JPH06338468A - 流体フローパターンパネル - Google Patents
流体フローパターンパネルInfo
- Publication number
- JPH06338468A JPH06338468A JP15113193A JP15113193A JPH06338468A JP H06338468 A JPH06338468 A JP H06338468A JP 15113193 A JP15113193 A JP 15113193A JP 15113193 A JP15113193 A JP 15113193A JP H06338468 A JPH06338468 A JP H06338468A
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- pressure
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- fluid flow
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 流量，圧力制御弁の流量計，圧力計のガス流
量，圧力設定値等の情報もパネルのみで集中してモニタ
することができる流体フローパターンパネルを提供す
る。 【構成】 パネルに、遠隔操作する流量，圧力制御弁の
流量，圧力計のガス流量，圧力，設定値等を表示する表
示器を取付け、表示器にガス流量，圧力を表示すると共
に、流量，圧力計の流量，圧力コントローラに、パネル
に設けた流量，圧力値及び設定値表示切換スイッチの表
示切換信号を入力して設定値の表示も行なえるようにす
る。
量，圧力設定値等の情報もパネルのみで集中してモニタ
することができる流体フローパターンパネルを提供す
る。 【構成】 パネルに、遠隔操作する流量，圧力制御弁の
流量，圧力計のガス流量，圧力，設定値等を表示する表
示器を取付け、表示器にガス流量，圧力を表示すると共
に、流量，圧力計の流量，圧力コントローラに、パネル
に設けた流量，圧力値及び設定値表示切換スイッチの表
示切換信号を入力して設定値の表示も行なえるようにす
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、減圧ＣＶＤ装置等の半
導体製造装置で使用する流体ユニット等の流量，圧力制
御弁を遠隔操作するための流体フローパターンパネルに
関する。
導体製造装置で使用する流体ユニット等の流量，圧力制
御弁を遠隔操作するための流体フローパターンパネルに
関する。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来の流体フローパターンパネル
の１例の構成を示す説明図、図５は図４のパネルの制御
系の構成を示すブロック図である。図４，図５におい
て、２５は流体フローパターンパネル、２６は彫刻線、
２７は流量計ＭＦＣの被表示部分、ＬＳＷは彫刻・照光
部付きスイッチ、２８はマニュアル操作スイッチ、２９
はマニュアルセット操作スイッチである。また、３２は
パネル２５のスイッチＬＳＷ，２８，２９を制御するＩ
／Ｌコントローラ、３３はある処理プログラムに基づく
デジタルデータＳ２を入力してデジタル流量設定データ
Ｓ３を出力し、実際のデジタル流量データＳ６を入力し
て出力する制御部３４と、該制御部３４より出力するデ
ジタル流量設定データＳ３をアナログに変換して流量計
ＭＦＣに出力するＤ／Ａ変換部３５と、流量計ＭＦＣよ
り出力する実際の流量データＳ５をデジタルに変換して
制御部３４に出力するＡ／Ｄ変換部３６とよりなる流量
コントローラである。３９は流量計ＭＦＣを制御するデ
ータＳ１を入力して蓄積しある処理プログラムに基づく
デジタルデータＳ２を出力し、実際の流量データＳ６を
入力して該データを出力するメインコントローラ、４０
は流量計ＭＦＣを制御するデータＳ１を出力し、実際の
流量データＳ６を入力してモニタするオペレーションモ
ニタである。
の１例の構成を示す説明図、図５は図４のパネルの制御
系の構成を示すブロック図である。図４，図５におい
て、２５は流体フローパターンパネル、２６は彫刻線、
２７は流量計ＭＦＣの被表示部分、ＬＳＷは彫刻・照光
部付きスイッチ、２８はマニュアル操作スイッチ、２９
