JPH0777161A - ダイアフラムポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ダイアフラムの局部的な応力集中及び過大変
形を抑制して、ダイアフラムの耐久性を向上させる。 【構成】 ダイアフラムポンプ１は、ダイアフラム２０
の変形に伴いポンプ室２４の容積を変化させ燃料の吸入
及び吐出を行う。ダイアフラム２０の一側（図の下側）
には複数の油通し孔２１ａを有するロアストッパ２１が
配設され、他側（図の上側）には弾性材料からなるアッ
パストッパ２２が配設されている。アッパストッパ２２
は、中央部の丸孔２２ａから外周部にかけて湾曲形状の
曲面２２ｃを有している。プランジャ２５の上動時にお
いて、ダイアフラム２０はアッパストッパ２２の弾性変
形を伴いながら外周部から徐々に当接し、変形する。こ
のとき、ダイアフラム２０にかかる応力は広範囲に分散
される。又、プランジャ２５の下動時において、ダイア
フラム２０はアッパストッパ２２による付勢力によって
確実に原位置に戻される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、ダイアフラムポンプ
に係り、詳しくはダイアフラムの変形に応じて被圧送流
体の吸入及び吐出を行うダイアフラムポンプに関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】図６及び図７を用いて、従来のダイアフ
ラムポンプを説明する。図６に示すように、ダイアフラ
ム５１及びストッパ５２は共に円板状をなし、それらの
外周部はハウジング５３及びリテーナ５４により固定支
持されている。ダイアフラム５１は、ストッパ５２に当
接した状態で組み付けられ、この当接位置がダイアフラ
ム５１の原位置となっている。ストッパ５２には複数の
油通し孔５２ａが形成されている。リテーナ５４の下方
には円筒状のシリンダ５５が形成されており、同シリン
ダ５５にはプランジャ５６が嵌挿されている。プランジ
ャ５６は図示しない駆動源によって上下動され、上死点
（図７の位置）と下死点（図６の位置）とを往復する。
ダイアフラム５１の上側には被圧送流体（例えば、ガソ
リン）の吸入及び吐出を行うためのポンプ室５７が形成
され、下側には作動油（潤滑油）を充填したシリンダ室
５８が形成されている。

【０００３】そして、上記ダイアフラムポンプの吐出行
程では、プランジャ５６の上動に伴いダイアフラムポン
プが図６の状態から図７の状態に移行する。即ち、ダイ
アフラム５１が図の上方に撓み変形することによりポン
プ室５７の容積が小さくなる。このとき、ポンプ室５７
内の圧力が上昇し、同室５７内の被圧送流体が吐出され
る。又、吸入行程では、プランジャ５６の下動に伴いダ
イアフラムポンプが図７の状態から図６の状態に移行す
る。即ち、流体の吸入圧とダイアフラム５１自身の復元
力により、ダイアフラム５１は変形状態から変形前の状
態に復元され当初の原位置（図６の状態）に復帰する。
このとき、ダイアフラム５１とストッパ５２との間にあ
る作動油（潤滑油）が油通し孔５２ａを通してシリンダ
室５８に流出されるとともに、ポンプ室５７内に被圧送
流体が吸入される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
ダイアフラムポンプでは、ダイアフラムの耐久性の点で
次のような問題を抱えていた。

【０００５】即ち、プランジャ５６の往復動に伴いダイ
アフラム５１が図６の状態と図７の状態とを繰り返した
場合、ダイアフラム５１には周辺部（ハウジング５３に
よる支持部付近）にのみ応力が集中する。そのため、ダ
イアフラム５１の応力集中部で疲労破壊を生じ易くなる
という問題が生じる。

【０００６】又、上記従来の構成では、プランジャ５６
が下死点に達してもダイアフラム５１が当初の原位置に
戻ることができなくなる場合があり、この場合、ダイア
フラム５１の過大変形を招くおそれが生じる。つまり、
例えば低温時に作動油の粘性が高くなって作動油の流れ
が悪化すると、プランジャ５６が下死点に達してもダイ
アフラム５１とストッパ５２との間にある作動油の一部
がシリンダ室５８に流出できず、この作動油によりダイ
アフラム５１は当初の原位置に戻ることができなくな
る。そのため、ダイアフラム５１はプランジャ５６の下
死点でも変形状態のままとなり、その状態から再度変形
を開始することでプランジャ５６の上死点で過大変形を
招き、ダイアフラム５１の破損が生じ易くなる。

