JPH063266A

JPH063266A - オゾン濃度測定方法および２光路セルを用いた光吸収式オゾン濃度計

Info

Publication number: JPH063266A
Application number: JP16591192A
Authority: JP
Inventors: Kojiro Kawasaki; 浩二郎川崎
Original assignee: SEKI ELECTRON KK
Current assignee: SEKI ELECTRON KK
Priority date: 1992-06-24
Filing date: 1992-06-24
Publication date: 1994-01-11

Abstract

(57)【要約】【目的】高精度かつ低価格のオゾン濃度計を実現する
ことである。【構成】２光路セル（Ｌ１，Ｌ２の異なるセル長を持
つ測定セルを連通させて一体化したセル）を新規に採用
し、これに、ベール・ランバートの吸収の式を適用し、
変形することにより、実質的にオゾンフリーの基準媒体
による透過光強度の測定を省略し、測定対象であるサン
プルのみの測定でオゾン濃度の検出を行えるようにな
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はオゾン濃度測定方法およ
び２光路セルを用いた光吸収式オゾン濃度計に関し、特
に、インライン型紫外線吸収式オゾン濃度計の低価格
化、かつ高精度の測定を可能にする技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】紫外線吸収式オゾン濃度計は、動的な流
体中のオゾン濃度を、紫外線の吸収量の変化を利用して
測定する測定器である。すなわち、一定光路長内を通過
するサンプルの紫外線吸収度（透過率の逆数）を測定し
て、その対数をとってオゾン濃度に換算して表示してい
る。吸収セル中のオゾン濃度は、サンプル（試料）によ
る２５４ｎｍの光の吸収量によって決定される。この数
値決定に関係するものとしては、次の特性が挙げられ
る。

【０００３】（ア）波長２５４ｎｍにおけるオゾンの吸
収係数（μ）（イ）吸収セルの光路長（Ｌ）（ウ）波長２５４ｎｍにおけるサンプルの透過率（Ｉ／
Ｉ₀）ここで、透過率（Ｉ／Ｉ₀）のＩは、吸収セル中にオゾ
ンを含む試料ガスまたは試料液体（サンプル）があった
時の透過光の強度であり、Ｉ₀はオゾンを含まない基準
媒体の透過光の強度測定値である。この透過率の値は、
ベール・ランバートの吸収の法則によって、次式で定義
される。

【０００４】透過率＝Ｉ／Ｉ₀＝ｅｘｐ（−μｃＬ）・・・・・（１）ここで、μ＝３０４±４ atm^-1cm^-1（０°Ｃ，760 tor
r) ，ｃ＝サンプル中のオゾン濃度，Ｌ＝上述の吸収セ
ルの光路長である。

【０００５】したがって、オゾン濃度ｃ（ｐｐｍ）は次
式で計算される。ｃ（ｐｐｍ）＝−（１０⁶／μＬ）・ｌｎ（Ｉ／Ｉ₀）＝（１０⁶／μＬ）・ｌｎ（Ｉ₀／Ｉ）・・・・・（２）

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、ベー
ル・ランバートの吸収の法則を用いて紫外線吸収度の比
よりオゾン濃度を測定するため、必然的に、オゾンを含
むサンプルと、オゾンを含まない基準媒体とを交互に測
定セルに導いて、この両者の紫外線透過強度を測定しな
ければならない。この場合、以下の問題点がある。（１）紫外線ランプの強度は時間に対して変動してい
る。１回の透過強度の測定にはある程度の時間がかかる
ため、毎回おなじ条件で測定するためにはのこの間のラ
ンプ光源の強度変化を別のセンサで測定し、補正する必
要がある。したがって、補正のための余分な構成が必要
となり、装置構成が複雑化する。（２）流体流路の切り替えに、オゾンと反応しない高価
なテフロン製の弁を用いた電磁弁を使用する必要があ
る。したがって、コスト高となる。（３）気相測定の場合、測定後の排ガスにオゾンを含ま
ないゼロガス（基準媒体）が混入するため、測定に使用
したオゾンガスを発生源に戻すことができず、測定後
は、オゾン吸収処理をして捨てざるを得ない。これによ
りエネルギー効率が低下する。また、この場合、間欠的
にサンプルを採取するため、オゾン発生源の発生量に余
裕がない場合、圧力変動が発生する恐れがある。（４）どうしても、測定に使用したオゾンガスを発生源
に戻す必要がある場合には、インライン型の構成を採用
しなければならない。図１１は、従来のインライン型構
造の一例を示す図である。２つの独立したセルを用いる
方法であるが、これではコスト高となり、また、センサ
３０５，３０６の校正も必要である。（５）また、インライン型の他の例として、図１２のよ
うに、光源の絶対値を測定することによって基準透過光
の強度測定に代えるものもあるが、これでは、サンプル
のみが流体状態の測定であるために、誤差が生じ、精度
がでないという問題点がある。