はマニュアルセット操作スイッチである。また、３２は
パネル２５のスイッチＬＳＷ，２８，２９を制御するＩ
／Ｌコントローラ、３３はある処理プログラムに基づく
デジタルデータＳ２を入力してデジタル流量設定データ
Ｓ３を出力し、実際のデジタル流量データＳ６を入力し
て出力する制御部３４と、該制御部３４より出力するデ
ジタル流量設定データＳ３をアナログに変換して流量計
ＭＦＣに出力するＤ／Ａ変換部３５と、流量計ＭＦＣよ
り出力する実際の流量データＳ５をデジタルに変換して
制御部３４に出力するＡ／Ｄ変換部３６とよりなる流量
コントローラである。３９は流量計ＭＦＣを制御するデ
ータＳ１を入力して蓄積しある処理プログラムに基づく
デジタルデータＳ２を出力し、実際の流量データＳ６を
入力して該データを出力するメインコントローラ、４０
は流量計ＭＦＣを制御するデータＳ１を出力し、実際の
流量データＳ６を入力してモニタするオペレーションモ
ニタである。
【０００３】従来の流体フローパターンパネルは、パネ
ル２５上に彫刻線２６を入れることでガス系統が判るよ
うになっており、彫刻・照光部付きスイッチＬＳＷでは
電磁弁等の開閉が操作及びモニタできるようになってお
り、流量計ＭＦＣ（ＭＦＣ１〜ＭＦＣ７）の被表示部分
２７は彫刻のみの番号で表示している。
ル２５上に彫刻線２６を入れることでガス系統が判るよ
うになっており、彫刻・照光部付きスイッチＬＳＷでは
電磁弁等の開閉が操作及びモニタできるようになってお
り、流量計ＭＦＣ（ＭＦＣ１〜ＭＦＣ７）の被表示部分
２７は彫刻のみの番号で表示している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
例にあっては、電磁弁等の開閉のモニタのみしかでき
ず、ガス系で使用している流量計や圧力計のモニタはオ
ペレーションモニタや別のユニットやコントローラを用
いないと確認することができないという課題があった。
例にあっては、電磁弁等の開閉のモニタのみしかでき
ず、ガス系で使用している流量計や圧力計のモニタはオ
ペレーションモニタや別のユニットやコントローラを用
いないと確認することができないという課題があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明流体フローパター
ンパネルは、上記の課題を解決するため、パネルに遠隔
操作する流量，圧力制御弁の流量，圧力計の流体流量，
圧力等の情報をモニタできる表示器を取付けてなる構成
としたものである。
ンパネルは、上記の課題を解決するため、パネルに遠隔
操作する流量，圧力制御弁の流量，圧力計の流体流量，
圧力等の情報をモニタできる表示器を取付けてなる構成
としたものである。
【０００６】
【作用】このような構成とすることにより、流体系に関
する流量，圧力制御弁の流量，圧力計の流体流量，圧力
等の情報を表示器でパネルのみで集中してモニタするこ
とができることになる。
する流量，圧力制御弁の流量，圧力計の流体流量，圧力
等の情報を表示器でパネルのみで集中してモニタするこ
とができることになる。
【０００７】
【実施例】図１は本発明流体フローパターンパネルの１
実施例の構成を示す説明図、図２は図１のパネルの制御
系の構成を示すブロック図である。まず、その構成を説
明する。図１，図２において２５は流体フローパターン
パネル、２６はパネル２５上に設けたガス系統を示す彫
刻線、２７は流量計ＭＦＣの被表示部分で、この被表示
部分２７に７セグメントよりなる小型ＬＥＤ表示器３０
が取付けられている。ＬＳＷは彫刻・照光部付きスイッ
チ、２８はマニュアル操作スイッチ、２９はマニュアル
セット操作スイッチ、３１は流量及び設定値表示切換ス
イッチで、パネル２５に取付けられている。３２はパネ
ル２５のスイッチＬＳＷ，２８，２９を制御するＩ／Ｌ
コントローラ、３３は流量コントローラで、デジタルデ
ータＳ２を入力して正常作動するまでの間、不動作信号
Ｓ７を出力し、かつ切換信号Ｓ８を出力する機能も備え
た制御部３４と、Ｄ／Ａ，Ａ／Ｄ変換部３５，３６以外
に流量設定データＳ３と実際の流量データＳ６を切り換
えるスイッチ回路３８と、流量及び設定値表示切換スイ
ッチ３１より出力する表示切換信号Ｓ９と制御部３４よ
