JPH06325715A - コールドトラップ装置 - Google Patents

コールドトラップ装置

Info

Publication number
JPH06325715A
JPH06325715A JP5111367A JP11136793A JPH06325715A JP H06325715 A JPH06325715 A JP H06325715A JP 5111367 A JP5111367 A JP 5111367A JP 11136793 A JP11136793 A JP 11136793A JP H06325715 A JPH06325715 A JP H06325715A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
trap
cooled
heat
vacuum
pipe
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5111367A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuya Endo
一弥 遠藤
Susumu Ozasa
進 小笹
Kenzo Kuboki
健三 久保木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Hitachi Science Systems Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Hitachi Science Systems Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd, Hitachi Science Systems Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP5111367A priority Critical patent/JPH06325715A/ja
Publication of JPH06325715A publication Critical patent/JPH06325715A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【目的】真空容器中で冷却される部分を持ち、これに真
空中の分子を吸着させることを目的としたコールドトラ
ップ装置において、液体窒素等の冷媒を不用とし、取扱
いの安全性，簡便さを向上することを目的とする。 【構成】真空容器中のトラップを熱電子冷却素子にて冷
却しトラップからの吸熱及び熱電子冷却素子の自己発熱
を真空容器外に排出できる構成のコールドトラップ装
置。 【効果】電力の供給のみでトラップの冷却や常温復帰が
可能となるため安全性や取扱いの簡便さが向上する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空装置の真空容器内
の分子を冷却部に吸着させることを目的としたコールド
トラップ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般にコールドトラップ装置は真空容器
内で冷却されるトラップと真空外から液体窒素等の冷媒
を注入する口を持ち冷媒を貯めておくタンクにて構成さ
れ、タンク内の冷媒によってトラップを冷却し真空容器
内の分子をトラップに吸着させている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしこの構造では真
空容器内を大気圧とする際に、冷却されたトラップ表面
に空気中の水蒸気が結露するのを防止する目的でトラッ
プの温度を常温復帰させるため、タンク内の冷媒を抜き
去るか自然蒸発するのを待ち、その後トラップをヒータ
等で加熱もしくは自然に気温程度まで復帰するのを待つ
作業及び時間を要した。また冷媒を随時補給する必要が
あり冷媒の種類によっては換気に留意する必要もある。
本発明の目的はこのような冷媒を用いず、熱電子冷却素
子を用いて冷却することにより取扱いの簡便さ及び安全
性を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴はトラップ
の冷却に熱電子冷却素子を用いた点にある。
【０００５】
【作用】液体窒素等の冷媒の補給が不用となる。また電
源の極性を切り換えることによりトラップの冷却と加熱
が切り換えられるため、トラップの常温復帰が迅速且つ
簡単に行うことができる。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて説明す
る。
【０００７】図１は本発明の特徴を最も良くあらわして
いるコールドトラップ装置及び真空容器の断面図であ
る。
【０００８】図１において真空容器９は油拡散ポンプ等
の真空排気ポンプ１０に接続される。熱電子冷却素子１
はリード線４にてフランジ８を介し電源７と電気的に接
続され、熱電子冷却素子１の両端にはトラップ３とヒー
トパイプ２が熱的に接続されヒートパイプ２はＯリング
６を介しヒートシンク５と熱的に接続される。
【０００９】真空排気ポンプ１０によって排気され真空
保持される真空容器９内において熱電子冷却素子１はト
ラップ３より吸熱し、冷却されたトラップ３は真空容器
９内の分子を吸着する。一方トラップ３からの吸熱及び
熱電子冷却素子１の内部発熱はヒートパイプ２によって
真空外に運ばれヒートシンク５にて空冷もしくは液冷さ
れ排熱される。
【００１０】真空容器９を大気圧とする場合は電源７の
供給電力の極性を反転させることで冷却されたトラップ
３を加熱し常温に復帰させ結露を防止する。一方ヒート
パイプ２が吸熱され冷却されるがヒートパイプ２内部に
残存する熱により結露するまでヒートパイプ２の温度が
低下することはない。
【００１１】
【発明の効果】本発明の構成により電力の供給のみでト
ラップの冷却と常温復帰が行えるのでコールドトラップ
装置の安全性や取扱いの簡便さが向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】真空容器内におけるコールドトラップ装置の一
実施例を示す図である。
【符号の説明】
１…熱電子冷却素子、２…ヒートパイプ、３…トラッ
プ、４…リード線、５…ヒートシンク、６…Ｏリング、
７…電源、８…フランジ、９…真空容器、１０…真空排
気ポンプ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 久保木 健三 茨城県勝田市市毛1040番地 株式会社日立 サイエンスシステムズ内

