JPH06337208A - 立体成形物の形状測定装置 - Google Patents
立体成形物の形状測定装置Info
- Publication number
- JPH06337208A JPH06337208A JP12696293A JP12696293A JPH06337208A JP H06337208 A JPH06337208 A JP H06337208A JP 12696293 A JP12696293 A JP 12696293A JP 12696293 A JP12696293 A JP 12696293A JP H06337208 A JPH06337208 A JP H06337208A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- plate
- image
- light
- image processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 立体成形物の形状測定装置の改良であり、1
軸方向に連続的に成形されている成形物の断面形状を非
破壊的に測定することを可能にする改良である。 【構成】 第1の板状光投光手段1Aと、第1の板状光
投光手段1Aの発する板状の光の照射によって被測定物
体の表面に発生する輝線を含む被写体を撮像する第1の
撮像手段2Aと、第2の板状光投光手段1Bと、第2の
板状光投光手段1Bの発する板状の光の照射によって被
測定物体の裏面に発生する輝線を含む被写体を撮像する
第2の撮像手段2Bと、第1の撮像手段2Aが撮像した
表面の映像と第2の撮像手段2Bが撮像した裏面の映像
とを順次処理するように構成され、映像中の輝線の情報
を被測定物体の輝線のある面の高低の情報に変換する片
側画像処理手段3と、片側画像処理手段3が発する表裏
それぞれの高低の情報にもとづき被測定物体の断面の情
報を作成する断面画像処理装置4とからなる立体成形物
の形状測定装置である。
軸方向に連続的に成形されている成形物の断面形状を非
破壊的に測定することを可能にする改良である。 【構成】 第1の板状光投光手段1Aと、第1の板状光
投光手段1Aの発する板状の光の照射によって被測定物
体の表面に発生する輝線を含む被写体を撮像する第1の
撮像手段2Aと、第2の板状光投光手段1Bと、第2の
板状光投光手段1Bの発する板状の光の照射によって被
測定物体の裏面に発生する輝線を含む被写体を撮像する
第2の撮像手段2Bと、第1の撮像手段2Aが撮像した
表面の映像と第2の撮像手段2Bが撮像した裏面の映像
とを順次処理するように構成され、映像中の輝線の情報
を被測定物体の輝線のある面の高低の情報に変換する片
側画像処理手段3と、片側画像処理手段3が発する表裏
それぞれの高低の情報にもとづき被測定物体の断面の情
報を作成する断面画像処理装置4とからなる立体成形物
の形状測定装置である。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、立体成形物の形状測定
装置の改良に関する。特に、断面形状が1軸方向に連続
的に成形されてなる成形物の断面形状を非破壊的に測定
できるようにする改良に関する。
装置の改良に関する。特に、断面形状が1軸方向に連続
的に成形されてなる成形物の断面形状を非破壊的に測定
できるようにする改良に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、1軸方向に連続的に成形されてな
る成形物の表面の凹凸を非破壊的に測定する方法とし
て、光切断法による方法がある。
る成形物の表面の凹凸を非破壊的に測定する方法とし
て、光切断法による方法がある。
【0003】図9参照 図9は光切断法を使用して被測定物体の表面の凹凸を非
破壊的に測定する方法を説明する斜視図である。図9に
おいて、1は板状光投光手段であり、レーザ発振器11
とレーザ発振器11から発せられるレーザ光線を板状光
13に変換する板状光生成器12とから構成されてい
る。8は矢印Pの方向に連続成形されている被測定物体
であり、14は被測定物体8の表面に板状光13を照射
することによって発生する輝線である。2は撮像手段で
あり、撮像装置21と輝線14が撮像装置21に対して
適度な大きさになるようにするための顕微鏡22とから
構成されている。板状光投光手段1を被測定物体8に対
し斜め方向から照射するように配置し、撮像手段2を被
測定物体8の直上から撮像するように配置すると、撮像
装置21により観測される輝線14の位置より、容易に
被測定物体8の凹凸を計算することができる。
破壊的に測定する方法を説明する斜視図である。図9に
おいて、1は板状光投光手段であり、レーザ発振器11
とレーザ発振器11から発せられるレーザ光線を板状光
13に変換する板状光生成器12とから構成されてい
る。8は矢印Pの方向に連続成形されている被測定物体
であり、14は被測定物体8の表面に板状光13を照射
することによって発生する輝線である。2は撮像手段で
あり、撮像装置21と輝線14が撮像装置21に対して
適度な大きさになるようにするための顕微鏡22とから
構成されている。板状光投光手段1を被測定物体8に対
し斜め方向から照射するように配置し、撮像手段2を被
測定物体8の直上から撮像するように配置すると、撮像
装置21により観測される輝線14の位置より、容易に
被測定物体8の凹凸を計算することができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この従来技
術に係る立体成形物の形状測定装置においては、両面レ
ンチキュラー・レンズ・シート等に代表される表裏両面
に凹凸を有する被測定物体に対しては使用することがで
きず、両面レンチキュラー・レンズ・シート等の形状の
測定は被測定物体の断面を作成する破壊検査によってい
た。
術に係る立体成形物の形状測定装置においては、両面レ
ンチキュラー・レンズ・シート等に代表される表裏両面
に凹凸を有する被測定物体に対しては使用することがで
きず、両面レンチキュラー・レンズ・シート等の形状の
測定は被測定物体の断面を作成する破壊検査によってい
た。
【0005】本発明の目的は、この欠点を解消すること
にあり、1軸方向に連続的に成形されている表裏両面に
凹凸を有する成形物の断面形状を非破壊的に測定できる
装置を提供することにある。
にあり、1軸方向に連続的に成形されている表裏両面に
凹凸を有する成形物の断面形状を非破壊的に測定できる
装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の目的は、下記の装
置のいずれによっても達成することができる。
置のいずれによっても達成することができる。
【0007】1.第1の手段は、被測定物体の表面に板
状の光を投光する第1の板状光投光手段(1A)と、こ
の第1の板状光投光手段(1A)の発する板状の光の照
射によって前記の被測定物体の表面に発生する輝線を含
む被写体を撮像する第1の撮像手段(2A)と、前記の
被測定物体の裏面に板状の光を投光する第2の板状光投
