JPH06350159A - 磁気センサー - Google Patents
磁気センサーInfo
- Publication number
- JPH06350159A JPH06350159A JP5163901A JP16390193A JPH06350159A JP H06350159 A JPH06350159 A JP H06350159A JP 5163901 A JP5163901 A JP 5163901A JP 16390193 A JP16390193 A JP 16390193A JP H06350159 A JPH06350159 A JP H06350159A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- current path
- series
- current
- output terminal
- magnetic sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 47
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims abstract description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 229910017709 Ni Co Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910003267 Ni-Co Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910003262 Ni‐Co Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 取付けにあたって取付け角度を考慮する必要
がなく、取付け作業を簡単にして、取付けに自由度が出
せるようにした磁気センサーを提供する。 【構成】 絶縁基板８上に異方性のある磁気抵抗効果を
示す強磁性体膜からなる第１の電流通路１３及び第２の
電流通路２４をつづら折りに形成して、互いにほぼ直交
するように配置する。第１の電流通路１３に第１の固定
抵抗１４を直列接続して、この接続点に第１の出力端子
１６を設けると共に、第１の電流通路１３及び第１の固
定抵抗１４の他端に各々電流端子５，７を接続して、第
１の直列回路２１を構成する。また、第２の電流通路２
４に第２の固定抵抗２３を直列接続して、この接続点に
第２の出力端子２６を設けると共に、第２の電流通路２
４及び第２の固定抵抗２３の他端に各々電流端子５，７
を接続して、第２の直列回路３１を構成する。
がなく、取付け作業を簡単にして、取付けに自由度が出
せるようにした磁気センサーを提供する。 【構成】 絶縁基板８上に異方性のある磁気抵抗効果を
示す強磁性体膜からなる第１の電流通路１３及び第２の
電流通路２４をつづら折りに形成して、互いにほぼ直交
するように配置する。第１の電流通路１３に第１の固定
抵抗１４を直列接続して、この接続点に第１の出力端子
１６を設けると共に、第１の電流通路１３及び第１の固
定抵抗１４の他端に各々電流端子５，７を接続して、第
１の直列回路２１を構成する。また、第２の電流通路２
４に第２の固定抵抗２３を直列接続して、この接続点に
第２の出力端子２６を設けると共に、第２の電流通路２
４及び第２の固定抵抗２３の他端に各々電流端子５，７
を接続して、第２の直列回路３１を構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、検出を行う用途等に適
用される磁気センサーに関する。
用される磁気センサーに関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば磁気センサーとして、特公昭５７
−５０６７号公報に示されるような構成のものが知られ
ている。この磁気センサー１は図８に示したように、図
９の等価回路を構成するように、絶縁基板８上に各々異
方性のある磁気抵抗効果を有する例えばＮｉ−Ｃｏ合金
等の強磁性体膜からなる第１の電流通路３及び第２の電
流通路４が、つづら折りに形成されて、互いにほぼ直交
するように直列接続されて配置されており、接続点には
出力端子６が設けられると共に、各電流通路３，４の他
端には各々電流端子５，７が設けられてこの一方の電流
端子７は接地されるようになっている。そして、第１及
び第２の電流通路３，４のなす平面において、各強磁性
体膜を飽和磁化させるに充分な磁界Ｈを、第１の電流通
路３の長手方向に対して角度θで交差する方向に加える
ように構成されている。
−５０６７号公報に示されるような構成のものが知られ
ている。この磁気センサー１は図８に示したように、図
