JPH06342940A - 熱発電器およびその製造方法 - Google Patents
熱発電器およびその製造方法Info
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- JPH06342940A JPH06342940A JP5154299A JP15429993A JPH06342940A JP H06342940 A JPH06342940 A JP H06342940A JP 5154299 A JP5154299 A JP 5154299A JP 15429993 A JP15429993 A JP 15429993A JP H06342940 A JPH06342940 A JP H06342940A
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Landscapes
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 大電流を流すことができるとともに、冷却効
率も高めた熱発電器およびその製造方法を提供する。 【構成】 この熱発電器は、アルミニウム製の水冷管1
と、この水冷管1にハンダ2およびニッケルメッキ層3
を介して積層されたアルミニウム製の薄板4と、この薄
板4にろう材5を介して積層されたAlN基板6と、こ
のAlN基板6にろう材7,7を介してそれぞれ積層さ
れ隔離されたアルミニウム製の電極8,8と、これらの
電極8,8にニッケルメッキ層9,9およびハンダ1
0,10を介してそれぞれ積層された熱発電素子11
a,11bと、これらの熱発電素子11a,11bをニ
ッケルメッキ層12,12およびハンダ13,13を介
して接合したアルミニウム製の被加熱部14と、を有す
るものである。
率も高めた熱発電器およびその製造方法を提供する。 【構成】 この熱発電器は、アルミニウム製の水冷管1
と、この水冷管1にハンダ2およびニッケルメッキ層3
を介して積層されたアルミニウム製の薄板4と、この薄
板4にろう材5を介して積層されたAlN基板6と、こ
のAlN基板6にろう材7,7を介してそれぞれ積層さ
れ隔離されたアルミニウム製の電極8,8と、これらの
電極8,8にニッケルメッキ層9,9およびハンダ1
0,10を介してそれぞれ積層された熱発電素子11
a,11bと、これらの熱発電素子11a,11bをニ
ッケルメッキ層12,12およびハンダ13,13を介
して接合したアルミニウム製の被加熱部14と、を有す
るものである。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、熱電効果を利用して、
熱エネルギーを電気エネルギーに変換する熱発電器およ
びその製造方法に関し、特に、自動車の排熱回収に利用
されるものである。
熱エネルギーを電気エネルギーに変換する熱発電器およ
びその製造方法に関し、特に、自動車の排熱回収に利用
されるものである。
【0002】
【従来の技術】従来の熱発電器は、図11に示すよう
に、アルミナ製絶縁板22上に、ハンダ層23,23を
介して、互いに離間して一対のメタライズ層24,24
を積層している。これらのメタライズ層24,24上
に、ハンダ層23,23を介して、P型熱発電素子片
(P型FeSi2)26aおよびN型熱発電素子片26
b(N型FeSi2)を積層している。この一対の熱発
電素子片26a,26bの他端同士は、ハンダ層27,
27を介して、橋渡されて接合されて被加熱部28とな
っている。また、上記アルミナ製絶縁板22の下面に
は、熱伝導性樹脂21により1本のアルミニウム製の水
冷管20が固着されている。そして、熱源によって被加
熱部28を加熱するとともに、水冷管20によってメタ
ライズ層24,24を冷却すると、これらのメタライズ
層24,24(電極)間に電流が流れるものである。
に、アルミナ製絶縁板22上に、ハンダ層23,23を
介して、互いに離間して一対のメタライズ層24,24
を積層している。これらのメタライズ層24,24上
に、ハンダ層23,23を介して、P型熱発電素子片