光手段(1B)と、この第2の板状光投光手段(1B)
の発する板状の光の照射によって前記の被測定物体の裏
面に発生する輝線を含む被写体を撮像する第2の撮像手
段(2B)と、前記の第1の撮像手段(2A)が撮像し
た表面の映像と前記の第2の撮像手段(2B)が撮像し
た裏面の映像とを順次処理するように構成され、この映
像中の輝線の情報を前記の被測定物体の輝線のある面の
高低の情報に変換する片側画像処理手段(3)と、この
片側画像処理手段(3)が発する表裏それぞれの高低の
情報にもとづき前記の被測定物体の断面の情報を作成す
る断面画像処理手段(4)とからなる立体成形物の形状
測定装置である。
状の光を投光する第1の板状光投光手段(1A)と、こ
の第1の板状光投光手段(1A)の発する板状の光の照
射によって前記の被測定物体の表面に発生する輝線を含
む被写体を撮像する第1の撮像手段(2A)と、前記の
被測定物体の裏面に板状の光を投光する第2の板状光投
光手段(1B)と、この第2の板状光投光手段(1B)
の発する板状の光の照射によって前記の被測定物体の裏
面に発生する輝線を含む被写体を撮像する第2の撮像手
段(2B)と、前記の第1の撮像手段(2A)が撮像し
た表面の映像と前記の第2の撮像手段(2B)が撮像し
た裏面の映像とを順次処理するように構成され、この映
像中の輝線の情報を前記の被測定物体の輝線のある面の
高低の情報に変換する片側画像処理手段(3)と、この
片側画像処理手段(3)が発する表裏それぞれの高低の
情報にもとづき前記の被測定物体の断面の情報を作成す
る断面画像処理手段(4)とからなる立体成形物の形状
測定装置である。
【0008】2.第2の手段は、投光手段(1C)と、
この投光手段(1C)の発する光を被測定物体の表面と
裏面との相互間に切り換え、板状の光に変換して投光す
る投光切換・板状光変換手段(1D)と、前記の投光手
段(1C)と前記の投光切換・板状光変換手段(1D)
とによって前記の被測定物体の表面に発生する輝線を含
む被写体を撮像する第1の撮像手段(2A)と、前記の
投光手段(1C)と前記の投光切換・板状光変換手段
(1D)とによって前記の被測定物体の裏面に発生する
輝線を含む被写体を撮像する第2の撮像手段(2B)
と、前記の第1の撮像手段(2A)が撮像した表面の映
像と前記の第2の撮像手段(2B)が撮像した裏面の映
像とを順次処理するように構成され、この映像中の輝線
の情報を前記の被測定物体の輝線のある面の高低の情報
に変換する片側画像処理手段(3)と、この片側画像処
理手段(3)が発する表裏それぞれの高低の情報にもと
づき前記の被測定物体の断面の情報を作成する断面画像
処理手段(4)とからなる立体成形物の形状測定装置で
ある。
この投光手段(1C)の発する光を被測定物体の表面と
裏面との相互間に切り換え、板状の光に変換して投光す
る投光切換・板状光変換手段(1D)と、前記の投光手
段(1C)と前記の投光切換・板状光変換手段(1D)
とによって前記の被測定物体の表面に発生する輝線を含
む被写体を撮像する第1の撮像手段(2A)と、前記の
投光手段(1C)と前記の投光切換・板状光変換手段
(1D)とによって前記の被測定物体の裏面に発生する
輝線を含む被写体を撮像する第2の撮像手段(2B)
と、前記の第1の撮像手段(2A)が撮像した表面の映
像と前記の第2の撮像手段(2B)が撮像した裏面の映
像とを順次処理するように構成され、この映像中の輝線
の情報を前記の被測定物体の輝線のある面の高低の情報
に変換する片側画像処理手段(3)と、この片側画像処
理手段(3)が発する表裏それぞれの高低の情報にもと
づき前記の被測定物体の断面の情報を作成する断面画像
処理手段(4)とからなる立体成形物の形状測定装置で
ある。
【0009】3.第3の手段は、被測定物体の表面に板
状の光を投光する第1の板状光投光手段(1A)と、こ
の第1の板状光投光手段(1A)の発する板状の光の照
射によって前記の被測定物体の表面に発生する輝線を含
む被写体を撮像する第1の撮像手段(2A)と、前記の
被測定物体の裏面に板状の光を投光する第2の板状光投
光手段(1B)と、この第2の板状光投光手段(1B)
の発する板状の光の照射によって前記の被測定物体の裏
面に発生する輝線を含む被写体を撮像する第2の撮像手
段(2B)と、前記の第1の撮像手段(2A)が撮像し
た表面の映像と前記の第2の撮像手段(2B)が撮像し
た裏面の映像とを並列して処理するように構成され、こ
の映像中の輝線の情報を前記の被測定物体の輝線のある
面の高低の情報に変換する2組の片側画像処理手段
(3)と、この2組の片側画像処理手段(3)が発する
表裏それぞれの高低の情報にもとづき前記の被測定物体
の断面の情報を作成する断面画像処理手段(4)とから
なる立体成形物の形状測定装置である。
状の光を投光する第1の板状光投光手段(1A)と、こ
の第1の板状光投光手段(1A)の発する板状の光の照
射によって前記の被測定物体の表面に発生する輝線を含
む被写体を撮像する第1の撮像手段(2A)と、前記の
被測定物体の裏面に板状の光を投光する第2の板状光投
光手段(1B)と、この第2の板状光投光手段(1B)
の発する板状の光の照射によって前記の被測定物体の裏
面に発生する輝線を含む被写体を撮像する第2の撮像手
段(2B)と、前記の第1の撮像手段(2A)が撮像し
た表面の映像と前記の第2の撮像手段(2B)が撮像し
た裏面の映像とを並列して処理するように構成され、こ
の映像中の輝線の情報を前記の被測定物体の輝線のある
面の高低の情報に変換する2組の片側画像処理手段
(3)と、この2組の片側画像処理手段(3)が発する
表裏それぞれの高低の情報にもとづき前記の被測定物体
の断面の情報を作成する断面画像処理手段(4)とから
なる立体成形物の形状測定装置である。
【0010】4.1項または3項の立体成形物の形状測
定装置において、前記の第1の撮像手段(2A)は映像
を予め定められた時間取り込む第1のシャッタ手段(5
A)を有し、前記の第2の撮像手段(2B)は映像を予
め定められた時間取り込む第2のシャッタ手段(5B)
を有していると、前記の被測定物体が移動している場合
であっても、第1のシャッタ手段(5A)および第2の
シャッタ手段(5B)により、第1の撮像手段(2A)
および第2の撮像手段(2B)に短時間だけ映像を取り
込むことができるので、取り込む映像が流れることがな
く都合がよい。
定装置において、前記の第1の撮像手段(2A)は映像
を予め定められた時間取り込む第1のシャッタ手段(5
A)を有し、前記の第2の撮像手段(2B)は映像を予
め定められた時間取り込む第2のシャッタ手段(5B)
を有していると、前記の被測定物体が移動している場合
であっても、第1のシャッタ手段(5A)および第2の
シャッタ手段(5B)により、第1の撮像手段(2A)
および第2の撮像手段(2B)に短時間だけ映像を取り
込むことができるので、取り込む映像が流れることがな
く都合がよい。
【0011】5.1項、3項、または、4項の立体成形
物の形状測定装置において、前記の断面画像処理手段
(4)は、前記の被測定物体の表面および裏面それぞれ