９の等価回路を構成するように、絶縁基板８上に各々異
方性のある磁気抵抗効果を有する例えばＮｉ−Ｃｏ合金
等の強磁性体膜からなる第１の電流通路３及び第２の電
流通路４が、つづら折りに形成されて、互いにほぼ直交
するように直列接続されて配置されており、接続点には
出力端子６が設けられると共に、各電流通路３，４の他
端には各々電流端子５，７が設けられてこの一方の電流
端子７は接地されるようになっている。そして、第１及
び第２の電流通路３，４のなす平面において、各強磁性
体膜を飽和磁化させるに充分な磁界Ｈを、第１の電流通
路３の長手方向に対して角度θで交差する方向に加える
ように構成されている。
【０００３】図１０はこのような磁気センサー１の出力
特性図を示すもので、横軸ｘには磁界入力角度θを、縦
軸ｙには出力電圧Ｖを示している。すなわち、図８及び
図９の出力端子６からは磁界入力角度θに応じてサイン
波形の出力電圧Ｖが検出される。ここで、出力電圧Ｖは
磁界入力角度θが０°，９０°，１８０°，２７０°の
とき、最大値（図示例では絶対値で約２２ｍＶ）が検出
できることを示している。
特性図を示すもので、横軸ｘには磁界入力角度θを、縦
軸ｙには出力電圧Ｖを示している。すなわち、図８及び
図９の出力端子６からは磁界入力角度θに応じてサイン
波形の出力電圧Ｖが検出される。ここで、出力電圧Ｖは
磁界入力角度θが０°，９０°，１８０°，２７０°の
とき、最大値（図示例では絶対値で約２２ｍＶ）が検出
できることを示している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の磁気センサーで
は、磁界入力角度θによって検出される出力電圧Ｖの値
が変化するので、所定の角度で取付けないと出力電圧が
検出できないため、取付けに自由度がないという問題が
ある。すなわち、図１０の出力特性図から明らかなよう
に、磁界入力角度θが０°，９０°，１８０°，２７０
°では最大出力電圧が検出できる反面、磁界入力角度θ
が４５°，１３５°，２２５°，３１５°では出力電圧
Ｖは０になってしまうことになる。従って、磁気センサ
ー１を取付けるにあたっては常に取付け角度を考慮して
取付けねばならず、取付け作業が煩わしくなっていた。
は、磁界入力角度θによって検出される出力電圧Ｖの値
が変化するので、所定の角度で取付けないと出力電圧が
検出できないため、取付けに自由度がないという問題が
ある。すなわち、図１０の出力特性図から明らかなよう
に、磁界入力角度θが０°，９０°，１８０°，２７０
°では最大出力電圧が検出できる反面、磁界入力角度θ
が４５°，１３５°，２２５°，３１５°では出力電圧
Ｖは０になってしまうことになる。従って、磁気センサ
ー１を取付けるにあたっては常に取付け角度を考慮して
取付けねばならず、取付け作業が煩わしくなっていた。
【０００５】本発明は以上のような問題に対処してなさ
れたもので、取付けに自由度が出せるようにした磁気セ
ンサーを提供することを目的とするものである。
れたもので、取付けに自由度が出せるようにした磁気セ
ンサーを提供することを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、異方性のある磁気抵抗効果を有する強磁性
体膜からなる第１及び第２の電流通路と、第１及び第２
の固定抵抗とを備え、上記第１及び第２の電流通路は各
々つづら折りに形成されて互いに直交させて配置し、上
記第１の電流通路と上記第１の固定抵抗とを直列接続し
てこの接続点を第１の出力端子とした第１の直列回路
と、上記第２の電流通路と上記第２の固定抵抗とを直列
接続してこの接続点を第２の出力端子とした第２の直列
回路とを並列接続し、上記第１及び第２の電流通路に加
わる磁場成分の変化に応じてこれら電流通路の抵抗値が
各々変化したときの電圧変化を上記第１及び第２の出力
端子の少なくとも一方から検出するようにしたことを特
徴とするものである。
に本発明は、異方性のある磁気抵抗効果を有する強磁性
体膜からなる第１及び第２の電流通路と、第１及び第２
の固定抵抗とを備え、上記第１及び第２の電流通路は各
々つづら折りに形成されて互いに直交させて配置し、上
記第１の電流通路と上記第１の固定抵抗とを直列接続し
てこの接続点を第１の出力端子とした第１の直列回路
と、上記第２の電流通路と上記第２の固定抵抗とを直列
接続してこの接続点を第２の出力端子とした第２の直列
回路とを並列接続し、上記第１及び第２の電流通路に加
わる磁場成分の変化に応じてこれら電流通路の抵抗値が
各々変化したときの電圧変化を上記第１及び第２の出力
端子の少なくとも一方から検出するようにしたことを特
徴とするものである。
【０００７】
【作用】異方性のある磁気抵抗効果を有する強磁性体膜
