JPH06346856A - ダイアフラムポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ダイアフラムの耐久性を向上させることがで
きるダイアフラムポンプを提供する。 【構成】 ダイアフラム３４において、ポンプ室２４側
のダイアフラムプレート２０の表面にはゴムシート２３
が接着され、ダイアフラムプレート２０の外周部にはフ
ック２２が点溶接されている。ポンプ室２４には燃料流
路７Ｂが連通されている。ダイアフラム３４のフック２
２の内径はアッパハウジング２の環状溝２ｂの外径より
も僅かに小さいため、フック２２は押し拡げられてアッ
パハウジング２に嵌合されている。つまり、ダイアフラ
ムプレート２０は外方へ引っ張られて皺や弛み等が引き
伸ばされている。ダイアフラム３４の外周部付近は、ダ
イアフラムプレート２０が引っ張られた状態でアッパハ
ウジング２とリテーナ１８との間に拘持固定されてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、ダイアフラムポンプ
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、この種のダイアフラムポンプで
は、円板状のダイアフラムの外周部が一対のハウジング
部材等（拘持部材）により環状に拘持固定される。ダイ
アフラムとハウジング部材との間にはポンプ室（被圧送
流体室）が区画形成され、同ポンプ室には、被圧送流体
を流通させるための流体通路が連通される。そして、ダ
イアフラムがハウジング部材による拘持部位よりも中央
側で変形することによって、被圧送流体が吸入又は吐出
される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
ダイアフラムポンプでは、従来からダイアフラムの耐久
性の点で次のような問題を抱えていた。

【０００４】つまり、従来のダイアフラムポンプでは、
ダイアフラムの組付誤差等に起因してダイアフラムの拘
持部位に皺や弛み等が生じ易く、ダイアフラムを拘持固
定する際には、皺や弛みによってダイアフラムに剪断等
の局部的な応力がかかるおそれがあった。そして、ダイ
アフラムに局部的な応力が集中することによってダイア
フラムの破断や欠損が発生し、ダイアフラムの耐久性が
著しく低下するという問題が生じていた。

【０００５】又、被圧送流体が流体通路からポンプ室に
導入される際には、それらの開口面積の違いからキャビ
テーションが生じる。そして、そのキャビテーションに
よりダイアフラムの表面に瞬間的に衝撃圧が加わり、ダ
イアフラムの表面が損傷するという問題があった。

【０００６】そこで、この発明の目的とするところは、
上記従来の諸問題を解消して、ダイアフラムの耐久性を
向上させることができるダイアフラムポンプを提供する
ことにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第１の発明のダイアフラムポンプは、可撓性材料か
らなる円板状のダイアフラムの外周部を引っ張り状態で
拘持固定したことを要旨とするものである。

【０００８】又、第２の発明のダイアフラムポンプは、
可撓性材料からなる円板状のダイアフラムの外周部付近
を一対の拘持部材にて環状に拘持し、同拘持部材による
拘持部位よりも外側のダイアフラムには、同ダイアフラ
ムに接する一方の拘持部材に嵌合可能な環状の嵌合部材
を引っ張り状態で固着したことを要旨とするものであ
る。

【０００９】さらに、第３の発明のダイアフラムポンプ
は、被圧送流体を流通させるための流体通路に、可撓性
材料からなるダイアフラムを備えた被圧送流体室を連通
し、同被圧送流体室側のダイアフラムの表面に弾性層を
設けたことを要旨とするものである。

【００１０】

【作用】第１の発明のダイアフラムポンプによれば、ダ
イアフラムの外周部が引っ張り状態で拘持固定されるた
め、そのダイアフラムの外周部にて皺や弛み等が生じに
くくなり、ダイアフラムポンプの動作時における局部的
な応力集中が免れる。その結果、ダイアフラムの破損等
が防止されて耐久性が向上する。

【００１１】又、第２の発明のダイアフラムポンプによ
れば、拘持部材による拘持部位よりも外側のダイアフラ
ムが、嵌合部材によって拘持部材に引っ張り状態で固着
されるため、そのダイアフラムの外周部にて皺や弛み等
が生じにくくなる。そして、ダイアフラムは、皺や弛み
等のない状態で一対の拘持部材により環状に拘持される
ため、ダイアフラムポンプの動作の際、即ち、拘持部材
による拘持部位よりも中央側でダイアフラムが変形する
際において、そのダイアフラムの局部的な応力集中が免
れる。その結果、ダイアフラムの破損等が防止されて耐
久性が向上する。

