逆にいうと、使用
するＡＯＭ３の仕様によって、ビームウエスト径ω₀、
即ち、焦点距離Ｆの値が決定されることを意味してい
る。

【００５１】その結果、焦点距離Ｆが定まれば、数４に
よって掃引レートｄＴ／ｄｆが与えられることとなる。

【００５２】

【数４】

【００５３】ここで勾配そのものに意味があるので、Ｔ
／ΔｆをｄＴ／ｄｆと記載している。したがって、ＡＯ
Ｍ３の仕様からは、数４で与えられる掃引が最適と言う
ことになる。

【００５４】ここで数４では、入射ビーム径ωは開口径
Ｄに等しい理想的な場合にあるとしている。これより更
に高速の掃引を行う場合には、焦点距離Ｆが更に小さく
なるので、ビームウエスト径ω₀の値が一定値であるこ
とから、ＡＯＤ６の位置におけるビーム径ωは開口径Ｄ
よりも小さくなる。したがって、前述した通り、比γは
０．８まで許容されるので、数４におけるＤを０．８Ｄ
に置き換える事によって、係る場合における掃引レート
の下限値を決定できる。

【００５５】一方、掃引が数３より遅い場合というの
は、描画時間が長くなるため望ましくないと言えるが、
ビームウエスト径ω₀の値が大きく取れるので、ＡＯＭ
３の回折効率が高くなる結果、特に大きなパワー密度を
必要とする場合には有益なものとなりうる。しかし、こ
の場合においても、効果が認められるのは、経験的には
比γが１．２程度までである。

【００５６】以上より、ＡＯＤ６の掃引レートの最適値
は数５によって与えられることとなる。

【００５７】

【数５】

【００５８】（６）変形例前実施例では、円筒レンズ５をＡＯＤ６の前方光路上に
配置することにより、縦方向におけるビームの平行化を
実現していた。しかし、本発明は、この様な配置位置に
限定されるものでもない。すなわち、逆に当該円筒レン
ズ５をＡＯＤ６の後方光路上に配置することによっても
同一の効果を得ることができる事は自明である。その様
な実施例を図４に示す。

【００５９】同図（ａ）は縦方向の光路系統図を示して
おり、（ｂ）は横方向の光路系統図を示している。この
場合には、ＡＯＤ６に入射するレーザービームＬＢ１ａ
は、縦方向及び横方向についても発散光のままであり、
ＡＯＤ６より出射するレーザービームＬＢ２ａは凸円筒
レンズ効果によって横方向について平行化された上で、
円筒レンズ５ａによってその縦方向においても平行化さ
れることとなる。

【００６０】本変形例においては、円筒レンズ５ａの存
在によってはレーザービームＬＢ１ａのビーム径ωに影
響を受けないため、前実施例と比較して比γが大きくな
る結果、前実施例よりも横方向のビーム径を小さくする
ことができる利点がある。

【００６１】

【発明の効果】請求項１に係る発明によれば、音響光学
偏向素子の配置とその駆動条件を適切に設定したので、
レンズ系を用いることなく音響光学偏向素子自身によっ
て、その凸円筒レンズ効果を補正することができる。即
ち、凸円筒レンズ効果の生じる方向（走査方向）に光ビ
ームは平行化される。

【００６２】以上の効果より、本発明では、音響光学偏
向素子と音響光学変調素子とを除いた他の要素として
は、凸円筒レンズ効果のない方向に光ビームを平行化す
るためのレンズが必要となるのみであり、その様な役目
は、音響光学偏向素子近傍の光路上に配置されたレンズ
が担っている。従って、本発明は、従来技術と比較し
て、格段にレンズ数を少なくすることができる。

【００６３】その結果、本発明は光量損失を低減させる
ことができる。この様な光ビーム偏向装置を用いること
により、可視光に対して低感度なレジスト等の感光材料
に対しても高速描画することが可能になる。又、レンズ
数を減少させることにより、光ビーム偏向装置の調整を
容易化することができる。

【００６４】請求項２に係る発明によれば、音響光学偏
向素子に入射する光ビームの径が適切化されるので、光
ビーム偏向装置を介して感光材料上に走査される光ビー
ムのスポットサイズを好適なものとすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例である描画装置の構成を模
式的に示した構成図である。

【図２】光ビーム偏向装置の光路系統図（横方向）を示
した構成図である。

【図３】光ビーム偏向装置の光路系統図（縦方向）を示
した説明図である。

【図４】この発明の他の実施例を示した説明図である。

【図５】アパーチャ系に対するビーム系とスポットサイ
ズとの関係を示した説明図である。

【図６】凸円筒レンズ効果を示した説明図である。

【図７】凸円筒レンズ効果を示した説明図である。

【符号の説明】

１レーザー発振器２収束レンズ３ＡＯＭ５円筒レンズ６ＡＯＤＬＢ１レーザービームＬＢ２レーザービームＶ_D 駆動信号ｆ₁ 焦点距離ｆ₂ 焦点距離Ｆ焦点距離

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光ビームを感光材料上に走査し、画像を
描画するための光ビーム偏向装置であって、前記光ビームの集光位置に配置され、画像信号に応じて
前記光ビームを変調する音響光学変調素子と、前記音響光学変調素子の後方光路上に配置され、凸円筒
レンズ効果が生じる方向に傾きをもつ鋸歯状波駆動信号
に応じて前記光ビームを走査方向に偏向する音響光学偏
向素子と、前記音響光学偏向素子近傍の光路上に配置され、前記走
査方向に対してほぼ垂直な方向にのみパワーを有するレ
ンズとを備え、前記音響光学変調素子の配置位置は前記凸円筒レンズ効
果から算出される前側焦点位置であって、しかも前記レ
ンズの前側焦点位置であること、を特徴とする光ビーム
偏向装置。
【請求項２】前記レンズの焦点距離が前記音響光学偏
向素子の焦点距離に対して０．８〜１．２倍に限定され
ていることを特徴とする請求項１記載の光ビーム偏向装
置。