JPH06336315A - 昇降装置 - Google Patents
昇降装置Info
- Publication number
- JPH06336315A JPH06336315A JP12224193A JP12224193A JPH06336315A JP H06336315 A JPH06336315 A JP H06336315A JP 12224193 A JP12224193 A JP 12224193A JP 12224193 A JP12224193 A JP 12224193A JP H06336315 A JPH06336315 A JP H06336315A
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- JP
- Japan
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- load receiving
- receiving base
- piston
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- Types And Forms Of Lifts (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】半導体工場等、清浄度を必要とする場所で使用
する事ができるように、機構部からの発塵を極力押さ
え、かつ、機構部をコンパクトにする事を目的とする。 【構成】Ｕ字管を上下に組合せた管１を備え、この管１
の内部に流体２を密封し、流体２の開放面にそれぞれピ
ストン３と１５を載せ、ピストン１５には釣合い重り１
８を載せたバランス機構と、管１の直線部分に荷受け台
７を嵌合させ、この直線部分をガイドとして荷受け台７
を上下させるガイド機構とを有し、ピストン３には内部
磁石６を、また荷受け台７には外部磁石１０を埋設し、
磁石６，１０によって生ずる磁力によりバランス機能を
維持し、荷受け台７を上下させるリニアモータ１９の駆
動力を低減させるとともに、機械的接触部分を減らして
発塵源を少なくしている。
する事ができるように、機構部からの発塵を極力押さ
え、かつ、機構部をコンパクトにする事を目的とする。 【構成】Ｕ字管を上下に組合せた管１を備え、この管１
の内部に流体２を密封し、流体２の開放面にそれぞれピ
ストン３と１５を載せ、ピストン１５には釣合い重り１
８を載せたバランス機構と、管１の直線部分に荷受け台
７を嵌合させ、この直線部分をガイドとして荷受け台７
を上下させるガイド機構とを有し、ピストン３には内部
磁石６を、また荷受け台７には外部磁石１０を埋設し、
磁石６，１０によって生ずる磁力によりバランス機能を
維持し、荷受け台７を上下させるリニアモータ１９の駆
動力を低減させるとともに、機械的接触部分を減らして
発塵源を少なくしている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体生産工場等、清浄
度を必要とする場所で用いる昇降装置に関する。
度を必要とする場所で用いる昇降装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の昇降装置は図７（ａ）の正面図お
よび図７（ｂ）の側面図に示すように、物をのせる荷受
け台４２と、荷受け台４２と結合したガイド４３と、ガ
イド４３の軌道であるガイドレール４４と、荷受け台４
２とガイド４３の重量と同等の重量の釣合い重り４５
と、荷受け台４２と釣合い重り４５とを連結したチェー
ン４６と、チェーン４６を支持しているスプロケット４
７と、荷受け台４２をガイドレール４４に沿って移動さ
せる事が可能なリニアモータ４８と、リニアモータ４８
の位置制御を行うコントローラ４９とを含んで構成され
る。
よび図７（ｂ）の側面図に示すように、物をのせる荷受
け台４２と、荷受け台４２と結合したガイド４３と、ガ
イド４３の軌道であるガイドレール４４と、荷受け台４
２とガイド４３の重量と同等の重量の釣合い重り４５
と、荷受け台４２と釣合い重り４５とを連結したチェー
ン４６と、チェーン４６を支持しているスプロケット４
７と、荷受け台４２をガイドレール４４に沿って移動さ
せる事が可能なリニアモータ４８と、リニアモータ４８
の位置制御を行うコントローラ４９とを含んで構成され
る。
【０００３】次に従来の装置の動作について説明する。
荷受け台４２はチェーン４６、スプロケット４７、釣合
い重り４５で構成されるバランス機構により、外部から
力がかからない限り静止している。そして、リニアモー
タ４８の推力により荷受け台４２は上下に移動する事が
できる。リニアモータ４８は、バランス機構によって推
力が小さい物を用いる事ができる。
荷受け台４２はチェーン４６、スプロケット４７、釣合
い重り４５で構成されるバランス機構により、外部から
力がかからない限り静止している。そして、リニアモー