(P型FeSi2)26aおよびN型熱発電素子片26
b(N型FeSi2)を積層している。この一対の熱発
電素子片26a,26bの他端同士は、ハンダ層27,
27を介して、橋渡されて接合されて被加熱部28とな
っている。また、上記アルミナ製絶縁板22の下面に
は、熱伝導性樹脂21により1本のアルミニウム製の水
冷管20が固着されている。そして、熱源によって被加
熱部28を加熱するとともに、水冷管20によってメタ
ライズ層24,24を冷却すると、これらのメタライズ
層24,24(電極)間に電流が流れるものである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の熱発電器にあっては、各熱発電素子の電極2
4,24をセラミックス絶縁板22を介して水冷管20
に接続しており、また、熱伝導性樹脂21により、この
セラミックス絶縁板22に水冷管20を接着している。
また、薄いメタライズ層24,24に電流を流す構造で
あったため、大電流を流すことができなかった。さら
に、高温の被加熱部28と水冷管20との間に、セラミ
ックス絶縁板22および樹脂21を介在させているた
め、熱伝導率が悪く、冷却効率が低いという課題もあっ
た。これに加えて、樹脂21の接着面に気泡が発生し易
く、メタライズ層24,24からの放熱性が大幅に低下
していた。すなわち、これらの結果、メタライズ層2
4,24の温度が下がり難く、被加熱部28との温度差
が大きくならず、メタライズ層24,24間に30A以
上の大電流を発生させることができなかったものであ
る。また、水冷管20とセラミックス絶縁板22とをA
l−Si系ろう剤で接合することも考えられるが、その
時の接合温度が660℃とアルミニウムの融点に近いた
め、水冷管20が変形し、セラミックス基板22と水冷
間との接着強度が低減するおそれもある。
うな従来の熱発電器にあっては、各熱発電素子の電極2
4,24をセラミックス絶縁板22を介して水冷管20
に接続しており、また、熱伝導性樹脂21により、この
セラミックス絶縁板22に水冷管20を接着している。
また、薄いメタライズ層24,24に電流を流す構造で
あったため、大電流を流すことができなかった。さら
に、高温の被加熱部28と水冷管20との間に、セラミ
ックス絶縁板22および樹脂21を介在させているた
め、熱伝導率が悪く、冷却効率が低いという課題もあっ
た。これに加えて、樹脂21の接着面に気泡が発生し易
く、メタライズ層24,24からの放熱性が大幅に低下
していた。すなわち、これらの結果、メタライズ層2
4,24の温度が下がり難く、被加熱部28との温度差
が大きくならず、メタライズ層24,24間に30A以
上の大電流を発生させることができなかったものであ
る。また、水冷管20とセラミックス絶縁板22とをA
l−Si系ろう剤で接合することも考えられるが、その
時の接合温度が660℃とアルミニウムの融点に近いた
め、水冷管20が変形し、セラミックス基板22と水冷
間との接着強度が低減するおそれもある。
【0004】そこで、本発明は、大電流を発生すること
ができるとともに、冷却効率も高めた熱発電器およびそ
の製造方法を提供することを、その目的としている。
ができるとともに、冷却効率も高めた熱発電器およびそ
の製造方法を提供することを、その目的としている。
【0005】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、金属製の冷却部と、この冷却部に第1接合層を介し
て積層され、該冷却部と同じ金属を含む介在部と、この
介在部に第2接合層を介して積層された絶縁部と、この
絶縁部に搭載された熱発電素子部と、を有する熱発電器
である。
は、金属製の冷却部と、この冷却部に第1接合層を介し
て積層され、該冷却部と同じ金属を含む介在部と、この
介在部に第2接合層を介して積層された絶縁部と、この
絶縁部に搭載された熱発電素子部と、を有する熱発電器
である。
【0006】また、請求項2に記載の発明は、絶縁部に
熱発電素子部を搭載する第1工程と、この絶縁部に第2
接合層を介して介在部を接合する第2工程と、金属製の