の規定画像の情報を記憶するテンプレート・データ用メ
モリ(4A)を有し、このテンプレート・データ用メモ
リ(4A)にもとづく情報と前記の被測定物体より得た
前記の情報とを比較演算することができるようにしてあ
ると、容易に被測定物体の良否判定や差異の程度の判定
ができるので都合がよい。
物の形状測定装置において、前記の断面画像処理手段
(4)は、前記の被測定物体の表面および裏面それぞれ
の規定画像の情報を記憶するテンプレート・データ用メ
モリ(4A)を有し、このテンプレート・データ用メモ
リ(4A)にもとづく情報と前記の被測定物体より得た
前記の情報とを比較演算することができるようにしてあ
ると、容易に被測定物体の良否判定や差異の程度の判定
ができるので都合がよい。
【0012】6.1項、3項、4項、または、5項の立
体成形物の形状測定装置において、前記の第1の板状光
投光手段(1A)の光源の波長と、前記の第2の板状光
投光手段(1B)の光源の波長とは互いに異なるように
してあると、被測定物体が透明であっても、表裏の輝線
の色が異なり、表裏の輝線を分離することができるので
都合がよい。
体成形物の形状測定装置において、前記の第1の板状光
投光手段(1A)の光源の波長と、前記の第2の板状光
投光手段(1B)の光源の波長とは互いに異なるように
してあると、被測定物体が透明であっても、表裏の輝線
の色が異なり、表裏の輝線を分離することができるので
都合がよい。
【0013】7.6項の立体成形物の形状測定装置にお
いて、前記の第1の撮像手段(2A)は、前記の第1の
板状光投光手段(1A)の光源の波長の光だけを透過さ
せる第1のバンドパス・フィルタ(6A)を有し、前記
の第2の撮像手段(2B)は、前記の第2の板状光投光
手段(1B)の光源の波長の光だけを透過させる第2の
バンドパス・フィルタ(6B)を有していると、被測定
物体が透明であっても、被測定物体の片側の面の情報を
選択的に取得できるので都合がよい。
いて、前記の第1の撮像手段(2A)は、前記の第1の
板状光投光手段(1A)の光源の波長の光だけを透過さ
せる第1のバンドパス・フィルタ(6A)を有し、前記
の第2の撮像手段(2B)は、前記の第2の板状光投光
手段(1B)の光源の波長の光だけを透過させる第2の
バンドパス・フィルタ(6B)を有していると、被測定
物体が透明であっても、被測定物体の片側の面の情報を
選択的に取得できるので都合がよい。
【0014】8.6項の立体成形物の形状測定装置にお
いて、前記の片側画像処理手段(3)は、この片側画像
処理手段(3)に入力される前記の映像の色を色分解す
る色分解手段(7)を有していると、被測定物体が透明
であっても、被測定物体の片側の面の情報を選択的に取
得できるので都合がよい。
いて、前記の片側画像処理手段(3)は、この片側画像
処理手段(3)に入力される前記の映像の色を色分解す
る色分解手段(7)を有していると、被測定物体が透明
であっても、被測定物体の片側の面の情報を選択的に取
得できるので都合がよい。
【0015】
【作用】本発明に係る立体成形物の形状測定装置は上記
のように構成されているので、被測定物体の表面と裏面
とは、第1の板状光投光手段1Aと第2の板状光投光手
段1Bとによる板状光によって、または、投光手段1C
と投光切換・板状光変換手段1Dとによる板状光によっ
て照射される。そうすると、被測定物体の表面と裏面と
の凹凸が、第1の撮像手段2Aと第2の撮像手段2Bと
により観測され、片側画像処理手段3により被測定物体
の表裏それぞれの高低の情報が確定され、断面画像処理
手段4においては、立体成形物の形状測定装置の幾何学
的配置条件により定まる、表裏輝線の断面方向の距離
と、被測定物体の表裏を照射する板状光それぞれの起点
間の距離とを参照して、表裏それぞれの高低の情報から
被測定物体の断面形状を確定することができる。
のように構成されているので、被測定物体の表面と裏面
とは、第1の板状光投光手段1Aと第2の板状光投光手
段1Bとによる板状光によって、または、投光手段1C
と投光切換・板状光変換手段1Dとによる板状光によっ
て照射される。そうすると、被測定物体の表面と裏面と
の凹凸が、第1の撮像手段2Aと第2の撮像手段2Bと
により観測され、片側画像処理手段3により被測定物体
の表裏それぞれの高低の情報が確定され、断面画像処理
手段4においては、立体成形物の形状測定装置の幾何学
的配置条件により定まる、表裏輝線の断面方向の距離
と、被測定物体の表裏を照射する板状光それぞれの起点
間の距離とを参照して、表裏それぞれの高低の情報から
被測定物体の断面形状を確定することができる。
【0016】
【実施例】以下、図面を参照して本発明に係る立体成形
物の形状測定装置についてさらに詳細に説明する。
物の形状測定装置についてさらに詳細に説明する。
【0017】第1実施例(請求項1に対応) 図1参照 図1は第1実施例に係る立体成形物の形状測定装置の概
略構成を示す説明図である。図1において、1Aは第1
の板状光投光手段であり、第1のレーザ発振器11Aと
この第1のレーザ発振器11Aから発せられるレーザ光
線を第1の板状光13Aに変換する第1の板状光生成器
12Aとから構成されている。1Bは第2の板状光投光
手段であり、第2のレーザ発振器11Bとこの第2のレ
ーザ発振器11Bから発せられるレーザ光線を第2の板
状光13Bに変換する第2の板状光生成器12Bとから
構成されている。第1のレーザ発振器11Aと第2のレ
ーザ発振器11Bとは、ともに、発光波長543.5n
m(緑色)のヘリウム・ネオン・レーザを用いている
が、発光波長が543.5nmである必要はなく、ま
た、第1と第2の発光波長が同一である必然性もない。
ただ、レーザ光であれば、容易に板状光となしうる。第
1の板状光13Aと第2の板状光13Bとは、ともに、
紙面と直角の方向に板状となっている。点状のレーザ光
を板状光に変換するには、光学素子を利用して、ある1
方向に拡張し、平行にする方法や、ポリゴンミラー等を
利用して、ある1方向に走査し、平行化する方法が一般
に知られているが、いずれの方法を利用しても測定には
特に問題はない。8は矢印Pの方向に連続成形されてい
る断面形状が図8に示す白色ポリプロピレンからなる被
測定物体であり、被測定物体保持台9により保持されて
いる。14Aおよび14Bは被測定物体8の表裏面に、
図示するように斜め45°方向から、第1の板状光13
Aおよび第2の板状光13Bによって照射されて発生し
た第1の輝線および第2の輝線である。第1の板状光1
3Aおよび第2の板状光13Bの入射角は、面の凹凸の
形状に適した角度があればよく、特に45°に限定され
るものではない。
略構成を示す説明図である。図1において、1Aは第1
の板状光投光手段であり、第1のレーザ発振器11Aと
この第1のレーザ発振器11Aから発せられるレーザ光
線を第1の板状光13Aに変換する第1の板状光生成器
12Aとから構成されている。1Bは第2の板状光投光
手段であり、第2のレーザ発振器11Bとこの第2のレ
ーザ発振器11Bから発せられるレーザ光線を第2の板
状光13Bに変換する第2の板状光生成器12Bとから
