JPH06324295A - Device for correcting color filter - Google Patents
Device for correcting color filterInfo
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- JPH06324295A JPH06324295A JP10932493A JP10932493A JPH06324295A JP H06324295 A JPH06324295 A JP H06324295A JP 10932493 A JP10932493 A JP 10932493A JP 10932493 A JP10932493 A JP 10932493A JP H06324295 A JPH06324295 A JP H06324295A
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- color filter
- filter substrate
- dry film
- photosensitive dry
- colored photosensitive
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、カラー液晶パネルの基
幹部品となるカラーフィルターの製造工程において、カ
ラーフィルターに発生する欠陥(色抜け)を修復するカ
ラーフィルター修正装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a color filter repairing device for repairing defects (color loss) occurring in a color filter in a manufacturing process of a color filter which is a basic component of a color liquid crystal panel.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年種々の分野で使用され出したカラー
液晶パネルにおいてカラー表示を行うためにはカラーフ
ィルターを内蔵させる方式が多く用いられ、カラーフィ
ルターがカラー液晶パネルの重要な部品となっている。2. Description of the Related Art Recently, a color liquid crystal panel, which has been used in various fields, has a method of incorporating a color filter in order to perform color display, and the color filter is an important part of the color liquid crystal panel. .
【0003】カラーフィルターの製造方法には分散法や
染色法などの種々のものがあるが、顔料分散法が特性・
コスト面で優れており、多用されている。それは、R,
G,B色素材料を含有したレジスト液を塗布し、露光,
現像を行う工程を繰り返して製造したり、あるいは、特
開昭61−279802号公報や特開平2−24400
5号公報のように転写方式により製造するなど、カラー
フィルターを簡便に製造することができるからである。There are various methods for producing a color filter, such as a dispersion method and a dyeing method.
It has excellent cost and is widely used. It is R,
Apply a resist solution containing G and B dye materials, expose,
It is manufactured by repeating the process of developing, or is disclosed in JP-A-61-279802 or JP-A-2-24400.
This is because the color filter can be easily manufactured, for example, by the transfer method as disclosed in Japanese Patent No. 5 publication.
【0004】1枚の液晶パネルには約10インチサイズ
で約90万個の絵素があり、完全なカラーフィルターを
製作することは、ダストなどの要因により甚だ困難なこ
とである。そこで、完成後のカラーフィルターにおいて
欠陥部(色抜け)に対する修復が行われるのが一般的で
ある。One liquid crystal panel has a size of about 10 inches and about 900,000 picture elements, and it is very difficult to manufacture a complete color filter due to factors such as dust. Therefore, it is general to repair the defective portion (color loss) in the completed color filter.
【0005】カラーフィルターの欠陥部(色抜け)を修
正するに当たっては、特開昭62−191804号公報
のように異物をレーザー光の照射によりその付近のフィ
ルター構成物質とともに取り除いた後、例えば同色のレ
ジスト液を針先に塗り、顕微鏡下で欠陥部に塗布する等
の方法で修正が行われている。In correcting a defective portion (color loss) of a color filter, foreign matter is removed by irradiation with a laser beam together with a filter constituent substance in the vicinity thereof as disclosed in JP-A-62-191804. The correction is performed by applying a resist solution to the tip of a needle and applying it to a defective portion under a microscope.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
方法ではフィルター厚さのコントロールが困難であり、
修正部分の光透過率の変動により表示品質にむらが生じ
る。また、必要な部分にのみレジスト液を塗布する作業
には熟練度を要し、生産効率の低下からコストアップを
招いていた。However, it is difficult to control the filter thickness by the above method,
The display quality becomes uneven due to the variation of the light transmittance of the corrected portion. In addition, the work of applying the resist solution only to the necessary portions requires a high degree of skill, resulting in a decrease in production efficiency and an increase in cost.