【００１２】さらに、第３の発明のダイアフラムポンプ
によれば、被圧送流体室側のダイアフラムの表面に弾性
層を設けたことにより、被圧送流体のキャビテーション
によるダイアフラムの損傷が防止される。つまり、被圧
送流体は流体通路から被圧送流体室に導入される際、そ
れらの開口面積の違いからキャビテーションを生じ、そ
のキャビテーションによりダイアフラムの表面に瞬間的
に衝撃圧が加えられる。しかし、ダイアフラムの表面の
弾性層によりキャビテーションによる衝撃圧が緩衝さ
れ、ダイアフラムが保護される。

【００１３】

【実施例】以下、この発明のダイアフラムポンプを具体
化した一実施例について図面に従って説明する。

【００１４】図１は、本実施例におけるダイアフラムポ
ンプ１の正断面を示す図である。このダイアフラムポン
プ１は、例えば車載用ガソリンエンジンの燃料噴射シス
テムに用いられ、燃料タンクから吸入された被圧送流体
としての燃料（ガソリン）を燃料噴射弁に向けて吐出す
るものである。

【００１５】図１に示すように、ダイアフラムポンプ１
の外壁はアッパハウジング２とロアハウジング３とによ
り構成されている。アッパハウジング２には３箇所にね
じ孔４，５，６が形成されており、各ねじ孔４，５，６
は燃料流路７Ａ，７Ｂ，７Ｃにて連通されている。そし
て、アッパハウジング２の図示左側に位置するねじ孔４
には吸入ポート８が配設され、右側に位置するねじ孔６
には吐出逆止弁９を介して吐出ポート１０が配設されて
いる。又、アッパハウジング２の上側面に位置するねじ
孔５には調量電磁弁１１が配設されている。

【００１６】調量電磁弁１１は、弁体１２、スプリング
１３及びコイル１４を有し、同電磁弁１１には、前記燃
料流路７Ａと前記燃料流路７Ｂとを連通するための連通
路１５が形成されている。そして、弁体１２は、常にス
プリング１３により連通路１５を開く方向（図の下方
向）に付勢され、コイル１４の通電に伴いスプリング１
３の付勢力に抗して連通路１５を閉じる方向（図の上方
向）に移動する。つまり、調量電磁弁１１は、非通電時
には連通路１５を開いて燃料の流通を許容し、通電時に
は連通路１５を閉じて燃料の流通を遮断する。

【００１７】又、アッパハウジング２の下部は略円柱形
状をなし、その外周部には雄ねじ部２ａが形成され、そ
の雄ねじ部２ａの下方には環状溝２ｂが形成されてい
る。さらに、アッパハウジング２の下面には、略円錐状
の滑らかな曲面からなる凹面１６が形成されており、同
凹面１６の中央部は前記燃料流路７Ｂに連通している。
リテーナ１８を固定させるためのリテーニングナット１
７は略円筒形状をなし、その内径側にはアッパハウジン
グ２の雄ねじ部２ａに螺着可能な雌ねじ部１７ａが形成
されている。

【００１８】アッパハウジング２の下面とリテーナ１８
の上面との間には、円板状をなすダイアフラム３４と、
同じく円板状のダイアフラムストッパ２１とが各々の中
心軸が一致するように介装されており、同じく中心軸を
同じとするリテーニングナット１７により締付固定され
ている。つまり、ダイアフラム３４の外周部付近は上記
両部材（アッパハウジング２，リテーナ１８）にて拘持
されている。ダイアフラムストッパ２１は、ダイアフラ
ム３４の下方向への変形を規制するためのものであっ
て、同ストッパ２１にはその上下面を連通する複数の孔
２１ａが形成されている。そして、アッパハウジング２
の凹面１６とダイアフラム３４の上面との間には、ポン
プ室２４が区画形成され、ダイアフラム３４の変形に伴
うポンプ室２４の内部容積の変動により燃料の吸入及び
吐出が行われる。上記したように、本実施例では、アッ
パハウジング２とリテーナ１８とにより一対の拘持部材
が構成されている。又、ポンプ室２４により被圧送流体
室が構成され、燃料流路７Ｂにより流体通路が構成され
ている。

