JPH06331308A - 走査トンネル顕微鏡用試料冷却保持装置 - Google Patents
走査トンネル顕微鏡用試料冷却保持装置Info
- Publication number
- JPH06331308A JPH06331308A JP5119905A JP11990593A JPH06331308A JP H06331308 A JPH06331308 A JP H06331308A JP 5119905 A JP5119905 A JP 5119905A JP 11990593 A JP11990593 A JP 11990593A JP H06331308 A JPH06331308 A JP H06331308A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- cooling
- holder
- holding device
- stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単に試料交換を行うことができる走査トン
ネル顕微鏡用試料冷却保持装置を提供する。 【構成】 ホルダケース部４に試料固定部３を取り付け
て試料固定部３に試料５を固定する試料ホルダ１、及び
試料固定部３と接触する周囲部分に配置した熱伝導部１
６と該熱伝導部１６を本体から断熱する断熱材１８と熱
伝導部１６を冷却する冷却装置１２とを有し試料ホルダ
１を背面側から装着するように構成した試料ステージ１
１からなる。この構成により、試料ホルダ１が試料ステ
ージ１１の背面側から着脱でき、簡単に試料交換を行う
ことができる。
ネル顕微鏡用試料冷却保持装置を提供する。 【構成】 ホルダケース部４に試料固定部３を取り付け
て試料固定部３に試料５を固定する試料ホルダ１、及び
試料固定部３と接触する周囲部分に配置した熱伝導部１
６と該熱伝導部１６を本体から断熱する断熱材１８と熱
伝導部１６を冷却する冷却装置１２とを有し試料ホルダ
１を背面側から装着するように構成した試料ステージ１
１からなる。この構成により、試料ホルダ１が試料ステ
ージ１１の背面側から着脱でき、簡単に試料交換を行う
ことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、試料を低温に冷却した
状態で探針と試料との間に流れるトンネル電流を検出し
ながら探針で試料面を走査し像観察を行う走査トンネル
顕微鏡用試料冷却保持装置に関する。
状態で探針と試料との間に流れるトンネル電流を検出し
ながら探針で試料面を走査し像観察を行う走査トンネル
顕微鏡用試料冷却保持装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＳＴＭ（走査トンネル顕微鏡）による試
料の観察では、その目的により常温だけでなく、低温や
高温の環境が必要な場合もある。例えば超電導状態での
試料を観察する場合には、試料を極低温に冷却した状態
で保持することが必要になる。このような場合に用いら
れる従来のＳＴＭ（走査トンネル顕微鏡）用試料冷却ホ
ルダには、試料ステージ、探針、固定台等のＳＴＭユニ
ット全体、あるいはＳＴＭユニットを入れた容器全体を
冷媒の中に入れてＳＴＭユニット全体を冷却するタイプ
と、試料ホルダのみ又は試料ステージのみを冷却するタ
イプがある。
料の観察では、その目的により常温だけでなく、低温や
高温の環境が必要な場合もある。例えば超電導状態での
試料を観察する場合には、試料を極低温に冷却した状態
で保持することが必要になる。このような場合に用いら
れる従来のＳＴＭ（走査トンネル顕微鏡）用試料冷却ホ
ルダには、試料ステージ、探針、固定台等のＳＴＭユニ
ット全体、あるいはＳＴＭユニットを入れた容器全体を
冷媒の中に入れてＳＴＭユニット全体を冷却するタイプ
と、試料ホルダのみ又は試料ステージのみを冷却するタ
イプがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記いずれの
ＳＴＭ用試料冷却ホルダも、一旦冷却を開始すると、冷
却中の試料に不具合が生じた場合、すぐには試料交換が
できないという問題があった。すなわち、試料交換を行
うためには、途中で冷却ＳＴＭ像観察を中止し、常温に
戻してからＳＴＭユニットを取り出して試料を交換し、
