JPH064250Y2 - 光電変位計 - Google Patents

光電変位計

Info

Publication number
JPH064250Y2
JPH064250Y2 JP14466187U JP14466187U JPH064250Y2 JP H064250 Y2 JPH064250 Y2 JP H064250Y2 JP 14466187 U JP14466187 U JP 14466187U JP 14466187 U JP14466187 U JP 14466187U JP H064250 Y2 JPH064250 Y2 JP H064250Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
light receiving
lens
receiving element
displacement meter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP14466187U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6448609U (ja
Inventor
一清 山本
誠 川口
朋範 錦
Original Assignee
和泉電気株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 和泉電気株式会社 filed Critical 和泉電気株式会社
Priority to JP14466187U priority Critical patent/JPH064250Y2/ja
Publication of JPS6448609U publication Critical patent/JPS6448609U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH064250Y2 publication Critical patent/JPH064250Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Measurement Of Optical Distance (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 <産業上の利用分野> 本考案はレーザビーム等の光線の反射光を検出して対象
物体の変位距離を測定する光電変位計に関する。
<従来の技術> 光電変位計は、第4図に示すように、半導体レーザ1か
ら出力されたレーザビームが投光レンズ2を通って対象
物体3に照射され、その散乱反射光の一部が受光レンズ
4を通って位置検出素子5上の一点に合焦する。このと
きの受光点の座標を電気的に検出して、対象物体までの
距離を判定することができる。このような変位計におけ
る測定範囲は、受光レンズ4及び位置検出素子5が固定
されている場合、或る基準測定距離Loに対して所定の範
囲内、LaからLbの間に限られ、用途に合わせた光電変位
計が用いられていた。
<考案が解決しようとする問題点> 例えば同一場所において時間帯により近距離の変位測定
と遠距離の変位測定を選択的に切換えるような場合、近
距離用変位計と遠距離用変位計を並置してこれらを切換
え使用していた。
本考案が、このような場合でも1個の受光レンズと1個
の受光素子(位置検出素子)のみで少くとも二段階の測
定範囲を切換えて使用することができる光電変位計を提
供する。
レーザビームによる変位計においては、基準測定距離Lo
によって照射光軸と受光軸のなす角θ、照射光軸と受光
素子受光面法線のなす角φ、受光レンズと受光点の距離
x、及び発光素子と受光レンズの距離yの最適値が決ま
る。従って、基準測定距離を切換えるというこうは、
θ,φ,x,yの各値をそれぞれの最適値を満足するよ
うに変化させなければならないという問題がある。
<問題点を解決するための手段> 本考案の光電変位計は、対象物体に対しレーザビーム等
の光線を照射する発光素子と、その発光素子の照射光が
対象物体により反射された入射光を通す受光レンズと、
その受光レンズの透過光を受光する受光素子と、上記受
光レンズを第1の軸を中心に回動自在に支持するレンズ
保持体と、上記受光素子を第2の軸を中心に回動自在に
支持する受光素子支持体と、上記レンズ保持体と上記受
光素子支持体を連結するリンクと、このリンクを含むリ
ンク機構を少くとも二つの状態の間で切換える切換手段
を有することにより特徴づけられる。
<作用> 第1図に原理図を示す。受光レンズ4の第1の状態にお
ける位置をA1、基準方向に対する傾き角をθ、その状
態に対応する受光素子5の位置をB1、基準方向に対する
傾き角をφとし、受光レンズ4の第2の状態における
位置をA2、その傾き角をθ、その第2に状態に対応す
る受光素子5の位置をB2、その傾き角φとする。A1
A2,θ,θより受光レンズ4の回動中心軸Aとその
半径RAが定まり、そのときの回動角αはθとθの差
である。一方、B1,B2,φ,φより受光素子5の回
動中心軸Bとその半径RBが定まり、そのときの回動角β
はφとφの差である。2個の中心軸A,Bが定まれ
ば、第2図に示すように、この2点a,bを定点とし、
リンクC,D,Eより成る四節リンク機構であって、節
点fのaを中心とする揺動角α、節点gのbを中心とす
る揺動角βのものが存在する。この節点fは受光レンズ
保持体中の一点、節点gは受光素子保持体中の一点とな
る。
<実施例> 第3図に本考案の実施例を示す。この実施例における第
1の状態(光軸11)の基準測定距離は100mm、そのと
きの測定範囲は±30mm、第2の状態(光軸12)の基準
測定距離は50mm、そのときの測定範囲は±20mm、であ
る。受光レンズ4は受光レンズ保持体14に保持され、
ガイド13に沿って円弧状に変位する。受光素子5は受
光素子支持体15に支持され、ガイド16に沿って円弧
状に変位する。受光レンズ保持体14と受光素子支持体
15の間はリンク17により連結されている。この第1
の状態と第2の状態を、外部から操作できるレバー、つ
まみ等により切換自在に構成してもよく、或いは各状態
をビス止め等により半固定式に構成してもよい。
<考案の効果> 本考案によれば、1個の光学系と1個の位置検出素子を
用いて、二つの基準測定距離の測定を行なうことができ
る。また、この二つの基準測定距離を一回の切換操作に
より切換えることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の原理的構成図、 第2図は本考案の作用説明図、 第3図は本考案の実施例を示す図、 第4図は従来例を示す図である。 1……半導体レーザ(発光素子) 2……投光レンズ 3……対象物体 4……受光レンズ 5……位置検出素子(受光素子) 11……第1の状態の受光軸 12……第2の状態の受光軸 14……受光レンズ保持体 15……受光素子支持体 17……リンク