【００１９】図２は、ダイアフラム３４の組付状態を示
す分解断面図である。同図２に示すように、ダイアフラ
ム３４は、ステンレス鋼（可撓性材料）からなるダイア
フラムプレート２０と、シリコンゴムからなる弾性層と
してのゴムシート２３と、嵌合部材としての環状のフッ
ク２２とから構成されている。詳しくは、ダイアフラム
プレート２０の表面の前記ポンプ室２４側には、耐燃料
性に優れたゴムシート２３が接着されている。このゴム
シート２３は、その中心付近で略均等な厚さを有し、周
辺部へ向かって滑らかに薄くなっている。又、ダイアフ
ラムプレート２０の外周部には、フック２２が回転対称
な数点で溶接されており、同フック２２の内径Ｒ1 は、
アッパハウジング２の環状溝２ｂの外径Ｒ2 よりも僅か
に小さくなっている（Ｒ1 ＜Ｒ2 ）。なお、図示はしな
いが、フック２２、アッパハウジング２の下端部及びダ
イアフラムストッパ２１には、ノックピンによる回り止
めが施されている。

【００２０】従って、このダイアフラム３４がアッパハ
ウジング２の下端部の環状溝２ｂに嵌合される際、フッ
ク２２が外方に押し拡げられる。そのため、フック２２
に溶接されたダイアフラムプレート２０は一様に外方へ
引っ張られ、ダイアフラムプレート２０の外周部に生じ
る皺や弛み等が引き伸ばされる。そして、ダイアフラム
プレート２０が引っ張られた状態のまま、アッパハウジ
ング２と図１のリテーナ１８との間にダイアフラム３４
が拘持固定される。

【００２１】一方、図１に示すように、リテーナ１８の
下部には、円筒形状のシリンダ１９が形成されており、
同シリンダ１９内にはプランジャ２５が摺動可能に嵌挿
されている。シリンダ１９の内壁と、ダイアフラムスト
ッパ２１（ダイアフラムプレート２０）の下面と、プラ
ンジャ２５の上面との間にはシリンダ室２６が形成され
ている。又、シリンダ１９には、シリンダ室２６とその
外部のオイルケース２７とを連通する連通孔２８が形成
されており、この連通孔２８はプランジャ２５が下死点
付近に達したときのみ連通される。なお、シリンダ室２
６及びオイルケース２７には潤滑油が充填されている。

【００２２】又、シリンダ１９とプランジャ２５の鍔部
２５ａとの間には、プランジャ２５を常に下方に付勢す
るためのスプリング２９が介装されている。プランジャ
２５の下部にはタペット３０が配設され、同タペット３
０はカムケース３１内に配設されたカムシャフト３２の
外周面に接している。従って、エンジンの図示しないク
ランクシャフトが回転すると、その回転がカムシャフト
３２に付与されて同シャフト３２が偏心回転する。そし
て、カムシャフト３２の偏心回転に伴い、プランジャ２
５がスプリング２９の付勢力に抗して図示上下方向に往
復動する。

【００２３】なお、カムケース３１内にはカムシャフト
３２を潤滑作動させるための潤滑油が充填されている。
そして、前記シリンダ室２６，オイルケース２７内に充
填された潤滑油とカムケース３１内に充填された潤滑油
とは通孔３３を介して出入りする。

【００２４】次いで、上記のように構成されたダイアフ
ラムポンプ１の作用について説明する。前述したよう
に、プランジャ２５はカムシャフト３２の回転に伴って
上下方向に往復動する。そして、プランジャ２５が上動
する際には、シリンダ１９に形成された連通孔２８がプ
ランジャ２５によって閉鎖され、プランジャ２５がさら
に上動することによりシリンダ室２６の油圧が上昇す
る。この油圧の上昇によってダイアフラム３４の中央部
が押し上げられ、ダイアフラム３４と凹面１６の間のポ
ンプ室２４の容積が小さくなる。このとき、調量電磁弁
１１が通電されなければ、即ち、連通路１５が開放され
ていれば、燃料流路７Ｂ，７Ａを介してポンプ室２４か
ら吸入ポート８に燃料が押し返される。逆に、調量電磁
弁１１が通電されていれば、即ち、連通路１５が閉鎖さ
れていれば、ポンプ室２４内の燃料の圧力によって吐出
逆止弁９が押し開かれ、燃料流路７Ｃを経由して吐出ポ
ート１０から燃料が吐出される。つまり、プランジャ２
５が上動する際に調量電磁弁１１が早く通電されると吐
出量が多くなり、遅く通電されると少なくなる。