【０００７】本発明は、このような考察に基づいてなさ
れたものであり、その目的は、オゾン濃度計の低価格
化、かつ高精度の測定を可能にすることにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

（１）請求項１のオゾン濃度測定方法は、ベール・ラン
バートの吸収の法則の式を、本発明に係る２光路セル
（Ｌ１，Ｌ２という異なるセル長を持つ測定セルを連通
させて一体化したセル）を用いた測定方法に適用し、こ
れをさらに、オゾンフリーの基準媒体の場合の強度比
と、オゾンを含むサンプルにおける強度比の２つの項に
分けて展開した演算式を得て、オゾン濃度を測定するも
のである。（２）請求項２のオゾン濃度測定方法は、請求項１にお
いて、２つのセルにおけるオゾンフリーの基準媒体を流
した場合の強度比の値（ｌｎ（Ｉ₁₀／Ｉ₂₀））が、よほ
どのことがない限り変化しないことに着目して、この値
を初期データ化しておき、実際の測定を省略するもので
ある。（３）請求項３の濃度測定方法は、請求項１の２光路セ
ルが、その一体性よりどうしてもセルサイズが制限さ
れ、かつ、有効セル長がＬ１−Ｌ２となり、短くなる傾
向もあるため、本願出願人が先に提案している生長曲線
を用いた直線化手法（特願平３−３４４５２３号）を適
用して、測定レンジの拡大を、図るものである。（４）請求項４のオゾン濃度計は、測定系として、共通
の光源と共通のセンサ，２光路セル，２つのセルからの
透過光を選択的に（交互に）検出器に到達させる光選択
制御手段を有している。光選択制御手段としては、電磁
ソレノイド等の駆動系により駆動される遮光板や、周期
的な切り欠きを有する回転円板などが用いられる。（５）請求項５のオゾン濃度計は、請求項４の測定系か
ら得られたデータに対して、請求項１に示される演算式
を実行する演算手段（コンピュータ等）を持つものであ
る。（６）請求項６のオゾン濃度計は、予め測定した、２つ
のセルにおけるオゾンフリーの基準媒体を流した場合の
強度比の値（ｌｎ（Ｉ₁₀／Ｉ₂₀））を記憶する、記憶手
段（半導体メモリ等）を持つものである。（７）請求項７のオゾン濃度計は、生長曲線を用いた直
線化手法により測定レンジを拡大するための、直線化演
算手段を持つものである。

【０００９】

【作用】本発明は、２光路セル（Ｌ１，Ｌ２の異なるセ
ル長を持つ測定セルを連通させて一体化したセル）を新
規に採用し、これに、ベール・ランバートの吸収の法則
の式を適用し、変形することにより、実質的にオゾンフ
リーの基準媒体による透過光強度の測定を省略し、測定
対象であるサンプルのみのリアルアタイム測定による高
精度のオゾン濃度測定を可能とするものである。

【００１０】すなわち、従来は、オゾン濃度を算出する
ためのデータは、セル長Ｌの測定セルに対する、基準媒
体とサンプルの透過光強度比（Ｉ₀／Ｉ）のみであっ
た。しかし、図２の左側に示されるような２光路セルを
用いると、図２の中央に示されるように、セル１および
セル２について、ｌｎ（Ｉ₁₀／Ｉ_1i），ｌｎ（Ｉ₂₀／Ｉ
_2i）という対をなす項が対数の形で得られる。