再び最初から冷却を行って冷却ＳＴＭ像観察を行わなけ
ればならなかった。そのため、試料交換に多くの時間と
手間がかかり、冷媒を無駄にする量も多くなってしま
う。
ＳＴＭ用試料冷却ホルダも、一旦冷却を開始すると、冷
却中の試料に不具合が生じた場合、すぐには試料交換が
できないという問題があった。すなわち、試料交換を行
うためには、途中で冷却ＳＴＭ像観察を中止し、常温に
戻してからＳＴＭユニットを取り出して試料を交換し、
再び最初から冷却を行って冷却ＳＴＭ像観察を行わなけ
ればならなかった。そのため、試料交換に多くの時間と
手間がかかり、冷媒を無駄にする量も多くなってしま
う。
【０００４】また、試料ホルダだけを冷却するタイプの
ものでも、冷却ＳＴＭ専用の構造であるため、ＳＴＭユ
ニット全体が容器に覆われており、すぐに試料交換をす
ることができない。
ものでも、冷却ＳＴＭ専用の構造であるため、ＳＴＭユ
ニット全体が容器に覆われており、すぐに試料交換をす
ることができない。
【０００５】さらに、冷却ＳＴＭ専用形状のステージを
持っているために、常温、高温ＳＴＭ用の試料ホルダと
は互換性がなく、そのため、常温、高温ＳＴＭがあって
も、冷却ＳＴＭ像観察を行う場合には、別に冷却ＳＴＭ
を用意しなければならず、不経済であった。
持っているために、常温、高温ＳＴＭ用の試料ホルダと
は互換性がなく、そのため、常温、高温ＳＴＭがあって
も、冷却ＳＴＭ像観察を行う場合には、別に冷却ＳＴＭ
を用意しなければならず、不経済であった。
【０００６】本発明は、上記の課題を解決するものであ
って、簡単に試料交換を行うことができる走査トンネル
顕微鏡用試料冷却保持装置を提供することを目的とする
ものである。
って、簡単に試料交換を行うことができる走査トンネル
顕微鏡用試料冷却保持装置を提供することを目的とする
ものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】そのために本発明は、試
料を低温に冷却した状態で探針と試料との間に流れるト
ンネル電流を検出しながら探針で試料面を走査し像観察
を行う走査トンネル顕微鏡用試料冷却保持装置であっ
て、ホルダケース部に試料固定部を取り付けて試料固定
部に試料を固定する試料ホルダ、及び試料固定部と接触
する周囲部分に配置した熱伝導部と該熱伝導部を本体か
ら断熱する断熱材と熱伝導部を冷却する冷却装置とを有
し試料ホルダを背面側から装着するように構成した試料
ステージからなることを特徴とするものである。
料を低温に冷却した状態で探針と試料との間に流れるト
ンネル電流を検出しながら探針で試料面を走査し像観察
を行う走査トンネル顕微鏡用試料冷却保持装置であっ
て、ホルダケース部に試料固定部を取り付けて試料固定
部に試料を固定する試料ホルダ、及び試料固定部と接触
する周囲部分に配置した熱伝導部と該熱伝導部を本体か
ら断熱する断熱材と熱伝導部を冷却する冷却装置とを有
し試料ホルダを背面側から装着するように構成した試料
ステージからなることを特徴とするものである。
【０００８】
【作用】本発明の走査トンネル顕微鏡用試料冷却保持装
置では、ホルダケース部に試料固定部を取り付けて試料
固定部に試料を固定する試料ホルダ、及び試料固定部と
接触する周囲部分に配置した熱伝導部と該熱伝導部を本
体から断熱する断熱材と熱伝導部を冷却する冷却装置と
を有し試料ホルダを背面側から装着するように構成した
試料ステージからなるので、試料ホルダが試料ステージ
の背面側から着脱でき、簡単に試料交換を行うことがで
きる。
置では、ホルダケース部に試料固定部を取り付けて試料
固定部に試料を固定する試料ホルダ、及び試料固定部と
接触する周囲部分に配置した熱伝導部と該熱伝導部を本
体から断熱する断熱材と熱伝導部を冷却する冷却装置と
を有し試料ホルダを背面側から装着するように構成した
試料ステージからなるので、試料ホルダが試料ステージ
の背面側から着脱でき、簡単に試料交換を行うことがで
きる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ説
明する。図１は本発明に係る走査トンネル顕微鏡用試料
冷却保持装置の１実施例を示す図であり、（Ａ）は試料
ホルダ側面図、（Ｂ）は試料ステージ側面図、（Ｃ）は
試料ステージ正面図、（Ｄ）は試料ホルダを試料ステー
ジに装着した状態を示す図である。図中、１は試料ホル