【００２５】又、このダイアフラム３４の変形の際に
は、図３に示すように、ダイアフラムプレート２０に接
着されたゴムシート２３の外周部が弾性変形する（図
に、弾性変形部Ｇで示す）。つまり、ゴムシート２３が
アッパハウジング２の凹面１６に押し付けられ、そのゴ
ムシート２３と凹面１６とが密着する。

【００２６】一方、プランジャ２５が下動する際には、
連通孔２８によりシリンダ室２６とオイルケース２７と
が連通される。すると、シリンダ室２６内の潤滑油がオ
イルケース２７に流出し、シリンダ室２６内の油圧が降
下する。そして、その油力降下によりダイアフラム３４
が下方に変形し、ポンプ室２４内の燃料圧が低下する。
このとき、調量電磁弁１１は通電されず、即ち、連通路
１５が開放されており、燃料流路７Ａ，７Ｂを介して吸
入ポート８からポンプ室２４に燃料が吸入される。

【００２７】なお、燃料流路７Ｂからポンプ室２４へ燃
料が吸入される際、燃料流路７Ｂとポンプ室２４との開
口面積の違いからキャビテーションが生じこのキャビテ
ーションによりダイアフラム３４の表面に瞬間的に衝撃
圧が加えられる。しかし、この衝撃圧がダイアフラム３
４の表面のゴムシート２３により緩衝される。

【００２８】このように、本実施例のダイアフラムポン
プ１は、上記の動作を繰り返してポンプ動作を行う。以
上詳述したように、本実施例のダイアフラムポンプ１で
は、円板状のダイアフラムプレート２０の外周部に環状
のフック２２を溶接してダイアフラム３４を構成し、フ
ック２２をアッパハウジング２の環状溝２ｂに嵌合させ
た。そして、ダイアフラム３４の外周部付近をアッパハ
ウジング２とリテーナ１８とにて環状に拘持固定した。

【００２９】このとき、フック２２の内径Ｒ1 を、アッ
パハウジング２の環状溝２ｂの外径Ｒ2 よりも僅かに小
さくしたので、ダイアフラム３４はフック２２が押し拡
げられるようにして環状溝２ｂに嵌合される。従って、
フック２２と共にダイアフラムプレート２０が一様に外
方へ引っ張られ、ダイアフラムプレート２０の外周部に
生じる皺や弛み等が引き伸ばされる。又、このとき、仮
にフック２２に歪みが生じていたとしても、アッパハウ
ジング２との嵌合の際に矯正される。さらに、ダイアフ
ラムプレート２０とフック２２との溶接を、全周溶接で
はなく必要最小限の点溶接としたので、溶接の際の熱歪
みにより生じるダイアフラムプレート２０の皺や弛みを
小さくすることができる。

【００３０】そして、ダイアフラムプレート２０が引っ
張られて皺や弛みが伸ばされているため、アッパハウジ
ング２とリテーナ１８との間にダイアフラムプレート２
０を拘持する際にも、その拘持により局部的に応力が集
中することはない。その結果、ダイアフラム３４の破損
等が防止され、耐久性を大幅に向上させることができ
る。

【００３１】さらに、本実施例では、アッパハウジング
２、ダイアフラム３４、ダイアフラムストッパ２１、リ
テーナ１８及びリテーニングナット１７の各々の中心軸
を一致させて、リテーニングナット１７をアッパハウジ
ング２に締付固定した。それにより、ダイアフラム３４
が受ける締付力がダイアフラム３４の周辺部に均等にか
かり局部的な締付力の集中が防止できる。