からなる第１及び第２の電流通路を各々つづら折りに形
成して互いに直交させて配置し、上記第１の電流通路と
第１の固定抵抗とを直列接続してこの接続点を第１の出
力端子とした第１の直列回路を構成すると共に、上記第
２の電流通路と第２の固定抵抗とを直列接続してこの接
続点を第２の出力端子とした第２の直列回路を構成し
て、これら第１及び第２の直列回路を並列接続し、上記
第１及び第２の電流通路に加わる磁場成分の変化に応じ
てこれら電流通路の抵抗値が各々変化したときの電圧変
化を上記第１及び第２の出力端子の少なくとも一方から
検出する。これによって、少なくとも一方の出力端子か
ら磁界入力角度に無関係に常に一定の値の出力電圧を検
出することができる。
からなる第１及び第２の電流通路を各々つづら折りに形
成して互いに直交させて配置し、上記第１の電流通路と
第１の固定抵抗とを直列接続してこの接続点を第１の出
力端子とした第１の直列回路を構成すると共に、上記第
２の電流通路と第２の固定抵抗とを直列接続してこの接
続点を第２の出力端子とした第２の直列回路を構成し
て、これら第１及び第２の直列回路を並列接続し、上記
第１及び第２の電流通路に加わる磁場成分の変化に応じ
てこれら電流通路の抵抗値が各々変化したときの電圧変
化を上記第１及び第２の出力端子の少なくとも一方から
検出する。これによって、少なくとも一方の出力端子か
ら磁界入力角度に無関係に常に一定の値の出力電圧を検
出することができる。
【０００８】
【実施例】以下図面を参照して本発明の実施例を説明す
る。図１は本発明の磁気センサーの第１の実施例を示す
平面図で、本実施例の磁気センサー１０は、図２の等価
回路を構成するように、絶縁基板８上に異方性のある磁
気抵抗効果を有する例えばＮｉ−Ｃｏ合金等の強磁性膜
からなる第１の電流通路１３及び第２の電流通路２４が
つづら折りに形成されて、互いにほぼ直交するように配
置されている。第１の電流通路１３には第１の固定抵抗
１４が直列接続されて、この接続点には第１の出力端子
１６が設けられると共に、第１の電流通路１３及び第１
の固定抵抗１４の他端には各々電流端子５，７が接続さ
れて、この直列回路は第１の直列回路２１を構成してい
る。また、第２の電流通路２４には第２の固定抵抗２３
が直列接続されて、この接続点には第２の出力端子２６
が設けられると共に、第２の固定抵抗２３及び第２の電
流通路固定抵抗２４の他端は各々電流端子５，７に接続
されて、この直列回路は第２の直列回路３１を構成して
いる。すなわち、第１の直列回路２１と第２の直列回路
３１は並列接続されて、両電流端子５，７は両直列回路
２１，３１の共通端子として用いられて電源に接続され
るようになっており、一方の電流端子７は接地されるよ
うになっている。
る。図１は本発明の磁気センサーの第１の実施例を示す
平面図で、本実施例の磁気センサー１０は、図２の等価
回路を構成するように、絶縁基板８上に異方性のある磁
気抵抗効果を有する例えばＮｉ−Ｃｏ合金等の強磁性膜
からなる第１の電流通路１３及び第２の電流通路２４が
つづら折りに形成されて、互いにほぼ直交するように配
置されている。第１の電流通路１３には第１の固定抵抗
１４が直列接続されて、この接続点には第１の出力端子
１６が設けられると共に、第１の電流通路１３及び第１
の固定抵抗１４の他端には各々電流端子５，７が接続さ
れて、この直列回路は第１の直列回路２１を構成してい
る。また、第２の電流通路２４には第２の固定抵抗２３
が直列接続されて、この接続点には第２の出力端子２６
が設けられると共に、第２の固定抵抗２３及び第２の電
流通路固定抵抗２４の他端は各々電流端子５，７に接続
されて、この直列回路は第２の直列回路３１を構成して
いる。すなわち、第１の直列回路２１と第２の直列回路
３１は並列接続されて、両電流端子５，７は両直列回路
２１，３１の共通端子として用いられて電源に接続され
るようになっており、一方の電流端子７は接地されるよ
うになっている。
【０００９】そして、第１及び第２の電流通路１３，２
４のなす平面において、各強磁性体膜を飽和磁化させる
に充分な磁界Ｈが、第１の電流通路１３の長手方向に対
して角度θで交差する方向に加えられるように構成され
ている。これによって、第１及び第２の電流通路１３，
２４に加わる磁場成分の変化に応じて各電流通路１３，
２４の抵抗値が各々変化したときの電圧変化を、第１の
出力端子１６及び第２の出力端子２６から検出して、両
電圧変化の差をとることにより磁気センサー１０の出力
電圧Ｖを検出できるように構成されている。
４のなす平面において、各強磁性体膜を飽和磁化させる
に充分な磁界Ｈが、第１の電流通路１３の長手方向に対
して角度θで交差する方向に加えられるように構成され
ている。これによって、第１及び第２の電流通路１３，