【０００７】この発明は、上記問題に着目してなされた
ものであって、その目的とするところは、ダイアフラム
の局部的な応力集中及び過大変形を抑制してダイアフラ
ムの耐久性を向上させることができるダイアフラムポン
プを提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は、所定の原位置からダイアフラムの変形
を開始させるとともに、前記原位置にて該ダイアフラム
の変形を終了させ、その間のダイアフラムの変形に応じ
て被圧送流体の吸入及び吐出を行うダイアフラムポンプ
において、前記ダイアフラムの変形可能部分に接するよ
うに弾性部材を配置し、該弾性部材にて前記ダイアフラ
ムを前記原位置に付勢するとともに、当該ダイアフラム
の変形に伴い前記弾性部材を変形させるようにしたこと
を要旨とするものである。

【０００９】又、請求項２に示すように、前記ダイアフ
ラムの外周部に近くなる程、前記弾性部材による付勢力
を大きくして構成してもよい。

【００１０】

【作用】上記構成によれば、ダイアフラムは所定の原位
置を基準として変形動作を行い、ダイアフラムポンプは
ダイアフラムの変形に応じて被圧送流体の吸入及び吐出
を行う。

【００１１】ダイアフラムの変形動作について詳述する
と、ダイアフラムが原位置から変形する際、同ダイアフ
ラムの変形可能部分は弾性部材による付勢力に抗して変
形を開始し、弾性部材もダイアフラムと共に変形する。
このとき、ダイアフラムは、弾性部材との全ての接触面
で変形に伴う応力を受ける。即ち、ダイアフラムが応力
を受ける範囲が、従来のダイアフラムでは外周部付近に
のみ集中していたのに対して、本構成では広範囲に分散
される。その結果、ダイアフラムの外周部付近での局部
的な応力集中が抑制される。又、ダイアフラムが変形状
態から原位置に戻る際には、弾性部材の付勢力によって
ダイアフラムは確実に原位置に戻される。その結果、ダ
イアフラムの最大変形量は常に所定範囲内に抑えられ、
ダイアフラムの過大変形が抑制される。

【００１２】又、請求項２の構成によれば、ダイアフラ
ムの変形開始当初、ダイアフラムの外周部では原位置へ
の付勢力が大きいため変形が殆どなく、付勢力の小さい
中央部へと変形が促進される。即ち、ダイアフラムの変
形は中央部が大きく外周部が極端に小さくなるため、従
来のダイアフラムのように外周部でのみ局部的な変形が
繰り返されて応力集中を招くことはない。その結果、本
構成ではダイアフラムの変形が中央部から外周部にかけ
ての広い範囲で進行し、応力は常に広範囲に分散され
る。

【００１３】

【実施例】以下、この発明のダイアフラムポンプを具体
化した一実施例について図面に従って説明する。

【００１４】図１は、本実施例におけるダイアフラムポ
ンプ１の正断面を示す図である。このダイアフラムポン
プ１は、例えば車載用ガソリンエンジンの燃料噴射シス
テムに用いられ、燃料タンク（図示略）から吸入された
被圧送流体としての燃料（ガソリン）を燃料噴射弁（図
示略）に向けて吐出するものである。

【００１５】図１に示すように、ダイアフラムポンプ１
のハウジングは、図１上部のアッパハウジング２と図１
下部のロアハウジング３とにより構成されており、両ハ
ウジング２，３はボルト等の締結部材（図示略）により
組み付けられている。アッパハウジング２にはねじ孔
４，５，６が形成されており、各ねじ孔４，５，６は燃
料流路７Ａ，７Ｂ，７Ｃにて互いに連通されている。そ
して、アッパハウジング２の図示左側に位置するねじ孔
４には吸入ポート８が配設され、図示右側に位置するね
じ孔６には吐出逆止弁９を介して吐出ポート１０が配設
されている。なお、図示はしないが、吸入ポート８には
燃料タンクが接続され、吐出ポート１０には蓄圧室を介
して燃料噴射弁が接続されている。又、アッパハウジン
グ２の上側面に位置するねじ孔５には調量電磁弁１１が
配設されている。