冷却部に第1接合層を介して該冷却部と同じ金属を含む
上記介在部を接合する第3工程と、を含む熱発電器の製
造方法であって、上記第2工程の後、上記第3工程を行
うものである。なお、上記第1工程は、上記第2工程の
前に行うことに限定されるものではない。
熱発電素子部を搭載する第1工程と、この絶縁部に第2
接合層を介して介在部を接合する第2工程と、金属製の
冷却部に第1接合層を介して該冷却部と同じ金属を含む
上記介在部を接合する第3工程と、を含む熱発電器の製
造方法であって、上記第2工程の後、上記第3工程を行
うものである。なお、上記第1工程は、上記第2工程の
前に行うことに限定されるものではない。
【0007】
【作用】請求項1の発明に係る熱発電器にあっては、絶
縁部と金属製の冷却部との間に、この冷却部と同じ金属
を含む介在部が積層されている。この介在部によって、
熱発電素子部が伝播する熱に対して、冷却部と介在部と
の熱膨張がそれぞれ同じになる。この結果、その際に生
じる反りがなくなる。したがって、絶縁部と冷却部との
接合強度が向上するものである。よって、絶縁部を介し
て冷却部が熱発電素子部の所定部を冷却する能力が向上
する。熱発電素子部の効率が高くなる。すなわち、熱発
電素子部に大電流を発生させることができるものであ
る。
縁部と金属製の冷却部との間に、この冷却部と同じ金属
を含む介在部が積層されている。この介在部によって、
熱発電素子部が伝播する熱に対して、冷却部と介在部と
の熱膨張がそれぞれ同じになる。この結果、その際に生
じる反りがなくなる。したがって、絶縁部と冷却部との
接合強度が向上するものである。よって、絶縁部を介し
て冷却部が熱発電素子部の所定部を冷却する能力が向上
する。熱発電素子部の効率が高くなる。すなわち、熱発
電素子部に大電流を発生させることができるものであ
る。
【0008】また、請求項2の発明に係る熱発電器の製
造方法にあっては、第2工程の後第3工程が行われてい
る。このため、絶縁部にろう材を介して冷却部を接合さ
せるときより低温で、冷却部を絶縁部に接合することが
できる。したがって、冷却部が変形することもない。よ
って、絶縁部と冷却部との接合強度が向上するものであ
る。
造方法にあっては、第2工程の後第3工程が行われてい
る。このため、絶縁部にろう材を介して冷却部を接合さ
せるときより低温で、冷却部を絶縁部に接合することが
できる。したがって、冷却部が変形することもない。よ
って、絶縁部と冷却部との接合強度が向上するものであ
る。
【0009】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。図1は、本発明の一実施例に係る熱発電器の断面
図である。
する。図1は、本発明の一実施例に係る熱発電器の断面
図である。
【0010】この熱発電器は、アルミニウム製の水冷管
1と、この水冷管1にハンダ2およびニッケルメッキ層
3を介して積層されたアルミニウム製の薄板4と、この
薄板4にろう材5を介して積層されたAlN基板6と、
このAlN基板6にろう材7,7を介してそれぞれ積層
され隔離されたアルミニウム製の電極8,8と、これら
の電極8,8にニッケルメッキ層9,9およびハンダ1
0,10を介してそれぞれ積層された熱発電素子片11
a,11bと、これらの熱発電素子片11a,11bを
ニッケルメッキ層12,12およびハンダ13,13を
介して、橋渡されて接合されたアルミニウム製の被加熱
部14と、を有するものである。例えば、自動車の排気
管等の熱源に、接触または近接して、この被加熱部14
は配設されている。ニッケルメッキ層3,9は、はんだ
付け性を高めるものである。ハンダ2,13として電気
伝導度の高いものを使用する。
1と、この水冷管1にハンダ2およびニッケルメッキ層
3を介して積層されたアルミニウム製の薄板4と、この
薄板4にろう材5を介して積層されたAlN基板6と、
このAlN基板6にろう材7,7を介してそれぞれ積層
され隔離されたアルミニウム製の電極8,8と、これら
の電極8,8にニッケルメッキ層9,9およびハンダ1
0,10を介してそれぞれ積層された熱発電素子片11