ダ、２、１８は断熱材、３は試料固定部、４はホルダケ
ース部、５は試料、１１は試料ステージ、１２、１３は
冷却装置、１４、１５は熱伝導体、１６は熱伝導部、１
７は熱伝導カバー、１９はステージ本体を示す。
明する。図１は本発明に係る走査トンネル顕微鏡用試料
冷却保持装置の１実施例を示す図であり、（Ａ）は試料
ホルダ側面図、（Ｂ）は試料ステージ側面図、（Ｃ）は
試料ステージ正面図、（Ｄ）は試料ホルダを試料ステー
ジに装着した状態を示す図である。図中、１は試料ホル
ダ、２、１８は断熱材、３は試料固定部、４はホルダケ
ース部、５は試料、１１は試料ステージ、１２、１３は
冷却装置、１４、１５は熱伝導体、１６は熱伝導部、１
７は熱伝導カバー、１９はステージ本体を示す。
【００１０】試料ホルダ１は、図１（Ａ）に示すように
ホルダケース部４に断熱材２を介して試料固定部３を取
り付け、試料固定部３の中に試料５を固定するものであ
る。試料固定部３は、試料５の背面の周囲を覆いその前
面に探針がアクセスするための窓を有し、例えばＣｕ等
の熱伝導性の良好な材料を用いたものである。
ホルダケース部４に断熱材２を介して試料固定部３を取
り付け、試料固定部３の中に試料５を固定するものであ
る。試料固定部３は、試料５の背面の周囲を覆いその前
面に探針がアクセスするための窓を有し、例えばＣｕ等
の熱伝導性の良好な材料を用いたものである。
【００１１】試料ステージ１１は、図１（Ｂ）に示すよ
うに熱伝導部１６と断熱材１８を有するステージ本体１
９と冷却装置１２、１３、それらの熱伝導体１４、１５
からなる。ステージ本体１９は、図１（Ｃ）に示すよう
に試料ホルダ１を背面側から嵌め込むように円筒状の空
間を有し、図１（Ｂ）、（Ｄ）に示すように試料ホルダ
１を装着したときに、試料ホルダ１の試料固定部３の周
囲に接する部分に熱伝導部１６を配置し、断熱材２の周
囲に接しさらに熱伝導部１６を囲むように断熱材１８を
設けて、試料５の前面を空けるようにしたものである。
そして、熱伝導部１６は、冷却装置１２の熱伝導体１４
に接続され、ステージ本体１９は、冷却装置１３の熱伝
導体１５に接続される。冷却装置１２は、例えば液体ヘ
リウムを使って極低温冷却を行うものであり、冷却装置
１３は、例えば液体窒素を使って低温冷却を行うもので
ある。熱伝導体カバー１７は、熱伝導体１５による温度
で熱伝導体１４、熱伝導部１６を覆うものである。
うに熱伝導部１６と断熱材１８を有するステージ本体１
９と冷却装置１２、１３、それらの熱伝導体１４、１５
からなる。ステージ本体１９は、図１（Ｃ）に示すよう
に試料ホルダ１を背面側から嵌め込むように円筒状の空
間を有し、図１（Ｂ）、（Ｄ）に示すように試料ホルダ
１を装着したときに、試料ホルダ１の試料固定部３の周
囲に接する部分に熱伝導部１６を配置し、断熱材２の周
囲に接しさらに熱伝導部１６を囲むように断熱材１８を
設けて、試料５の前面を空けるようにしたものである。
そして、熱伝導部１６は、冷却装置１２の熱伝導体１４
に接続され、ステージ本体１９は、冷却装置１３の熱伝
導体１５に接続される。冷却装置１２は、例えば液体ヘ
リウムを使って極低温冷却を行うものであり、冷却装置
１３は、例えば液体窒素を使って低温冷却を行うもので
ある。熱伝導体カバー１７は、熱伝導体１５による温度
で熱伝導体１４、熱伝導部１６を覆うものである。
【００１２】本発明に係る走査トンネル顕微鏡用試料冷
却保持装置は、図１（Ｄ）に示すように試料ステージ１
１に背面から例えばＭＧＬ（磁気結合式案内棒）装置等
で試料ホルダ１を着脱することにより、試料交換を容易
に行うことができる。しかも、試料ステージ１１に試料
ホルダ１を装着すると、試料固定部３を周囲の熱伝導部
１６を介して冷却装置１２で極低温に冷却して断熱材
２、１８で断熱し、さらにそれらを周囲のステージ本体
１９及びこれに接触するホルダケース部４を冷却装置１
３で低温に補助冷却している。すなわち、断熱材２、１
８を包むようにホルダケース部４、ステージ本体１９が
熱的シールド体としている。したがって、試料固定部
３、試料５からの輻射放熱を断熱材とステージ本体１８
で防ぐことができるので、試料５の冷却効果を高め冷却
温度を安定化することができる。
却保持装置は、図１（Ｄ）に示すように試料ステージ１
１に背面から例えばＭＧＬ（磁気結合式案内棒）装置等