２４に加わる磁場成分の変化に応じて各電流通路１３，
２４の抵抗値が各々変化したときの電圧変化を、第１の
出力端子１６及び第２の出力端子２６から検出して、両
電圧変化の差をとることにより磁気センサー１０の出力
電圧Ｖを検出できるように構成されている。
【００１０】以上のような構成の本実施例の磁気センサ
ー１０において、磁界Ｈの角度θを変化させることによ
り第１及び第２の電流通路１３，２４の抵抗値を変化さ
せたところ、第１の出力端子１６及び第２の出力端子２
６から各々図３の曲線Ａ，Ｂに示したような出力電圧Ｖ
が検出され、さらに両曲線Ａ，Ｂの差を求めたところ直
線Ｃのような出力電圧Ｖが検出できた。
ー１０において、磁界Ｈの角度θを変化させることによ
り第１及び第２の電流通路１３，２４の抵抗値を変化さ
せたところ、第１の出力端子１６及び第２の出力端子２
６から各々図３の曲線Ａ，Ｂに示したような出力電圧Ｖ
が検出され、さらに両曲線Ａ，Ｂの差を求めたところ直
線Ｃのような出力電圧Ｖが検出できた。
【００１１】図３から明らかなように、本実施例によれ
ば、各出力端子１６，２６からの出力電圧Ｖの差を求め
ることにより、直線Ｃのように磁界入力角度θに無関係
に常に一定の値の出力電圧を検出することができるよう
になる。すなわち、第１及び第２の出力端子１６，２６
から単独に検出される出力電圧Ｖは曲線Ａ，Ｂのよう
に、磁界入力角度θがそれぞれ０°，１８０°及び９０
°，２７０°では０になってしまうが、両出力電圧の差
を求めることで直線Ｃのように、磁界入力角度θに無関
係に常に両出力電圧の最大値（図示例では絶対値で約２
２ｍＶ）で決まる一定の出力電圧を検出することができ
る。従って、磁気センサー１０を取付けるにあたって
は、取付け角度を考慮する必要はないので、取付け作業
が簡単となり、取付け自由度を出すことができるように
なる。
ば、各出力端子１６，２６からの出力電圧Ｖの差を求め
ることにより、直線Ｃのように磁界入力角度θに無関係
に常に一定の値の出力電圧を検出することができるよう
になる。すなわち、第１及び第２の出力端子１６，２６
から単独に検出される出力電圧Ｖは曲線Ａ，Ｂのよう
に、磁界入力角度θがそれぞれ０°，１８０°及び９０
°，２７０°では０になってしまうが、両出力電圧の差
を求めることで直線Ｃのように、磁界入力角度θに無関
係に常に両出力電圧の最大値（図示例では絶対値で約２
２ｍＶ）で決まる一定の出力電圧を検出することができ
る。従って、磁気センサー１０を取付けるにあたって
は、取付け角度を考慮する必要はないので、取付け作業
が簡単となり、取付け自由度を出すことができるように
なる。
【００１２】図４は本発明の第２の実施例を示すもの
で、本実施例の磁気センサー２０は図２に示した等価回
路を構成する点は第１の実施例と同じであるが、第１の
電流通路１３自身を、互いにほぼ直交する垂直方向通路
部１３Ａと水平方向通路部１３Ｂとに分けて直列接続す
ると共に、第２の電流通路２４自身をそれと同様に、互
いにほぼ直交する垂直方向通路部２４Ａと水平方向通路
部２４Ｂとに分けて直列接続するように構成した点、及
びこれによって第１の出力端子１６あるいは第２の出力
端子２６からの出力あるいは両出力端子１６，２６から
の出力の差のいずれかを出力電圧Ｖとして選択可能に検
出できるようにした点が、第１の実施例と異なってい
る。
で、本実施例の磁気センサー２０は図２に示した等価回
路を構成する点は第１の実施例と同じであるが、第１の
電流通路１３自身を、互いにほぼ直交する垂直方向通路
部１３Ａと水平方向通路部１３Ｂとに分けて直列接続す
ると共に、第２の電流通路２４自身をそれと同様に、互
いにほぼ直交する垂直方向通路部２４Ａと水平方向通路
部２４Ｂとに分けて直列接続するように構成した点、及
びこれによって第１の出力端子１６あるいは第２の出力
端子２６からの出力あるいは両出力端子１６，２６から
の出力の差のいずれかを出力電圧Ｖとして選択可能に検
出できるようにした点が、第１の実施例と異なってい
る。
【００１３】図５は本発明の第３の実施例を示すもの
で、本実施例の磁気センサー３０は図４の第２の実施例
に比べて、第１の電流通路１３及び第２の電流通路２４
のそれぞれを構成する各垂直方向通路部１３Ａ，２４Ａ
及び水平方向通路部１３Ｂ，２４Ｂの配置パターンが異
なっている。また、図６は本発明の第４の実施例を示す
もので、本実施例の磁気センサー４０は図５の第３の実
施例に比べて、第１の電流通路１３及び第２の電流通路
２４のそれぞれを構成する各垂直方向通路部１３Ａ，２
４Ａ及び水平方向通路部１３Ｂ，２４Ｂの配置パターン
が異なっている。
で、本実施例の磁気センサー３０は図４の第２の実施例
に比べて、第１の電流通路１３及び第２の電流通路２４
のそれぞれを構成する各垂直方向通路部１３Ａ，２４Ａ