り出力する切換信号Ｓ８を入力し、スイッチ回路３８の
切換えと、小型ＬＥＤ表示器３０の発光色を、設定流量
値の許容範囲に収まっている時とそうでない時とで変え
る発光色切換え動作を行う合成回路３７も有している。
ＭＦＣは流量計（マスフローコントローラ）で、７つの
流量計ＭＦＣ１〜ＭＦＣ７よりなる。３９は上記と同様
のメインコントローラ、４０も上記と同様のオペレーシ
ョンモニタである。
実施例の構成を示す説明図、図２は図１のパネルの制御
系の構成を示すブロック図である。まず、その構成を説
明する。図１，図２において２５は流体フローパターン
パネル、２６はパネル２５上に設けたガス系統を示す彫
刻線、２７は流量計ＭＦＣの被表示部分で、この被表示
部分２７に７セグメントよりなる小型ＬＥＤ表示器３０
が取付けられている。ＬＳＷは彫刻・照光部付きスイッ
チ、２８はマニュアル操作スイッチ、２９はマニュアル
セット操作スイッチ、３１は流量及び設定値表示切換ス
イッチで、パネル２５に取付けられている。３２はパネ
ル２５のスイッチＬＳＷ，２８，２９を制御するＩ／Ｌ
コントローラ、３３は流量コントローラで、デジタルデ
ータＳ２を入力して正常作動するまでの間、不動作信号
Ｓ７を出力し、かつ切換信号Ｓ８を出力する機能も備え
た制御部３４と、Ｄ／Ａ，Ａ／Ｄ変換部３５，３６以外
に流量設定データＳ３と実際の流量データＳ６を切り換
えるスイッチ回路３８と、流量及び設定値表示切換スイ
ッチ３１より出力する表示切換信号Ｓ９と制御部３４よ
り出力する切換信号Ｓ８を入力し、スイッチ回路３８の
切換えと、小型ＬＥＤ表示器３０の発光色を、設定流量
値の許容範囲に収まっている時とそうでない時とで変え
る発光色切換え動作を行う合成回路３７も有している。
ＭＦＣは流量計（マスフローコントローラ）で、７つの
流量計ＭＦＣ１〜ＭＦＣ７よりなる。３９は上記と同様
のメインコントローラ、４０も上記と同様のオペレーシ
ョンモニタである。
【０００８】次に本実施例の作用を説明する。流量計Ｍ
ＦＣの被表示部分２７に小型ＬＥＤ表示器３０を取り付
けることによりパネル２５のみで流量制御弁の開閉動作
は勿論のこと該表示器３０によりガス流量もモニタする
ことができると共に、表示器３０を２色発光タイプのも
のとすることにより設定流量値の許容範囲に収まってい
る時とそうでない時を色を異ならしめて表示することが
できる。又、パネル２５に設定及び流量切換スイッチ３
１を設け、この切換スイッチ３１の表示切換信号Ｓ９を
流量コントローラ３３に入力することで設定値の表示も
可能になる。
ＦＣの被表示部分２７に小型ＬＥＤ表示器３０を取り付
けることによりパネル２５のみで流量制御弁の開閉動作
は勿論のこと該表示器３０によりガス流量もモニタする
ことができると共に、表示器３０を２色発光タイプのも
のとすることにより設定流量値の許容範囲に収まってい
る時とそうでない時を色を異ならしめて表示することが
できる。又、パネル２５に設定及び流量切換スイッチ３
１を設け、この切換スイッチ３１の表示切換信号Ｓ９を
流量コントローラ３３に入力することで設定値の表示も
可能になる。
【０００９】以下、図２に従って詳述する。通常、オペ
レーションモニタ４０から流量計ＭＦＣを制御するデー
タＳ１をメインコントローラ３９に入力し蓄積する。メ
インコントローラ３９より、ある処理プログラムに基づ
くデジタルデータＳ２を流量コントローラ３３の制御部
３４に出力する。デジタルデータＳ２を入力して制御部
３４が正常に作動するまでの間、不動作信号Ｓ７をスイ
ッチ回路３８に出力して、スイッチ回路３８から表示信
号を出力しない。制御部３４が正常に動作すれば入力し
たデジタルデータＳ２を基に、流量計ＭＦＣの開度（流
量値）を設定するデジタル流量設定データＳ３をＤ／Ａ
変換部３５に出力してアナログ変換し、アナログ流量設
定データＳ４を流量計ＭＦＣに入力して流量設定を行
い、流量計ＭＦＣより出力する実際のアナログ流量デー
タ（流量値）Ｓ５はＡ／Ｄ変換部３６によりデジタルに
変換して制御部３４に入力する。制御部３４より出力す
る実際のデジタル流量データＳ６は、メインコントロー
ラ３９を介してオペレーションモニタ４０に入力してモ
ニタする。
レーションモニタ４０から流量計ＭＦＣを制御するデー