で試料ホルダ１を着脱することにより、試料交換を容易
に行うことができる。しかも、試料ステージ１１に試料
ホルダ１を装着すると、試料固定部３を周囲の熱伝導部
１６を介して冷却装置１２で極低温に冷却して断熱材
２、１８で断熱し、さらにそれらを周囲のステージ本体
１９及びこれに接触するホルダケース部４を冷却装置１
３で低温に補助冷却している。すなわち、断熱材２、１
８を包むようにホルダケース部４、ステージ本体１９が
熱的シールド体としている。したがって、試料固定部
３、試料５からの輻射放熱を断熱材とステージ本体１８
で防ぐことができるので、試料５の冷却効果を高め冷却
温度を安定化することができる。
【００１３】また、図示のように試料ホルダ１では、断
熱材２と試料固定部３との間に段差を設け、これに対応
して試料ステージ１１でも、断熱材１８と熱伝導部１６
との間に段差を設けることによって、試料ホルダ１の試
料ステージ１１への着脱、断熱材２と８の接触、試料固
定部３と熱伝導部１６の接触位置決めを容易にすること
ができ、冷却中でも、従来と同様に試料交換ができる。
熱材２と試料固定部３との間に段差を設け、これに対応
して試料ステージ１１でも、断熱材１８と熱伝導部１６
との間に段差を設けることによって、試料ホルダ１の試
料ステージ１１への着脱、断熱材２と８の接触、試料固
定部３と熱伝導部１６の接触位置決めを容易にすること
ができ、冷却中でも、従来と同様に試料交換ができる。
【００１４】図２は常温、高温ＳＴＭ用試料ホルダ・ス
テージの概略を示す図であり、２１は試料ホルダ、２２
は試料ステージ、２３は試料を示す。
テージの概略を示す図であり、２１は試料ホルダ、２２
は試料ステージ、２３は試料を示す。
【００１５】図２に示すように常温、高温ＳＴＭ用の試
料ステージ２２は、図１に示した冷却装置１２、１３、
熱伝導体１４、１５をなくすると共に、熱伝導部１６、
断熱材１８もなくしたものであり、従来の常温、高温Ｓ
ＴＭ用試料ステージと同様の形状となる。したがって、
従来の試料ホルダを使い、図１に示す試料ステージを使
用すれば試料を冷却することができ、図２に示す試料ス
テージと交換することにより、従来どおりの常温、高温
ＳＴＭ像観察が可能であるが、冷却運転を停止してもよ
い。
料ステージ２２は、図１に示した冷却装置１２、１３、
熱伝導体１４、１５をなくすると共に、熱伝導部１６、
断熱材１８もなくしたものであり、従来の常温、高温Ｓ
ＴＭ用試料ステージと同様の形状となる。したがって、
従来の試料ホルダを使い、図１に示す試料ステージを使
用すれば試料を冷却することができ、図２に示す試料ス
テージと交換することにより、従来どおりの常温、高温
ＳＴＭ像観察が可能であるが、冷却運転を停止してもよ
い。
【００１６】図３は本発明に係る走査トンネル顕微鏡用
試料冷却保持装置の他の実施例を示す図、図４は本発明
に係る走査トンネル顕微鏡用試料冷却保持装置に永久磁
石を装着した他の実施例を示す図である。
試料冷却保持装置の他の実施例を示す図、図４は本発明
に係る走査トンネル顕微鏡用試料冷却保持装置に永久磁
石を装着した他の実施例を示す図である。
【００１７】図３に示す例は、図１において、冷却装置
１３、熱伝導体１５を省いたものであり、図４に示す例
は、試料ホルダのホルダケース部３１に永久磁石３２を
装着し、冷却磁場印加用試料ホルダとして構成したもの
である。なお、３３はヨーク、３４は熱絶縁物である。
１３、熱伝導体１５を省いたものであり、図４に示す例
は、試料ホルダのホルダケース部３１に永久磁石３２を
装着し、冷却磁場印加用試料ホルダとして構成したもの
である。なお、３３はヨーク、３４は熱絶縁物である。
【００１８】試料が超電導材料などの場合、磁場を印加
することにより、試料に磁束が通る部分と通らない部分
ができる。この場合、磁束が通る部分は、超電導状態で
ない欠陥部である。この欠陥部の全体に占める割合、並
び方等で超電導材料の性質などが変わる。磁束が通る部
分には磁束による過電流が流れるので、ＳＴＭでＩ−Ｖ
特性を調べることにより、欠陥部の位置とＩ−Ｖ特性が
わかる。このようなことから、超電導材料関係の研究で
は、冷却磁場印加の要求がでてきているが、従来の冷却
ＳＴＭには、試料を冷却すると同時に試料に磁場を印加
するようなホルダはまだ市場にはない。
することにより、試料に磁束が通る部分と通らない部分