及び水平方向通路部１３Ｂ，２４Ｂの配置パターンが異
なっている。また、図６は本発明の第４の実施例を示す
もので、本実施例の磁気センサー４０は図５の第３の実
施例に比べて、第１の電流通路１３及び第２の電流通路
２４のそれぞれを構成する各垂直方向通路部１３Ａ，２
４Ａ及び水平方向通路部１３Ｂ，２４Ｂの配置パターン
が異なっている。
【００１４】図７は第２，第３及び第４の各実施例によ
って得られた出力特性図を示すものである。各実施例に
よれば、第１の出力端子１６から直線ａに示したような
出力電圧Ｖが検出され、第２の出力端子２６から直線ｂ
に示したような出力電圧Ｖが検出され、さらに両直線
ｂ，ｃの差を求めることにより直線ｃのような出力電圧
を検出することができた。
って得られた出力特性図を示すものである。各実施例に
よれば、第１の出力端子１６から直線ａに示したような
出力電圧Ｖが検出され、第２の出力端子２６から直線ｂ
に示したような出力電圧Ｖが検出され、さらに両直線
ｂ，ｃの差を求めることにより直線ｃのような出力電圧
を検出することができた。
【００１５】図７から明らかなように、各実施例によれ
ば、各出力端子１６，２６からの出力電圧Ｖの差を求め
ることにより、直線ｃのように図３の第１の実施例と同
様に磁界入力角度θに無関係に常に一定の値の出力電圧
を検出することができる。さらに、第１の出力端子１６
及び第２の出力端子２６からも直線ａ，ｂのように単独
で同様に磁界入力角度θに無関係に常に一定の値の出力
電圧を検出することができる。ただし、直線ａ，ｂの出
力は互いに極性が逆であり、かつその値は直線ｃの値の
半分（絶対値で）になっている。
ば、各出力端子１６，２６からの出力電圧Ｖの差を求め
ることにより、直線ｃのように図３の第１の実施例と同
様に磁界入力角度θに無関係に常に一定の値の出力電圧
を検出することができる。さらに、第１の出力端子１６
及び第２の出力端子２６からも直線ａ，ｂのように単独
で同様に磁界入力角度θに無関係に常に一定の値の出力
電圧を検出することができる。ただし、直線ａ，ｂの出
力は互いに極性が逆であり、かつその値は直線ｃの値の
半分（絶対値で）になっている。
【００１６】従って、このような各実施例によっても各
磁気センサー２０，３０，４０を取付けるにあたって
は、取付け角度を考慮する必要は無いので、取付け作業
が簡単となり、取付けに自由度を出すことができる。な
お、各実施例において得られる各出力電圧の値は、第１
及び第２の電流通路１３，２４あるいはこれらを構成し
ている各垂直通路部１３Ａ，２４Ａ及び各水平通路部１
３Ｂ，２４Ｂの通路長、強磁性体膜の材料等を変更する
ことにより変えることが可能である。
磁気センサー２０，３０，４０を取付けるにあたって
は、取付け角度を考慮する必要は無いので、取付け作業
が簡単となり、取付けに自由度を出すことができる。な
お、各実施例において得られる各出力電圧の値は、第１
及び第２の電流通路１３，２４あるいはこれらを構成し
ている各垂直通路部１３Ａ，２４Ａ及び各水平通路部１
３Ｂ，２４Ｂの通路長、強磁性体膜の材料等を変更する
ことにより変えることが可能である。
【００１７】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、異方
性のある磁気抵抗効果を有する強磁性体膜からなる第１
及び第２の電流通路を各々つづら折りに形成して互いに
直交させて配置し、上記第１の電流通路と第１の固定抵
抗とを直列接続してこの接続点を第１の出力端子とした
第１の直列回路を構成すると共に、上記第２の電流通路
と第２の固定抵抗とを直列接続してこの接続点を第２の
出力端子とした第２の直列回路を構成して、これら第１
及び第２の直列回路を並列接続し、上記第１及び第２の
電流通路に加わる磁場成分の変化に応じてこれら電流通
路の抵抗値が各々変化したときの電圧変化を上記第１及
び第２の出力端子の少なくとも一方から検出する。これ
によって、少なくとも一方の出力端子から磁界入力角度
に無関係に常に一定の値の出力電圧を検出することがで
きる。
性のある磁気抵抗効果を有する強磁性体膜からなる第１
及び第２の電流通路を各々つづら折りに形成して互いに
直交させて配置し、上記第１の電流通路と第１の固定抵
抗とを直列接続してこの接続点を第１の出力端子とした
第１の直列回路を構成すると共に、上記第２の電流通路
と第２の固定抵抗とを直列接続してこの接続点を第２の
出力端子とした第２の直列回路を構成して、これら第１
及び第２の直列回路を並列接続し、上記第１及び第２の
電流通路に加わる磁場成分の変化に応じてこれら電流通
路の抵抗値が各々変化したときの電圧変化を上記第１及
び第２の出力端子の少なくとも一方から検出する。これ
によって、少なくとも一方の出力端子から磁界入力角度