タ４８の推力により荷受け台４２は上下に移動する事が
できる。リニアモータ４８は、バランス機構によって推
力が小さい物を用いる事ができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の昇降装
置は、バランス機構のチェーンとスプロケットで構成し
ている為、装置を動作するチェーンとスプロケットとの
接触部分から多くのごみが発生すると言う問題がある。
その為、半導体工場等、清浄度を必要とする場所では使
用できないという問題があった。特に、半導体工場等で
はダウンフローにより清浄度を保っている為、上部に発
塵の発生源がある場合は致命的であった。
置は、バランス機構のチェーンとスプロケットで構成し
ている為、装置を動作するチェーンとスプロケットとの
接触部分から多くのごみが発生すると言う問題がある。
その為、半導体工場等、清浄度を必要とする場所では使
用できないという問題があった。特に、半導体工場等で
はダウンフローにより清浄度を保っている為、上部に発
塵の発生源がある場合は致命的であった。
【０００５】また、公知の技術として全体をケーシング
する方法（特開昭６１−１９２４９２）があるが高価で
あった。なぜならば、移動部が直線に移動する為、必ず
スリットが生じる。そのスリットから発塵しないよう
に、例えばスチールベルト等をスリットと微小間隔を開
けて配置する等の方法を用いている為、機構が複雑にな
っていた。また、ケーシング内部には多量に発塵する機
構がある為、メンテナンスの時にケーシングを開けると
発塵してしまうという問題もあった。
する方法（特開昭６１−１９２４９２）があるが高価で
あった。なぜならば、移動部が直線に移動する為、必ず
スリットが生じる。そのスリットから発塵しないよう
に、例えばスチールベルト等をスリットと微小間隔を開
けて配置する等の方法を用いている為、機構が複雑にな
っていた。また、ケーシング内部には多量に発塵する機
構がある為、メンテナンスの時にケーシングを開けると
発塵してしまうという問題もあった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の昇降装置は、Ｕ
字管を備え、このＵ字管の内部に流体を密封し、流体の
開放面にそれぞれピストンを載せ、一方のピストンには
釣合い重りを載せたバランス機構と、Ｕ字管の直線部分
に荷受け台を嵌合させ、この直線部分をガイドとして荷
受け台を上下させるガイド機構とを有し、ピストン及び
荷受け台にはそれぞれ磁石を埋設し、磁力を介してバラ
ンス機能を維持することによって荷受け台を上下させる
駆動力を低減させている。その結果、機械的接触部分が
少なくなり、発塵源を減らすことができる。
字管を備え、このＵ字管の内部に流体を密封し、流体の
開放面にそれぞれピストンを載せ、一方のピストンには
釣合い重りを載せたバランス機構と、Ｕ字管の直線部分
に荷受け台を嵌合させ、この直線部分をガイドとして荷
受け台を上下させるガイド機構とを有し、ピストン及び
荷受け台にはそれぞれ磁石を埋設し、磁力を介してバラ
ンス機能を維持することによって荷受け台を上下させる
駆動力を低減させている。その結果、機械的接触部分が
少なくなり、発塵源を減らすことができる。
【０００７】
【実施例】次に、本発明について図を参照して説明す
る。図１は本発明の第１の実施例の側面図である。図２
は図１のＡ−Ａ断面部を示した図である。図３は図２の
Ｂ部を拡大した図である。
る。図１は本発明の第１の実施例の側面図である。図２
は図１のＡ−Ａ断面部を示した図である。図３は図２の
Ｂ部を拡大した図である。
【０００８】第１の実施例の昇降装置は、Ｕ字管を上下
２つ組み合わせた長円形状の管１と、管１の内部の略下
半を満たす流体２と、管１の一方の直線部の内部に位置
し、流体２の圧力を受ける事が可能で円柱形状をしたピ
ストン３と、ピストン３の外周部にはめ込まれ、管１の
内周部と接触して流体２を密閉する内部パッキン４，５
と、同じくピストン３の外周部に埋設固定された内部磁
石６と、ピストン３と共に移動可能で管１の外周部に嵌
合する荷受け台７と、静止状態で内部磁石６と対向した
位置にあり荷受け台７に埋設固定された外部磁石１０
と、管１の一方の直線部の外周部とスライドベアリング
を介して接触し、荷受け台７に固定されたリニアガイド
１１，１２と、管１の他方の直線部の外周部とスライド
ベアリングを介して接触し、荷受け台７に固定されたリ
ニアガイド１３，１４と、管１の他方の直線部の内部に
位置し、流体２に圧力を加える事が可能で円柱形状をし
たピストン１５と、ピストン１５外周部にはめ込まれ、
管１の内周部と接触する内部パッキン１６，１７と、ピ
ストン１５にのせられた釣合い重り１８と、荷受け台７
と非接触でかつ、管１の直線部と平行に荷受け台７を移
動させる事か可能なリニアモータ１９と、リニアモータ
の位置制御をするコントローラ２０とを含んで構成され
る。なお、流体２は液体でも気体でもよい。