ができる。この場合、磁束が通る部分は、超電導状態で
ない欠陥部である。この欠陥部の全体に占める割合、並
び方等で超電導材料の性質などが変わる。磁束が通る部
分には磁束による過電流が流れるので、ＳＴＭでＩ−Ｖ
特性を調べることにより、欠陥部の位置とＩ−Ｖ特性が
わかる。このようなことから、超電導材料関係の研究で
は、冷却磁場印加の要求がでてきているが、従来の冷却
ＳＴＭには、試料を冷却すると同時に試料に磁場を印加
するようなホルダはまだ市場にはない。
【００１９】なお、本発明は、上記の実施例に限定され
るものではなく、種々の変形が可能である。例えば上記
の実施例では、ホルダケース４に断熱材２を介して試料
固定部３を取り付けるように試料ホルダを構成したが、
断熱材を省いてもよい。
るものではなく、種々の変形が可能である。例えば上記
の実施例では、ホルダケース４に断熱材２を介して試料
固定部３を取り付けるように試料ホルダを構成したが、
断熱材を省いてもよい。
【００２０】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、ホルダケース部に試料固定部を取り付けて試
料固定部に試料を固定する試料ホルダ、及び試料固定部
と接触する周囲部分に配置した熱伝導部と該熱伝導部を
本体から断熱する断熱材と熱伝導部を冷却する冷却装置
とを有し試料ホルダを背面側から装着するように構成し
た試料ステージからなるので、試料ホルダが試料ステー
ジの背面側から自由に着脱でき、冷却中であっても容易
に試料交換を行うことができる。しかも、効果的に試料
を冷却できる。さらに、常温、高温ＳＴＭ用と同様の形
状をとることができるので、従来の常温、高温ＳＴＭ用
のＭＧＬ、パーキングが利用でき、冷却対応試料ステー
ジ、試料冷却ホルダ、常温、高温ＳＴＭ用ホルダを利用
すれば、同じステージで高温から低温まで対応可能なＳ
ＴＭが実現できる。勿論、冷却運転を停止すれば従来ど
おりの常温、高温ＳＴＭ像観察も可能になる。また、試
料に対し冷却磁場印加を行うことができる。
によれば、ホルダケース部に試料固定部を取り付けて試
料固定部に試料を固定する試料ホルダ、及び試料固定部
と接触する周囲部分に配置した熱伝導部と該熱伝導部を
本体から断熱する断熱材と熱伝導部を冷却する冷却装置
とを有し試料ホルダを背面側から装着するように構成し
た試料ステージからなるので、試料ホルダが試料ステー
ジの背面側から自由に着脱でき、冷却中であっても容易
に試料交換を行うことができる。しかも、効果的に試料
を冷却できる。さらに、常温、高温ＳＴＭ用と同様の形
状をとることができるので、従来の常温、高温ＳＴＭ用
のＭＧＬ、パーキングが利用でき、冷却対応試料ステー
ジ、試料冷却ホルダ、常温、高温ＳＴＭ用ホルダを利用
すれば、同じステージで高温から低温まで対応可能なＳ
ＴＭが実現できる。勿論、冷却運転を停止すれば従来ど
おりの常温、高温ＳＴＭ像観察も可能になる。また、試
料に対し冷却磁場印加を行うことができる。
【図１】 本発明に係る走査トンネル顕微鏡用試料冷却
保持装置の１実施例を示す図である。
保持装置の１実施例を示す図である。
【図２】 常温、高温ＳＴＭ用試料ホルダ・ステージの
概略を示す図である。
概略を示す図である。
【図３】 本発明に係る走査トンネル顕微鏡用試料冷却
保持装置の他の実施例を示す図である。
保持装置の他の実施例を示す図である。
【図４】 本発明に係る走査トンネル顕微鏡用試料冷却
保持装置に永久磁石を装着した他の実施例を示す図であ
る。
保持装置に永久磁石を装着した他の実施例を示す図であ
る。
１…試料ホルダ、２、１８…断熱材、３…試料固定部、
４…ホルダケース部、５…試料、１１…試料ステージ、
１２、１３…冷却装置、１４、１５…熱伝導体、１６…
熱伝導部、１７…熱伝導カバー、１９…ステージ本体
４…ホルダケース部、５…試料、１１…試料ステージ、
１２、１３…冷却装置、１４、１５…熱伝導体、１６…
熱伝導部、１７…熱伝導カバー、１９…ステージ本体
Claims (4)
- 【請求項１】 試料を低温に冷却した状態で探針と試料
との間に流れるトンネル電流を検出しながら探針で試料
面を走査し像観察を行う走査トンネル顕微鏡用試料冷却
保持装置であって、ホルダケース部に試料固定部を取り
付けて試料固定部に試料を固定する試料ホルダ、及び試
料固定部と接触する周囲部分に配置した熱伝導部と該熱