構成されている。第1のレーザ発振器11Aと第2のレ
ーザ発振器11Bとは、ともに、発光波長543.5n
m(緑色)のヘリウム・ネオン・レーザを用いている
が、発光波長が543.5nmである必要はなく、ま
た、第1と第2の発光波長が同一である必然性もない。
ただ、レーザ光であれば、容易に板状光となしうる。第
1の板状光13Aと第2の板状光13Bとは、ともに、
紙面と直角の方向に板状となっている。点状のレーザ光
を板状光に変換するには、光学素子を利用して、ある1
方向に拡張し、平行にする方法や、ポリゴンミラー等を
利用して、ある1方向に走査し、平行化する方法が一般
に知られているが、いずれの方法を利用しても測定には
特に問題はない。8は矢印Pの方向に連続成形されてい
る断面形状が図8に示す白色ポリプロピレンからなる被
測定物体であり、被測定物体保持台9により保持されて
いる。14Aおよび14Bは被測定物体8の表裏面に、
図示するように斜め45°方向から、第1の板状光13
Aおよび第2の板状光13Bによって照射されて発生し
た第1の輝線および第2の輝線である。第1の板状光1
3Aおよび第2の板状光13Bの入射角は、面の凹凸の
形状に適した角度があればよく、特に45°に限定され
るものではない。
【0018】2Aは第1の撮像手段であり、第1の撮像
装置21Aと第1の顕微鏡22Aとから構成されてい
る。2Bは第2の撮像手段であり、第2の撮像装置21
Bと第2の顕微鏡22Bとから構成されている。第1の
顕微鏡22Aと第2の顕微鏡22Bとは、観察すべき凹
凸の大きさに応じて、倍率を変えて、映像が適度の大き
さになるようにする機能を担わせている。第1の撮像手
段2Aおよび第2の撮像手段2Bは、被測定物体8の表
面および裏面にある、第1の輝線14Aおよび第2の輝
線14Bのそれぞれを撮像するように配置されている。
第1の撮像装置21Aおよび第2の撮像装置21Bから
出力される被測定物体8の表面および裏面の映像信号
は、映像信号切換装置10により被測定物体8の表面お
よび裏面のいずれかの映像信号が選択されて、片側画像
処理装置31とフレーム・メモリ32とからなる片側画
像処理手段3に入力される。片側画像処理手段3に入力
された信号は、片側画像処理装置31を経由しフレーム
・メモリ32へ画像データとして転送される。フレーム
・メモリ32に蓄積された画像データは、片側画像処理
装置31において、雑音除去され、画像強調処理され、
エッジ強調処理され、エッジ検出処理され、高低差デー
タへ変換処理される。これらの画像処理の結果は、画像
処理装置コントローラ等からなる断面画像処理手段4に
入力されるとゝもに、断面画像処理手段4に接続されて
いる表示装置41の表示画面上にて確認することができ
る。
装置21Aと第1の顕微鏡22Aとから構成されてい
る。2Bは第2の撮像手段であり、第2の撮像装置21
Bと第2の顕微鏡22Bとから構成されている。第1の
顕微鏡22Aと第2の顕微鏡22Bとは、観察すべき凹
凸の大きさに応じて、倍率を変えて、映像が適度の大き
さになるようにする機能を担わせている。第1の撮像手
段2Aおよび第2の撮像手段2Bは、被測定物体8の表
面および裏面にある、第1の輝線14Aおよび第2の輝
線14Bのそれぞれを撮像するように配置されている。
第1の撮像装置21Aおよび第2の撮像装置21Bから
出力される被測定物体8の表面および裏面の映像信号
は、映像信号切換装置10により被測定物体8の表面お
よび裏面のいずれかの映像信号が選択されて、片側画像
処理装置31とフレーム・メモリ32とからなる片側画
像処理手段3に入力される。片側画像処理手段3に入力
された信号は、片側画像処理装置31を経由しフレーム
・メモリ32へ画像データとして転送される。フレーム
・メモリ32に蓄積された画像データは、片側画像処理
装置31において、雑音除去され、画像強調処理され、
エッジ強調処理され、エッジ検出処理され、高低差デー
タへ変換処理される。これらの画像処理の結果は、画像
処理装置コントローラ等からなる断面画像処理手段4に
入力されるとゝもに、断面画像処理手段4に接続されて
いる表示装置41の表示画面上にて確認することができ
る。
【0019】画像処理装置コントローラ等からなる断面
画像処理手段4は、映像信号切換装置10に第1の撮像
手段2Aの映像信号を選択するよう指令し、片側画像処
理装置31より被測定物体8の表面の画像処理の結果を
受信すると、引き続いて、映像信号切換装置10に第2
の撮像手段2Bの映像信号を選択するよう指令する。片
側画像処理装置31は被測定物体8の裏面の画像処理を
行い、被測定物体8の裏面の画像処理の結果を画像処理
装置コントローラ11に出力する。
画像処理手段4は、映像信号切換装置10に第1の撮像
手段2Aの映像信号を選択するよう指令し、片側画像処
理装置31より被測定物体8の表面の画像処理の結果を
受信すると、引き続いて、映像信号切換装置10に第2
の撮像手段2Bの映像信号を選択するよう指令する。片
側画像処理装置31は被測定物体8の裏面の画像処理を
行い、被測定物体8の裏面の画像処理の結果を画像処理
装置コントローラ11に出力する。
【0020】画像処理装置コントローラ等からなる断面
画像処理手段4は、予め入力されている、立体成形物の
形状測定装置の幾何学的配置条件により定まる、表裏輝
線の立体成形物の板厚方向の距離と、被測定物体の表裏
を照射する板状光それぞれの起点間の距離とを参照し
て、表裏それぞれの高低差データから、被測定物体の断
面の寸法を十分な精度で測定することができる。例え
ば、図8に示すa、b、c等の寸法を十分な精度で測定
することができる。
画像処理手段4は、予め入力されている、立体成形物の
形状測定装置の幾何学的配置条件により定まる、表裏輝
線の立体成形物の板厚方向の距離と、被測定物体の表裏
を照射する板状光それぞれの起点間の距離とを参照し
て、表裏それぞれの高低差データから、被測定物体の断
面の寸法を十分な精度で測定することができる。例え
ば、図8に示すa、b、c等の寸法を十分な精度で測定
することができる。
【0021】第2実施例(請求項2に対応) 図2参照 図2は第2実施例に係る立体成形物の形状測定装置の概
略構成を示す説明図である。図2において、図1と同一
記号のものは同一の機能であるので説明を省略する。1
Cは発光波長が543.5nm(緑色)のヘリウム・ネ
オン・レーザからなる投光手段である。1Dは、投光手
段1Cが発するレーザ光線を第1の板状光13Aと第2
の板状光13Bとに切り換え・変換する投光切換・板状
光変換手段であり、第1の板状光生成器12Aと第2の
板状光生成器12Bと第1のミラー15Aと第2のミラ
ー15Bと光路変更用可動鏡15Cとから構成されてい
る。投光切換・板状光変換手段1Dは、図1に示す第1
実施例と同様に斜め45°方向から、被測定物体8の表
裏面を照射している。この斜め45°の入射角は、第1
実施例に記したと同様に、特に45°に限定されるもの
ではない。
略構成を示す説明図である。図2において、図1と同一
記号のものは同一の機能であるので説明を省略する。1
Cは発光波長が543.5nm(緑色)のヘリウム・ネ