a,11bと、これらの熱発電素子片11a,11bを
ニッケルメッキ層12,12およびハンダ13,13を
介して、橋渡されて接合されたアルミニウム製の被加熱
部14と、を有するものである。例えば、自動車の排気
管等の熱源に、接触または近接して、この被加熱部14
は配設されている。ニッケルメッキ層3,9は、はんだ
付け性を高めるものである。ハンダ2,13として電気
伝導度の高いものを使用する。
【0011】このアルミニウム製の薄板4によって、熱
発電素子片11a,11bが伝播する熱に対して、水冷
管1と薄板4との熱膨張がそれぞれ同じになる。この結
果、その際に生じる反りがなくなる。したがって、Al
N基板6と水冷管1との接合強度が向上するものであ
る。よって、AlN基板6を介して水冷管1が熱発電素
子片11a,11bに接合された電極8,8を冷却する
能力が向上する。熱発電素子部8,11a,14,11
b,8の発電効率が高くなる。すなわち、熱発電素子1
1a,11bに連結された電極8,8間に発生する電流
が大きくなるものである。
発電素子片11a,11bが伝播する熱に対して、水冷
管1と薄板4との熱膨張がそれぞれ同じになる。この結
果、その際に生じる反りがなくなる。したがって、Al
N基板6と水冷管1との接合強度が向上するものであ
る。よって、AlN基板6を介して水冷管1が熱発電素
子片11a,11bに接合された電極8,8を冷却する
能力が向上する。熱発電素子部8,11a,14,11
b,8の発電効率が高くなる。すなわち、熱発電素子1
1a,11bに連結された電極8,8間に発生する電流
が大きくなるものである。
【0012】以下、図2〜図10を用いて、本実施例の
熱発電器の製造方法を説明する。
熱発電器の製造方法を説明する。
【0013】まず、絶縁板として、窒化アルミニウム系
焼結体であるとともに、その厚さが0.6mmのAlN
基板6を使用する(図1)。詳しくは、このAlN基板
6の両面は酸化処理されてアルミナ層が形成され、さら
にこのアルミナ層の表面に二酸化ケイ素層が形成されて
いる。なお、上記アルミナ層は、0.2〜20μmの厚
さに、上記二酸化ケイ素層は0.01〜10μmの厚さ
に、それぞれ形成されるものとする。そして、この二酸
化ケイ素の層としては酸化ジルコニウム(ZrO2)、
酸化チタン(TiO2)を含むこともできる。また、窒
化アルミニウム系焼結体としては、窒化アルミニウム基
板をそのまま(Y2O3を焼結助剤として5〜10%含む
もの)使用することもでき、また、窒化アルミニウムの
表面を酸化処理したのみのもの、窒化アルミニウムの表
面にSiCを被覆したものなどをも使用することができ
る。さらに、このような絶縁板としては96%のアルミ
ナ基板を使用することもできる。
焼結体であるとともに、その厚さが0.6mmのAlN
基板6を使用する(図1)。詳しくは、このAlN基板
6の両面は酸化処理されてアルミナ層が形成され、さら
にこのアルミナ層の表面に二酸化ケイ素層が形成されて
いる。なお、上記アルミナ層は、0.2〜20μmの厚
さに、上記二酸化ケイ素層は0.01〜10μmの厚さ
に、それぞれ形成されるものとする。そして、この二酸
化ケイ素の層としては酸化ジルコニウム(ZrO2)、
酸化チタン(TiO2)を含むこともできる。また、窒
化アルミニウム系焼結体としては、窒化アルミニウム基
板をそのまま(Y2O3を焼結助剤として5〜10%含む
もの)使用することもでき、また、窒化アルミニウムの
表面を酸化処理したのみのもの、窒化アルミニウムの表
面にSiCを被覆したものなどをも使用することができ
る。さらに、このような絶縁板としては96%のアルミ
ナ基板を使用することもできる。
【0014】次に、このAlN基板6の上面には、純度
99.99%のアルミニウム製であって、その厚さが
0.1mmのAl電極8,8が、ろう材7,7によりそ
れぞれ接着されて隔離されている。さらに、AlN基板
6の下面には、同じく純度99.99%のアルミニウム
製の厚さ0.1mmの薄板4がろう材5により接着され
ている(図2、図3)。詳しくは、ろう材5,7は、A
l−13%(重量%、以下同じ)Si合金、Al−7.