伝導部を本体から断熱する断熱材と熱伝導部を冷却する
冷却装置とを有し試料ホルダを背面側から装着するよう
に構成した試料ステージからなることを特徴とする走査
トンネル顕微鏡用試料冷却保持装置。 - 【請求項２】 試料ホルダのホルダケース部と試料固定
部との間に断熱材を配置したことを特徴とする請求項１
記載の走査トンネル顕微鏡用試料冷却保持装置。 - 【請求項３】 試料ステージの断熱材で熱伝導部と断熱
された本体を冷却する補助冷却装置を有することを特徴
とする請求項１記載の走査トンネル顕微鏡用試料冷却保
持装置。 - 【請求項４】 試料ホルダのホルダケース部に永久磁石
を装着したことを特徴とする請求項１記載の走査トンネ
ル顕微鏡用試料冷却保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5119905A JP2986304B2 (ja) | 1993-05-21 | 1993-05-21 | 走査トンネル顕微鏡用試料冷却保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5119905A JP2986304B2 (ja) | 1993-05-21 | 1993-05-21 | 走査トンネル顕微鏡用試料冷却保持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06331308A true JPH06331308A (ja) | 1994-12-02 |
| JP2986304B2 JP2986304B2 (ja) | 1999-12-06 |
Family
ID=14773113
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5119905A Expired - Lifetime JP2986304B2 (ja) | 1993-05-21 | 1993-05-21 | 走査トンネル顕微鏡用試料冷却保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2986304B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101234604B1 (ko) * | 2011-09-28 | 2013-02-19 | 한국기초과학지원연구원 | 생체시료의 전자현미분석 관찰을 위한 크라이오 스테이지 |
| CN103901232A (zh) * | 2014-03-13 | 2014-07-02 | 复旦大学 | 一种利用闭循环制冷机致冷的低温扫描隧道显微镜 |
| CN110849255A (zh) * | 2019-11-27 | 2020-02-28 | 中国科学院理化技术研究所 | 一种位移传感器 |
| CN113884707A (zh) * | 2020-07-02 | 2022-01-04 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 加热架互联组件及转移真空样品托 |
-
1993
- 1993-05-21 JP JP5119905A patent/JP2986304B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101234604B1 (ko) * | 2011-09-28 | 2013-02-19 | 한국기초과학지원연구원 | 생체시료의 전자현미분석 관찰을 위한 크라이오 스테이지 |
| CN103901232A (zh) * | 2014-03-13 | 2014-07-02 | 复旦大学 | 一种利用闭循环制冷机致冷的低温扫描隧道显微镜 |
| CN103901232B (zh) * | 2014-03-13 | 2015-12-09 | 复旦大学 | 一种利用闭循环制冷机致冷的低温扫描隧道显微镜 |
| CN110849255A (zh) * | 2019-11-27 | 2020-02-28 | 中国科学院理化技术研究所 | 一种位移传感器 |
| CN110849255B (zh) * | 2019-11-27 | 2021-08-20 | 中国科学院理化技术研究所 | 一种位移传感器 |
