JPH0634253U - プラズマ処理システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウェハの有無を検知する光センサの作動を確
実なものとする。 【構成】 ハウジングの上面６及び下面１０の対向位置
には透光性窓部１３，１４が形成され、窓部１３のハウ
ジング外側位置には発光素子１５を設け、窓部１４のハ
ウジング外側位置には受光素子１６を設けている。発光
素子１５及び受光素子１６からはリード線１７が導出さ
れている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は半導体ウェハやガラス基板等の被処理物（以下単にウェハという）を 真空中で連続処理するシステムに関する。

【０００２】

【従来の技術】

ウェハを真空中で連続処理するシステムとして米国特許５，０７６，２０５号 明細書に開示されるものが知られている。このシステムは中央にロボットハンド を備えたハンドリングステーションを配置し、このハンドリングステーションの 側面に被処理物の収納部及びプラズマ処理装置を付設し、ハンドリングステーシ ョンを介して収納部とプラズマ処理装置との間で自動的にウェハのやりとりを行 なうようにしたものである。

【０００３】 上述した従来の連続処理システムにおいて処理を確実に行なうには、ハンドリ ングステーションのロボットハンドが所定の位置でウェハを保持しているか否か を検知する必要がある。

【０００４】 斯かる検知手段としては図５に示すように、ハンドリングステーションのハウ ジング１００内にホルダ１０１を配置し、このホルダ１０１にウェハＷの有無を 検出する発光素子１０２及び受光素子１０３を取り付け、これら発光素子１０２ 及び受光素子１０３から伸びるリード線１０４をハーメチックシール１０５を介 して外部に導出するようにしている。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

上述したハンドリングステーション内はプラズマ処理装置内と直接若しくはゲ ートバルブを介して連通しているので、ハンドリングステーション内のリード線 １０４は腐食して断線しセンサとして働かなくなる。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

上記課題を解決すべく本考案は、ウェハカセットやプラズマ処理装置に対して ウェハの搬入及び搬出を行なうハンドリングステーションのハウジング上面及び 下面の対向位置に窓部を形成し、これら対向する窓部のハウジング外側位置に被 処理物の有無を検出するための光センサ素子を配置した。

【０００７】

【作用】

発光素子から受光素子に向かう光が遮断されることによって、ロボットハンド の所定の位置にウェハが載置されていることを検知する。

【０００８】

【実施例】

以下に本考案の実施例を添付図面に基づいて説明する。ここで図１は本考案に 係るプラズマ処理システムの全体平面図、図２は同プラズマ処理システムのハン ドリングステーションの縦断面図、図３はセンサを取り付けた部分の拡大断面図 、図４はパージ機構の断面図である。

【０００９】 プラズマ処理システムは中央にウェハＷの搬入及び搬出を行なうハンドリング ステーション１を設置している。このハンドリングステーション１は平面視で五 角形をなし、このハンドリングステーション１のハウジングの２つの側面にはゲ ートバルブ２を介してウェハカセット収納部３を付設し、別の２つの側面には同 じくゲートバルブ４を介してプラズマ処理装置（ＯＩＣ）５を付設している。

【００１０】 ハウジングの上面６には開口７が形成され、この開口７をハンドルによる手動 開閉機構８を備えた蓋体９にて開閉するようにし、またハウジングの下面１０外 側にはロータリアクチュエータ１１を取り付け、このロータリアクチュエータ１ １にてハウジング内に設けたロボットハンド１２を旋回及び伸縮せしめ、ウェハ カセット収納部３とプラズマ処理装置５との間でウェハＷの受け渡しを行なうよ うにしている。

【００１１】 また、図３に示すようにハウジングの上面６及び下面１０の対向位置には透光 性窓部１３，１４が形成され、窓部１３のハウジング外側位置には発光素子１５ を設け、窓部１４のハウジング外側位置には受光素子１６を設けている。発光素 子１５及び受光素子１６からはリード線１７が導出され、また発光素子１５及び 受光素子１６の位置は互いに入替えてもよい。

【００１２】 更に、図４に示すようにウェハカセット収納部３の側面にはパージ機構２０を 取り付けている。このパージ機構２０は収納部３側壁に形成した開口２１外側に 筒体２２を取り付け、この筒体２２の外端部に蓋体２３を嵌着し、この蓋体２３ を貫通して窒素ガス導入パイプ２４を筒体２２内に臨ませ、この導入パイプ２４ の先端に多孔質キャップ２５を被せ、更に筒体２２の内端部に多孔質板２６を取 り付けている。

【００１３】 このように、多孔質キャップ２５及び多孔質板２６を介して減圧状態のウェハ カセット収納部３内に窒素ガスを導入すると、窒素ガス流が乱れることがなくパ ーティクルの発生を抑制することができる。

【００１４】

【考案の効果】

以上に説明したように本考案によれば、ウェハカセットやプラズマ処理装置に 対してウェハの搬入及び搬出を行なうハンドリングステーションのハウジング外 にウェハの有無を検知する光センサ素子及びこのセンサ素子から導出されるリー ド線を設けたので、リード線は腐食することがないので断線することがない。ま た、ハウジング外に設けることで、清掃及び交換も容易になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係るプラズマ処理システムの全体平面
図

【図２】同プラズマ処理システムのハンドリングステー
ションの縦断面図

【図３】センサを取り付けた部分の拡大断面図

【図４】パージ機構の断面図

【図５】従来のセンサを取り付けた部分の拡大断面図

【符号の説明】

１…ハンドリングステーション、２，４…ゲートバル
ブ、３…ウェハカセット収納部、５…プラズマ処理装
置、６…ハウジング上面、１０…ハウジング下面、１２
…ロボットハンド、１３，１４…窓部、１５，１６…光
センサ素子、１７…リード線、２０…パージ機構、Ｗ…
ウェハ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 脇 達生 神奈川県川崎市中原区中丸子150番地 東 京応化工業株式会社内

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 中央にハンドリングステーションを配置
   し、このハンドリングステーションのハウジング側面に
   被処理物の収納部及びプラズマ処理装置を付設し、ハン
   ドリングステーションのハウジング内には収納部及びプ
   ラズマ処理装置に対して被処理物の搬入及び搬出を行な
   う移載装置を設けたプラズマ処理システムにおいて、前
   記ハンドリングステーションのハウジング上面及び下面
   の対向位置には窓部が形成され、これら対向する窓部の
   ハウジング外側位置に被処理物の有無を検出するための
   光センサ素子が配置されていることを特徴とするプラズ
   マ処理システム。