【００１１】前者から後者を引算し、対数の性質を利用
して対数の割算形式のデータの組合せを変更し、オゾン
フリーの基準媒体についてのデータと、サンプルについ
てのデータとに分ける。基準媒体についてのデータ、ｌ
ｎ（Ｉ₁₀／Ｉ₂₀）は、セル１およびセル２が近接配置さ
れて同様の環境変化を受けること、ならびに、それらの
セルについてのデータの比となっていることから、ほと
んど変化しない。したがって、これを予め測定して記憶
データ化しておけば、実際に測定する必要がなくなる。
すなわち、サンプルをセル１およびセル２に流しなが
ら、透過光を切り替えつつ、交互に光センサによって強
度を測定し、ｌｎ（Ｉ_1i／Ｉ_2i）を得るのみでよくな
る。したがって、サンプルと基準媒体を交互に送り込む
ための電磁弁や基準媒体についての経路が不要となる。

【００１２】また、共通の光源と共通の光センサを用い
るため、２つのセンサの感度のばらつきの問題も無視で
きる。また、オゾンの濃度の演算に用いられるデータは
全て、上述のように、整合性の高い比の形式（絶対値で
なく相対値）であり、かつ、それらの対数の形式となっ
ているため、周囲環境の影響等を受けにくく、測定精度
が高い。

【００１３】また、装置構成についてみると、２光路セ
ルは従来セルの内部を２分して形成したものであってセ
ルサイズの増大を招かず、光源，センサも各一つでよ
く、付加される透過光の切り替え手段も回転円板を用い
た遮光板等であってコンパクトであるため、装置構成が
複雑化せず、ローコストである。また、サンプルのみの
採取でよく、基準媒体の混入がないため、測定後のオゾ
ンを再び元のオゾン流路に戻すことができ、簡単な構成
のインライン型オゾン濃度計を提供できる。

【００１４】

【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。（実施例１）図１は本発明の一実施例（２光路セルを用
いたインライン型、紫外線吸収式気相オゾン濃度計）の
構成を示す図である。本実施例のオゾン濃度計は、プー
ル水３の浄化殺菌のために使用されるオゾンの、発生源
１の近傍の濃度が所定範囲になっているかを調べるため
に使用されるものであり、オゾン流路ＬＲに対して閉ル
ープを形成して接続されたインライン型の濃度計であ
る。

【００１５】測定系は、紫外線ランプ１０と、可動遮光
板１１と、第１ピンホール板（固定されている）１２
と、石英製の２光路測定セル１３と、第２ピンホール板
（固定）１５と、表面反射鏡１４と、光センサ（フォト
ダイオード等）１６とからなっている。

【００１６】また、その測定値に基づくオゾン濃度の算
出は、内蔵のＣＰＵ２０により行われる。ＣＰＵ２０
は、ラッチ３１，演算手段３２，メモリ３３，ゼロ点校
正手段３４，ゼロ点値記憶手段３５，出力手段３６を有
している。また、光センサ１６からの透過光強度の検出
信号は、Ａ／Ｄ変換器１７によってデジタルデータに変
換されて入力されるようになっている。

【００１７】次に、測定系の動作について説明する。紫
外線ランプ１０の放射光は、２光路セル１３の前方に固
定された第１ピンホール板１２と後方に固定された第２
ピンホール板１５によって、光路長の異なるセルを通過
する２光束に分離された後、２枚の表面反射鏡１４で反
射されて光センサ１６に導かれる。可動遮光板１１は、
電磁ソレノイドなどの駆動系によって上下に動き、その
動きに伴って上述の２光束を交互にさえぎり、セル長Ｌ
１，Ｌ２の各セルの透過光を交互に光センサ１６に到達
させる。すなわち、片方の光束が検出されている間は、
もう一方の光束は完全に遮蔽される。この切り替え時間
は任意に選べるが、電磁ソレノイドによる駆動の場合、
１秒程度が可能な最短時間となる。図３の場合のよう
に、周期的な切り欠きを有する回転円板（位相同期制御
されている）を用いれば、msec単位の切り替えが可能と
なる。この切り替えを行う結果、同一光源からの紫外線
が光路長の異なるセルを通過する２光束に分けられ、そ
の透過光の強度が交互に同じセンサで検出されることに
なる。

【００１８】このような測定系を用いることにより、以
下の効果が得られる。（１）同じ光センサで各セルについて交互に透過光強度
を測定するため、光センサに感度ドリフトがあっても無
視できる。（２）切り替え時間を短くし、紫外線ランプを安定化し
た直流点灯とすれば、実用上差支えないレベルにおい
て、紫外線ランプの光量変化も無視できる。