に無関係に常に一定の値の出力電圧を検出することがで
きる。
【図１】本発明の磁気センサーの第１の実施例を示す平
面図である。
面図である。
【図２】図１の等価回路である。
【図３】第１の実施例によって得られた出力特性図であ
る。
る。
【図４】本発明の第２の実施例を示す平面図である。
【図５】本発明の第３の実施例を示す平面図である。
【図６】本発明の第４の実施例を示す平面図である。
【図７】第２乃至第４の各実施例によって得られた出力
特性図である。
特性図である。
【図８】従来の磁気センサーを示す平面図である。
【図９】図８の等価回路である。
【図１０】従来例によっ得られた出力特性図である。
１３ 第１の電流通路 １４ 第１の固定抵抗 １６ 第１の出力端子 ２１ 第１の直列回路 ２３ 第２の固定抵抗 ２４ 第２の電流通路 ２６ 第２の出力端子 ３１ 第２の直列回路
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年１月１７日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の磁気センサーの第１の実施例を示す平
面図である。
面図である。
【図２】図１の等価回路である。
【図３】第１の実施例によって得られた出力特性図であ
る。
る。
【図４】本発明の第２の実施例を示す平面図である。
【図５】本発明の第３の実施例を示す平面図である。
【図６】本発明の第４の実施例を示す平面図である。
【図７】第２乃至第４の各実施例によって得られた出力
特性図である。
特性図である。
【図８】従来の磁気センサーを示す平面図である。
【図９】図８の等価回路である。
【図１０】従来例によって得られた出力特性図である。
【符号の説明】 １３ 第１の電流通路 １４ 第１の固定抵抗 １６ 第１の出力端子 ２１ 第１の直列回路 ２３ 第２の固定抵抗 ２４ 第２の電流通路 ２６ 第２の出力端子 ３１ 第２の直列回路
Claims (1)
- 【請求項１】 異方性のある磁気抵抗効果を有する強磁
性体膜からなる第１及び第２の電流通路と、第１及び第
２の固定抵抗とを備え、上記第１及び第２の電流通路は
各々つづら折りに形成されて互いに直交させて配置し、
上記第１の電流通路と上記第１の固定抵抗とを直列接続
してこの接続点を第１の出力端子とした第１の直列回路
と、上記第２の電流通路と上記第２の固定抵抗とを直列
接続してこの接続点を第２の出力端子とした第２の直列
回路とを並列接続し、上記第１及び第２の電流通路に加
わる磁場成分の変化に応じてこれら電流通路の抵抗値が
各々変化したときの電圧変化を上記第１及び第２の出力
端子の少なくとも一方から検出するようにしたことを特
徴とする磁気センサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5163901A JPH06350159A (ja) | 1993-06-10 | 1993-06-10 | 磁気センサー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5163901A JPH06350159A (ja) | 1993-06-10 | 1993-06-10 | 磁気センサー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06350159A true JPH06350159A (ja) | 1994-12-22 |
Family
ID=15782982
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5163901A Withdrawn JPH06350159A (ja) | 1993-06-10 | 1993-06-10 | 磁気センサー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06350159A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6392407B1 (en) | 2001-05-30 | 2002-05-21 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Rotation angle detecting device |
| JP2012255770A (ja) * | 2011-05-16 | 2012-12-27 | Mitsubishi Electric Corp | 磁気センサ装置 |
| WO2014156751A1 (ja) * | 2013-03-26 | 2014-10-02 | 株式会社村田製作所 | 磁気センサ |