【0007】本発明は、このような事情に鑑みて創案さ
れたものであって、表示品質を落とすことなく欠陥部
(色抜け)の修正が行え、しかも、作業にあまり熟練度
を要求されずに効率良く修正することができるようにす
ることを目的とする。The present invention was devised in view of such circumstances, and can correct a defective portion (color loss) without deteriorating the display quality, and does not require much skill in the work. The purpose is to be able to fix it efficiently.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明に係るカラーフィ
ルター修正装置は、カラーフィルター基板を着脱自在に
取り付け可能なX−Yテーブルと、このX−Yテーブル
上のカラーフィルター基板に対面する状態で着色感光性
ドライフィルムを配置し繰り出し巻き取りを行うフィル
ム供給ユニットと、定位置において前記カラーフィルタ
ー基板の一側から出退してカラーフィルター基板に当接
する第1の圧着ユニットと、この第1の圧着ユニットに
対してその出退方向で対面し前記着色感光性ドライフィ
ルムの一側から出退して着色感光性ドライフィルムを押
圧してカラーフィルター基板上の欠陥部に圧着する第2
の圧着ユニットと、前記第1の圧着ユニットと第2の圧
着ユニットとのうち少なくともいずれか一方の圧着部に
熱を供給するヒーターと、前記欠陥部に対する着色感光
性ドライフィルムの加熱圧着部を冷却する冷却ユニット
とを備えたことを特徴とするものである。A color filter repairing apparatus according to the present invention comprises an XY table to which a color filter substrate can be removably attached and a state in which the color filter substrate on the XY table faces the XY table. A film supply unit for arranging a colored photosensitive dry film for feeding and winding, a first pressure-bonding unit for withdrawing from one side of the color filter substrate and abutting against the color filter substrate at a fixed position, and this first Secondly facing the pressure-bonding unit in the direction in which the color-sensitive photosensitive dry film is exposed and retracted from one side of the colored photosensitive dry film to press the colored photosensitive dry film to pressure-bond the defective portion on the color filter substrate.
And a heater for supplying heat to at least one of the first crimping unit and the second crimping unit, and the heating and crimping portion of the colored photosensitive dry film for the defective portion is cooled. And a cooling unit for controlling the temperature.
【0009】[0009]
【作用】カラーフィルター基板上の欠陥部(色抜け)が
第1の圧着ユニットに位置対応するようにX−Yテーブ
ルを動かし位置決めする。そして、第1の圧着ユニット
と第2の圧着ユニットとを突出させてカラーフィルター
基板の欠陥部に対し着色感光性ドライフィルムを圧着す
る。このときヒーターから圧着部に熱を供給するので、
着色感光性ドライフィルムは欠陥部に対して加熱圧着さ
れ強い密着度となる。その加熱圧着部を冷却ユニットに
より冷却して圧着を速やかに完了する。圧着が完了する
と、第1および第2の圧着ユニットを退入させて着色感
光性ドライフィルムを欠陥部に転写させ、フィルム供給
ユニットを動作させて着色感光性ドライフィルムの繰り
出し巻き取りを行い、次の欠陥部に対する修正へと進
む。The XY table is moved and positioned so that the defective portion (color loss) on the color filter substrate corresponds to the position of the first pressure bonding unit. Then, the colored photosensitive dry film is pressure bonded to the defective portion of the color filter substrate by projecting the first pressure bonding unit and the second pressure bonding unit. At this time, heat is supplied from the heater to the crimping part,
The colored photosensitive dry film is heated and pressure-bonded to the defective portion to have strong adhesion. The heating and pressure bonding portion is cooled by the cooling unit to quickly complete the pressure bonding. When the pressure bonding is completed, the first and second pressure bonding units are retracted to transfer the colored photosensitive dry film to the defective portion, and the film supply unit is operated to unwind and wind the colored photosensitive dry film. Proceed to the correction for the defective part of
【0010】[0010]
【実施例】以下、本発明に係るカラーフィルター修正装
置の一実施例を図面に基づいて詳細に説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a color filter correction device according to the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.
【0011】図1は実施例に係るカラーフィルター修正
装置の概略構成を示す一部破断の正面図である。ベース
1上にX方向とそれに直角なY方向との2次元方向に水
平移動自在な中抜き型のX−Yテーブル2が装着されて
おり、このX−Yテーブル2の上部載置面に対してカラ
ーフィルター基板3を着脱自在に取り付けられるように
なっている。X−Yテーブル2の外側位置においてベー
ス1に支柱4が立設され、支柱4の上部間にわたって横
フレーム5が掛け渡され、この横フレーム5の中央部に
取り付け板6が設けられている。取り付け板6には小幅
にスライシングされた修正用の着色感光性ドライフィル
ム7の繰り出し巻き取りを行うフィルム供給ユニット8
が取り付けられている。このフィルム供給ユニット8
は、供給リール9と、巻取リール10と、供給リール9
から繰り出された着色感光性ドライフィルム7をカラー
フィルター基板3に対面する状態で水平に案内する一対
のガイドローラー11,12と、着色感光性ドライフィ
ルム7の弛みをとるテンションローラー13とを有して
いる。FIG. 1 is a partially cutaway front view showing a schematic structure of a color filter correction device according to an embodiment. A hollow XY table 2 which is horizontally movable in two-dimensional directions including an X direction and a Y direction perpendicular to the X direction is mounted on a base 1. The XY table 2 is mounted on an upper mounting surface of the XY table 2. The color filter substrate 3 can be detachably attached. A column 4 is erected on the base 1 at an outer position of the XY table 2, a horizontal frame 5 is spanned between upper portions of the column 4, and a mounting plate 6 is provided at a central portion of the horizontal frame 5. The mounting plate 6 has a film supply unit 8 for unwinding and winding the correction colored photosensitive dry film 7 sliced in a small width.