【００１９】次に、光センサからの測定信号に基づき、
オゾン濃度を算出する方法を説明する。以下のように、
ベール・ランバートの吸収の式（第２式）を、作用の欄
で説明した図２の手法を用いて変形していき、第９式を
得る。

【００２０】

【数３】

【００２１】第９式において、２つのセル長の差（Ｌ２
−Ｌ１）は、２光路セルにおける有効セル長である。ｌ
ｎ（Ｉ_1i／Ｉ_2i）はサンプルガスを流した時の２つの
セルの強度比であり、上述の測定系により実測して得る
ものである。ｌｎ（Ｉ₁₀／Ｉ₂₀）は、オゾンを含まな
いガスを流した時の強度の比であり、ほとんど変化しな
いため、予め測定されて、ＣＰＵ２０内の記憶手段３５
にゼロ点値として記憶されている。但し、長期使用，ラ
ンプ交換などでこの値が変わるため、ゼロ点校正手段３
４により、ゼロガスを流しながら測定して再セットでき
るようにしている。

【００２２】なお、２光路セルは図１の構造のものに限
定されず、図４に示すような構造でもよい。（実施例２）図５は本発明の第２の実施例（液相オゾン
濃度計）の構成例と、その効果を示す図である。

【００２３】本実施例は、医用殺菌，野菜殺菌などに使
用されるオゾン水濃度を測定するものであり、従来例と
の対比のために、図中には、従来例の構成も記載してあ
る。本実施例におけるサンプル水の流れは太線で示され
ている。オゾンフリーの参照液を用いた測定が不要であ
るため、参照液を作成するためのエアレーション装置等
（参照番号５０）を省略でき、大幅な装置の小型化を達
成できる。従来必要であったが、本発明の適用により不
要となった部分を、図中、２点鎖線で囲んで示してあ
る。

【００２４】（実施例３）図６は本発明の第３の実施例
の構成を示す図である。上述のように、２光路セルを用
いた場合には種々の効果を得られるが、唯一の欠点は有
効セル長が短くなることである。すなわち、２つのセル
の長さの比は大きいほうが効率がよく、セル長差をかせ
ぐために一方のセル長を縮小すると、今度はサンプルが
流れなくなり、問題となる。

【００２５】そこで、本実施例では、本願出願人が先に
提案している生長曲線を用いた直線化手法（特願平３−
３４４５２３号）を適用して、２光路セルの有効長はそ
のままでも、その後の演算処理の工夫により測定レンジ
の拡大を図るものである。この方式を採用すれば、従来
製品より広いレンジでの使用が可能となり、上述の欠点
は十分にカバーできる。この直線化処理は、図６におけ
る直線化演算手段８０により行われる。

【００２６】直線化による補正は、特願平３−３４４５
２３号の明細書および図面に記載されており、本明細書
では詳細は省略するが、図７〜図１０を用いて簡単に説
明しておく。すなわち、図７のＡのように、高濃度域で
は測定結果が飽和してリニアリティが悪化するため、Ｂ
のように高濃度域において持ち上げを行って直線化する
ものであり、このために、図８に示すようなハイパボリ
ック型の生長曲線を使用し、図９のステップ１００〜１
０２により最適の係数を選択して演算式を得る。実際に
は、図１０に示すステップ２０１の演算式を実行する。

【００２７】この直線化手法を、本発明の２光路セルを
用いたオゾン濃度測定に使用した場合、以下の演算式に
より、オゾン濃度値を取得することになる。

【００２８】

【数４】

【００２９】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、２光路セ
ル測定方式の採用により、以下の効果を得ることができ
る。（１）ゼロガスや参照液を使用せずサンプルのみで濃度
測定が可能となり、測定が簡素化される。また、サンプ
ル（測定ガスや測定液）を発生源に戻すことができ、簡
単な構成によりインライン化を達成できる。また、従来
法によれば、間欠的にサンプルを採取するため、オゾン
発生源の発生量に余裕がない場合には圧力変動が発生す
る恐れがあったが、本発明では連続サンプリングによる
安定化を実現できる。（２）紫外線ランプの光量変動補正用の検出系が不要と
なる。また、サンプルと基準媒体とを交互に測定する必
要がなくなったため、オゾン吸収触媒やエアレーション
機構，高価なテフロン製弁を用いた切り替え弁を使用す
る必要がなくなる。これにより、装置の簡素化およびコ
ストダウンが可能となる。（３）さらに、生長曲線を利用した直線化手法を適用す
ることにより、測定レンジを拡大できる。（４）これらにより、高精度かつ低価格のオゾン濃度計
を実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例（２光路セルを用いたインラ
イン型、紫外線吸収式気相オゾン濃度計）の構成を示す
図である。