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】対象物体に対しレーザビーム等の光線を照
    射する発光素子と、その発光素子の照射光が対象物体に
    より反射された入射光を通す受光レンズと、その受光レ
    ンズの透過光を受光する受光素子と、上記受光レンズを
    第1の軸を中心に回動自在に支持するレンズ保持体と、
    上記受光素子を第2の軸を中心に回動自在に支持する受
    光素子支持体と、上記レンズ保持体と上記受光素子支持
    体を連結するリンクと、このリンクを含むリンク機構を
    少くとも二つの状態の間で切換える切換手段を有する光
    電変位計。
JP14466187U 1987-09-22 1987-09-22 光電変位計 Expired - Lifetime JPH064250Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14466187U JPH064250Y2 (ja) 1987-09-22 1987-09-22 光電変位計

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14466187U JPH064250Y2 (ja) 1987-09-22 1987-09-22 光電変位計

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6448609U JPS6448609U (ja) 1989-03-27
JPH064250Y2 true JPH064250Y2 (ja) 1994-02-02

Family

ID=31412561

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14466187U Expired - Lifetime JPH064250Y2 (ja) 1987-09-22 1987-09-22 光電変位計

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH064250Y2 (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6448609U (ja) 1989-03-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4952815A (en) Focusing device for projection exposure apparatus
JP3052686B2 (ja) レーザ距離測定装置
JPH10239051A (ja) 傾斜角測定装置
JP3221733B2 (ja) レンズ測定装置
JPH064250Y2 (ja) 光電変位計
JP3213552B2 (ja) エンコーダの原点位置検出装置
JPS581120A (ja) テレセントリツク光線を発生する装置および物体の寸法または位置を測定する方法
JP3876613B2 (ja) 光学式変位計および光学式変位計に用いられるビーム変換アタッチメント
KR920010908B1 (ko) 거울기검출헤드
JP2531890Y2 (ja) 光学センサ
JPS59221610A (ja) 距離測定装置
JPS60107016A (ja) 入射光束から平行な走査光束を得る装置
JPH1073434A (ja) レーザ距離測定装置
JPH02210209A (ja) チルトセンサ
US4624527A (en) Radiation-utilizing measurement system
JPS61221615A (ja) 回転角度検出装置
JPH0511451Y2 (ja)
SU754203A1 (ru) Фотоэлектрическое устройство для измерения угловых разворотов 1
JP4503169B2 (ja) オートレンズメータ
JPH0558483B2 (ja)
JPH0528762B2 (ja)
JPS6266112A (ja) 位置検出装置
JPH0358529B2 (ja)
JPS59163612A (ja) 傾き制御方法および同装置
JPH09257470A (ja) 光学変位センサ