5%Si合金、Al−9.5%Si−1%Mg合金、A
l−7.5%Si−10%Ge合金などのAl−Si系
合金、または、Al−15%Ge合金などのAl−Ge
系合金である。電極8および薄板4としては、純アルミ
ニウムの他にも、例えばAl−2.5%Mg−0.2%C
r合金、Al−1%Mn合金、Al−0.02%Ni合
金、Al−0.005%B合金等を用いることができ
る。
99.99%のアルミニウム製であって、その厚さが
0.1mmのAl電極8,8が、ろう材7,7によりそ
れぞれ接着されて隔離されている。さらに、AlN基板
6の下面には、同じく純度99.99%のアルミニウム
製の厚さ0.1mmの薄板4がろう材5により接着され
ている(図2、図3)。詳しくは、ろう材5,7は、A
l−13%(重量%、以下同じ)Si合金、Al−7.
5%Si合金、Al−9.5%Si−1%Mg合金、A
l−7.5%Si−10%Ge合金などのAl−Si系
合金、または、Al−15%Ge合金などのAl−Ge
系合金である。電極8および薄板4としては、純アルミ
ニウムの他にも、例えばAl−2.5%Mg−0.2%C
r合金、Al−1%Mn合金、Al−0.02%Ni合
金、Al−0.005%B合金等を用いることができ
る。
【0015】これらの接着は、ろう材5,7を電極8と
薄板4との圧延加工時に30μmの厚さにクラッドし
て、それぞれろう付け板材(ブレージングシート)と
し、これらの材料を積み重ねた状態で、ろう材5,7に
適合した430〜610℃の温度範囲内に真空中で10
分間保持した条件でろう付けして積層接合体とし、35
0℃で30分間の熱処理後室温まで徐冷することによっ
て行っている。
薄板4との圧延加工時に30μmの厚さにクラッドし
て、それぞれろう付け板材(ブレージングシート)と
し、これらの材料を積み重ねた状態で、ろう材5,7に
適合した430〜610℃の温度範囲内に真空中で10
分間保持した条件でろう付けして積層接合体とし、35
0℃で30分間の熱処理後室温まで徐冷することによっ
て行っている。
【0016】次いで、電極8,8の上面および薄板4の
下面に、例えばポリシング等の機械的研磨を施すことに
より、これらの表面上の酸化膜をそれぞれ除去する。そ
して、電極8,8の上面および薄板4の下面に、化学的
研磨を施すことにより、ニッケルとの接合強度をそれぞ
れ向上させる。この化学的研磨は、50〜90℃の温度
範囲で、リン酸20〜60%、硝酸2〜40%に、硫酸
20〜60%を添加した液中に、数秒〜数分間浸積させ
るものである。この化学的研磨により、機械的研磨によ
り生じた凸部を化学的に溶解させ平滑にするものであ
る。
下面に、例えばポリシング等の機械的研磨を施すことに
より、これらの表面上の酸化膜をそれぞれ除去する。そ
して、電極8,8の上面および薄板4の下面に、化学的
研磨を施すことにより、ニッケルとの接合強度をそれぞ
れ向上させる。この化学的研磨は、50〜90℃の温度
範囲で、リン酸20〜60%、硝酸2〜40%に、硫酸
20〜60%を添加した液中に、数秒〜数分間浸積させ
るものである。この化学的研磨により、機械的研磨によ
り生じた凸部を化学的に溶解させ平滑にするものであ
る。
【0017】次に、化学研磨されている面、すなわち電
極8,8の上面に厚さ5μmのニッケルメッキ層9,9
を通常の無電解メッキ法によりそれぞれ被着する。さら
に、薄板4の下面にも厚さ5μmのニッケルメッキ層3
を同じ無電解メッキ法により被着する(図5)。そし
て、ニッケルメッキ層9,9にPb−Sn製のハンダ1
0,10をそれぞれ被着する。さらに、ニッケルメッキ
層3に同じPb−Sn製のハンダ2を被着する。(図
6)。
極8,8の上面に厚さ5μmのニッケルメッキ層9,9
を通常の無電解メッキ法によりそれぞれ被着する。さら
に、薄板4の下面にも厚さ5μmのニッケルメッキ層3
を同じ無電解メッキ法により被着する(図5)。そし
て、ニッケルメッキ層9,9にPb−Sn製のハンダ1
0,10をそれぞれ被着する。さらに、ニッケルメッキ
層3に同じPb−Sn製のハンダ2を被着する。(図
6)。
【0018】次いで、このハンダ10,10を介して、
P型のケイ化鉄製の熱発電素子片11aおよびN型のケ
イ化鉄製の熱発電素子片11bを実装しそれぞれ固定す
る。さらに、薄板4と同じ材料の水冷管1をハンダ2を
介して基板に接合する(図7)。この熱発電素子片11
