JPH0641141U - Ｉｃテスタの排熱冷却構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ダウンフロークリーンルーム内に設置される
ＩＣテスタ１の排熱を容易にする。 【構成】 ＩＣテスタ１の底部に熱交換器２を配置す
る。熱交換器２は複数の熱交換ユニット２１・２２・２
３で構成され、各熱交換ユニットの流路管６には複数の
フィン７をが取り付ける。流路管６は着脱可能にホース
３で接続し、流路管６に水を流すことのよりＩＣテスタ
１の排熱空気を冷却する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、ダウンフロークリーンルーム内に設置されるＩＣテスタの排熱排 熱冷却構造についてのものである。ダウンフロークリーンルームは天井全面に高 性能エアフィルタを設置して吹き出し口とし、床全面にグレーティング床を設置 して吸込口とする方式で気流は天井から床に垂直に流れる。

【０００２】

【従来の技術】

次に、従来技術によるＩＣテスタの排熱冷却構造を図４により説明する。図４ はクリーンルーム内にＩＣテスタ１１が設置された状態を示し、ＩＣテスタ１１ は底部から空気を取り入れて、内部の排熱空気をファンにより天井から排気する 。図４はアップフロークリーンルームであり、室内天井の吹出口１０から空気を 吹き出し、室内に適当に設けられた吸込口から還気する。

【０００３】 図４の室内は室温を25℃前後に保つよう管理されているが、ＩＣテスタのよう に排熱量が多いと室温調整が追いつかない場合がある。また、図４では、ＩＣテ スタ１１の排気は吹出口１０からの吹出風で乱流となり、ＩＣテスタ１１が床面 から排気を吸い上げ循環するので、ＩＣテスタ１１の排熱を困難にする。

【０００４】 一方、図４の状態で、空調室の冷却能力を上げると、ＩＣテスタ１１が設置さ れた場所以外では、冷えすぎて作業者へ悪影響を与える結果となる。したがって 、ＩＣテスタ１１周辺の温度と他の場所との温度むらが生じないように、排熱バ ランスを考えたレイアウトを行う必要がある。

【０００５】 図５は、図４の問題を解消するため考案された排熱方法である。図５の１２は フード、１２Ａはダクト、１３は熱交換器である。図５では、ＩＣテスタ１１の 上方にフード１２を配置し、フード１２にダクト１２Ａを接続し、ダクト１２Ａ の終端に熱交換器１３を接続する。熱交換器１３は室内に設置され、ＩＣテスタ １１の排熱空気は熱交換器１３で冷却され、冷却した空気がＩＣテスタ１１に吹 き付けられ、還気するので排熱バランスが良い。

【０００６】 次に、ダウンフロークリーンルーム内に設置されるＩＣテスタの排熱冷却構造 を図６により説明する。図６の１はＩＣテスタ、４はダウンフロークリーンルー ム、５はファンである。図４・５のＩＣテスタ１１が天井に向けて排熱されてい たのに対し、図６のＩＣテスタ１は床に向けて排熱される。

【０００７】 図６では、ＩＣテスタ１の排熱空気はＩＣテスタ１の下からグレーティング床 ４Ａを通過して床下ダクト４Ｂへ排気される。そして、排熱空気は室内空気と共 に床下ダクト４Ｂから空気調和機４Ｃに取り込まれ、室温に熱交換され、天井ダ クト４Ｄを経て、吹出口４Ｅから室内に流れる。

【０００８】

【考案が解決しようとする課題】

図５では室内の熱交換器を設けたり、ダクトを設置してＩＣテスタを排熱処理 するため、空調費や空調設備費が多いという問題がある。また、一度設置すると レイアウト変更が簡単にできないため、設置場所が制限されるという問題がある 。したがって、ダウンフロークリーンルーム内にＩＣテスタを設置すれば前述の 問題は解決される。しかし、図６では、ＩＣテスタの排熱空気と室内空気は温度 と風圧が異なっており、条件の異なる空気を空気調和機４Ｃで吸引するため、Ｉ Ｃテスタ１から排出される局所的に大量の排熱空気は床下ダクト４Ｂに淀む場合 がある。さらには、排熱空気がグレーティング床４Ａから室内に逆流する場合も ある。図６では、ＩＣテスタの排熱を容易にするため床下ダクト４Ｂにファン５ を追加しているが、空気調和機４Ｃに必要以上の風量が必要になることに変わり はない。