タＳ１をメインコントローラ３９に入力し蓄積する。メ
インコントローラ３９より、ある処理プログラムに基づ
くデジタルデータＳ２を流量コントローラ３３の制御部
３４に出力する。デジタルデータＳ２を入力して制御部
３４が正常に作動するまでの間、不動作信号Ｓ７をスイ
ッチ回路３８に出力して、スイッチ回路３８から表示信
号を出力しない。制御部３４が正常に動作すれば入力し
たデジタルデータＳ２を基に、流量計ＭＦＣの開度（流
量値）を設定するデジタル流量設定データＳ３をＤ／Ａ
変換部３５に出力してアナログ変換し、アナログ流量設
定データＳ４を流量計ＭＦＣに入力して流量設定を行
い、流量計ＭＦＣより出力する実際のアナログ流量デー
タ（流量値）Ｓ５はＡ／Ｄ変換部３６によりデジタルに
変換して制御部３４に入力する。制御部３４より出力す
る実際のデジタル流量データＳ６は、メインコントロー
ラ３９を介してオペレーションモニタ４０に入力してモ
ニタする。
【００１０】また、実際の流量データＳ６は流量計ＭＦ
ＣよりＡ／Ｄ変換部３６及びスイッチ回路３８を介して
小型ＬＥＤ表示器３０に出力して流量表示を行う。パネ
ル２５に取付けられた表示切換スイッチ３１からの表示
切換信号Ｓ９と、流量計ＭＦＣが設定完了した時に制御
部３４より出力される切換信号Ｓ８を合成回路３７に入
力し、これより出力する動作切換信号Ｓ10により初めて
スイッチ回路３８を切換え、制御部３４よりスイッチ回
路３８を介して流量設定データＳ３を小型ＬＥＤ表示器
３０に入力して表示する。設定流量値の許容範囲に実際
の流量データＳ６が納まらない場合に出力される切換信
号Ｓ８を、合成回路３７に入力し、これより出力される
発光色切換信号Ｓ11を２色発光可能な小型ＬＥＤ表示器
３０に入力し、実際の流量データが許容範囲外である
旨、所定の色で表示させる（あるいは小型ＬＥＤ表示器
３０にブリンク機能があれば、小型ＬＥＤ表示器３０を
ブリンクさせることも可能である）。
ＣよりＡ／Ｄ変換部３６及びスイッチ回路３８を介して
小型ＬＥＤ表示器３０に出力して流量表示を行う。パネ
ル２５に取付けられた表示切換スイッチ３１からの表示
切換信号Ｓ９と、流量計ＭＦＣが設定完了した時に制御
部３４より出力される切換信号Ｓ８を合成回路３７に入
力し、これより出力する動作切換信号Ｓ10により初めて
スイッチ回路３８を切換え、制御部３４よりスイッチ回
路３８を介して流量設定データＳ３を小型ＬＥＤ表示器
３０に入力して表示する。設定流量値の許容範囲に実際
の流量データＳ６が納まらない場合に出力される切換信
号Ｓ８を、合成回路３７に入力し、これより出力される
発光色切換信号Ｓ11を２色発光可能な小型ＬＥＤ表示器
３０に入力し、実際の流量データが許容範囲外である
旨、所定の色で表示させる（あるいは小型ＬＥＤ表示器
３０にブリンク機能があれば、小型ＬＥＤ表示器３０を
ブリンクさせることも可能である）。
【００１１】図３は本発明における流量コントローラの
他例を示す説明図である。この実施例は、流量コントロ
ーラ３３として合成回路３７を使用しない場合であり、
流量及び設定値表示切換スイッチ３１からの表示切換信
号Ｓ９と流量計ＭＦＣが設定完了した時に制御部３４よ
り出力する設定完了信号Ｓ12をスイッチ回路３８に入力
して初めてスイッチ回路３８を切り換え、流量設定デー
タＳ３を小型ＬＥＤ表示器３０に入力して表示すると共
に、表示切換信号Ｓ９を発光色切換信号Ｓ11として２色
発光可能な小型ＬＥＤ表示器３０に入力し、実際の流量
データが許容範囲内，外である旨、それぞれ異なる色で
表示させるようにした例である。
他例を示す説明図である。この実施例は、流量コントロ
ーラ３３として合成回路３７を使用しない場合であり、
流量及び設定値表示切換スイッチ３１からの表示切換信
号Ｓ９と流量計ＭＦＣが設定完了した時に制御部３４よ
り出力する設定完了信号Ｓ12をスイッチ回路３８に入力
して初めてスイッチ回路３８を切り換え、流量設定デー
タＳ３を小型ＬＥＤ表示器３０に入力して表示すると共
に、表示切換信号Ｓ９を発光色切換信号Ｓ11として２色
発光可能な小型ＬＥＤ表示器３０に入力し、実際の流量
データが許容範囲内，外である旨、それぞれ異なる色で
表示させるようにした例である。