としては、Bi2Te3、(Bi−Sb)2Te3、Bi2
(Te−Se)3、(AgSbTe)0.1(CeTe)
0.9、ゲルマニウム・シリコン合金、アルカリメタル
(ベータアルミナ)、テルル化鉛、テルル化ビスマス、
セレン化鉛などのカルコゲン化合物等の異種の半導体ま
たは導体を利用できる。
P型のケイ化鉄製の熱発電素子片11aおよびN型のケ
イ化鉄製の熱発電素子片11bを実装しそれぞれ固定す
る。さらに、薄板4と同じ材料の水冷管1をハンダ2を
介して基板に接合する(図7)。この熱発電素子片11
としては、Bi2Te3、(Bi−Sb)2Te3、Bi2
(Te−Se)3、(AgSbTe)0.1(CeTe)
0.9、ゲルマニウム・シリコン合金、アルカリメタル
(ベータアルミナ)、テルル化鉛、テルル化ビスマス、
セレン化鉛などのカルコゲン化合物等の異種の半導体ま
たは導体を利用できる。
【0019】上記水冷管1としては、純アルミニウムの
他にも、例えばAl−2.5%Mg−0.2%Cr合
金、Al−1%Mn合金、Al−20〜40%Si合金
等を用いることができる。なお、Al−Si合金は、超
急冷Al粉末にSi粉末を加え、熱間押出加工または熱
間鍛造加工により、Si含有重量が例えば40%となる
ように所定の形状に製造した。なお、水冷管1としてA
l−40%Si合金を用いたときは、その熱膨張率が純
アルミニウムより小さいので、本実施例の熱発電器に生
じる熱応力による反りをさらに低減できる。例えば、純
アルミニウムの熱膨張率は23.13×10-6/Kであ
り、Al−40%Siの熱膨張率は14.11×10-6
Kである。
他にも、例えばAl−2.5%Mg−0.2%Cr合
金、Al−1%Mn合金、Al−20〜40%Si合金
等を用いることができる。なお、Al−Si合金は、超
急冷Al粉末にSi粉末を加え、熱間押出加工または熱
間鍛造加工により、Si含有重量が例えば40%となる
ように所定の形状に製造した。なお、水冷管1としてA
l−40%Si合金を用いたときは、その熱膨張率が純
アルミニウムより小さいので、本実施例の熱発電器に生
じる熱応力による反りをさらに低減できる。例えば、純
アルミニウムの熱膨張率は23.13×10-6/Kであ
り、Al−40%Siの熱膨張率は14.11×10-6
Kである。
【0020】次に、各熱発電素子片11a,11bの上
面にニッケルメッキ層12を無電解メッキ法によりそれ
ぞれ被着する(図8)。そして、このニッケルメッキ層
12上にPb−Sn製のハンダ13を被着する(図
9)。このハンダ13を介して、アルミニウム製の被加
熱部14が固定される(図10)。
面にニッケルメッキ層12を無電解メッキ法によりそれ
ぞれ被着する(図8)。そして、このニッケルメッキ層
12上にPb−Sn製のハンダ13を被着する(図
9)。このハンダ13を介して、アルミニウム製の被加
熱部14が固定される(図10)。
【0021】例えば、この熱発電器を自動車の排熱回収
に利用すると、500W以上の容量で、30A以上の電
流が発生できるものである。
に利用すると、500W以上の容量で、30A以上の電
流が発生できるものである。
【0022】さらに、AlN基板6に薄板4を接合させ
た後、この薄板4に水冷管1を接合させているため、6
60℃より低温である600℃にて、水冷管1をAlN
基板6に接合することができる。したがって、水冷管1
がその接合の際に変形することもない。よって、AlN
基板6と水冷管1との接合強度が向上するものである。
た後、この薄板4に水冷管1を接合させているため、6
60℃より低温である600℃にて、水冷管1をAlN
基板6に接合することができる。したがって、水冷管1
がその接合の際に変形することもない。よって、AlN
基板6と水冷管1との接合強度が向上するものである。
【0023】なお、水冷管1はCu製でもまたはSUS
製でもよい。
製でもよい。
【0024】
【発明の効果】本発明によれば、大電流を発生すること
ができるとともに、冷却効率も高めることができる。
ができるとともに、冷却効率も高めることができる。
【図1】本発明の一実施例に係る熱発電器を示す断面図
である。
である。
【図2】本発明の一実施例に係る熱発電器の製造方法を
示す一工程図である。
示す一工程図である。
【図3】本発明の一実施例に係る熱発電器の製造方法を
示す一工程図である。
示す一工程図である。