オン・レーザからなる投光手段である。1Dは、投光手
段1Cが発するレーザ光線を第1の板状光13Aと第2
の板状光13Bとに切り換え・変換する投光切換・板状
光変換手段であり、第1の板状光生成器12Aと第2の
板状光生成器12Bと第1のミラー15Aと第2のミラ
ー15Bと光路変更用可動鏡15Cとから構成されてい
る。投光切換・板状光変換手段1Dは、図1に示す第1
実施例と同様に斜め45°方向から、被測定物体8の表
裏面を照射している。この斜め45°の入射角は、第1
実施例に記したと同様に、特に45°に限定されるもの
ではない。
【0022】第1の撮像手段2Aと第2の撮像手段2B
と片側画像処理手段3と断面画像処理手段4と映像信号
切換装置10とは、第1実施例と同様に構成されている
ので、第1実施例と同様に被測定物体の断面の寸法を十
分な精度で測定することができる。
と片側画像処理手段3と断面画像処理手段4と映像信号
切換装置10とは、第1実施例と同様に構成されている
ので、第1実施例と同様に被測定物体の断面の寸法を十
分な精度で測定することができる。
【0023】第3実施例(請求項3に対応) 図3参照 図3は第3実施例に係る立体成形物の形状測定装置の概
略構成を示す説明図である。図3において、図1と同一
記号のものは同一の機能であるので説明を省略する。片
側画像処理装置31とフレーム・メモリ32とからなる
片側画像処理手段3は、2組あり、それぞれ第1の撮像
手段2Aと第2の撮像手段2Bとの出力が入力されるよ
うに構成されている。2組の片側画像処理手段3は、同
時に平行して画像処理することができる。断面画像処理
手段4には、2組の片側画像処理手段3のそれぞれか
ら、画像処理の結果が出力されることになり、第1実施
例と同様に被測定物体の断面の寸法を十分な精度で測定
することができる。
略構成を示す説明図である。図3において、図1と同一
記号のものは同一の機能であるので説明を省略する。片
側画像処理装置31とフレーム・メモリ32とからなる
片側画像処理手段3は、2組あり、それぞれ第1の撮像
手段2Aと第2の撮像手段2Bとの出力が入力されるよ
うに構成されている。2組の片側画像処理手段3は、同
時に平行して画像処理することができる。断面画像処理
手段4には、2組の片側画像処理手段3のそれぞれか
ら、画像処理の結果が出力されることになり、第1実施
例と同様に被測定物体の断面の寸法を十分な精度で測定
することができる。
【0024】第4実施例(請求項4に対応) 図4参照 図4は第4実施例に係る立体成形物の形状測定装置の概
略構成を示す説明図である。図4において、図1と同一
記号のものは同一の機能であるので説明を省略する。5
Aは第1のシャッタコントローラ等からなる第1のシャ
ッタ手段であり、5Bは第2のシャッタコントローラ等
からなる第2のシャッタ手段であり、第1のシャッタ手
段5Aと第2のシャッタ手段5Bとは、シャッタが開い
ている短時間だけ、映像がそれぞれ、第1の撮像装置2
1Aと第2の撮像装置21Bとに入射するようにされて
いる。
略構成を示す説明図である。図4において、図1と同一
記号のものは同一の機能であるので説明を省略する。5
Aは第1のシャッタコントローラ等からなる第1のシャ
ッタ手段であり、5Bは第2のシャッタコントローラ等
からなる第2のシャッタ手段であり、第1のシャッタ手
段5Aと第2のシャッタ手段5Bとは、シャッタが開い
ている短時間だけ、映像がそれぞれ、第1の撮像装置2
1Aと第2の撮像装置21Bとに入射するようにされて
いる。
【0025】このため、第1のシャッタ手段5Aと第2
のシャッタ手段5Bとのシャッタ開口時間が1/125
秒程度に設定してあれば、被測定物体の断面の寸法を十
分な精度で測定することができる。
のシャッタ手段5Bとのシャッタ開口時間が1/125
秒程度に設定してあれば、被測定物体の断面の寸法を十
分な精度で測定することができる。
【0026】なお、板状光投光手段は、第2実施例に示
す構成を採ってもよいことは勿論である。また、映像信
号切換装置10は使用しないで、第3実施例に示すよう
に、片側画像処理手段3を2組使用するようにしてもよ
い。
す構成を採ってもよいことは勿論である。また、映像信
号切換装置10は使用しないで、第3実施例に示すよう
に、片側画像処理手段3を2組使用するようにしてもよ
い。
【0027】第5実施例(請求項5に対応) 図5参照 図5は第5実施例に係る立体成形物の形状測定装置の概
略構成を示す説明図である。図5において、図1と同一
記号のものは同一の機能であるので説明を省略する。4
Aは、テンプレート・データ用メモリであり、被測定物
体8の基準となるべき画像データを記憶するメモリであ
る。例えば、図8に示す断面を有する金属部材を正確に
製作し、この金属部材を被測定物体8として得た画像情
報をこのテンプレート・データ用メモリ4Aに記憶させ
ておく。次いで、白色ポリエチレンの成形品を被測定物
体8として画像情報を取得し、テンプレート・データ用
メモリ4Aに記憶させてある画像情報と比較することに
より、白色ポリエチレンの成形品の良否判定や差異の程
度の判定ができる。
略構成を示す説明図である。図5において、図1と同一
記号のものは同一の機能であるので説明を省略する。4
Aは、テンプレート・データ用メモリであり、被測定物
体8の基準となるべき画像データを記憶するメモリであ
る。例えば、図8に示す断面を有する金属部材を正確に
製作し、この金属部材を被測定物体8として得た画像情
報をこのテンプレート・データ用メモリ4Aに記憶させ
ておく。次いで、白色ポリエチレンの成形品を被測定物
体8として画像情報を取得し、テンプレート・データ用
メモリ4Aに記憶させてある画像情報と比較することに
より、白色ポリエチレンの成形品の良否判定や差異の程
度の判定ができる。
【0028】なお、板状光投光手段は、第2実施例に示
す構成を採ってもよいことは勿論である。また、映像信
号切換装置10は使用しないで、第3実施例に示すよう
に、片側画像処理手段3を2組使用するようにしてもよ
い。さらに、第4実施例に示すシャッタ手段を付加して
もよい。
す構成を採ってもよいことは勿論である。また、映像信
号切換装置10は使用しないで、第3実施例に示すよう
に、片側画像処理手段3を2組使用するようにしてもよ
い。さらに、第4実施例に示すシャッタ手段を付加して
もよい。
【0029】第6実施例 (請求項6に関連・請求項7に対応) 図6参照 図6は第6実施例に係る立体成形物の形状測定装置の概
略構成を示す説明図である。図6において、図1と同一
記号のものは同一の機能であるので説明を省略する。本
実施例において、被測定物体8は無色透明のポリメタア
クリレートの成形品であるので、第1のレーザ発振器1
1Aと第2のレーザ発振器11Bとに、それぞれ、発光
波長488.0nm(青色)のアルゴン・レーザと発光
波長647.1nm(赤色)のクリプトン・レーザを採
用している。このように表面と裏面とから照射するレー
ザ光の波長を変えることによって、被測定物体8の表面
から観測したとき、第1の撮像装置21Aの視野の中に