【００１２】以上の説明は、減圧ＣＶＤ装置の反応炉へ
のガスフローパターンパネルにつき、制御弁として流量
制御弁の動作以外に設定流量値、実際の流量値をモニタ
する場合を記したが、圧力制御弁についても同様に実施
し、説明できることは勿論であり、かつ該制御弁はその
操作型式が電磁操作式でもパイロット操作式の弁でもよ
いことは記す迄もない。尚、本実施例では２色発光可能
な小型ＬＥＤを使用したが、少なくとも２色以上の複数
色発光可能な小型ＬＥＤを使用すれば、より詳細な表示
が可能である。
のガスフローパターンパネルにつき、制御弁として流量
制御弁の動作以外に設定流量値、実際の流量値をモニタ
する場合を記したが、圧力制御弁についても同様に実施
し、説明できることは勿論であり、かつ該制御弁はその
操作型式が電磁操作式でもパイロット操作式の弁でもよ
いことは記す迄もない。尚、本実施例では２色発光可能
な小型ＬＥＤを使用したが、少なくとも２色以上の複数
色発光可能な小型ＬＥＤを使用すれば、より詳細な表示
が可能である。
【００１３】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、パネルに
表示器を取付けることにより流量，圧力制御弁の流量
計，圧力計の流体流量，圧力等の情報も流体フローパタ
ーンパネルのみで集中してモニタすることができ、他の
表示コントローラを不要にできるばかりでなく、自動化
ラインの場合、ホストコンピュータによりコントロール
するので、このパネルだけで別のオペレーションモニ
タ，ユニットや操作コントローラを不要にでき、半導体
製造装置の簡略化，経済性，メンテナンス性の向上を図
ることができる。
表示器を取付けることにより流量，圧力制御弁の流量
計，圧力計の流体流量，圧力等の情報も流体フローパタ
ーンパネルのみで集中してモニタすることができ、他の
表示コントローラを不要にできるばかりでなく、自動化
ラインの場合、ホストコンピュータによりコントロール
するので、このパネルだけで別のオペレーションモニ
タ，ユニットや操作コントローラを不要にでき、半導体
製造装置の簡略化，経済性，メンテナンス性の向上を図
ることができる。
【図１】本発明流体フローパターンパネルの１実施例の
構成を示す説明図である。
構成を示す説明図である。
【図２】図１のパネルの制御系の構成を示すブロック図
である。
である。
【図３】本発明における流量コントローラの他例を示す
説明図である。
説明図である。
【図４】従来の流体フローパターンパネルの１例の構成
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図５】図４のパネルの制御系の構成を示すブロック図
である。
である。
２５ 流体フローパターンパネル ２６ 彫刻線 ２７ 流量計ＭＦＣの被表示部分 ２８ マニュアル操作スイッチ ２９ マニュアルセット操作スイッチ ３０ （小型ＬＥＤ）表示器 ３１ 流量及び設定値表示切換スイッチ ３２ 流体フローパターンパネル２５のスイッチＬＳ
Ｗ，２８，２９等のＩ／Ｌコントローラ ３３ 流量コントローラ ３４ 制御部 ３５ Ｄ／Ａ変換部 ３６ Ａ／Ｄ変換部 ３７ 合成回路 ３８ スイッチ回路 ３９ メインコントローラ ４０ オペレーションスイッチ Ｓ１ 流量計ＭＦＣを制御するデータ Ｓ２ デジタルデータ Ｓ３ デジタル流量設定データ Ｓ４ アナログ流量設定データ Ｓ５ 実際のアナログ流量データ Ｓ６ 実際のデジタル流量データ Ｓ７ 不動作信号 Ｓ８ 切換信号 Ｓ９ 表示切換信号 Ｓ10 動作切換信号 Ｓ11 発光色切換信号 Ｓ12 設定完了信号
Ｗ，２８，２９等のＩ／Ｌコントローラ ３３ 流量コントローラ ３４ 制御部 ３５ Ｄ／Ａ変換部 ３６ Ａ／Ｄ変換部 ３７ 合成回路 ３８ スイッチ回路 ３９ メインコントローラ ４０ オペレーションスイッチ Ｓ１ 流量計ＭＦＣを制御するデータ Ｓ２ デジタルデータ Ｓ３ デジタル流量設定データ Ｓ４ アナログ流量設定データ Ｓ５ 実際のアナログ流量データ Ｓ６ 実際のデジタル流量データ Ｓ７ 不動作信号 Ｓ８ 切換信号 Ｓ９ 表示切換信号 Ｓ10 動作切換信号 Ｓ11 発光色切換信号 Ｓ12 設定完了信号
Claims (4)
- 【請求項１】 半導体製造装置で使用する流体ユニット
