JPH06337904A - レイアウト検証装置 - Google Patents

レイアウト検証装置

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JPH06337904A
JPH06337904A JP5128883A JP12888393A JPH06337904A JP H06337904 A JPH06337904 A JP H06337904A JP 5128883 A JP5128883 A JP 5128883A JP 12888393 A JP12888393 A JP 12888393A JP H06337904 A JPH06337904 A JP H06337904A
Authority
JP
Japan
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parasitic element
element value
layout
parasitic
data
Prior art date
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Pending
Application number
JP5128883A
Other languages
English (en)
Inventor
Akitoshi Yamazaki
晃稔 山崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
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Publication of JPH06337904A publication Critical patent/JPH06337904A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 プロセスおよびレイアウトデータの変更に対
して寄生素子値の算出を容易にできるレイアウト検証装
置を得る。 【構成】 寄生素子値を寄生素子パラメータ11の関数
で表現した寄生素子値関数を作成する寄生素子値関数作
成部15、および寄生素子パラメータを寄生素子値関数
に代入して寄生素子値を算出する寄生素子値算出部12
を備えている。 【効果】 効率の良いバックアノテーションが行える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、寄生素子の影響を考
慮した半導体集積回路のレイアウト検証装置に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】図11は従来のレイアウト検証装置のシ
ステム図であり、図において、1はレイアウトデータ2
を入力および表示するレイアウトエディタ、3は論理回
路図データ4(以下スケマティックデータという)を入
力および表示するスケマティックエディタ、5はレイア
ウトデータ2とスケマティックデータ4とを比較し、素
子と配線(以下ネットという)との対応データであるレ
イアウト・スケマティック対応データ6を作成するレイ
アウト・スケマティック比較対応部である。7は寄生素
子の構造を定義した寄生素子構造情報、8は寄生素子構
造情報7を用いてレイアウトデータ2から寄生素子を抽
出する寄生素子抽出部、9は抽出された寄生素子の詳細
なデータ10(ジオメトリィパラメータ)を抽出する寄
生素子詳細データ抽出部である。11はプロセス条件に
よって変化する寄生素子のパラメータ(単位長または単
位面積または単位スクエアあたりの寄生素子値であり、
寄生素子値とは寄生的に発生する容量値,抵抗値等のこ
とを示す)、12は寄生素子構造情報7で与えられた定
義を用いて、寄生素子詳細データ10と寄生素子パラメ
ータ11とから寄生素子値を算出する寄生素子値算出
部、13はレイアウト・スケマティック対応データ6を
用いて、スケマティックデータ4(ネットリスト)に抽
出した寄生素子を含めたネットリスト14を作成するネ
ットリスト作成部である。
【0003】次に動作について説明する。レイアウトエ
ディタ1から入力したレイアウトデータ2とスケマティ
ックエディタ3から入力したスケマティックデータ4と
をレイアウト・スケマティック比較対応部5によって比
較し対応づけて、その結果をレイアウト・スケマティッ
ク対応データ6とする。一方、入力したレイアウトデー
タ2と寄生素子の構造や寄生素子値の算出式を定義した
寄生素子構造情報7とを用いて、レイアウトデータ上に
寄生的に存在する素子(寄生素子)を寄生素子抽出部8
で抽出する。次に、抽出された寄生素子のオーバーラッ
プ面積,周辺長,フリンジ長,間隔等のジオメトリィパ
ラメータを寄生素子詳細データ抽出部9で抽出し寄生素
子詳細データ10とする。次に、寄生素子値算出部12
において、寄生素子構造情報7で定義された寄生素子値
の算出式に、寄生素子詳細データ10と寄生素子パラメ
ータ11(単位長もしくは単位面積もしくは単位スクエ
アあたりの寄生素子値)とを代入して寄生素子値を求め
る。次に、ネットリスト作成部13において、レイアウ
ト・スケマティック対応データ6を参照し、上記抽出さ
れた寄生素子とその値をスケマティックデータの対応す
るネットに含め、ネットリスト14を作成する。以上の
動作で作成されたネットリストをもとに回路シミュレー
ション等を行うことにより、寄生素子を考慮したバック
アノテーションを実行しレイアウト検証を行う。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来のレイアウト検証
装置は以上のように構成されているので、寄生素子パラ
メータの変更があった場合に、寄生素子値を算出するた
めには、再度寄生素子を抽出し、該寄生素子の詳細デー
タ(ジオメトリィパラメータ)を抽出しなければなら
ず、効果的なバックアノテーションを行うことが困難で
ある等の問題点があった。
【0005】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、プロセスおよびレイアウトデー