【００１６】調量電磁弁１１は、弁体１２、スプリング
１３及びコイル１４を有し、同電磁弁１１には、前記燃
料流路７Ａと前記燃料流路７Ｂとを連通するための連通
路１５が形成されている。そして、弁体１２は、スプリ
ング１３により連通路１５を開く方向（図の下方向）に
常に付勢され、コイル１４が通電されるとスプリング１
３の付勢力に抗して連通路１５を閉じる方向（図の上方
向）に移動する。つまり、調量電磁弁１１は、コイル１
４の非通電時には連通路１５を開いて燃料の流通を許容
し、コイル１４の通電時には連通路１５を閉じて燃料の
流通を遮断する。なお、調量電磁弁１１は、図示しない
制御装置からの制御信号に基づいて開閉制御される。

【００１７】又、アッパハウジング２の下面には凹面１
６が形成され、同凹面１６の中央部には前記燃料流路７
Ｂが連通されている。アッパハウジング２の下部には雄
ねじ部２ａが形成されており、同雄ねじ部２ａにはリテ
ーナ１８を固定させるためのリテーニングナット１７が
螺着されている。

【００１８】アッパハウジング２の下面とリテーナ１８
の上面との間には、ステンレス鋼（可撓性材料）からな
る円板状のダイアフラム２０が配設されるとともに、同
ダイアフラム２０の上面にはアッパストッパ（弾性部
材）２２が、下面にはロアストッパ２１が介装されてい
る。即ち、アッパハウジング２とリテーニングナット１
７との間には、アッパストッパ２２，ダイアフラム２
０，ロアストッパ２１，リテーナ１８の四部材が拘持さ
れており、各部材は同軸になるように固定されている。
ダイアフラム２０は、ロアストッパ２１に当接した状態
（図１の状態）で組み付けられ、この状態がダイアフラ
ム２０の原位置となっている。なお、本実施例では、ダ
イアフラム２０の変形可能部分（アッパハウジング２に
よる拘持部よりも内側の部分）の径を４３ｍｍとし、ダ
イアフラム２０の板厚を０．１ｍｍとしている。又、ロ
アストッパ２１は平坦形状をなし、その上下面を連通す
る複数の油通し孔２１ａを有している。

【００１９】アッパストッパ２２は弾性材料（例えば、
薄肉のばね鋼）からなり、図２（ａ），（ｂ）に示すよ
うにその中央部には丸孔２２ａが形成されている。アッ
パストッパ２２の外周部には、アッパハウジング２の拘
持のための平坦面２２ｂが形成されており、その平坦部
２２ｂと前記丸孔２２ａとの間は図の上方に湾曲形成さ
れた曲面２２ｃとなっている（曲面２２ｃの半径をＲと
する）。同アッパストッパ２２は、図１に示すようにそ
の外周部付近がダイアフラム２０に接触した状態で組み
付けられている。そして、本実施例では、アッパストッ
パ２２を湾曲形状としたことで、ダイアフラム２０の外
周部に近くなる程、同ダイアフラム２０への付勢力を大
きくすることができるようになっている。なお、本実施
例では、アッパストッパ２２の板厚を０．２ｍｍとし
た。又、半径Ｒはダイアフラム２０の変形前の状態でＲ
＝１００ｍｍとし、最大変形時にＲ＝７０ｍｍとなるよ
うにした。中央部の丸孔２２ａは流路抵抗にならないよ
うに後述するプランジャ２５の径と同等とした。

【００２０】一方、図１において、リテーナ１８の下部
には円筒形状のシリンダ１９が形成されており、同シリ
ンダ１９内にはプランジャ２５が摺動可能に嵌挿されて
いる。アッパハウジング２の凹面１６、リテーナ１８及
びプランジャ２５にて形成される空間には、ダイアフラ
ム２０にて区画されたポンプ室２４及びシリンダ室２６
が形成されている。そして、ダイアフラム２０の上面側
のポンプ室２４は、ダイアフラム２０の変形に伴い内部
容積を変化させて燃料の吸入及び吐出を行う。又、ダイ
アフラム２０の下面側のシリンダ室２６には作動油とし
ての潤滑油が充填されており、プランジャ２５の動作に
伴い、潤滑油がロアストッパ２１の油通し孔２１ａを介
してダイアフラム２０を下方から押圧する。