【０００９】 この考案は、ＩＣテスタの底部に熱交換器を配置することによりダウンフロー クリーンルーム内に設置されるＩＣテスタの排熱を容易にする冷却構造を提供す ることを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】

この目的を達成するために、この考案では、ＩＣテスタ１は上部から吸気し、内 部で温められた空気を下部から排気し、ＩＣテスタ１をダウンフロークリーンル ーム内に設置して排熱する場合に、ＩＣテスタ１の底部に熱交換器２を配置する 。また、熱交換器２は複数の熱交換ユニット２１・２２・２３で構成され、前記 熱交換ユニットの流路管６には複数のフィン７が取り付けられ、流路管６は着脱 可能にホース３で接続され、流路管６に水を流すことのより排熱空気を冷却する 。

【００１１】

【作用】

次に、この考案によるＩＣテスタＩの排熱冷却構造を図１により説明する。図 １の２は熱交換器、３はホースであり、その他のものは図６と同じものである。 すなわち、図１は図６のファン５のかわりに熱交換器２をＩＣテスタ１の底部に 配置したものである。

【００１２】 図１では、ＩＣテスタ１はファンユニット１Ａで吸気され、シェルフ１Ｃで温 められた排熱空気は、内部のファンユニット１Ｂにより下向きに吹き出すように 配置されているので、排熱空気は熱交換器２に吹き付けられ、グレーティング床 ４Ａに流れる。熱交換器２は複数の熱交換ユニット２１・２２・２３で構成され 、各熱交換ユニットはホース３で接続される。熱交換ユニットに水を流すことに よって、ＩＣテスタ１の排熱空気の温度を室温と同等にでき、空気調和機の負担 を軽減できる。

【００１３】 図１では、熱交換器２は複数のユニットで構成され、折曲げ自在なホース３で 接続されているため、設置が容易であり、ＩＣテスタ１の大きさに合わせてユニ ット構成を変化できる。また、熱交換器２はＩＣテスタ１の下方に設置するため 、通風面積を大きく取ることができるので、熱交換器２の厚みを薄くすることが でき、スペース効率が良い。

【００１４】

【実施例】

次に、熱交換ユニット２の実施例による構成を図２により説明する。図２の６ は流路管、７はフィンである。図２では、流路管６は、上段の給水元管６Ａと、 下段の排水元管６Ｂと、給水元管６Ａと排水元管６ＢをＵの字状に接続する複数 の支管６Ｃで構成される。支管６Ｃには複数のフィン７が取り付けられる。給水 元管６Ａと排水元管６Ｂの両端には接続口６Ｄをもち、ホース３または栓６Ｅが 接続される。水は給水元管６Ａ、支管６Ｃ、排水元管６Ｂの順に流れ、この過程 で水は、複数のフィン７の表面でＩＣテスタ１の排熱を吸収する。

【００１５】 次に、熱交換ユニットを接続し水の流れる状態を図３により説明する。図３ア は図２のＡ矢視の断面図であり、図３イは図２のＢ矢視の断面図である。図３は 接続の一例であり、熱交換ユニット２１・２２・２３を接続している。水は、熱 交換ユニット２３の給水元管６Ａの片端から入り、ホース３を通じて熱交換ユニ ット２２の給水元管６Ａへ流れ、熱交換ユニット２１の給水元管６Ａへ流れる。 水は各給水元管６Ａからそれぞれの支管６Ｃを通じて、排水元管６Ｂへと流れる 。すなわち、各熱交換ユニットへの水の供給は並列になるので、各熱交換ユニッ トは同じ水温と流量の水が供給される。したがって、熱交換ユニット２１・２２ ・２３は同等の冷却能力を得ることができるので、ＩＣテスタ１の位置によって 冷却能力が変わることはない。