【００３２】さらに、フック２２、アッパハウジング２
及びダイアフラムストッパ２１をノックピンにて回り止
めしたので、締め付けの際に発生する相互間のすべりが
防止され、ダイアフラムプレート２０等の損傷を招くこ
とはない。

【００３３】又、本実施例のダイアフラムポンプ１で
は、ポンプ室２４側のダイアフラムプレート２０の表面
にゴムシート２３を接着した。それにより、燃料のキャ
ビテーションによる瞬間的な衝撃圧が緩衝されてダイア
フラム３４の損傷が防止される。そして、ダイアフラム
３４が保護されることによりダイアフラム３４の耐久性
が向上する。

【００３４】又、ダイアフラム３４が変形する際には、
ゴムシート２３がその上部の凹面１６に密着するように
弾性変形するため、仮にダイアフラム３４の締め付けが
弱くても確実にシールされ、高圧の燃料が漏れ出ること
はない。そして、このように締め付けを弱めることがで
きるため、ダイアフラム３４の締め付け時において、強
締付によるダイアフラムプレート２０やゴムシート２３
の損傷を防止することができる。

【００３５】又、ゴムシート２３が周辺部へ向かって滑
らかに薄くなっており、凹面１６の外周部が滑らかな曲
面になっているので、ダイアフラムポンプ１の作動時、
即ち、ダイアフラム３４の変形時にも、ゴムシート２３
やダイアフラムプレート２０の急激な曲げを防ぐことが
できる。

【００３６】なお、この第１実施例の変形例として、ア
ッパハウジング２とフック２２との嵌合部分を図４のよ
うに変更してもよい。つまり、図４に示すように、ダイ
アフラム３４のフック２２の内径面にはテーパ面Ｆが形
成されている。又、アッパハウジング２の下端部にはテ
ーパ形状のテーパ溝２ｃが形成されている。この場合、
テーパ溝２ｃに対してフック２２を押し込むことでダイ
アフラムプレート２０が徐々に引き伸ばされ、皺や弛み
等が解消される。又、フック２２は、テーパ面Ｆに沿っ
てテーパ溝２ｃに案内されるため、テーパ溝２ｃへのフ
ック２２の嵌合を容易に行うことができる。

【００３７】（第２実施例）次に、本発明の第２実施例
について説明する。上記第１実施例では、ダイアフラム
プレート２０の外周部にフック２２を溶接し、そのフッ
ク２２をアッパハウジング２の環状溝２ｂに嵌合させた
が、これを図５及び図６に示す如く変更してもよい。即
ち、図５に示すように、ダイアフラムプレート２０の径
は、アッパハウジング２の下端部の径よりも大きくなっ
ている。又、フック２２の内径もアッパハウジング２の
下端部の径よりも大きくなっている。

【００３８】そして、図６に示すように、フック２２と
アッパハウジング２との間にダイアフラムプレート２０
の外周部を拘持するようにして、フック２２をアッパハ
ウジング２に嵌合させる。このとき、フック２２の嵌合
によりダイアフラムプレート２０が外方に引っ張られ、
皺や弛み等が引き伸ばされる。なお、ダイアフラムプレ
ート２０の外周部とフック２２とを、例えば点溶接等に
より予め固定させておけば、ダイアフラムプレート２０
が外方に強く引っ張られ、さらに大きな効果を得ること
ができる。

【００３９】このように、本第２実施例のダイアフラム
ポンプ１でも、前記第１実施例と同様に、ダイアフラム
３４の皺や弛み等を解消して局部的な応力の集中を防止
することが可能となり、ダイアフラム３４の耐久性の向
上を図ることができる。

【００４０】なお、本発明は上記各実施例に限定される
ものではなく、次に示すように本発明の趣旨から逸脱し
ない範囲内で具体化することができる。例えば、上記各
実施例では、ダイアフラムプレート２０の表面にゴムシ
ート２３を接着して弾性層を設けたが、ゴム系接着剤を
ダイアフラムプレート２０上に塗布して弾性層（膜）を
形成するようにしてもよい。

【００４１】又、上記実施例では、アッパハウジング２
に雄ねじ部２ａを形成し、その雄ねじ部２ａにリテーニ
ングナット１７の雌ねじ部１７ａを螺着したが、逆にア
ッパハウジングを雌ねじとし、その雌ねじにリテーニン
グボルトを螺着するようにしてもよい。この場合には、
同様にアッパハウジングとリテーニングボルトとの間に
ダイアフラム３４が拘持固定される。