【図２】本発明の測定方法の特徴点を説明するための図
である。

【図３】光選択制御手段として、回転円板を使用した場
合を示す図である。

【図４】２光路セルの構造の他の例を示す図である。

【図５】本発明の第２の実施例（液相オゾン濃度計）の
構成例と、その効果を示す図である。

【図６】本発明の第３の実施例（直線化補正演算手段を
有するもの）の構成を示す図である。

【図７】直線化補正処理の内容を説明するための（補正
前（Ａ）と補正後（Ｂ）の様子を示す）図である。

【図８】直線化補正処理に使用される生長曲線の形状を
示す図である。

【図９】直線化補正処理の特徴となる処理の手順を総括
して示す図である。

【図１０】直線化処理の内容を示す図である。

【図１１】従来のインライン型オゾン濃度計の一例を示
す図である。

【図１２】従来のインライン型オゾン濃度計の他の例を
示す図である。

【符号の説明】

１オゾン発生器２インライン型オゾン濃度計３プール水（浄化，殺菌対象）１０紫外線ランプ１１可動遮光板１２第１ピンホール板１３２光路測定セル１４表面反射鏡１５第２ピンホール板１６光センサ１７Ａ／Ｄ変換器２０ＣＰＵ３７オゾン濃度表示器

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】セル長Ｌ１の測定セルおよびセル長Ｌ２
の測定セルを用いて、各セルにおける光透過強度を測定
し、その測定値を下記演算式に適用して、オゾン濃度
（Ｃ）の値を得ることを特徴とするオゾン濃度測定方
法。（演算式）Ｃ＝｛Ｋ／（Ｌ２−Ｌ１）｝・｛ｌｎ（Ｉ_1i／Ｉ_2i）−ｌｎ（Ｉ₁₀／Ｉ₂₀）｝但し、上式において、Ｉ_1iは、セル長Ｌ１の測定セル内
のオゾンを含むサンプル中を通過した光の強度の測定値
であり、Ｉ₁₀は、セル長Ｌ１の測定セル内のオゾンを含まない基
準媒体中を通過した光の強度の測定値であり、Ｉ_2iは、セル長Ｌ２の測定セル内のオゾンを含むサンプ
ル中を通過した光の強度の測定値であり、Ｉ₂₀は、セル長Ｌ２の測定セル内のオゾンを含まない基
準媒体中を通過した光の強度の測定値であり、Ｋは、ベール・ランバートの吸収の法則によりオゾン濃
度を算出するための定数である。
【請求項２】セル長Ｌ１の測定セルおよびセル長Ｌ２
の測定セルにおける、オゾンを含まない基準媒体に対す
る透過光強度の比の値（Ｉ₁₀／Ｉ₂₀）を予め測定してお
き、演算実行の際、その予め測定しておいた値を用いる
ことを特徴とする請求項１記載のオゾン濃度測定方法。
【請求項３】セル長Ｌ１の測定セルおよびセル長Ｌ２
の測定セルを用いて、各セルにおける光透過強度を測定
し、その測定値を下記の生長曲線を利用した直線化を含
む演算式に適用して、オゾン濃度（Ｃ）の値を得ること
を特徴とするオゾン濃度測定方法。【数１】但し、上式において、Ｉ_1iは、セル長Ｌ１の測定セル内
のオゾンを含むサンプル中を通過した光の強度の測定値
であり、Ｉ₁₀は、セル長Ｌ１の測定セル内のオゾンを含まない基
準媒体中を通過した光の強度の測定値であり、Ｉ_2iは、セル長Ｌ２の測定セル内のオゾンを含むサンプ
ル中を通過した光の強度の測定値であり、Ｉ₂₀は、セル長Ｌ２の測定セル内のオゾンを含まない基
準媒体中を通過した光の強度の測定値であり、ＤおよびＫ′は、生長曲線による直線化を最適にするた
めに実験によって定めた定数である。
【請求項４】セル長Ｌ１の第１の測定セルと、この第
１の測定セルと連通するセル長Ｌ２の第２の測定セルと