【図4】本発明の一実施例に係る熱発電器の製造方法を
示す一工程図である。
示す一工程図である。
【図5】本発明の一実施例に係る熱発電器の製造方法を
示す一工程図である。
示す一工程図である。
【図6】本発明の一実施例に係る熱発電器の製造方法を
示す一工程図である。
示す一工程図である。
【図7】本発明の一実施例に係る熱発電器の製造方法を
示す一工程図である。
示す一工程図である。
【図8】本発明の一実施例に係る熱発電器の製造方法を
示す一工程図である。
示す一工程図である。
【図9】本発明の一実施例に係る熱発電器の製造方法を
示す一工程図である。
示す一工程図である。
【図10】本発明の一実施例に係る熱発電器の製造方法
を示す一工程図である。
を示す一工程図である。
【図11】従来例に係る熱発電器を示す断面図である。
1 水冷管(冷却部) 2 ハンダ(第1接合層) 4 薄板(介在部) 5 ろう材(第2接合層) 6 AlN基板(絶縁部) 8 電極(熱発電素子部) 11a P型熱発電素子(熱発電素子部) 11b N型熱発電素子(熱発電素子部) 14 被加熱部(熱発電素子部)
Claims (2)
- 【請求項1】 金属製の冷却部と、 この冷却部に第1接合層を介して積層され、該冷却部と
同じ金属を含む介在部と、 この介在部に第2接合層を介して積層された絶縁部と、 この絶縁部に搭載された熱発電素子部と、 を有することを特徴とする熱発電器。 - 【請求項2】 絶縁部に熱発電素子部を搭載する第1工
程と、 この絶縁部に第2接合層を介して介在部を接合する第2
工程と、 金属製の冷却部に第1接合層を介して該冷却部と同じ金
属を含む上記介在部を接合する第3工程と、を含む熱発
電器の製造方法であって、 上記第2工程の後、上記第3工程を行うことを特徴とす
る熱発電器の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5154299A JPH06342940A (ja) | 1993-05-31 | 1993-05-31 | 熱発電器およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5154299A JPH06342940A (ja) | 1993-05-31 | 1993-05-31 | 熱発電器およびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06342940A true JPH06342940A (ja) | 1994-12-13 |
Family
ID=15581101
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5154299A Withdrawn JPH06342940A (ja) | 1993-05-31 | 1993-05-31 | 熱発電器およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06342940A (ja) |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009117645A (ja) * | 2007-11-07 | 2009-05-28 | Showa Denko Kk | 熱電素子用電極および熱電モジュール |
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JP2017059823A (ja) * | 2015-09-18 | 2017-03-23 | 三菱マテリアル株式会社 | 熱電変換モジュール及び熱電変換装置 |
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US11152557B2 (en) | 2019-02-20 | 2021-10-19 | Gentherm Incorporated | Thermoelectric module with integrated printed circuit board |
-
1993
- 1993-05-31 JP JP5154299A patent/JPH06342940A/ja not_active Withdrawn
Cited By (22)
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000801 |