JPH0633638A - 制振装置 - Google Patents
制振装置Info
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- JPH0633638A JPH0633638A JP19185592A JP19185592A JPH0633638A JP H0633638 A JPH0633638 A JP H0633638A JP 19185592 A JP19185592 A JP 19185592A JP 19185592 A JP19185592 A JP 19185592A JP H0633638 A JPH0633638 A JP H0633638A
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Abstract
振駆動されるよう構成した制振装置を提供することを目
的とする。 【構成】 制振装置1はACサーボモータ8の駆動力に
より付加質量6をX方向に移動させて振動を制振する。
モータ8は加振制御回路9からのモータ指令信号が供給
され、振動の大きさに応じて付加質量6を移動させる。
速度指令遮断回路40は付加質量6がストッパの直前位
置(LC,RC位置)に設けられたLC,RC位置セン
サ22,24により検出されると、出力切替器41を切
替えて速度指令信号xm をオフまたはゼロVにして、付
加質量6を中心位置方向へ移動させる速度指令信号をモ
ータ8へ供給する。
Description
加質量の変位により振動体の振動を減少するよう構成し
た制振装置に関する。
るいは風圧等により振動が発生した場合、振動を制振す
るための制振装置がビル屋上等に設けられている。この
種の制振装置は、主にビルの質量に応じた所定の重量を
有する付加質量を、ビルの振動状態に応じて駆動機構に
よって変位させ、ビルで発生した振動を制振するもので
ある。
−300478号に示されているように、付加質量をリ
ニアベアリング等により摺動自在に支持するとともに、
付加質量に螺合するボールねじ等の伝達機構をモータあ
るいは油圧アクチュエータ等により駆動し、付加質量が
水平方向に往復動されるように構成したものがある。
は常に付加質量がボールねじのストローク中心を基準点
として往復動するように設定されている。即ち、付加質
量は何んら振動がないときはこの基準点に静止してお
り、振動発生時はこの基準点を中心に水平方向に摺動
し、振動が停止すると再び基準点に戻るように構成され
ている。
応じた制御量を演算する制御装置からの駆動信号により
モータを駆動制御され、付加質量を移動させる。
が急激に入力されたときは付加質量が大きな駆動力によ
り急激に移動するが、付加質量のストロークに限界があ
るため、制振装置からの駆動信号により移動可能な動作
範囲を越える変位を要求されることがある。その場合、
付加質量はストッパに衝突するまで駆動され、ストロー
ク端のリミットスイッチをオンに切換えて異常停止す
る。これにより、従来は付加質量がストッパに衝突する
際の衝撃でビルを加振させてしまうことがあるばかり
か、電源を遮断してしまうのでビルの振動が小さくなっ
ても自動的に制振モードに復帰できず、ビルが長時間振
動し続けるといった課題がある。又、地震発生時、付加
質量がストッパに衝突して、ビルに衝突による衝撃が伝
わり不快感を与えてしまうといった課題もある。
装置を提供することを目的とする。
所定重量を有し、移動自在に設けられた付加質量と、該
付加質量を往復駆動させる駆動機構と、を有し該付加質
量の往復動により振動を制振する制振装置において、前
記付加質量がストッパに当接する直前位置に到着したこ
とを検出する検出手段と、前記検出手段からの検出信号
に基づいて前記付加質量を停止させ、停止後前記付加質
量を逆方向に駆動させるように前記駆動機構を制御する
制御手段と、を備えてなることを特徴とする。
動自在に設けられた付加質量と、該付加質量を往復駆動
させる駆動モータと、を有し該付加質量の往復動により
振動を制振する制振装置において、前記付加質量がスト
ッパに当接する直前位置に到着したことを検出する検出
手段と、前記検出手段からの検出信号に基づいて前記駆