【００４２】さらに、上記実施例では、フック２２、ア
ッパハウジング２の下端部及びダイアフラムストッパ２
１の回り止めをノックピンで行ったが、これをキーやス
プライン等の回り止めに変更してもよい。

【００４３】さらに、ゴムシート２３等の弾性層を設け
ないダイアフラムを用い、そのダイアフラムの外周部を
引っ張り状態で拘持固定したダイアフラムポンプを構成
してもよい。つまり、被圧送流体（燃料）のキャビテー
ションが生じにくい構成のダイアフラムポンプでは、弾
性層の省略により構成の簡略化が図られる。

【００４４】加えて、従来タイプのダイアフラムポンプ
において、それに用いられるダイアフラムを本発明の弾
性層付きダイアフラムに変更してもよい。つまり、従来
タイプのダイアフラムポンプであっても、本発明のダイ
アフラムを用いることにより被圧送流体のキャビテーシ
ョンによるダイアフラムの損傷を容易に防止することが
できる。

【００４５】

【発明の効果】第１の発明によれば、ダイアフラムの皺
や弛み等を解消することで局部的な応力の集中が防止さ
れ、ダイアフラムが破損しにくくなる。その結果、ダイ
アフラムの耐久性を向上させることができるという優れ
た効果を発揮する。

【００４６】又、第２の発明でも、ダイアフラムの皺や
弛み等を解消した状態でダイアフラムが拘持されるた
め、ダイアフラムの局部的な応力の集中が防止され、ダ
イアフラムが破損しにくくなる。その結果、ダイアフラ
ムの耐久性を向上させることができるという優れた効果
を発揮する。

【００４７】又、第３の発明では、被圧送流体のキャビ
テーションによるダイアフラムの損傷が抑制され、ダイ
アフラムの耐久性を向上させることができるという優れ
た効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例におけるダイアフラムポンプの全体
構成を示す正断面図である。

【図２】同じく第１実施例におけるダイアフラムの取付
状態を示した分解断面図である。

【図３】同じく第１実施例におけるダイアフラムポンプ
の一部を破断して示す断面図である。

【図４】第１実施例の変形例におけるダイアフラムの取
付状態を示した分解断面図である。

【図５】第２実施例におけるダイアフラムの取付状態を
示した分解断面図である。

【図６】同じく第２実施例におけるダイアフラムポンプ
の一部を破断して示す断面図である。

【符号の説明】

１…ダイアフラムポンプ、２…拘持部材としのアッパハ
ウジング、７Ｂ…流体通路としての燃料流路、１８…拘
持部材としてのリテーナ、２０…ダイアフラムプレー
ト、２２…嵌合部材としてのフック、２３…弾性層とし
てのゴムシート、２４…被圧送流体室としてのポンプ
室、３４…ダイアフラム。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 榊原 康行 愛知県西尾市下羽角町岩谷14番地 株式会 社日本自動車部品総合研究所内 (72)発明者 大塚 好 愛知県西尾市下羽角町岩谷14番地 株式会 社日本自動車部品総合研究所内 (72)発明者 柴田 晃 愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地 日本電 装 株式会社内 (72)発明者 井上 宏史 愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地 日本電 装 株式会社内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 可撓性材料からなる円板状のダイアフラ
   ムの外周部を引っ張り状態で拘持固定したことを特徴と
   するダイアフラムポンプ。
2. 【請求項２】 可撓性材料からなる円板状のダイアフラ
   ムの外周部付近を一対の拘持部材にて環状に拘持し、同
   拘持部材による拘持部位よりも外側のダイアフラムに
   は、同ダイアフラムに接する一方の拘持部材に嵌合可能
   な環状の嵌合部材を引っ張り状態で固着したことを特徴
   とするダイアフラムポンプ。
3. 【請求項３】 被圧送流体を流通させるための流体通路
   に、可撓性材料からなるダイアフラムを備えた被圧送流
   体室を連通し、同被圧送流体室側のダイアフラムの表面
   に弾性層を設けたことを特徴とするダイアフラムポン
   プ。