| WO2016013345A1 (ja) * | 2014-07-24 | 2016-01-28 | 株式会社村田製作所 | 磁気センサ |
-
1993
- 1993-06-10 JP JP5163901A patent/JPH06350159A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6392407B1 (en) | 2001-05-30 | 2002-05-21 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Rotation angle detecting device |
| JP2012255770A (ja) * | 2011-05-16 | 2012-12-27 | Mitsubishi Electric Corp | 磁気センサ装置 |
| US9244135B2 (en) | 2011-05-16 | 2016-01-26 | Mitsubishi Electric Corporation | Magnetic sensor device |
| WO2014156751A1 (ja) * | 2013-03-26 | 2014-10-02 | 株式会社村田製作所 | 磁気センサ |
| WO2016013345A1 (ja) * | 2014-07-24 | 2016-01-28 | 株式会社村田製作所 | 磁気センサ |
| JPWO2016013345A1 (ja) * | 2014-07-24 | 2017-05-25 | 株式会社村田製作所 | 磁気センサ |
| US10281532B2 (en) | 2014-07-24 | 2019-05-07 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Magnetic sensor |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6998839B2 (en) | Magnetoresistive sensor having a strip-shaped conductor and a screening strip | |
| JPH04265819A (ja) | 磁界変化感知システムおよびその製造方法 | |
| JPH08242027A (ja) | 磁気抵抗素子回路 | |
| US10551447B2 (en) | Magnetic field sensing apparatus | |
| US20080191694A1 (en) | Magneto-Resistive Sensor in form of a Half or Full Bridge Circuit | |
| CN104280699A (zh) | 一种单芯片三轴磁场感测装置 | |
| US5418455A (en) | Magnetic position detector having a magnetic sensor element and a circuit board having a selectively changeable wiring pattern | |
| WO2014111976A1 (ja) | 磁気センサ及びその製造方法 | |
| JP2008216230A (ja) | 電流センサ | |
| TW201818050A (zh) | 磁場感測裝置 | |
| CN110007255B (zh) | 磁场感测装置 | |
| JPH06350159A (ja) | 磁気センサー | |
| CN115980639B (zh) | 一种磁阻传感器 | |
| JPH03282277A (ja) | 磁気検出素子 | |
| JPS58101483A (ja) | 磁気抵抗素子 | |
| JP7306220B2 (ja) | 電流センサ | |
| JP2576763B2 (ja) | 強磁性磁気抵抗素子 | |
| JPH02189484A (ja) | 磁気センサ | |
| JP2006047005A (ja) | 電流センサ | |
| JP2010243232A (ja) | 電流センサ | |
| JPS6034048B2 (ja) | 変位検出装置 | |
| JP3688691B2 (ja) | 抵抗器および回路基板 | |
| US11719772B2 (en) | AMR (XMR) sensor with increased linear range | |
| JP7225694B2 (ja) | 磁気センサ | |
| JP2009121858A (ja) | 増幅回路 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000905 |