等の流量，圧力制御弁を遠隔操作するための流体フロー
パターンパネルにおいて、該パネルに前記流量，圧力制
御弁の流量，圧力計の流体流量，圧力等の情報をモニタ
できる表示器を取付けてなる流体フローパターンパネ
ル。 - 【請求項２】 流量，圧力計に係る表示器は、実際の流
量データ，圧力データが設定流量値，設定圧力値の許容
範囲内，外である旨、それぞれ色を異ならしめて表示す
る２色発光タイプのものであることを特徴とする請求項
１の流体フローパターンパネル。 - 【請求項３】 流量，圧力計の流量，圧力コントローラ
に、パネルに設けられた流量，圧力値及び設定値表示切
換スイッチの表示切換信号を入力して設定値の表示も行
うことを特徴とする請求項２の流体フローパターンパネ
ル。 - 【請求項４】 流量，圧力制御弁は電磁操作弁又はパイ
ロット操作弁であることを特徴とする請求項１の流体フ
ローパターンパネル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15113193A JPH06338468A (ja) | 1993-05-28 | 1993-05-28 | 流体フローパターンパネル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15113193A JPH06338468A (ja) | 1993-05-28 | 1993-05-28 | 流体フローパターンパネル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06338468A true JPH06338468A (ja) | 1994-12-06 |
Family
ID=15512050
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15113193A Pending JPH06338468A (ja) | 1993-05-28 | 1993-05-28 | 流体フローパターンパネル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06338468A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002025918A (ja) * | 2000-07-12 | 2002-01-25 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体製造装置 |
| JP2009065113A (ja) * | 2007-08-14 | 2009-03-26 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
| US8443484B2 (en) | 2007-08-14 | 2013-05-21 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Substrate processing apparatus |
-
1993
- 1993-05-28 JP JP15113193A patent/JPH06338468A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002025918A (ja) * | 2000-07-12 | 2002-01-25 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体製造装置 |
| JP2009065113A (ja) * | 2007-08-14 | 2009-03-26 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
| US8443484B2 (en) | 2007-08-14 | 2013-05-21 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Substrate processing apparatus |
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