タの変更に対して寄生素子値の算出を容易にできるレイ
アウト検証装置を得ることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明に係るレイアウ
ト検証装置は、寄生素子値を寄生素子パラメータの関数
で表現した寄生素子値関数を作成する寄生素子値関数作
成部、および寄生素子パラメータを寄生素子値関数に代
入して寄生素子値を算出する寄生素子値算出部を備えて
いる。
【0007】また、ネットリストのうちで抽出された寄
生素子が付加しているネットを抽出する対応ネット抽出
部を備えている。
【0008】さらに、レイアウトデータの変更点を抽出
するレイアウトデータ変更点抽出部、およびその変更点
に対応する寄生素子値関数の係数を変更することによっ
て寄生素子値関数を変更する寄生素子値関数変更部を備
えている。
【0009】
【作用】この発明における寄生素子値関数作成部は、レ
イアウトデータから抽出された寄生素子の値を寄生素子
パラメータ(プロセスパラメータ)の関数としてデータ
ベース化し、寄生素子値算出部は寄生素子値パラメータ
を該当する寄生素子値関数に代入することによって寄生
素子値を算出する。
【0010】また、対応ネット抽出部は、作成された寄
生素子値関数をそれに対応するネット上に表示する。
【0011】さらに、レイアウトデータ変更点抽出部は
レイアウトエディタから入力されたレイアウトデータの
変更点を抽出し、寄生素子値関数変更部はその変更点に
対応する寄生素子値関数の係数を変更することによって
寄生素子値関数を変更する。
【0012】
【実施例】
実施例1.以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図1において、1〜14は図11に示した従来装
置のものと同一または相当部分である。15は寄生素子
詳細データ10をもとに、寄生素子値を寄生素子パラメ
ータ11の関数としてデータべース化する寄生素子値関
数作成部、16は寄生素子値関数作成部で作成されて寄
生素子値関数である。
【0013】次に動作について図2のフローチャートを
参照しながら説明する。まず、レイアウトエディタ1か
ら入力したレイアウトデータ2とスケマティックエディ
タ3から入力したスケマティックデータ4とをレイアウ
ト・スケマティック比較対応部5によって比較し対応づ
けて、その結果をレイアウト・スケマティック対応デー
タ6とする(S1)。一方、入力したレイアウトデータ
2から寄生素子構造情報7で定義された構造を持つ寄生
素子を寄生素子抽出部8で抽出する(S2)。次に、抽
出された各寄生素子のオーバーラップ面積,周辺長,フ
リンジ長,間隔等のジオメトリィパラメータを寄生素子
詳細データ抽出部9で抽出し寄生素子詳細データ10と
する(S3)。
【0014】寄生素子構造情報7では寄生素子のタイプ
毎に寄生素子値の算出式が定義されており、寄生素子値
関数作成部15は、上記抽出された寄生素子詳細データ
10を該当する算出式に係数として代入することによっ
て、寄生素子毎の寄生素子値関数16を作成する(S
4)。次に、寄生素子値算出部12は、与えられた寄生
素子パラメータ11を作成された寄生素子値関数16に
代入して寄生素子値を算出する(S5)。一方、ネット
リスト作成部13において、レイアウト・スケマティッ
ク対応データ6を参照し、上記抽出された寄生素子と算
出されたその値をスケマティックデータの対応するネッ
トに含め、ネットリスト14を作成する(S6)。寄生
素子パラメータに変更がある場合は(S7でYESのと
き)、S5にもどって、変更された寄生素子パラメータ
を用いている寄生素子値関数を検索し、そのパラメータ
を代入するだけで新しい寄生素子値が算出でき、ただち
に新しいネットリストを作成する。寄生素子パラメータ
に変更がなければ(S7でNOのとき)、処理を終了す
る。以上により、寄生素子パラメータの変更時に、再度
レイアウトデータから寄生素子を抽出し、寄生素子構造
情報をもとに寄生素子値を求めることなく、変更パラメ
ータを寄生素子値関数に代入するだけで寄生素子値を算
出でき、プロセス変更時の処理が簡単になる。
【0015】以上の動作を具体例を示して説明する。図
3は寄生素子構造情報7の一例であり、式はレイアウ
トデータ上での寄生素子を形成する配線のレイヤ番号を
定義したものである。式は抽出される寄生素子の構造
を定義したもので、レイヤ36のアルミ配線とレイヤ3
3のポリシリコン配線のAND部分にタイプ”C1”の
寄生素子を形成することを示している。式は寄生素子
値(この場合は寄生容量値)の算出式を定義したもの
で、AREAは寄生素子のオーバーラップ面積、PER
Iは寄生素子の周辺長であり、後述のように、後に抽出
される寄生素子詳細データ10がこれである。また、P
1およびP2は寄生素子パラメータであり寄生素子値関
数の変数となる。
【0016】図3に示した例に従って動作を説明する
と、まず式およびをもとに、レイアウトデータ2か
ら寄生素子を抽出し、式から認識すべき寄生素子の詳
細データ(AREAおよびPERI)を抽出する。図4
に示すように、今、AREA=4μm2,PERI=8
μmであるとすると、求める寄生素子値関数は、抽出さ
れる寄生素子のシリーズ番号を1とすると、 1〔C1〕=(4×P1)+(8×P2) となって、寄生素子パラメータP1およびP2の関数と
なる。一方、寄生素子パラメータは寄生素子のタイプ毎
に定義されており、図5に示すように、寄生素子のタイ
プ”C1”についてのパラメータP1およびP2がそれ
ぞれ定義されている。図5(a)のP1およびP2の値
(変更前の寄生素子パラメータ)を上記寄生素子値関数
に代入すると、次式のように寄生素子値が算出される。 1〔C1〕=(4×2.25/1017)+(8×4.28/1017
=43.24/1017〔F〕 この値をもとにネットリストが作成されることになる。
今、図5(b)に示すように寄生素子パラメータP1お
よびP2に変更を行ったとすると、従来では再度レイア
ウトデータから寄生素子を抽出し、その寄生素子の詳細
データを抽出する必要があり、図3に示した寄生素子構