【００１６】 熱交換ユニット２１の給水元管６Ａと排水元管６Ｂの接続口６Ｄは栓６Ｅでふ さがれているが、熱交換ユニットの設置数が多かったり、ＩＣテスタ１の熱量が 多く水量を多く必要とする場合は、給排水口にすることもできる。

【００１７】 図２の冷却水には、水温が15〜20℃のものを用いればＩＣテスタ１の排気温度 を25℃前後に制御できる。冷却水は、例えば、地下水を使用する。地下水は年間 を通じて水温が15〜18℃なので、この考案に使用するのに適している。

【００１８】 また、通常の空調室は室温25℃、湿度50％程度の環境であるので、15〜18℃の 水温によって結露は発生しないので、図２の熱交換器２にはドレン配管の必要が ない。地下水を用意できない環境や、複数台の水冷システムの設置で水量が多く なるなどの場合は、冷却水循環装置を室外に設置する。この方法によれば、水温 を自由に調整することができ、冷却水を循環して利用するため、ランニングコス トを安くすることができる。

【００１９】 各熱交換ユニットを接続するホース３は、高圧ゴムホースなどを使用し、接続 部分にカップラをつければ、取り付け取り外しが容易となり、熱交換ユニットの 増減が容易である。熱交換器２はＩＣテスタ１の底面に水平に設置するため、通 風面積を広く取ることができる。したがって、熱交換器２の空気の圧力損失が小 さいので、ブロアなどの高静圧のファンを付ける必要が無く、ＩＣテスタ１内の ファンで十分排気できる。このように、スペース効率が良いので、従来のアップ フロー時の吸気口のスペースに熱交換器２が設置でき、従来のＩＣテスタ１とほ ぼ同等の寸法で排気冷却構造を実現できる。

【００２０】

【考案の効果】

この考案は、上部から吸気し、内部で温められた空気を下部から排気するＩＣ テスタをダウンフロークリーンルーム内に設置して排熱する場合に、ＩＣテスタ の底部に熱交換器を配置しているので、空調費および空調設備を軽減できる。ま た、室温に戻して排気するために、室内の温度分布が一様になる。さらに、熱交 換機はユニット構造であるので、設置および取り外しが容易であり、増減も容易 である。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案によるＩＣテスタの排熱構造の構成図
である。

【図２】図１の熱交換器２の実施例による構成図であ
る。

【図３】熱交換ユニットを接続し水の流れる状態図であ
る。

【図４】従来技術によるＩＣテスタの排熱構造の構成図
である。

【図５】図４の他の排熱構造の構成図である。

【図６】ダウンフロークリーンルーム内に設置されるＩ
Ｃテスタの排熱冷却構造の構成図である。

【符号の説明】

１ ＩＣテスタ １Ａ ファンユニット １Ｂ ファンユニット １Ｃ シェルフ ２ 熱交換器 ３ ホース ３Ａ ファン ４ 熱交換器 ６ 流路管 ７ フィン ２１ 熱交換ユニット ２２ 熱交換ユニット ２３ 熱交換ユニット

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ＩＣテスタは上部から吸気し、内部で温
   められた空気を下部から排気し、前記ＩＣテスタをダウ
   ンフロークリーンルーム内に設置して排熱する場合に、 前記ＩＣテスタの底部に熱交換器を配置することを特徴
   とするＩＣテスタの排熱冷却構造。
2. 【請求項２】 熱交換器は複数の熱交換ユニットで構成
   され、前記熱交換ユニットの流路管には複数のフィンが
   取り付けられ、前記流路管は着脱可能にホースで接続さ
   れ、前記流路管に水を流すことのより排熱空気を冷却す
   ることを特徴とする請求項１のＩＣテスタの排熱冷却構
   造。