を具備する２光路セル（１３）と、共通の光源（１０）および前記第１の測定セルおよび第
２の測定セルを透過した光を受ける共通のセンサ（１
７）と、前記共通のセンサ（１７）に、第１の測定セルの透過光
または第２の測定セルの透過光を選択的に到達させる光
選択制御手段（１１，１２，１５）とを有することを特
徴とする、２光路セルを用いた光吸収式オゾン濃度計。
【請求項５】センサから得られる、セル長Ｌ１の測定
セルおよびセル長Ｌ２の測定セルを透過した光の強度の
測定値に基づき、下記演算式を実行してオゾン濃度
（Ｃ）の値を得る、演算手段（３２）を有することを特
徴とする請求項４記載の２光路セルを用いた光吸収式オ
ゾン濃度計。（演算式）Ｃ＝｛Ｋ／（Ｌ２−Ｌ１）｝・｛ｌｎ（Ｉ_1i／Ｉ_2i）−ｌｎ（Ｉ₁₀／Ｉ₂₀）｝但し、上式において、Ｉ_1iは、セル長Ｌ１の測定セル内
のオゾンを含むサンプル中を通過した光の強度の測定値
であり、Ｉ₁₀は、セル長Ｌ１の測定セル内のオゾンを含まない基
準媒体中を通過した光の強度の測定値であり、Ｉ_2iは、セル長Ｌ２の測定セル内のオゾンを含むサンプ
ル中を通過した光の強度の測定値であり、Ｉ₂₀は、セル長Ｌ２の測定セル内のオゾンを含まない基
準媒体中を通過した光の強度の測定値であり、Ｋは、ベール・ランバートの吸収の法則によりオゾン濃
度を算出するための定数である。
【請求項６】セル長Ｌ１の測定セルおよびセル長Ｌ２
の測定セルにおける、オゾンを含まない基準媒体に対す
る透過光強度の比の値（Ｉ₁₀／Ｉ₂₀）は予め測定されて
記憶手段（３５）に記憶されており、これにより、セル
長Ｌ１の測定セルおよびセル長Ｌ２の測定セルにおける
オゾンを含まない基準媒体に対する透過光強度の測定が
省略されるようになっており、演算手段（３２）は、セ
ル長Ｌ１の測定セルおよびセル長Ｌ２の測定セルにおけ
るサンプルに対する透過光強度の実測値と、前記記憶手
段（３５）に記憶されているデータとを用いて、演算を
実行してオゾン濃度（Ｃ）を求めることを特徴とする、
請求項５記載の２光路セルを用いた光吸収式オゾン濃度
計。
【請求項７】セル長Ｌ１の第１の測定セルと、この第
１の測定セルと連通するセル長Ｌ２の第２の測定セルと
を具備する２光路セル（１３）と、共通の光源（１０）および前記第１の測定セルおよび第
２の測定セルを透過した光を受ける共通のセンサ（１
７）と、前記共通のセンサ（１７）に、第１の測定セルの透過光
または第２の測定セルの透過光を選択的に到達させる光
選択制御手段（１１，１２，１５）と、前記センサから得られる、セル長Ｌ１の測定セルおよび
セル長Ｌ２の測定セルを透過した光の強度の測定値に基
づき、下記の生長曲線を利用した直線化を含む演算式を
実行してオゾン濃度（Ｃ）の値を得る、演算手段（８
０）を有することを特徴とする請求項４記載の２光路セ
ルを用いた光吸収式オゾン濃度計。【数２】但し、上式において、Ｉ_1iは、セル長Ｌ１の測定セル内
のオゾンを含むサンプル中を通過した光の強度の測定値
であり、Ｉ₁₀は、セル長Ｌ１の測定セル内のオゾンを含まない基
準媒体中を通過した光の強度の測定値であり、Ｉ_2iは、セル長Ｌ２の測定セル内のオゾンを含むサンプ
ル中を通過した光の強度の測定値であり、Ｉ₂₀は、セル長Ｌ２の測定セル内のオゾンを含まない基
準媒体中を通過した光の強度の測定値であり、ＤおよびＫ′は、生長曲線による直線化を最適にするた
めの、実験によって定めた定数である。