【００２１】シリンダ１９には、シリンダ室２６とその
外部のオイル室２７とを連通する連通孔２８が形成され
ており、この連通孔２８はプランジャ２５が下死点付近
に達したときのみ連通されるようになっている。なお、
オイル室２７にはシリンダ室２６内と同じ潤滑油が充填
されている。

【００２２】又、シリンダ１９とプランジャ２５の鍔部
２５ａとの間には、プランジャ２５を常に下方に付勢す
るためのスプリング２９が介装されている。プランジャ
２５の下部にはタペット３０が配設され、同タペット３
０はカム室３１内に配設されたカムシャフト３２の外周
面に接している。従って、エンジンの図示しないクラン
クシャフトが回転すると、その回転がカムシャフト３２
に付与されて同シャフト３２が偏心回転する。そして、
カムシャフト３２の偏心回転に伴い、プランジャ２５が
スプリング２９の付勢力に抗して図示上下方向に摺動
し、上死点と下死点とを往復する。

【００２３】なお、カム室３１内にはカムシャフト３２
を潤滑作動させるための潤滑油が充填されている。そし
て、前記オイル室２７内に充填された潤滑油とカム室３
１内に充填された潤滑油とは、タペット３０の底面に設
けられた複数の通孔３３を介して出入りする。

【００２４】次いで、上記のように構成されたダイアフ
ラムポンプ１の作用について説明する。前述したよう
に、プランジャ２５はカムシャフト３２の回転に伴って
上下方向に往復動し、吐出行程と吸気行程とを繰り返し
実行する。つまり、吐出行程ではダイアフラム２０が変
形して図１の状態から図３の状態に（原位置から変形位
置に）移行し、吸入行程ではダイアフラム２０が図３の
状態から図１の状態に（変形位置から原位置に）移行す
る。

【００２５】要するに、吐出行程では、プランジャ２５
の上動によりシリンダ１９に形成された連通孔２８がプ
ランジャ２５によって閉鎖される。そして、プランジャ
２５がさらに上動することによりシリンダ室２６の油圧
が上昇し、ダイアフラム２０の変形が開始される。この
とき、ダイアフラム２０の変形に伴い、アッパストッパ
２２が弾性変形する。

【００２６】詳しくは、ダイアフラム２０の変形開始当
初には、ダイアフラム２０は外周部から徐々にアッパス
トッパ２２を押し上げていく。そして、プランジャ２５
の上動に伴いダイアフラム２０の変形が徐々に進行する
と、ダイアフラム２０とアッパストッパ２２との接触面
が広がり、このとき、ダイアフラム２０が応力を受ける
範囲も同様に広がる。つまり、従来のダイアフラムでは
外周部でのみ局部的な変形が繰り返され応力集中を招い
ていたのに対し、本構成ではダイアフラム２０の変形が
中央部から外周部にかけての広い範囲で進行して、ダイ
アフラム２０はアッパストッパ２２との全ての接触面で
変形に伴う応力を受ける。その結果、ダイアフラム２０
にかかる応力は広範囲に分散され、疲労破壊の発生が抑
えられる。

【００２７】又、上記のダイアフラム２０の変形動作に
より、ポンプ室２４の容積が小さくなるとともに、燃料
圧が上昇する。このとき、調量電磁弁１１が通電されて
いれば、即ち連通路１５が閉鎖されていれば、ポンプ室
２４内の燃料の圧力によって吐出逆止弁９が押し開か
れ、燃料流路７Ｃを経由して吐出ポート１０から燃料が
吐出される。なお、プランジャ２５が上動する際、調量
電磁弁１１を早く通電すれれば吐出量を多くすることが
でき、遅く通電されると少なくすることができる。又、
ダイアフラム２０の変形動作時に、調量電磁弁１１が通
電されていなければ、即ち連通路１５が開放されていれ
ば、燃料流路７Ｂ，７Ａを介してポンプ室２４から吸入
ポート８に燃料が押し返される。