２つ組み合わせた長円形状の管１と、管１の内部の略下
半を満たす流体２と、管１の一方の直線部の内部に位置
し、流体２の圧力を受ける事が可能で円柱形状をしたピ
ストン３と、ピストン３の外周部にはめ込まれ、管１の
内周部と接触して流体２を密閉する内部パッキン４，５
と、同じくピストン３の外周部に埋設固定された内部磁
石６と、ピストン３と共に移動可能で管１の外周部に嵌
合する荷受け台７と、静止状態で内部磁石６と対向した
位置にあり荷受け台７に埋設固定された外部磁石１０
と、管１の一方の直線部の外周部とスライドベアリング
を介して接触し、荷受け台７に固定されたリニアガイド
１１，１２と、管１の他方の直線部の外周部とスライド
ベアリングを介して接触し、荷受け台７に固定されたリ
ニアガイド１３，１４と、管１の他方の直線部の内部に
位置し、流体２に圧力を加える事が可能で円柱形状をし
たピストン１５と、ピストン１５外周部にはめ込まれ、
管１の内周部と接触する内部パッキン１６，１７と、ピ
ストン１５にのせられた釣合い重り１８と、荷受け台７
と非接触でかつ、管１の直線部と平行に荷受け台７を移
動させる事か可能なリニアモータ１９と、リニアモータ
の位置制御をするコントローラ２０とを含んで構成され
る。なお、流体２は液体でも気体でもよい。
【０００９】次に、バランス機能について説明する。
【００１０】荷受け台７の荷重と、外部磁石１０、リニ
アガイド１１，１２，１３，１４との重量は、外部磁石
１０の磁力により内部磁石６に伝わる。内部磁石６はピ
ストン３に固定されている為、ピストン３は流体２に圧
力を加える。加えられた圧力は流体２を伝わり、他方の
直線部のピストン１５を押し上げる。釣合い重り１８は
ピストン１５を押し上げる力と同等の重さの重りであ
る。この為、荷受け台７は外部から力がかからない限り
静止している。
アガイド１１，１２，１３，１４との重量は、外部磁石
１０の磁力により内部磁石６に伝わる。内部磁石６はピ
ストン３に固定されている為、ピストン３は流体２に圧
力を加える。加えられた圧力は流体２を伝わり、他方の
直線部のピストン１５を押し上げる。釣合い重り１８は
ピストン１５を押し上げる力と同等の重さの重りであ
る。この為、荷受け台７は外部から力がかからない限り
静止している。
【００１１】次に、移動機能について説明する。
【００１２】リニアモータ１９の推力は非接触で荷受け
台７に伝わる。荷受け台７はリニアガイド１１，１２，
１３，１４により、管１の直線部に沿って移動する。荷
受け台７を任意の位置で停止させる場合は、リニアモー
タ１９をコントローラ２０で制御する。
台７に伝わる。荷受け台７はリニアガイド１１，１２，
１３，１４により、管１の直線部に沿って移動する。荷
受け台７を任意の位置で停止させる場合は、リニアモー
タ１９をコントローラ２０で制御する。
【００１３】以上のように、荷受け台７を移動させた
時、発塵する部分は管１の外周部と接触するリニアガイ
ド１１，１２，１３，１４である。しかし、各部分から
の発塵が微小である為、管１の外周部に低蒸発グリスな
どの潤骨剤を塗布すれば、クラス１００程度のクリーン
度にする事が可能である。さらに、全体をケーシングす
る公知の手法を用いれば、クラス１００以上のクリーン
度にする事は可能である。以上のように本実施例は、バ
ランス機能を有する為、リニアモータの出力を小さくす
ることが可能であり、かつ、バランス機構の一部をガイ
ド機構に用いている為、機構を簡素化できる。
時、発塵する部分は管１の外周部と接触するリニアガイ
ド１１，１２，１３，１４である。しかし、各部分から
の発塵が微小である為、管１の外周部に低蒸発グリスな
どの潤骨剤を塗布すれば、クラス１００程度のクリーン
度にする事が可能である。さらに、全体をケーシングす
る公知の手法を用いれば、クラス１００以上のクリーン
度にする事は可能である。以上のように本実施例は、バ
ランス機能を有する為、リニアモータの出力を小さくす
ることが可能であり、かつ、バランス機構の一部をガイ
ド機構に用いている為、機構を簡素化できる。
【００１４】次に、第２の実施例について説明する。図
４は本発明の第２の実施例の側面図である。図５は図４
のＡ−Ａ断面部を示した図である。図６は図５のＣ部を
拡大した図である。なお、第２の実施例のバランス機構
は第１の実施例と全く同様の機構、機能の為、説明は省
略する。
４は本発明の第２の実施例の側面図である。図５は図４
のＡ−Ａ断面部を示した図である。図６は図５のＣ部を
拡大した図である。なお、第２の実施例のバランス機構
は第１の実施例と全く同様の機構、機能の為、説明は省
略する。
【００１５】第２の実施例の昇降装置は、内部が密封さ
れたＵ字管２１と、Ｕ字管２１の上部に開けられた穴２
２，２３と、圧縮流体を作る事ができるコンプレッサ２
４と、コンプレッサ２４の圧縮流体を穴２２からＵ字管
２１内部に導く事が可能で、かつ、Ｕ字管内部の圧縮流
体をスピードをコントロールしながら外部に排気する事