| CN113884707A (zh) * | 2020-07-02 | 2022-01-04 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 加热架互联组件及转移真空样品托 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2986304B2 (ja) | 1999-12-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3605119B2 (ja) | 電子顕微鏡のための超高傾斜試験片低温移送ホルダ | |
| JPH065643B2 (ja) | 開放ｍｒｉ磁石 | |
| EP0596249B1 (en) | Compact superconducting magnet system free from liquid helium | |
| JPH03245504A (ja) | 臨界磁場測定装置用磁石 | |
| JPH09187440A (ja) | 開放型磁気共鳴イメージング磁石 | |
| JPH06331308A (ja) | 走査トンネル顕微鏡用試料冷却保持装置 | |
| JP3266740B2 (ja) | 走査トンネル顕微鏡用試料ホルダ | |
| Tosaka et al. | Persistent current HTS magnet cooled by cryocooler (4)-persistent current switch characteristics | |
| EP1293993A2 (en) | Superconducting magnet and magnetic resonance imaging apparatus using the same | |
| US6441711B2 (en) | Magnetizing magnet | |
| JP4065747B2 (ja) | 超電導磁石及びそれを用いた磁気共鳴イメージング装置 | |
| JP2545452B2 (ja) | 超電導マグネット装置 | |
| JPH05234749A (ja) | 磁気浮上列車用超電導装置 | |
| JP3504831B2 (ja) | 試料ホルダ | |
| JPS6032374A (ja) | 超電導電磁石装置 | |
| JP3380134B2 (ja) | ヒートコンダクタ | |
| JPS6229113A (ja) | 超電導装置 | |
| JPH0590022A (ja) | 超電導マグネツトシステム | |
| JPH10135027A (ja) | 超電導磁石装置 | |
| JP2515813B2 (ja) | 超電導機器用電流リ−ド | |
| JP2002014026A (ja) | 走査形プローブ顕微鏡 | |
| JP2818261B2 (ja) | クライオスタット | |
| JPH051048Y2 (ja) | ||
| GB2339968A (en) | A magnetizing arrangement for a high temperature superconductor | |
| JPH05167109A (ja) | 高温超電導体電流リード |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990914 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081001 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091001 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091001 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101001 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101001 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111001 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121001 Year of fee payment: 13 |