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】真空容器中に冷却されたトラップを持ち、
    前記トラップに真空容器中の分子を吸着させることを目
    的としたコールドトラップ装置において、前記トラップ
    の冷却に熱電子冷却素子を用いたことを特徴とするコー
    ルドトラップ装置。
  2. 【請求項２】真空容器の排気開始と同時に熱電子冷却素
    子を通電冷却し、また容器に空気を導入し大気圧とする
    際、リークに先立ち、熱電子冷却素子に加える電流を逆
    転し素子を加熱することによりトラップに結露を生ぜし
    めないように構成したことを特徴とする請求項１記載の
    コールドトラップ装置。
JP5111367A 1993-05-13 1993-05-13 コールドトラップ装置 Pending JPH06325715A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5111367A JPH06325715A (ja) 1993-05-13 1993-05-13 コールドトラップ装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5111367A JPH06325715A (ja) 1993-05-13 1993-05-13 コールドトラップ装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06325715A true JPH06325715A (ja) 1994-11-25

Family

ID=14559403

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5111367A Pending JPH06325715A (ja) 1993-05-13 1993-05-13 コールドトラップ装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06325715A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013541799A (ja) * 2010-07-30 2013-11-14 パルセータ，エルエルシー 密接に結合したシンチレータ−光電子増倍管の組合せを含む電子検出器、それを用いた電子顕微鏡及びｘ線検出器
CN106969256A (zh) * 2017-04-05 2017-07-21 中国科学院武汉物理与数学研究所 一种集成储存激光极化氙的装置及方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013541799A (ja) * 2010-07-30 2013-11-14 パルセータ，エルエルシー 密接に結合したシンチレータ−光電子増倍管の組合せを含む電子検出器、それを用いた電子顕微鏡及びｘ線検出器
CN106969256A (zh) * 2017-04-05 2017-07-21 中国科学院武汉物理与数学研究所 一种集成储存激光极化氙的装置及方法
CN106969256B (zh) * 2017-04-05 2018-10-12 中国科学院武汉物理与数学研究所 一种集成储存激光极化氙的装置及方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7444996B2 (en) Fuel vapour storage and recovery apparatus with heat exchanger
US6098601A (en) Fuel vapor storage and recovery apparatus and method
US5722249A (en) Multi stage thermoelectric power generation
JP2596169B2 (ja) 冷却器
JP3419703B2 (ja) 温度制御されたインジェクタを具備しているガスクロマトグラフィ装置
US20080168777A1 (en) Cryostat for Transporting Cooled Equipment at a Cryogenic Temperature
JPH06325715A (ja) コールドトラップ装置
US7201017B2 (en) Refrigeration unit
US6230692B1 (en) Fuel vapor emission control system employing stirling cooling apparatus
JPH0599538A (ja) 吸着式熱交換器
JP3735976B2 (ja) 燃料電池システム
JP3733550B2 (ja) エンジンの冷却装置
JPS55149622A (en) Device for preventing gas fuel evaporation
JP4265370B2 (ja) 吸着式ヒートポンプ
JP2569284B2 (ja) 半導体冷却装置
JP3740763B2 (ja) 冷房装置
JP2004232900A (ja) 発熱性部品の冷却構造
JP3054534B2 (ja) 吸収冷凍機
JPH06101585A (ja) 車両用燃料蒸発防止装置
JPS6192396A (ja) 極低温容器
JPH06147035A (ja) キャニスタのベーパ吸着量検出装置
JP3039382U (ja) 電子冷熱式冷却加熱装置
KR19990035003A (ko) 펠티에 효과를 이용한 차량용 냉 난방장치
JP3180640B2 (ja) ポット
JPS6342534Y2 (ja)