造情報で定義されている算出式に抽出した寄生素子詳
細データ(AREA=4,PERI=8)と変更した寄
生素子パラメータ(P1=2.20×10-17,P2=4.25×1
0-17)とを代入しなければならなかったが、本実施例で
は、上記寄生素子値関数のP1またはP2にその変更さ
れた値を代入するだけで、次式のように、変更に対応す
る新しい寄生素子値が算出される。 1〔C1〕=(4×2.20/1017)+(8×4.25/1017
=42.80/1017〔F〕 この値をもとに新しいネットリストが即座に作成され
る。したがって、寄生素子を抽出し寄生素子値関数を作
成することによって、効率のよいバックアノテーション
が可能となる。
【0017】実施例2.なお、上記実施例1では寄生素
子値関数の作成のみを行うものを示したが、この寄生素
子値関数をレイアウトエディタまたはスケマティックエ
ディタ上の対応するネットに表示するようにしても、同
様の効果が得られる。図6は実施例2によるレイアウト
検証装置を示す構成図であり、図において1〜10およ
び15〜16は実施例1のものと同一部分である。17
は寄生素子値関数15を表示させるべきネットをレイア
ウト・スケマティック対応データ6を用いて抽出する対
応ネット抽出部、18は作成された寄生素子値関数15
をレイアウトエディタ1またはスケマティックエディタ
3上に表示するための表示用データ19を作成する表示
データ作成部である。
【0018】次に動作について図7のフローチャートを
参照しながら説明する。まず、実施例1と同様にして寄
生素子値関数を作成する(S1〜S4)。対応ネット抽
出部17はレイアウト・スケマティック対応データ6を
用いて寄生素子の付加するネットを抽出する(T1)。
表示データ作成部18は、レイアウトエディタまたはス
ケマティックエディタ上の抽出したネットに作成した寄
生素子値関数を表示するための表示用データ19を作成
する(T2)。最後に、作成した表示用データ19を表
示する(T3)。図8にその表示例を示す。以上によ
り、作成した寄生素子値関数が対応するネットとともに
表示され、より効率的なバックアノテーションが可能と
なる。
【0019】実施例3.また、上記実施例1および2に
おいては、寄生素子パラメータの変更に容易に対応でき
る寄生素子値関数を作成するものについて述べたが、実
施例3においては、レイアウトデータの変更に対しても
容易に対応でき得る。図9は実施例3によるレイアウト
検証装置を示す構成図であり、図において1〜16は実
施例1および2のものと同一または相当部分である。2
0はレイアウトデータ2の変更部分を入力し、寄生素子
値関数の係数である寄生素子詳細データ(ジオメトリィ
パラメータ)の変更点を抽出するレイアウトデータ変更
点抽出部である。ただし、寄生素子値関数作成部15a
はレイアウトデータ変更点抽出部20で抽出された寄生
素子詳細データ(ジオメトリィパラメータ)を元の寄生
素子値関数内のデータ(係数)と入れ替えて、新しく寄
生素子値関数を作成するものである。
【0020】次に、動作について図10のフローチャー
トを参照しながら説明する。まず、実施例1と同様にし
て寄生素子を抽出し、作成した寄生素子値関数をもとに
寄生素子値を算出して、寄生素子を含んだネットリスト
を作成する(S1〜S6)。レイアウトデータの変更が
ある場合は(U1でYESのとき)、レイアウトエディ
タ1から変更するレイアウトデータが指定され、レイア
ウトデータ変更点抽出部20は、変更指定されたレイア
ウトデータ2から、寄生素子詳細データの変更点を抽出
し、その結果から各寄生素子値関数の係数を求める(U
2)。最後に、S4にもどって、この変更された係数を
元の寄生素子値関数に代入することにより、レイアウト
データの変更に対応する新しい寄生素子値関数が作成さ
れる。レイアウトデータの変更がない場合は、処理を終
了する。以上により、レイアウトデータ変更時に再度寄
生素子を抽出することなく、変更に対応する寄生素子値
関数の係数の値を変更するだけで新しい寄生素子値が算
出され、効率のよいバックアノテーションが可能とな
る。
【0021】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば寄生素
子値を寄生素子パラメータの関数としたので、寄生素子
パラメータの変更に対して容易に寄生素子値が算出さ
れ、効率の良いバックアノテーションが行える。また、
作成した寄生素子値関数をレイアウトエディタまたはス
ケマティックエディタ上の対応するネットに表示するよ
うにしたので寄生素子の影響が容易に理解できる。さら
に、レイアウトデータに変更があった場合に、寄生素子
値関数の係数部分のみを変更するようにしたので、レイ
アウトデータの変更に対しても、容易に寄生素子値が算
出され、より効率的なバックアノテーションが行えるも
のが得られる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施例1によるレイアウト検証装置
を示す構成図である。
【図2】図1のレイアウト検証装置の動作を示すフロー
チャートである。
【図3】寄生素子構造情報の例を示す図である。
【図4】寄生素子のレイアウトデータの例を示す図であ
る。
【図5】寄生素子パラメータの例を示す図である。
【図6】この発明の実施例2によるレイアウト検証装置
を示す構成図である。
【図7】図6のレイアウト検証装置の動作を示すフロー
チャートである。
【図8】図6のレイアウト検証装置による寄生素子値関
数のレイアウトエディタおよびスケマティックエディタ
上の表示例を示す図である。
【図9】この発明の実施例3によるレイアウト検証装置
を示す構成図である。
【図10】図9のレイアウト検証装置の動作を示すフロ
ーチャートである。
【図11】従来のレイアウト検証装置の動作を示すフロ
ーチャートである。
【符号の説明】
2 レイアウトデータ 8 寄生素子抽出部 11 寄生素子パラメータ 12 寄生素子値算出部 14 ネットリスト 15,15a 寄生素子値関数作成部 16 寄生素子値関数 17 対応ネット抽出部 20 レイアウトデータ変更点抽出部