存在する被測定物体8の裏面で発生する第2の輝線14
Bを、被測定物体8の表面で発生する第1の輝線14A
から分離識別する可能性が生じる。すなわち、波長48
8.0nmの光は透過し、波長647.1nmの光は遮
断する第1のバンドパス・フィルタ6Aを第1の輝線1
4Aと第1の撮像装置21Aとの間に設置することで、
第2の輝線14Bを第1の輝線14Aから分離すること
が可能となる。同様に波長647.1nmの光は透過
し、波長488.0nmの光は遮断する第2のバンドパ
ス・フィルタ6Bを第1の輝線14Aと第1の撮像装置
21Aとの間に設置することで、第2の撮像装置21B
の視野の中から第1の輝線14Aを分離し、第2の輝線
14Bのみを観測することが可能となる。
略構成を示す説明図である。図6において、図1と同一
記号のものは同一の機能であるので説明を省略する。本
実施例において、被測定物体8は無色透明のポリメタア
クリレートの成形品であるので、第1のレーザ発振器1
1Aと第2のレーザ発振器11Bとに、それぞれ、発光
波長488.0nm(青色)のアルゴン・レーザと発光
波長647.1nm(赤色)のクリプトン・レーザを採
用している。このように表面と裏面とから照射するレー
ザ光の波長を変えることによって、被測定物体8の表面
から観測したとき、第1の撮像装置21Aの視野の中に
存在する被測定物体8の裏面で発生する第2の輝線14
Bを、被測定物体8の表面で発生する第1の輝線14A
から分離識別する可能性が生じる。すなわち、波長48
8.0nmの光は透過し、波長647.1nmの光は遮
断する第1のバンドパス・フィルタ6Aを第1の輝線1
4Aと第1の撮像装置21Aとの間に設置することで、
第2の輝線14Bを第1の輝線14Aから分離すること
が可能となる。同様に波長647.1nmの光は透過
し、波長488.0nmの光は遮断する第2のバンドパ
ス・フィルタ6Bを第1の輝線14Aと第1の撮像装置
21Aとの間に設置することで、第2の撮像装置21B
の視野の中から第1の輝線14Aを分離し、第2の輝線
14Bのみを観測することが可能となる。
【0030】第1の撮像装置21Aと第2の撮像装置2
1Bとは、カラーの映像を受像できることが望ましい。
1Bとは、カラーの映像を受像できることが望ましい。
【0031】なお、映像信号切換装置10は使用しない
で、第3実施例に示すように、片側画像処理手段3を2
組使用するようにしてもよい。また、第4実施例に示す
シャッタ手段を付加してもよい。さらに、第5実施例に
示すように、テンプレート・データ用メモリ4Aを有し
ていてもよい。
で、第3実施例に示すように、片側画像処理手段3を2
組使用するようにしてもよい。また、第4実施例に示す
シャッタ手段を付加してもよい。さらに、第5実施例に
示すように、テンプレート・データ用メモリ4Aを有し
ていてもよい。
【0032】第7実施例(請求項8に対応) 図7参照 図7は第7実施例に係る立体成形物の形状測定装置の概
略構成を示す説明図である。図7において、図1と同一
記号のものは同一の機能であるので説明を省略する。本
実施例において、被測定物体8は無色透明のポリメタア
クリレートの成形品であるので、第1のレーザ発振器1
1Aと第2のレーザ発振器11Bとに、それぞれ、発光
波長488.0nm(青色)のアルゴン・レーザと発光
波長647.1nm(赤色)のクリプトン・レーザを採
用している。第1の撮像装置21Aと第2の撮像装置2
1Bとは、カラーの映像を受像できる撮像装置である。
7は色分解装置等からなる色分解手段であり、カラーの
映像信号を出力する映像信号切換装置10と片側画像処
理装置31との間に挿入して、色分解手段7により色分
解した信号を片側画像処理装置31とフレーム・メモリ
32とからなる片側画像処理手段3で画像処理すること
によって、第1の撮像装置21Aからの映像信号から
は、第1の輝線14Aのみの信号を抽出し、第2の撮像
装置21Bからの映像信号からは、第2の輝線14Bの
みの信号を抽出するようにしている。
略構成を示す説明図である。図7において、図1と同一
記号のものは同一の機能であるので説明を省略する。本
実施例において、被測定物体8は無色透明のポリメタア
クリレートの成形品であるので、第1のレーザ発振器1
1Aと第2のレーザ発振器11Bとに、それぞれ、発光
波長488.0nm(青色)のアルゴン・レーザと発光
波長647.1nm(赤色)のクリプトン・レーザを採
用している。第1の撮像装置21Aと第2の撮像装置2
1Bとは、カラーの映像を受像できる撮像装置である。
7は色分解装置等からなる色分解手段であり、カラーの
映像信号を出力する映像信号切換装置10と片側画像処
理装置31との間に挿入して、色分解手段7により色分
解した信号を片側画像処理装置31とフレーム・メモリ
32とからなる片側画像処理手段3で画像処理すること
によって、第1の撮像装置21Aからの映像信号から
は、第1の輝線14Aのみの信号を抽出し、第2の撮像
装置21Bからの映像信号からは、第2の輝線14Bの
みの信号を抽出するようにしている。
【0033】このようにして、被測定物体8が透明であ
っても、被測定物体8の断面形状の測定を可能にしてい
る。
っても、被測定物体8の断面形状の測定を可能にしてい
る。
【0034】なお、映像信号切換装置10は使用しない
で、第3実施例に示すように、片側画像処理手段3を2
組使用するようにしてもよい。また、第4実施例に示す
シャッタ手段を付加してもよい。さらに、第5実施例に
示すように、テンプレート・データ用メモリ4Aを有し
ていてもよい。
で、第3実施例に示すように、片側画像処理手段3を2
組使用するようにしてもよい。また、第4実施例に示す
シャッタ手段を付加してもよい。さらに、第5実施例に
示すように、テンプレート・データ用メモリ4Aを有し
ていてもよい。
【0035】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明に係る立体
成形物の形状測定装置においては、板状光を凹凸のある
測定面に照射して、生じた輝線の映像を撮像装置で取り
込み、映像中の輝線の位置と、予め与えられている立体
成形物の形状測定装置の幾何学的配置条件によって決ま
る定数を参照して、被測定面の凹凸を測定する光切断法
を利用し、被測定物体の表裏両面に光切断法による立体
成形物の形状測定装置を配置し、被測定物体の表裏両面
の凹凸を測定し、表裏両面に配置された立体成形物の形
状測定装置の幾何学的配置条件によって決まる定数を参
照して、被測定物体の断面形状を非破壊的に測定するこ
とを可能にした。
成形物の形状測定装置においては、板状光を凹凸のある
測定面に照射して、生じた輝線の映像を撮像装置で取り
込み、映像中の輝線の位置と、予め与えられている立体
成形物の形状測定装置の幾何学的配置条件によって決ま
る定数を参照して、被測定面の凹凸を測定する光切断法
を利用し、被測定物体の表裏両面に光切断法による立体
成形物の形状測定装置を配置し、被測定物体の表裏両面
の凹凸を測定し、表裏両面に配置された立体成形物の形
状測定装置の幾何学的配置条件によって決まる定数を参