【００２８】一方、吸入行程では、プランジャ２５の下
動により連通孔２８が開放され、シリンダ室２６とオイ
ル室２７とが連通される。すると、シリンダ室２６内の
潤滑油がオイル室２７に流出し、シリンダ室２６内の油
圧が降下する。そして、その油力降下によりダイアフラ
ム２０が下方に変形する。この場合、本実施例の構成で
は、ダイアフラム２０自身の復元力及び燃料の吸入圧に
加えて、アッパストッパ２２がダイアフラム２０を付勢
する力が作用して、ダイアフラム２０の原位置への復帰
が促される。従って、プランジャ２５が下死点に達した
時には、ダイアフラム２０とロアストッパ２１との間の
潤滑油が油通し孔２１ａを通して完全にシリンダ室２６
に流出される。即ち、低温時等であって潤滑油の粘性が
高い場合においても、ダイアフラム２０は確実に当初の
原位置に戻ることができ、ダイアフラム２０とロアスト
ッパ２１との間の潤滑油残りによる過大変形を招くこと
はない。

【００２９】そして、ダイアフラム２０の下方への変形
動作により、ポンプ室２４の容積が大きくなりポンプ室
２４内の燃料圧が低下する。このとき、調量電磁弁１１
は通電されず、即ち連通路１５が開放され、燃料流路７
Ａ，７Ｂを介して吸入ポート８からポンプ室２４に燃料
が吸入される。

【００３０】以上詳述したように、本実施例のダイアフ
ラムポンプ１では、円板状のダイアフラム２０の下側に
ロアストッパ２１を配設し、上側にアッパストッパ２２
を配設した。そして、前記の三部材の外周部をアッパハ
ウジング２及びリテーナ１８により固定支持した。アッ
パストッパ２２はその外周部から中央部にかけて上方に
湾曲した形状とし、その中央部には丸孔２２ａを形成し
た。即ち、アッパストッパ２２はダイアフラム２０を原
位置（ロアストッパ２１に当接する位置）に付勢し、そ
の付勢力はダイアフラム２０の変位が大きくなる程大き
くなるようにした。

【００３１】上記構成によれば、ダイアフラムポンプ１
が燃料を吐出する際、アッパストッパ２２はダイアフラ
ム２０の変形に伴いダイアフラム２０と共に弾性変形す
る。このとき、ダイアフラム２０に作用する応力が広範
囲に分散され、ダイアフラム２０の外周部付近での局部
的な応力集中が抑制される。又、ダイアフラムポンプ１
が燃料を吸入する際、ダイアフラム２０はアッパストッ
パ２２によって所定の原位置に付勢されているため、確
実に原位置に戻される。その結果、ダイアフラム２０の
最大変形量は常に所定範囲内に抑えられ、ダイアフラム
２０の過大変形が抑制される。以上のことから、本実施
例では、ダイアフラム２０の耐久性を向上させるという
本発明の目的を達成することができる。

【００３２】一方、ダイアフラム２０の外周部の応力集
中を抑制するためには、アッパハウジング２の凹面１６
を所定の半径にて湾曲形成させることも考えられる。し
かし、この場合には、形状の加工精度や面粗度等への配
慮が要求されて切削や研削加工が困難となるばかりかコ
スト高となるおそれがある。これに対して、本実施例で
は、凹面１６の形状は任意とすることができるため、加
工精度や面粗度等への配慮をする必要もなく、コスト面
でも十分な効果を得ることができる。

【００３３】なお、弾性部材を具体化した実施例として
は、上記のアッパストッパ２２に限定されるものではな
く、次に示す態様にて具体化することもできる。例え
ば、図４（ａ），（ｂ）に示すように、弾性部材として
のアッパストッパ３５に放射状の切欠３５ａを設けても
よい。この場合、上記実施例のアッパストッパ２２より
もダイアフラム２０を付勢する力が弱くなるとともに、
アッパストッパ３５の弾性変形が容易となる。又、この
場合には放射状の切欠３５ａが設けられたことにより、
燃料の吸入時にアッパストッパ３５とダイアフラム２０
との間に燃料が入り易く、その燃料圧でダイアフラム２
０を原位置に押し付ける力を強めることができるという
効果もある。なお、アッパストッパ３５の弾性力は板
厚、切欠３５ａの数、切欠３５ａの形状等によって調整
することができる。