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体集積回路のレイアウトデータをも
    とに抽出された各寄生素子に対して、寄生素子パラメー
    タをもとに寄生的に発生する容量値,抵抗値等の寄生素
    子値を算出し、寄生素子を含んだ接続情報ファイル(ネ
    ットリスト)をもとにレイアウト検証を行うレイアウト
    検証装置において、 上記寄生素子値を上記寄生素子パラメータの関数で表現
    した寄生素子値関数を作成する寄生素子値関数作成部、
    および上記寄生素子パラメータを上記寄生素子値関数に
    代入して寄生素子値を算出する寄生素子値算出部を備
    え、上記寄生素子パラメータの変更に対し、その変更に
    対応する寄生素子値の変更を容易に行えることを特徴と
    するレイアウト検証装置。
  2. 【請求項2】 ネットリストのうちで抽出された寄生素
    子が付加しているネットを抽出する対応ネット抽出部を
    備え、寄生素子に対応する寄生素子値関数をネットとと
    もに表示することを特徴とする請求項1記載のレイアウ
    ト検証装置。
  3. 【請求項3】 レイアウトデータの変更点を抽出するレ
    イアウトデータ変更点抽出部、およびその変更点に対応
    する寄生素子値関数の係数を変更することによって寄生
    素子値関数を変更する寄生素子値関数変更部を備えたこ
    とを特徴とする請求項1記載のレイアウト検証装置。
JP5128883A 1993-05-31 1993-05-31 レイアウト検証装置 Pending JPH06337904A (ja)

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JP5128883A JPH06337904A (ja) 1993-05-31 1993-05-31 レイアウト検証装置

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JPH06337904A true JPH06337904A (ja) 1994-12-06

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6507936B2 (en) 2000-04-21 2003-01-14 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Timing verifying method
JP2009157573A (ja) * 2007-12-26 2009-07-16 Fujitsu Microelectronics Ltd 半導体装置の製造方法
CN112699630A (zh) * 2020-12-31 2021-04-23 杭州广立微电子股份有限公司 单层连接结构的方块数获取方法及电阻值的计算方法

Cited By (4)

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