照して、被測定物体の断面形状を非破壊的に測定するこ
とを可能にした。
【0036】なお、被測定物体が透明な場合には、波長
の異なるレーザ光を表裏に分けて使用し異なる波長毎に
測定することによって、被測定物体の断面形状の測定を
可能にしている。さらに、被測定物体が移動している場
合にはシャッタを設け、短時間の映像を取り込むことに
より、静止映像とすることによって被測定物体の断面形
状の測定を可能にしている。
の異なるレーザ光を表裏に分けて使用し異なる波長毎に
測定することによって、被測定物体の断面形状の測定を
可能にしている。さらに、被測定物体が移動している場
合にはシャッタを設け、短時間の映像を取り込むことに
より、静止映像とすることによって被測定物体の断面形
状の測定を可能にしている。
【図1】第1実施例に係る立体成形物の形状測定装置の
概略構成を示す説明図である。
概略構成を示す説明図である。
【図2】第2実施例に係る立体成形物の形状測定装置の
概略構成を示す説明図である。
概略構成を示す説明図である。
【図3】第3実施例に係る立体成形物の形状測定装置の
概略構成を示す説明図である。
概略構成を示す説明図である。
【図4】第4実施例に係る立体成形物の形状測定装置の
概略構成を示す説明図である。
概略構成を示す説明図である。
【図5】第5実施例に係る立体成形物の形状測定装置の
概略構成を示す説明図である。
概略構成を示す説明図である。
【図6】第6実施例に係る立体成形物の形状測定装置の
概略構成を示す説明図である。
概略構成を示す説明図である。
【図7】第7実施例に係る立体成形物の形状測定装置の
概略構成を示す説明図である。
概略構成を示す説明図である。
【図8】本発明に係る立体成形物の形状測定装置で測定
されることができる物体の1例である。
されることができる物体の1例である。
【図9】従来技術に係る光切断法を使用して被測定物体
の表面の凹凸を非破壊的に測定する方法を説明する斜視
図である。
の表面の凹凸を非破壊的に測定する方法を説明する斜視
図である。
1 板状光投光手段 1A 第1の板状光投光手段 1B 第2の板状光投光手段 1C 投光手段 1D 投光切換・板状光変換手段 2 撮像手段 2A 第1の撮像手段 2B 第2の撮像手段 3 片側画像処理手段 4 断面画像処理手段 4A テンプレート・データ用メモリ 5A 第1のシャッタ手段 5B 第2のシャッタ手段 6A 第1のバンドパス・フィルタ 6B 第2のバンドパス・フィルタ 7 色分解手段 8 被測定物体 9 被測定物体保持台 10 映像信号切換装置 11 レーザ発振器 11A 第1のレーザ発振器 11B 第2のレーザ発振器 12 板状光生成器 12A 第1の板状光生成器 12B 第2の板状光生成器 13 板状光 13A 第1の板状光 13B 第2の板状光 14 輝線 14A 第1の輝線 14B 第2の輝線 15A 第1のミラー 15B 第2のミラー 15C 光路変更用可動鏡 21 撮像装置 21A 第1の撮像装置 21B 第2の撮像装置 22 顕微鏡 22A 第1の顕微鏡 22B 第2の顕微鏡 31 片側画像処理装置 32 フレーム・メモリ 41 表示手段
Claims (8)
- 【請求項1】 被測定物体の表面に板状の光を投光する
第1の板状光投光手段(1A)と、 該第1の板状光投光手段(1A)の発する板状の光の照
射によって前記被測定物体の表面に発生する輝線を含む
被写体を撮像する第1の撮像手段(2A)と、 前記被測定物体の裏面に板状の光を投光する第2の板状
光投光手段(1B)と、 該第2の板状光投光手段(1B)の発する板状の光の照
射によって前記被測定物体の裏面に発生する輝線を含む
被写体を撮像する第2の撮像手段(2B)と、 前記第1の撮像手段(2A)が撮像した表面の映像と前
記第2の撮像手段(2B)が撮像した裏面の映像とを順
次処理するように構成され、該映像中の輝線の情報を前
記被測定物体の該輝線のある面の高低の情報に変換する
片側画像処理手段(3)と、 該片側画像処理手段(3)が発する表裏それぞれの高低
の情報にもとづき前記被測定物体の断面の情報を作成す
る断面画像処理手段(4)とからなることを特徴とする
立体成形物の形状測定装置。 - 【請求項2】 投光手段(1C)と、 該投光手段(1C)の発する光を被測定物体の表面と裏
面との相互間に切り換え、板状の光に変換して投光する
投光切換・板状光変換手段(1D)と、 前記投光手段(1C)と前記投光切換・板状光変換手段
(1D)とによって前記被測定物体の表面に発生する輝
線を含む被写体を撮像する第1の撮像手段(2A)と、 前記投光手段(1C)と前記投光切換・板状光変換手段
(1D)とによって前記被測定物体の裏面に発生する輝
線を含む被写体を撮像する第2の撮像手段(2B)と、 前記第1の撮像手段(2A)が撮像した表面の映像と前
記第2の撮像手段(2B)が撮像した裏面の映像とを順
次処理するように構成され、該映像中の輝線の情報を前
記被測定物体の該輝線のある面の高低の情報に変換する
片側画像処理手段(3)と、 該片側画像処理手段(3)が発する表裏それぞれの高低
の情報にもとづき前記被測定物体の断面の情報を作成す
る断面画像処理手段(4)とからなることを特徴とする
立体成形物の形状測定装置。 - 【請求項3】 被測定物体の表面に板状の光を投光する
第1の板状光投光手段(1A)と、 該第1の板状光投光手段(1A)の発する板状の光の照
射によって前記被測定物体の表面に発生する輝線を含む
被写体を撮像する第1の撮像手段(2A)と、 前記被測定物体の裏面に板状の光を投光する第2の板状
光投光手段(1B)と、 該第2の板状光投光手段(1B)の発する板状の光の照
射によって前記被測定物体の裏面に発生する輝線を含む
被写体を撮像する第2の撮像手段(2B)と、 前記第1の撮像手段(2A)が撮像した表面の映像と前
記第2の撮像手段(2B)が撮像した裏面の映像とを並
列して処理するように構成され、該映像中の輝線の情報
を前記被測定物体の該輝線のある面の高低の情報に変換
する2組の片側画像処理手段(3)と、 該2組の片側画像処理手段(3)が発する表裏それぞれ
の高低の情報にもとづき前記被測定物体の断面の情報を
作成する断面画像処理手段(4)とからなることを特徴
とする立体成形物の形状測定装置。 - 【請求項4】 前記第1の撮像手段(2A)は映像を予
め定められた時間取り込む第1のシャッタ手段(5A)
を有し、前記第2の撮像手段(2B)は映像を予め定め
られた時間取り込む第2のシャッタ手段(5B)を有し
ていることを特徴とする請求項1または3記載の立体成
形物の形状測定装置。 - 【請求項5】 前記断面画像処理手段(4)は、前記被
測定物体の表面および裏面それぞれの規定画像の情報を
記憶するテンプレート・データ用メモリ(4A)を有
し、該テンプレート・データ用メモリ(4A)の情報と
前記被測定物体より得た前記情報とを比較演算すること
を特徴とする請求項1、請求項3、または、請求項4記
載の立体成形物の形状測定装置。 - 【請求項6】 前記第1の板状光投光手段(1A)の光
源の波長と、前記第2の板状光投光手段(1B)の光源
の波長とは互いに異なることを特徴とする請求項1、請
求項3、請求項4、または、請求項5記載の立体成形物
の形状測定装置。 - 【請求項7】 前記第1の撮像手段(2A)は、前記第
1の板状光投光手段(1A)の光源の波長の光だけを透
過させる第1のバンドパス・フィルタ(6A)を有し、
前記第2の撮像手段(2B)は、前記第2の板状光投光
手段(1B)の光源の波長の光だけを透過させる第2の
バンドパス・フィルタ(6B)を有することを特徴とす
る請求項6記載の立体成形物の形状測定装置。 - 【請求項8】 前記片側画像処理手段(3)は、該片側
画像処理手段(3)に入力される前記映像の色を色分解
する色分解手段(7)を有することを特徴とする請求項
6記載の立体成形物の形状測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12696293A JPH06337208A (ja) | 1993-05-28 | 1993-05-28 | 立体成形物の形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12696293A JPH06337208A (ja) | 1993-05-28 | 1993-05-28 | 立体成形物の形状測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06337208A true JPH06337208A (ja) | 1994-12-06 |
Family
ID=14948212
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12696293A Pending JPH06337208A (ja) | 1993-05-28 | 1993-05-28 | 立体成形物の形状測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06337208A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008275474A (ja) * | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Kubota Matsushitadenko Exterior Works Ltd | 成形品の形状欠陥検出方法 |
JP2009162505A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Toray Ind Inc | 中空糸膜モジュールの検査方法及び検査装置 |
JP2016180645A (ja) * | 2015-03-24 | 2016-10-13 | 株式会社小坂研究所 | 非接触式の表面形状測定装置 |
-
1993
- 1993-05-28 JP JP12696293A patent/JPH06337208A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008275474A (ja) * | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Kubota Matsushitadenko Exterior Works Ltd | 成形品の形状欠陥検出方法 |
JP2009162505A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Toray Ind Inc | 中空糸膜モジュールの検査方法及び検査装置 |
JP2016180645A (ja) * | 2015-03-24 | 2016-10-13 | 株式会社小坂研究所 | 非接触式の表面形状測定装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3190913B1 (ja) | 撮像装置及びフォトマスクの欠陥検査装置 | |
JP4564910B2 (ja) | ウェハ欠陥検査方法および装置 | |
US7551272B2 (en) | Method and an apparatus for simultaneous 2D and 3D optical inspection and acquisition of optical inspection data of an object | |
JP2000241362A (ja) | 表面品質検査装置及びその方法 | |
CA2150524A1 (en) | Method and system for inspecting packages | |
WO2005085936A1 (en) | An optical system for producing differently focused images | |
JP2003294651A (ja) | 撮像装置及びフォトマスクの欠陥検査装置 | |
CN1688877B (zh) | 形成穿透和/或反射图像的高处理量检测系统及其方法 | |
JPH06337208A (ja) | 立体成形物の形状測定装置 | |
JPH1068607A (ja) | 3次元形状計測方法 | |
JP2009216485A (ja) | 微小物体の形状不良判定検査装置 | |
JP2008175818A (ja) | 表面検査装置及び方法 | |
JP2007198761A (ja) | 欠陥検出方法および装置 | |
JPH04113260A (ja) | 表面欠陥の検出方法及び装置 | |
CA2153647A1 (en) | Method and apparatus for recognizing geometrical features of parallelepiped-shaped parts of polygonal section | |
US20090190824A1 (en) | Inspection apparatus and inspection method | |
KR102058780B1 (ko) | 라인 스캐닝 방식의 공초점 현미경에서의 자동초점조절 방법 및 장치 | |
JP2624481B2 (ja) | 光誘起電流による半導体装置の検査装置 | |
JPS58204344A (ja) | パタ−ンの欠陥検査装置 | |
JPH06109424A (ja) | 計測対象物撮像装置 | |
US20230053666A1 (en) | Scanning of objects | |
JPH11101691A (ja) | 着色部材の検査装置及びそれの製造方法 | |
JP2002350360A (ja) | 凹凸パターン検知装置、凹凸パターン検知処理装置、凹凸パターン検査装置及び検査装置 | |
US9438772B2 (en) | Automated method and apparatus for obtaining 2D silhouettes from one or more 3D objects | |
JP6032828B2 (ja) | 同期装置及び検査装置 |