【００３４】又、図５に示すように、弾性部材としての
アッパストッパ３６を略平坦形状とするとともに、その
肉厚を中央部に近づく程薄くしてもよい。即ち、アッパ
ストッパ３６の中央部の丸孔３６ａ付近の肉厚Ｄ１は、
外周部の肉厚Ｄ２よりも薄くなっている（Ｄ１＜Ｄ
２）。この場合、アッパストッパ３６は中央部の丸孔３
６ａ付近が変形し易く、外周部に近くなる程ダイアフラ
ム２０を付勢する力が強くなる。

【００３５】従って、ダイアフラムポンプ１が吐出を行
う際には、ダイアフラム２０は、付勢力が強い外周部に
近くなる程、変形量が少なくなる（変形状態を、図５に
二点鎖線で示す）。それにより、ダイアフラム２０にか
かる応力は広範囲に分散され、外周部での応力集中が回
避される。吸入を行う際には、ダイアフラム２０がアッ
パストッパ３６により付勢されて所定の原位置に確実に
戻され、過大な変形が防止される。又、図５の場合に
は、アッパストッパ３６が湾曲していないため、上記各
実施例に比べて成形加工を容易にすることができる。な
お、平坦形状のアッパストッパ３６に複数のスリットを
設けたりすることも可能である。

【００３６】さらに、上記各実施例では、アッパストッ
パ（弾性部材）の材質をばね鋼としたが、テフロン等の
樹脂に代えてもよく、この場合にも上記と同様の効果を
得ることができる。

【００３７】又、上記実施例では、ダイアフラム２０や
アッパストッパ２２の寸法を具体的に例示したが、勿論
これに限定されるものではなく、ダイアフラムポンプ１
の要求吐出量や体格等に応じて任意に変更することがで
きる。

【００３８】又、上記実施例では、アッパストッパ２２
の中央部の丸孔２２ａの径をプランジャ２５の径と同じ
にしたが、これを変更することもできる。このとき、プ
ランジャ２５の径よりも大きく、且つダイアフラム２０
の変形可能部分の１／３以下程度に前記丸孔２２ａの径
を設定することが、流路抵抗及びストッパ機能を両立す
る上で好ましい。

【００３９】

【発明の効果】この発明によれば、ダイアフラムの局部
的な応力集中及び過大変形を抑制して、ダイアフラムの
耐久性を向上させることができるという優れた効果を発
揮する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を具体化した一実施例におけるダイアフ
ラムポンプの全体構成を示す正断面図である。

【図２】（ａ）はアッパストッパの平面図であり、
（ｂ）はアッパストッパの正断面図である。

【図３】ダイアフラム及びアッパストッパの変形時にお
けるダイアフラムポンプの正断面図である。

【図４】別の具体例におけるアッパストッパの形状を示
し、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は正断面図である。

【図５】別の具体例におけるアッパストッパの形状を示
した正断面図である。

【図６】従来のダイアフラムポンプの一部を破断して示
した正断面図である。

【図７】同じく従来のダイアフラムポンプを示し、ダイ
アフラムの変形状態を示す正断面図である。

【符号の説明】

１…ダイアフラムポンプ、２０…ダイアフラム、２２，
３５，３６…弾性部材としてのアッパストッパ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 榊原 康行 愛知県西尾市下羽角町岩谷14番地 株式会 社日本自動車部品総合研究所内 (72)発明者 渡辺 和英 愛知県西尾市下羽角町岩谷14番地 株式会 社日本自動車部品総合研究所内 (72)発明者 柴田 晃 愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地 日本電 装 株式会社内 (72)発明者 井上 宏史 愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地 日本電 装 株式会社内

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の原位置からダイアフラムの変形を
   開始させるとともに、前記原位置にて該ダイアフラムの
   変形を終了させ、その間のダイアフラムの変形に応じて
   被圧送流体の吸入及び吐出を行うダイアフラムポンプに
   おいて、 前記ダイアフラムの変形可能部分に接するように弾性部
   材を配置し、該弾性部材にて前記ダイアフラムを前記原
   位置に付勢するとともに、当該ダイアフラムの変形に伴
   い前記弾性部材を変形させるようにしたことを特徴とす
   るダイアフラムポンプ。
2. 【請求項２】 前記ダイアフラムの外周部に近くなる
   程、前記弾性部材による付勢力を大きくした請求項１に
   記載のダイアフラムポンプ。