JPH06344250A - 研削方法 - Google Patents
研削方法Info
- Publication number
- JPH06344250A JPH06344250A JP13801293A JP13801293A JPH06344250A JP H06344250 A JPH06344250 A JP H06344250A JP 13801293 A JP13801293 A JP 13801293A JP 13801293 A JP13801293 A JP 13801293A JP H06344250 A JPH06344250 A JP H06344250A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grinding
- cup
- workpiece
- cutting
- shaped grindstone
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
提供すること。 【構成】カップ形砥石と静止した工作物とを所定深さま
で相対的に切り込ませて研削加工を行う切込み工程と、
カップ形砥石と工作物とを切込み方向と反対方向に相対
的に離間させる戻り工程と、今回の切込み工程における
研削域と次回の切込み工程における研削域との間に非研
削部分が残らないような位置関係にカップ形砥石と工作
物とを相対的に移動させる送り工程、を順次繰り返す。
Description
する。
きは、所定の切込み量tを与え、所定の送り速度fで両
者を切込み方向と直角の方向に相対的に送り運動を行わ
せる。
材料の場合、加工面から内部に向かうクラックが発生す
ることがあった。このようなクラックは工作物の強度を
低下させたり、物理的特性を劣化させる。◆本発明の目
的は、上記した従来技術の課題を解決し、クラックの発
生が少ない硬脆材料の研削方法を提供することにある。
クは大きい切り屑を生じるときに発生すること、およ
び、図4に示すように、大きい切り屑1はカップ形砥石
2の外周部における研削抵抗Fが原因であることを見出
した。なお、同図において、3は工作物、4はクラック
である。◆そして、上記した課題は、カップ形砥石と静
止した工作物とを所定深さまで相対的に切り込ませて研
削加工を行う図3に示す切込み工程と、カップ形砥石と
工作物とを切込み方向と反対方向に相対的に離間させる
戻り工程と、今回の切込み工程における研削域と次回の
切込み工程における研削域との間に非研削部分が残らな
いような位置関係にカップ形砥石と工作物とを相対的に
移動させる送り工程、を順次繰り返すことにより解決さ
れる。そして、カップ形砥石と工作物との接触面積の変
化に応じて送り工程の送り量を増減し、また、切込み方
向の研削抵抗を測定する手段を設け研削抵抗に応じて切
込み工程における切込み深さを増減させ、あるいは、工
作物の全面が研削加工された後、スパークアウト研削を
行う工程を設けることによりさらに効果的に解決され
る。
抗(送り運動を行う場合の送り方向の研削抵抗)が作用
しない。この結果、大きい切り屑1の生成およびクラッ
クは発生しない。
例を図1により説明する。なお、工作物3は硬脆材料の
一種であるシリコンウエハである。また、同図(A)〜
(C)には平面図と側面図とをまとめて記載してある。
◆ 手順1:シリコンウエハ3を静止させた状態で、その表
面から深さtの位置までカップ形砥石2を連続的に切り
込ませる。図1(A)◆ 手順2:カップ形砥石2を上方に移動させる。図1
(B)◆ 手順3:距離gだけシリコンウエハ3を移動させる。図
1(C)◆ なお、距離g移動後のカップ形砥石2の投影面と上記手
順1の研削面(斜線を付した部分)との間には研削され
ない部分を残さない。◆以下、シリコンウエハ3の全面
が研削加工されるまで上記の手順1〜3を繰り返す。◆
ところで、移動させる距離gを一定にすると、シリコン
ウエハ3とカップ形砥石2との接触面積が変化し、これ
にともなって研削抵抗も変化する。この場合、切り込み
量を同一にしても、カップ形砥石2が弾性変形すること
によって、加工後の研削面の高さが一定にならないこと
があり得る。そこで、シリコンウエハ3とカップ形砥石
2との接触面積がほぼ一定になるように移動させる距離
gを増減するようにしてもよい。また、切込み方向の研
削抵抗を測定する手段を設け、研削抵抗に応じて切込み
工程における切込み深さを増減させるようにしてもよ
い。さらに、いずれの方法においても、シリコンウエハ
3の全面を研削加工後にスパークアウト研削を行えば、
各切込み工程で若干の段差が生じても、最終的にほぼ平
坦な仕上面を得ることができる。
施例を示すもので、上記第1の実施例がシリコンウエハ
3を半径方向に移動させたのに対し、シリコンウエハ3
に角度θの割出し動作を与えて位置決めするようにした
ものであり、(a)は上記手順1,2に、また(b)は
上記手順3に対応する。なお、加工手順は上記第1の実
施例と実質的に同一であるため、省略する。
ラックの生じない高品位な仕上面が得られるという効果
がある。
Claims (4)
- 【請求項1】カップ形砥石と静止した工作物とを所定深
さまで相対的に切り込ませて研削加工を行う切込み工程
と、カップ形砥石と工作物とを切込み方向と反対方向に
相対的に離間させる戻り工程と、今回の切込み工程にお
ける研削域と次回の切込み工程における研削域との間に
非研削部分が残らないような位置関係にカップ形砥石と
工作物とを相対的に移動させる送り工程、を順次繰り返
すようにしたことを特徴とする研削方法。 - 【請求項2】カップ形砥石と工作物との接触面積の変化
に応じて送り工程の送り量を増減するようにしたことを
特徴とする請求項1に記載の研削方法。 - 【請求項3】切込み方向の研削抵抗を測定する手段を設
け、研削抵抗に応じて切込み工程における切込み深さを
増減させるようにしたことを特徴とする請求項1に記載
の研削方法。 - 【請求項4】工作物の全面を研削加工した後、スパーク
アウト研削を行う工程を設けたことを特徴とする請求項
1ないし3のいずれかに記載の研削方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13801293A JP3510648B2 (ja) | 1993-06-10 | 1993-06-10 | 研削方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13801293A JP3510648B2 (ja) | 1993-06-10 | 1993-06-10 | 研削方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06344250A true JPH06344250A (ja) | 1994-12-20 |
JP3510648B2 JP3510648B2 (ja) | 2004-03-29 |
Family
ID=15211998