動モータへの速度指令信号をオフ又はゼロVにして前記
付加質量を停止させ、停止後該速度指令信号が−から+
あるいは+から−にへ反転したとき、前記駆動モータへ
前記速度指令信号を供給して前記付加質量を逆方向に駆
動させるように前記駆動機構を制御する制御手段と、を
備えてなることを特徴とする。
したことが検出されると付加質量を停止させ、停止後付
加質量を逆方向に駆動するすることにより付加質量の振
幅が小さくなるように駆動機構を制御して付加質量がス
トッパに衝突しないようにするとともに、駆動機構によ
る付加質量の制振制御を継続して次に発生する振動を制
振するように付加質量を移動させることが可能となる。
とき、駆動モータへの速度指令信号をオフ又はゼロVに
して付加質量を停止させ、停止後速度指令信号が−から
+あるいは+から−にへ反転したとき、駆動モータへ前
記速度指令信号を供給して付加質量を逆方向に駆動させ
て過大な振動が発生した後も制振動作を継続できる。
実施例を示す。
設置されている。このビル2は12階建てであり、正面
の横幅に対して側面の奥行きが小さいタワー構造の如く
建設されている。ビル2の例えば3,6,9,12階の
各フロアには床面あるいは柱等の振動の状態を検出する
振動状態検知センサ3(31 ,32 ,33 …)が設けら
れており、ビル2の地下には地震を検出する地震センサ
4が埋設されている。又、ビル2の屋上には風速風向計
5が設置されている。
動したときの変位を検知する変位センサでも良いし、あ
るいは振動発生時の速度を検知する速度センサ、あるい
は加速度を検知する加速度センサ等が考えられる。
場合あるいは風圧が作用した場合奥行の小さい幅狭方向
(矢印X方向)に振動が発生しやすい構造となってい
る。そのため、図2に示す制振装置1は矢印X方向に発
生する振動を制振するように設置されている。この制振
装置1は概略、付加質量6にボールねじ機構7を設け、
ACサーボモータ8の回転駆動力をボールねじ機構7に
伝達して付加質量6を矢印X方向に摺動させる構成とな
っている。
動すると、各振動状態検知センサ3 1 〜34 及び地震セ
ンサ4,風速風向計5からの検出信号は加振制御回路9
に入力され、加振制御回路9はこれらの信号により振動
状態を演算し、その演算結果に基づいて付加質量6の変
位方向、変位量、変位速度、加速度等を算出する。
す如く、底部より両側に突出する固定部1bが固定ボル
ト12により屋上2aに固定されている。この本体1a
の上面1cには付加質量6が変位可能に挿入される凹部
13が形成されている。付加質量6は図3に示すように
T字状の断面形状とされており、その下部6aが凹部1
3内に挿入されると共に両側の腕部6b,6cは凹部1
3の周縁の上面1cに対向するように張り出している。
そして、付加質量6の腕部6b,6cと本体1の上面1
cとの間にはリニアベアリング14,15が設けられて
いる。
モータ8が固定されており、その出力軸8aはカップリ
ング16を介してボールねじ機構7に螺合するおねじ1
7に結合されている。おねじ17は一端が上面1cに固
定された第1の軸受部18に軸承され、付加質量6を貫
通して延在する他端が第2の軸受部19に軸承されてい
る。
置を基準点としており、この基準点を中心にX方向に往
復動する。ボールねじ機構7はおねじ17の回転がボー
ルのころがり摩擦を介してめねじ部7aに伝達されるた
め、伝達効率が他の伝達手段よりも高く、ACサーボモ
ータ8の回転駆動力を伝達ロスの少ない状態で付加質量
6に伝達できる。
機構7のおねじ17の端部は上面1cに固定された電磁
ブレーキ機構20内に挿入されている。この電磁ブレー
キ機構20は地震発生に伴う停電時等により電源供給が
無くなったとき、自動的におねじ17aを制動する構成
になっている。電磁ブレーキ機構20の制動動作により
おねじ17は回動付加となる。そのため、付加質量6は
停止し制御不能な状態で動作することが阻止される。
動位置を検出する位置センサ(検出手段)21〜25が
配設されている。位置センサ21〜25としては、例え
ば光センサを使用しても良いし、磁気センサあるいは超
音波センサ等を使用しても良い。
25aと受信部21b〜25bとよりなり、付加質量6
の側面に取付けられた被検出片としてのマーカ26が発
信部と受信部との間を通過して発信部からの信号が遮断
されたとき検出信号を出力する。
は付加質量6の移動方向(X方向)上の所定間隔ごとに
配設されている。即ち、第1の位置センサ21は図4中
の左端のストロークエンドに設けられ、第2の位置セン
サ22は左側への摺動途中に設けられ、第3の位置セン
サ23はストロークの中心(基準点)に設けられ、第4
の位置センサ24は右側への摺動途中に設けられ、第5
の位置センサ25は右端のストロークエンドに設けられ
ている。
7のおねじ17の回転量を常時検出する変位センサ27
が設けられている。
29,警報発生器30,ブレーキインターフェイス部3
1,D/A変換部32,モータインターフェイス部3
3,モータドライバ34,受信センサインターフェイス
部35,発信センサインターフェイス部36,変位セン
サインターフェイス部37,A/D変換部38,電源3
9,速度指令遮断回路(制御手段)40,出力切替器4
1,表示器42とよりなる。
28からの指令により電磁ブレーキ機構20にブレーキ
オン/オフ信号を出力する。又ACサーボモータ8には
D/A変換部32,モータインターフェイス部33,出
力切替器41,モータドライバ34を介して速度指令信
号xm が供給され、この信号に応じて付加質量6を摺動
させる。尚、出力切替器41は電磁式リレーで通常接点
41aが閉成しているが、速度指令遮断回路40からの
異常検知信号によりソレノイド41bが励磁されると、
ACサーボモータ8を停止すべく接点41aが開成して
ACサーボモータ8への速度指令信号xm をオフにす
る。ここで、モータドライバ34は速度指令信号がオフ
又はゼロVになったときACサーボモータ8を停止させ
ることができるが、本実施例では速度指令信号のオフに
よりモータ停止させる方式を一例として説明する。
置センサ21〜25の受信部21b〜25bと接続さ
れ、位置センサ22〜24が付加質量6の摺動位置を検
出したとき、その検出信号が入力され速度指令遮断回路
40に受信信号を出力する。
制御部28からの指令により付加質量6を駆動するとき
に付加質量6の摺動位置を検出するため、各位置センサ
21〜25の発信部21a〜25aに発信信号を出力す
る。
センサ27からの検出信号が常時入力されており、その
検出信号をA/D変換部38を介して制御部28に出力
する。
において、各位置センサ21〜25の検出位置を図5に
示すように定義する。図5中、付加質量6がボールねじ
機構7を介して摺動する際の全ストロークを一例として
S(1600mm)とすると、ストロークSの両端位置LL,
RLに位置センサ21,25が設けられ、ストロークS
の中心位置(ゼロ点)Cに位置センサ23が設けられて
いる。そして、両端位置LL,RLと中心位置Cとの間
の移動範囲の直前位置(中心から640 mm)LC,RCに
位置センサ22,24が設けられている。
と付加質量6がずれなしの状態でX方向に摺動した場
合、各位置センサ21〜25のセンサ出力はC位置でV
C =0V,C点よりX1 方向に移動したRC位置でVRC
=−8V,RL位置でVRL=−10Vとなるように設定
する。又、C位置よりX2 方向に移動したLC位置のセ
ンサ出力はVLC=−8V,LL位置のセンサ出力はVLL
=10Vとなるように設定する。
がストロークSのストロークエンド直前位置(図5中L
C位置、RC位置)に到着したことが位置センサ22又
は24により検出されたとき、速度指令信号xm を一時
的にオフにして付加質量6を停止させ、停止後後述する
ゼロクロス点を検出すると付加質量6を逆方向(ストロ
ークSの中心位置C方向)に駆動する速度指令信号xm
をモータドライバ34へ供給するように制御する。
回路40の構成について図6を併せ参照して説明する。
ンド回路51を介してフリップフロップ52のT端子に
接続されている。付加質量6がRC位置とLC位置との
間に位置しているときは位置センサ22,24からのH
レベルの信号がナンド回路51に入力されており、フリ
ップフロップ52のT端子にはLレベルの信号が入力さ
れる。そして、付加質量6がモータ8の駆動力によりX
方向に移動して上記RC位置又はLC位置に到ると、マ
ーカ26が位置センサ22又は24を通過する。
検出信号を受信センサインターフェイス部35に出力
し、Lレベルの信号がナンド回路51に入力される。よ
って、ナンド回路51の出力はHレベルに切換わり、フ
リップフロップ52のT端子に入力される。
の立上りがトリガとなってフリップフロップ52はリレ
ードライバ53へHレベルの直前位置検出信号を出力
し、これを自己保持する。そのため、リレードライバ5
3は出力切替器41のソレノイド41bを励磁させて接
点41aを開成し、モータ8のモータドライバ34へ出
力される速度指令信号xm をオフにする。その結果モー
タ8は停止し、付加質量6がそれ以上直前位置LC又は
RCを越えて移動しないように付加質量6を停止させス
トッパ部(凹部13)に衝突してビル2を加振すること
を防止する。
直前位置検出信号がバッファ54,55を介して制御部
28へ出力(制御回路への警告信号)され、又表示器4
2に出力されて表示器42に付加質量6が停止したこと
を表示させる。
ーフェイス部33から出力された速度指令信号xm が+
側から−側へあるいは−側から+側へ切換わったかどう
かをチェックする。即ち、ゼロクロス検知器56は例え
ばコンパレータよりなり、速度指令信号xm がゼロにな
ったとき、その検出信号を1パルス発生器57へ出力す
る。この1パルス発生器57はワンショットタイマより
なり、例えば50μsのパルスを出力する。
らのパルス又はリセットスイッチ59の押圧操作により
リセット信号が入力されるとLレベルのリセット信号を
フリップフロップ52のR端子に出力する。これにより
フリップフロップ52はリセットされてリレードライバ
53への信号がLレベルとなる。そのため、出力切替器
41は接点41aを閉成させて速度指令信号Xm をモー
タドライバ34へ出力させる。
に向けて駆動して、付加質量6の移動により制振動作を
再開する。よって、付加質量6はRC位置とLC位置と
の間で駆動される。又、本機能の不使用時は、リセット
スイッチ59を押圧操作したままフリップフロップ52
のトリガを無視し、出力切替器41の接点41aを閉成
させたままとすることもできる。
40の動作を図7のフローチャート及び図8の波形図を
併せ参照して説明する。
する)では付加質量6の駆動制御が終了したかどうかを
チェックする。ビル2に地震又は風圧等による振動が生
じている間は制振装置1が制振動作中であり、その場
合、S2に移り変位センサ27からの出力電圧xa(図
8(b)参照)を読取る。
令信号xm (図8(a)参照)がゼロVになったかどう
かをチェックする(S3)。つまり、S3では図8
(e)に示すように速度指令信号xm が+から−へ、あ
るいは−から+へ切換わりモータ8による付加質量6の
駆動方向が反転したかどうかをチェックする。
になるとS10に移り速度指令サプレスフラグ(フリッ
プフロップ52に相当)をリセットし、続いてS11で
D/A変換器32から出力された出力電圧(速度指令信
号)をモータ8へ出力し付加質量6を駆動制御して通常
の制振動作を行う。そして、再びS1に戻り、S1〜S
3の処理を繰り返す。
ゼロVが検知されないときは、S4に移りLC位置セン
サ22が付加質量6に設けられたマーカ26を検出した
かどうかをチェックし、S4で検出されないときはS5
に移りRC位置センサ24がマーカ26を検出したかど
うかをチェックする。つまり、S4では図8(c)に示
すように変位センサ27の出力電圧xaが+8Vの位置
に達したかどうかを監視しており、S5では図8(d)
に示すように出力電圧xaが−8Vの位置に達したかど
うかを監視している。
マーカ26を検出していないときは付加質量6が直前位
置LCとRCとの間に位置しているため、通常の制振動
作が可能であり、その場合S11に移りD/A変換器3
2からの出力電圧をモータ8へ供給する。ところが、位
置センサ22,24の一方がマーカ26を検出して付加
質量6が直前位置に達したとき、S6に移り速度指令サ
プレスフラグ(フリップフロップ52に相当)が「1」
にセットされていることをチェックする。もし、速度指
令サプレスフラグがセットされていないときはS7に移
りこのフラグをセット(信号の立ち上がりでセットす
る)する。そして、S8で図8(f)に示すように出力
切替器41によりD/A変換器32からの出力をモータ
停止信号を(速度指令信号をオフにする)にしてモータ
8へ出力する。
が直前位置を通過してストッパに衝突することが防止さ
れる。さらに、S1に戻り上記S1〜S9の処理が繰り
返される。
22又はRC位置センサ24がマーカ26を検知すると
出力切替器41が速度指令信号xm をオフにして、次の
ゼロクロス検知信号がS3で出力されるまで続く、ゼロ
クロス検知信号が出力された時点で出力切替器41より
モータ8へ速度指令信号xm が出力されて付加質量6を
逆方向即ち中心位置方向へ駆動して制振動作を再開す
る。
センサ27からの出力電圧xaが+8V以上又は−8V
以下になったとき速度指令信号のハッチングで示す部分
が出力切替器41により速度指令信号をオフすることに
より、それ以上付加質量6がストッパ方向へ駆動される
ことを防止する。
サ22,24の検出信号により付加質量6を停止させる
ので、位置センサ22,24の取付を変更することによ
り付加質量6の移動可能なストローク(振幅)を容易に
調整することができる。又、装置電源を切らずに付加質
量6を直前位置(LC,RC位置)で停止させるため、
制振動作を継続でき、過大な地震が発生しても付加質量
6を直前位置間で制振動作させることが可能となる。し
かも、本実施例ではソフトウェアに依存せずに付加質量
6の振幅を抑制するため、CPUが暴走しても付加質量
6がストッパ(凹部13の壁)に衝突することを防止で
きる。
す。両図中、上記第1実施例と同一構成部分には同一符
号を付してその説明を省略する。
1の電圧比較器で、変位センサ27から出力された出力
電圧xaとLC位置用の定電圧回路62により設定され
た電圧値+8Vとを比較し、xa≧+8Vになったとき
Lレベルの検出信号を出力する。
で、変位センサ27から出力された出力電圧xaとRC
位置用の定電圧回路64により設定された電圧値−8V
とを比較し、xa≦−8VになったときLレベルの検出
信号を出力する。
からの検出信号がナンド回路64に出力されると、フリ
ップフロップ回路52はナンド回路64から出力された
Hレベルの信号の立上りをトリガとして「1」がセット
されてリレードライバ53に出力する。
24からの検出信号ではなく変位センサ27からの出力
電圧を監視することにより上記第1実施例と同様な効果
が得られる。
ーチャートを参照して説明する。
比較器61により変位センサ27の出力電圧xaが+8
V以上であるかどうかをチェックする。
より変位センサ27の出力電圧xaが−8V以下である
かどうかをチェックする。+8V>xa>−8Vである
ときは付加質量6がLC位置とRC位置との間にあるの
で、そのまま制振動作制御が継続されS21,S22の
処理が繰り返される。
なったときは、S23に移り、フリップフロップ52の
出力を「1」にセットする。これにより、出力回路切替
41の接点41aが切替わり速度指令信号xm をオフに
し(S24),モータ8を停止させる(S25)。
れた速度指令信号xm がゼロVになったことをチェック
しており、xm =0VとなるとS27に移ってEXフラ
グ(フリップフロップ回路52に相当)をリセットして
フリップフロップ52の出力を「0」にする。
るいは−から+へ切換わるゼロクロスが検出されると出
力切替器41の接点41aが復帰して速度指令信号xm
による制御に戻る(S28)。
信号xm がモータ8へ出力されて付加質量6が制振方向
に駆動される。そして、S21に戻りS21〜29の処
理が繰り返される。
センサ27からの出力電圧値Xaを監視することによっ
てチェックできるので、付加質量6が直前位置(RC,
LC位置)に達したとき速度指令信号xm を図8(a)
のハッチング部分に示すようにゼロVに抑制してモータ
8を停止させて付加質量6がストッパに衝突することが
防止される。また、速度指令信号xm がゼロクロスした
時点で付加質量6を逆方向に駆動して制振動作が行え
る。よって、付加質量6はRC位置とLC位置との間を
往復駆動されてビル2の振動を制振する。
7からの出力電圧を監視して付加質量6の振幅を抑制で
きるので、位置センサ21〜25が不要となり、その分
構成の簡略化を図ることができる。さらに、ソフトウェ
アに依存せず速度指令遮断回路40の上記回路構成によ
り実現できるので付加質量6の振幅抑制動作の信頼性が
高い。
示す。
断回路40、出力切替器41、表示器42が設けられて
なく、各位置センサ21〜25からの信号は受信センサ
インターフェイス部35より制御部28に入力される。
ンプログラムの他に図12に示す処理を実行するための
振幅抑制プログラムが設定されている。
に示す制御テーブル71が格納されており、この制御テ
ーブル71の各記憶部71a〜71fにはアクティブフ
ラグ、変位センサ値、速度指令値、LALフラグ、RA
Lフラグ、EXフラグが記憶されている。
理について説明する。
によりアクティブフラグが「1」にセットされているか
どうかをチェックする。アクティブフラグがセットされ
ていないときはメインルーチンに戻る。しかし、S31
においてアクティブフラグがセット(付加質量6の駆動
時)されているときは、S32に移り受信センサインタ
ーフェイス部35を介して供給されたRC位置センサ2
4の出力をチェックする。S32でRC位置センサ24
が付加質量6のマーカ26を検出していないときは、S
33に移り受信センサインターフェイス部35を介して
供給されたLC位置センサ22の出力をチェックする。
サ22,24が検出信号を出力していないときは付加質
量6がLC位置とRC位置との間に位置しているので振
幅抑制を行う必要がなくS31に戻る。
ーカ26を検出したときは付加質量6が右側の直前位置
(RC位置)に到着しているので、S34に移りRAL
フラグを「1」にセットする。又、S33でLC位置セ
ンサ22がマーカ26を検出したときは付加質量6が左
側の直前位置(LC位置)に到着しているので、S35
に移りLALフラグを「1」にセットする。
セットする。
のデータをモータ8を停止すべく強制的にゼロVにする
(本実施例でのモータドライバ34は速度指令信号がオ
フのとき又はゼロVにするとモータ停止する方式のもの
を使用)。そのため、モータ8が停止して付加質量6が
直前位置(LC,RC位置)を越えないようにする(S
38)。
になりゼロクロスになったことを確認すると、S40に
移りEXフラグを「0」へリセットした後、S41でL
AL,RALフラグを「0」へリセットする。そして、
S42でD/A変換部32へ通常の出力データ(速度指
令信号)をセットし、S43でモータ8を反転駆動して
付加質量6を逆方向(中心位置C方向)へ移動させて制
振制御を行う。
(LC,RC位置)に達するとモータ8が停止し、中心
位置C方向への移動のみが可能となるように速度指令信
号x m を図8(a)に示すように一時的に遮断する。こ
のように、制御部28により付加質量6がストッパに衝
突しないように駆動制御できるので、図4に示す速度指
令遮断回路40,出力切替器41が不要となり加振制御
回路9の構成が簡略化できる。
す。
ンプログラムの他に図14に示す処理を実行するため振
幅抑制プログラムが設定されている。又、制御部28の
メモリ28Aには図15に示す制御テーブル72が格納
されており、この制御テーブル72の各記憶部72a〜
72hには、アクティブフラグ、変位センサ値、速度指
令値、LC位置変位値、LALフラグ、RC位置変位
値、RALフラグ、EXフラグが記憶されている。
理について説明する。
による付加質量6の制振動作中であるかどうかをチェッ
クし、制振動作中であればS52に移りメインルーチン
によりアクティブフラグが「1」にセットされているか
どうかをチェックする。
いとき、又はアクティブフラグが「0」にリセットされ
ているときはメインルーチンに戻る。
よりアクティブフラグがセットされているときはS53
に移り変位センサ27からの出力電圧値xaをメモリ2
8Aの制御テーブル72より読取り、続いてS54で速
度指令信号xm のゼロクロス(速度指令信号xm が−か
ら+あるいは+から−にへ反転したとき)が検知された
かどうかをチェックする。
と、S63に移りEXフラグを「0」にリセットし、続
いてS64でLAL,RALフラグを「0」にリセット
する。
常の出力データをセット、つまり速度指令信号xm をモ
ータドライバ34へ出力する。そして、S66でモータ
8が駆動され付加質量6が制振動作する。
m のゼロクロスが検知されなかったときはS55へ移り
変位センサ27の出力電圧値xaが右側の直前位置つま
り、+8V以上であるかどうかをチェックする。S55
でxa<+8Vのときは、S56に移り変位センサ27
の出力電圧値xaが右側の直前位置つまり−8V以下で
あるかどうかをチェックする。
は付加質量6が左側の直前位置(LC位置)に到着して
いるのでS58に移りLALフラグを「1」にセットす
る。
きは、まだ付加質量6が直前位置(LC,RC位置)に
達していないのでS65に移り通常の制振制御を継続す
る。ところが、S56においてxa≦−8Vであるとき
は付加質量6が右側の直前位置(RC位置)に到着して
いるので、S57に移りRALフラグを「1」にセット
する。
トされているかどうかをチェックし、セットされていな
いときはS60に移りEXフラグを「1」にセットす
る。
制的にゼロVにする。そのため、モータ8が停止し付加
質量6が直前位置(LC位置、RC位置)で停止する。
その後S51〜S66の処理を繰り返す。
速度指令信号xm は、図8(a)に示すようにハッチン
グ部分がゼロVにカットされた波形となり、付加質量6
が直前位置を越えて駆動されないように制振動作時の振
幅が抑制される。
2,24の代わりに変位センサ27の出力電圧xaの出
力レベルを監視し、予め設定された+8<xa<−8V
範囲内であれば通常の制振制御を行い、xa≧+8V又
はxa≦−8VになったときD/A変換部32へのデー
タをゼロVにしてモータ8を停止させて付加質量6がス
トッパ(凹部13の壁面)に衝突することを防止でき
る。
介して付加質量6を移動させる構成としたがこれ以外の
伝達機構(例えばラック・ピニオン等)を用いても良
い。
の制振装置としても使用でき、その場合小型化が要求さ
れるため、油圧装置を用いてサーボ弁、電磁弁の切換動
作によりサーボアクチュエータの駆動力により付加質量
を駆動する構成にも適用できることは勿論である。
付加質量がストッパに当接する直前位置に到着したこと
が検出されると付加質量を停止させ、停止後付加質量を
逆方向に駆動するすることにより付加質量の振幅が小さ
くなるように駆動機構を制御して付加質量がストッパに
衝突しないようにするとともに、駆動機構による付加質
量の制振制御を継続して次に発生する振動を制振するよ
うに付加質量を移動させることが可能となる。従って、
付加質量の振幅がストッパの直前位置の範囲となるよう
に制限されるように駆動機構を制御することができ、し
かも上記付加質量のストローク制限中も駆動機構による
付加質量の制振制御を継続して次に発生する振動を制振
するように付加質量を移動させることができ、付加質量
がストッパに衝突しない振幅で制振制御し続けることが
できる。
とき、駆動モータへの速度指令信号をオフ又はゼロVに
して付加質量を停止させ、停止後速度指令信号が−から
+あるいは+から−にへ反転したとき、駆動モータへ前
記速度指令信号を供給して付加質量を逆方向に駆動させ
て過大な振動が発生した後も制振動作を継続できる等の
特長を有する。
図である。
ーチャートである。
る。
図である。
明するためのフローチャートである。
る。
ある。
る。
ある。
Claims (2)
- 【請求項1】 所定重量を有し、移動自在に設けられた
付加質量と、該付加質量を往復駆動させる駆動機構と、
を有し該付加質量の往復動により振動を制振する制振装
置において、 前記付加質量がストッパに当接する直前位置に到着した
ことを検出する検出手段と、 前記検出手段からの検出信号に基づいて前記付加質量を
停止させ、停止後前記付加質量を逆方向に駆動させるよ
うに前記駆動機構を制御する制御手段と、 を備えてなることを特徴とする制振装置。 - 【請求項2】 所定重量を有し、移動自在に設けられた
付加質量と、該付加質量を往復駆動させる駆動モータ
と、を有し該付加質量の往復動により振動を制振する制
振装置において、 前記付加質量がストッパに当接する直前位置に到着した
ことを検出する検出手段と、 前記検出手段からの検出信号に基づいて前記駆動モータ
への速度指令信号をオフ又はゼロVにして前記付加質量
を停止させ、停止後該速度指令信号が−から+あるいは
+から−にへ反転したとき、前記駆動モータへ前記速度
指令信号を供給して前記付加質量を逆方向に駆動させる
ように前記駆動機構を制御する制御手段と、 を備えてなることを特徴とする制振装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP04191855A JP3095044B2 (ja) | 1992-07-20 | 1992-07-20 | 制振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP04191855A JP3095044B2 (ja) | 1992-07-20 | 1992-07-20 | 制振装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0633638A true JPH0633638A (ja) | 1994-02-08 |
JP3095044B2 JP3095044B2 (ja) | 2000-10-03 |
Family
ID=16281632
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP04191855A Expired - Fee Related JP3095044B2 (ja) | 1992-07-20 | 1992-07-20 | 制振装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3095044B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999053217A1 (fr) * | 1998-04-09 | 1999-10-21 | Nikon Corporation | Systeme d'elimination des vibrations et d'exposition |
JP2013190046A (ja) * | 2012-03-14 | 2013-09-26 | Kayaba System Machinery Kk | 制振装置 |
JP2022155008A (ja) * | 2021-03-30 | 2022-10-13 | 横河電機株式会社 | フィールド機器 |
-
1992
- 1992-07-20 JP JP04191855A patent/JP3095044B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999053217A1 (fr) * | 1998-04-09 | 1999-10-21 | Nikon Corporation | Systeme d'elimination des vibrations et d'exposition |
US6472840B1 (en) | 1998-04-09 | 2002-10-29 | Nikon Corporation | Vibration cancellation apparatus and exposure apparatus |
JP2013190046A (ja) * | 2012-03-14 | 2013-09-26 | Kayaba System Machinery Kk | 制振装置 |
JP2022155008A (ja) * | 2021-03-30 | 2022-10-13 | 横河電機株式会社 | フィールド機器 |
US11959783B2 (en) | 2021-03-30 | 2024-04-16 | Yokogawa Electric Corporation | Field device |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP3095044B2 (ja) | 2000-10-03 |
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