が可能な継手２６と、ピストン２７，２８と、内部パッ
キン２９，３０，３１，３２と、内部磁石３３と、荷受
け台３４と、外部磁石３７と、リニアガイド３８，３
９，４０，４１と釣合い重り４２と、コンプレッサ２４
の圧力を制御するコントローラ４３とを含んで構成され
る。
れたＵ字管２１と、Ｕ字管２１の上部に開けられた穴２
２，２３と、圧縮流体を作る事ができるコンプレッサ２
４と、コンプレッサ２４の圧縮流体を穴２２からＵ字管
２１内部に導く事が可能で、かつ、Ｕ字管内部の圧縮流
体をスピードをコントロールしながら外部に排気する事
が可能な継手２６と、ピストン２７，２８と、内部パッ
キン２９，３０，３１，３２と、内部磁石３３と、荷受
け台３４と、外部磁石３７と、リニアガイド３８，３
９，４０，４１と釣合い重り４２と、コンプレッサ２４
の圧力を制御するコントローラ４３とを含んで構成され
る。
【００１６】荷受け台３４は第１実施例で説明したバラ
ンス機能の為、外部から力がかからない限り静止してい
る。この状態で穴２２からコンプレッサ２４の圧縮流体
をＵ字管２１内部に入れれば荷受け台３４は上昇する。
上昇スピードは継手２５で排気スピードを調節する。ま
た、荷受け台３４を下降させたい場合は、穴２３からコ
ンプレッサ２４の圧縮流体を入れ、継手２６の排気スピ
ードを調節すれば良い。なお、コンプレッサは完全にケ
ーシングするか又は室外に設置することによって、発塵
源となることはない。
ンス機能の為、外部から力がかからない限り静止してい
る。この状態で穴２２からコンプレッサ２４の圧縮流体
をＵ字管２１内部に入れれば荷受け台３４は上昇する。
上昇スピードは継手２５で排気スピードを調節する。ま
た、荷受け台３４を下降させたい場合は、穴２３からコ
ンプレッサ２４の圧縮流体を入れ、継手２６の排気スピ
ードを調節すれば良い。なお、コンプレッサは完全にケ
ーシングするか又は室外に設置することによって、発塵
源となることはない。
【００１７】以上のように、２位置決め制御程度であれ
ば、高価なリニアモータを使う必要が無く、安価にクリ
ーン度クラス１００程度の昇降装置が実現できる。ま
た、単に エアシリンダ、油圧シリンダを用いる昇降装
置に比べ、第２の実施例の昇降装置はバランス機能を有
している為、小さな圧力の圧縮流体を用いる事が可能で
ある。その為、安価なコンプレッサを用いる事が可能で
ある。
ば、高価なリニアモータを使う必要が無く、安価にクリ
ーン度クラス１００程度の昇降装置が実現できる。ま
た、単に エアシリンダ、油圧シリンダを用いる昇降装
置に比べ、第２の実施例の昇降装置はバランス機能を有
している為、小さな圧力の圧縮流体を用いる事が可能で
ある。その為、安価なコンプレッサを用いる事が可能で
ある。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の昇降装置
はバランス機構からの発塵が非常に少ない為、半導体工
場等、清浄度を必要とする場所でケーシングなしで使用
する事が可能であるという効果がある。また、バランス
機構とガイド機構を一体化したので、機構を簡素化でき
るという効果もある。また、第２の実施例で示したよう
に、バランス機構、ガイド機構、移動機構を一体化する
事が可能となるので、機構簡素化に加えて安価にできる
という効果がある。
はバランス機構からの発塵が非常に少ない為、半導体工
場等、清浄度を必要とする場所でケーシングなしで使用
する事が可能であるという効果がある。また、バランス
機構とガイド機構を一体化したので、機構を簡素化でき
るという効果もある。また、第２の実施例で示したよう
に、バランス機構、ガイド機構、移動機構を一体化する
事が可能となるので、機構簡素化に加えて安価にできる
という効果がある。
【図１】本発明の第１の実施例を示した側面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面部を示した図である。
【図３】図２のＢ部を拡大した図である。
【図４】本発明の第２の実施例を示した側面図である。
【図５】図４のＡ−Ａ断面部を示した図である。
【図６】図５のＣ部を拡大した図である。
【図７】従来の昇降装置を示す図で、同図（ａ）は正面
図，同図（ｂ）は側面図である。
図，同図（ｂ）は側面図である。
１ 管 ２ 流体 ３ ピストン ４，５ 内部パッキン ６ 内部磁石 ７ 荷受け台 １０ 外部磁石 １１，１２，１３，１４ リニアガイド １５ ピストン １６，１７ 内部パッキン １８ 釣合い重り １９ リニアモータ ２０ コントローラ ２１ Ｕ字管 ２２，２３ 穴 ２４ コンプレッサ ２５，２６ 継手 ２７，２８ ピストン ２９，３０，３１，３２ 内部パッキン ３３ 内部磁石 ３４ 荷受け台 ３７ 外部磁石 ３８，３９，４０，４１ リニアガイド ４２ 釣合い重り ４３ コントローラ
Claims (2)
- 【請求項１】 荷物を載せる荷受け台を上下させるガイ
ド機構および移動機構と、この移動機構の駆動力を低減
させるためのバランス機構と、荷受け台の移動位置の制
御を行う制御機構とを備えた昇降装置において、Ｕ字管
内に流体を密封し、流体の両開放面にそれぞれピストン
を載せ、一方のピストンには釣合い重りを載せたバラン
ス機構と、Ｕ字管の直線部分に荷受け台を嵌合させ、こ
の直線部分をガイドとして荷受け台を上下させるガイド
機構とを有し、ピストン及び荷受け台にはそれぞれ磁石
を埋設し、磁力を介してバランス機能を維持することを
特徴とする昇降装置。 - 【請求項２】 前記移動機構の駆動力に圧縮流体を使用
し、Ｕ字管の両端部にそれぞれこの圧縮流体の導入，排
出およびスピードコントロールが可能な継手を接続し、
この圧力によるピストンの動きを磁力を介して荷受け台
に伝達するとともに移動機構はバランス機構を兼ねてい
る請求項１記載の昇降装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5122241A JP2500593B2 (ja) | 1993-05-25 | 1993-05-25 | 昇降装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5122241A JP2500593B2 (ja) | 1993-05-25 | 1993-05-25 | 昇降装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06336315A true JPH06336315A (ja) | 1994-12-06 |
| JP2500593B2 JP2500593B2 (ja) | 1996-05-29 |
Family
ID=14831088
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5122241A Expired - Lifetime JP2500593B2 (ja) | 1993-05-25 | 1993-05-25 | 昇降装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2500593B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5639575A (en) * | 1992-12-04 | 1997-06-17 | Sony Corporation | Non-aqueous liquid electrolyte secondary battery |
| KR100627229B1 (ko) * | 2005-08-18 | 2006-09-25 | (주)에이원메카 | 단별 구동형 다단 마그네틱 리프터 |
| KR100762488B1 (ko) * | 2001-11-17 | 2007-10-04 | 주식회사 포스코 | 디스차징카 스크래퍼 언밸런스 교정장치 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04203508A (ja) * | 1990-11-29 | 1992-07-24 | Seiko Epson Corp | ロッドレスシリンダ |
| JPH05116864A (ja) * | 1991-10-25 | 1993-05-14 | Otis Elevator Co | リニアモータを使用した油圧式エレベーター |
-
1993
- 1993-05-25 JP JP5122241A patent/JP2500593B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04203508A (ja) * | 1990-11-29 | 1992-07-24 | Seiko Epson Corp | ロッドレスシリンダ |
| JPH05116864A (ja) * | 1991-10-25 | 1993-05-14 | Otis Elevator Co | リニアモータを使用した油圧式エレベーター |
Cited By (3)
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| KR100762488B1 (ko) * | 2001-11-17 | 2007-10-04 | 주식회사 포스코 | 디스차징카 스크래퍼 언밸런스 교정장치 |
| KR100627229B1 (ko) * | 2005-08-18 | 2006-09-25 | (주)에이원메카 | 단별 구동형 다단 마그네틱 리프터 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2500593B2 (ja) | 1996-05-29 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19960123 |