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13801293A Expired - Fee Related JP3510648B2 (ja) | 1993-06-10 | 1993-06-10 | 研削方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3510648B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5791976A (en) * | 1995-12-08 | 1998-08-11 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Surface machining method and apparatus |
JP2013012595A (ja) * | 2011-06-29 | 2013-01-17 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの加工方法 |
-
1993
- 1993-06-10 JP JP13801293A patent/JP3510648B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5791976A (en) * | 1995-12-08 | 1998-08-11 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Surface machining method and apparatus |
US6030278A (en) * | 1995-12-08 | 2000-02-29 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Surface machining method and apparatus |
US6042459A (en) * | 1995-12-08 | 2000-03-28 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Surface machining method and apparatus |
JP2013012595A (ja) * | 2011-06-29 | 2013-01-17 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの加工方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3510648B2 (ja) | 2004-03-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5295331A (en) | Method of chamfering semiconductor wafer | |
US4896459A (en) | Apparatus for manufacturing thin wafers of hard, non-metallic material such as for use as semiconductor substrates | |
EP1260312B1 (en) | Improvement in positioning grinding wheels | |
KR102507777B1 (ko) | 웨이퍼의 제조 방법 및 웨이퍼 | |
JP6792408B2 (ja) | チャックテーブルの整形方法 | |
KR20190080739A (ko) | 절삭 블레이드의 드레싱 방법 | |
JPH06344250A (ja) | 研削方法 | |
JP2006159334A (ja) | ダイシングドレステーブル構造及びダイサ | |
JP2007044853A (ja) | ウェーハ面取り方法及びウェーハ面取り装置 | |
JPH0212729B2 (ja) | ||
TWI729712B (zh) | 研削裝置及研削方法 | |
JP7413103B2 (ja) | ウェーハの研削方法 | |
JPH11254277A (ja) | 内面研削装置 | |
JPS62264858A (ja) | 平面研削方法 | |
JPS58100432A (ja) | ウエハの面取り加工方法 | |
JPH02303050A (ja) | 半導体ウエーハの切断方法 | |
JPH07156050A (ja) | ウェーハ面取り機 | |
JPH08107093A (ja) | 半導体基板の加工方法 | |
JPH05318294A (ja) | Siウエハの研削方法 | |
JP4511699B2 (ja) | 複合材の研削方法 | |
JPS6322259A (ja) | 半導体ウエハ加工方法および加工装置 | |
JPH045241Y2 (ja) | ||
JP2000176805A (ja) | 半導体ウェーハの面取り装置 | |
JPH0758065A (ja) | 半導体ウエハの面取方法 | |
JPH06104228A (ja) | 半導体ウェーハのノッチ部のアール面取り方法及び装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030805 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20031224 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20031226 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080109 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090109 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100109 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100109 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110109 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110109 Year of fee payment: 7 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110109 Year of fee payment: 7 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120109 Year of fee payment: 8 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |