JPH06337206A - 板状ワークの厚み測定装置 - Google Patents

板状ワークの厚み測定装置

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JPH06337206A
JPH06337206A JP12698793A JP12698793A JPH06337206A JP H06337206 A JPH06337206 A JP H06337206A JP 12698793 A JP12698793 A JP 12698793A JP 12698793 A JP12698793 A JP 12698793A JP H06337206 A JPH06337206 A JP H06337206A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plate
base plate
thickness
laser beam
placing base
Prior art date
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Pending
Application number
JP12698793A
Other languages
English (en)
Inventor
Osamu Imai
今井  修
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication of JPH06337206A publication Critical patent/JPH06337206A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【目的】厚み判定のしきい値を正確かつ精度よく定める
ことが可能で絶対数値的に把握することができ、しか
も、反りをも含む板状ワークの厚みを精密に測定するこ
ともできる板状ワークの厚み測定装置を提供する。 【構成】本発明にかかる厚み測定装置は、板状ワークW
が載置される載置台板2と、載置台板2を水平方向に沿
って移動させる搬送機構3と、載置台板2の上方でその
移動方向とは交差する水平方向に沿ってレーザビームR
を出射する投光器4と、レーザビームRが入射する受光
器5と、制御手段6とを備えており、制御手段6は、レ
ーザビームRの通過位置が載置台板2の上方に設定され
た垂直方向に沿う所定範囲内となるように上下駆動し、
載置台板2の通過時における光量の変位量を測定するも
のであることを特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、板状ワークの厚み測定
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、焼成済みセラミック板などの
板状ワークにおいては、図2で示すような構成とされた
厚み判定装置20を用いることによって焼成時に発生し
た反りをも含む板状ワークWの厚みが許容値内に収まっ
ているか否かを判定することが行われている。すなわ
ち、この厚み判定装置20は、厚みを判定すべき板状ワ
ークWが滑り落ちる傾斜面21aを具備した傾斜台21
と、その傾斜面21aの上方を幅方向に沿って横切った
うえで傾斜面21aの表面と平行に支持されたガイドバ
ー22との組み合わせによって構成されたものであり、
この厚み判定装置20における板状ワーク厚みの許容
値、すなわち、板状ワークWの厚みの良否を判定するた
めのしきい値は傾斜面21aの表面に対するガイドバー
22の離間間隔を定めることによって設定されるように
なっている。
【0003】そこで、予め設定されたしきい値よりも板
状ワークWの厚みの方が薄ければ、板状ワークWは傾斜
面21a及びガイドバー22間を速やかに通過して許容
値の範囲内であると判定される一方、板状ワークWの厚
みの方がしきい値よりも厚ければ、その通過がガイドバ
ー22で阻止されることになって許容値の範囲外である
と判定される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記従来構
成とされた厚み判定装置20においては、傾斜台21の
傾斜面21aとガイドバー22との離間間隔を正確かつ
精度よく設定するのが困難であり、これらの離間間隔に
よって一義的に定まる厚み判定のしきい値を絶対数値的
に把握することができないという不都合が生じていた。
さらにまた、板状ワーク製作上の都合によっては、板状
ワークWの反りをも含む厚みそのものを測定する必要が
生じる場合もあるが、この厚み判定装置20によって
は、板状ワークWの厚みが予め設定されたしきい値を越
えているか否かという消極的な判定しか行うことができ
ず、板状ワークWそれぞれの厚みそのものを積極的に測
定することはできなかった。
【0005】本発明は、このような不都合に鑑みて創案
されたものであって、厚み判定のしきい値を正確かつ精
度よく定めることが可能で絶対数値的に把握することが
でき、しかも、反りをも含む板状ワークの厚みを精密に
測定することもできる板状ワークの厚み測定装置を提供
することを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明にかかる板状ワー
クの厚み測定装置は、このような目的を達成するため
に、板状ワークが載置される載置台板と、載置台板を水
平方向に沿って移動させる搬送機構と、載置台板の上方
をその移動方向とは交差する水平方向に沿ってレーザビ
ームを出射する投光器と、レーザビームが入射する受光
器と、制御手段とを備えており、制御手段はレーザビー
ムの通過位置を載置台板(2)の上方に設定された垂直
方向に沿う所定範囲内において上下駆動させ、載置台板
(2)の通過時における光量の変位量を測定するもので
あることを特徴としている。
【0007】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
【0008】図1は本実施例にかかる板状ワークの厚み
測定装置を簡略化して示す一部破断斜視図であり、この
図における符号1はいわゆるレーザ外径測長機を利用し
て構成された板状ワークの厚み測定装置を示している。
【0009】この厚み測定装置1は、焼成済みセラミッ
ク板などのような板状ワークWが載置される載置台板2
と、この載置台板2を予め定められた所定の水平方向
(図では、矢印Xで示す)に沿ってのみ移動させるコン
ベアを用いて構成された搬送機構3と、載置台板2の上
方においてその移動方向とは直交する水平方向(図で
は、矢印Yで示す)に沿ってレーザビームRを出射する
投光器4と、レーザビームRが入射する受光器5と、こ
れらの投光器4及び受光器5の動作を制御する制御手段
としてのレーザ外径測長機コントローラ6とを備えてい
る。なお、レーザビームRの通過方向が載置台板2の移
動方向、すなわち、板状ワークWの搬送方向と直交する
水平方向に限定されるものではなく、少なくとも板状ワ
ークWの搬送方向と交差する方向に沿って通過するよう
に設定されていればよいのは勿論である。
【0010】すなわち、このレーザ外径測長機コントロ
ーラ6は、レーザビームRの通過位置が載置台板2の上
方に設定された垂直方向に沿う所定範囲L内となるよう
に上下駆動するものである。そこで、搬送機構3を挟ん
で相対向する両側位置のそれぞれに配置された投光器4
と受光器5との間におけるレーザビームRの通過位置
は、搬送機構3によって移動させられる載置台板2の上
面を基準としたレーザ外径測長機コントローラ6による
制御動作に対応したうえ、載置台板2の上方に設定され
た垂直方向(図では、矢印Zで示す)に沿う所定範囲L
内で上下駆動されることになる。したがって、載置台板
2上に載置されて搬送中の板状ワークWにより、投光器
4から出射されて受光器5に入射すべきレーザビームR
が遮られると、このことがレーザ外径測長機コントロー
ラ6によって即座に検出され、基準である載置台板2の
上面からレーザビームRの入射が遮られた高さまでの寸
法が算出されることになる。
【0011】つぎに、上記構成とされた厚み測定装置1
による板状ワークWの厚み測定動作及び厚み判定動作に
ついて説明する。
【0012】まず、厚み測定に際しては、焼成時に発生
した反りをも含む厚みを測定すべきセラミック板などの
板状ワークWを載置台板2上に載置し、この載置台板2
を搬送機構3の駆動により矢印X方向に沿って搬送し始
めると同時に、レーザ外径測長機コントローラ6によっ
て搬送機構3の上方を矢印Y方向に沿って通過するレー
ザビームRの上下駆動を開始する。そして、搬送されて
きた板状ワークWによってレーザビームRが遮られる
と、その遮断が生じる度毎に、レーザ外径測長機コント
ローラ6によって載置台板2の上面からレーザビームR
の受光器5への入射が遮られた高さまでの寸法、すなわ
ち、板状ワークWの反りをも含む厚みが算出される。そ
こで、載置台板2の移動速度とレーザビームRの上下駆
動速度とを関連づけておくと、板状ワークWの全体にわ
たる厚みを測定することが可能となる。
【0013】
【発明の効果】以上説明したように、本発明にかかる板
状ワークの厚み測定装置によれば、板状ワークの上方を
その搬送方向とは交差する方向に沿って通過するレーザ
ビームを用いるので、このレーザビームの通過位置を垂
直方向に沿う所定範囲内で上下駆動することによって板
状ワークの反りをも含む厚みを精密に測定することが可
能となる。すなわち、上下駆動されるレーザビームの通
過が載置台板の通過によって遮られた高さ寸法を制御手
段により高速で測定することが可能となる結果、板状ワ
ークの厚みを正確かつ精度よく把握でき、しきい値範囲
内であるか否かを絶対数値的に判断することができると
いう効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施例にかかる板状ワークの厚み測定装置を
簡略化して示す一部破断斜視図である。
【図2】従来例にかかる厚み判定装置の概略構成を示す
側面図である。
【符号の説明】
1 厚み測定装置 2 載置台板 3 搬送機構 4 投光器 5 受光器 6 レーザ外径測長機コントローラ(制御手段) W 板状ワーク R レーザビーム

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 板状ワーク(W)が載置される載置台板
    (2)と、載置台板(2)を水平方向に沿って移動させ
    る搬送機構(3)と、載置台板(2)の上方でその移動
    方向とは交差する水平方向に沿ってレーザビーム(R)
    を出射する投光器(4)と、レーザビーム(R)が入射
    する受光器(5)と、制御手段(6)とを備えており、 制御手段(6)は、レーザビーム(R)の通過位置を載
    置台板(2)の上方に設定された垂直方向に沿う所定範
    囲内において上下駆動させ、載置台板(2)の通過時に
    おける光量の変位量を測定するものであることを特徴と
    する板状ワークの厚み測定装置。
JP12698793A 1993-05-28 1993-05-28 板状ワークの厚み測定装置 Pending JPH06337206A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022539984A (ja) * 2019-07-12 2022-09-14 エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. 基板形状測定デバイス

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022539984A (ja) * 2019-07-12 2022-09-14 エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. 基板形状測定デバイス
US11726411B2 (en) 2019-07-12 2023-08-15 Asml Nelherlands B.V. Substrate shape measuring device, substrate handling device, substrate shape measuring unit and method to handle substrates

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