Is attached. This film supply unit 8
Is a supply reel 9, a take-up reel 10, and a supply reel 9
And a pair of guide rollers 11 and 12 for horizontally guiding the colored photosensitive dry film 7 fed out from the color filter substrate 3 and a tension roller 13 for loosening the colored photosensitive dry film 7. ing.
【0012】ベース1の中央部の定位置において、カラ
ーフィルター基板3の下方側で上下に出退し、突出によ
りカラーフィルター基板3に当接する第1の圧着ユニッ
ト14が装着されている。また、この第1の圧着ユニッ
ト14の上方において一対のガイドローラー11,12
間の着色感光性ドライフィルム7の上方側で上下に出退
し着色感光性ドライフィルム7を下方に押圧してカラー
フィルター基板3における欠陥部(色抜け)に圧着する
第2の圧着ユニット15が取り付け板6に装着されてい
る。At a fixed position in the center of the base 1, a first pressure-bonding unit 14 is mounted which is vertically retracted below the color filter substrate 3 and comes into contact with the color filter substrate 3 by a protrusion. In addition, above the first pressure bonding unit 14, the pair of guide rollers 11, 12 are provided.
A second pressure-bonding unit 15 that vertically moves above and below the colored photosensitive dry film 7 and presses the colored photosensitive dry film 7 downward to pressure-bond a defective portion (color loss) in the color filter substrate 3 It is attached to the mounting plate 6.
【0013】図2は第1および第2の圧着ユニット1
4,15の拡大正面図である。第1の圧着ユニット14
は、上下移動を行うアクチュエータ14aと、アクチュ
エータ14aの出退部に取り付けられたヒーター14b
と、ヒーター14bの上側に基板を介して取り付けられ
た表面部が平坦な弾性部材14cとからなっている。こ
の第1の圧着ユニット14は、ベース1側にあり弾性部
材14cに熱を与えるヒーター14bを備えているの
で、ベースヒーターユニットとも称する。第2の圧着ユ
ニット15は上下移動を行うアクチュエータ15aと、
アクチュエータ15aの出退部に取り付けられたヒータ
ー15bと、ヒーター15bの下側に基板を介して取り
付けられた紡錘形の弾性部材15cとからなっている。
この第2の圧着ユニット15は、上側にあり弾性部材1
5cに熱を与えるヒーター15bを備えているので、ヘ
ッドヒーターユニットとも称する。平坦な弾性部材14
cの軸心と紡錘形の弾性部材15cの軸心とは一致して
いる。両弾性部材14c,15cはシリコーンゴムなど
で作られている。両ヒーター14b,15bは所定の温
度、すなわち、数10℃〜150℃程度、好ましくは1
00℃〜130℃になるように温度調整されている。な
お、ヒーターとしては両方の圧着ユニットに設けるのが
好ましいが、いずれか一方であってもよい。FIG. 2 shows a first and second crimping unit 1.
It is an enlarged front view of 4,15. First crimping unit 14
Is an actuator 14a that moves up and down, and a heater 14b attached to the protruding / retracting portion of the actuator 14a.
And an elastic member 14c having a flat surface portion attached to the upper side of the heater 14b via the substrate. The first pressure-bonding unit 14 is also referred to as a base heater unit because it is provided on the base 1 side and includes a heater 14b that applies heat to the elastic member 14c. The second crimping unit 15 includes an actuator 15a that moves up and down,
The actuator 15a includes a heater 15b attached to the protruding / retracting portion, and a spindle-shaped elastic member 15c attached below the heater 15b via a substrate.
This second crimping unit 15 is on the upper side and is provided with the elastic member 1.
It is also referred to as a head heater unit because it has a heater 15b for applying heat to 5c. Flat elastic member 14
The axis of c and the axis of the spindle-shaped elastic member 15c coincide. Both elastic members 14c and 15c are made of silicone rubber or the like. Both heaters 14b and 15b have a predetermined temperature, that is, several tens of degrees Celsius to 150 degrees Celsius, preferably 1
The temperature is adjusted to be 00 ° C to 130 ° C. The heaters are preferably provided in both pressure bonding units, but either one may be used.
【0014】ベース1上には、両弾性部材14c,15
cによる加熱圧着部に向けて冷却ガスを供給する冷却ガ
スノズル16aを有する冷却ユニット16と、カラーフ
ィルター基板3における欠陥部(色抜け)の位置を確認
したり修正状況を確認するためのカメラユニット17が
装着されている。On the base 1, both elastic members 14c and 15 are provided.
The cooling unit 16 having the cooling gas nozzle 16a for supplying the cooling gas toward the heating and press-bonding portion by c, and the camera unit 17 for confirming the position of the defective portion (color loss) in the color filter substrate 3 and the correction situation. Is installed.
【0015】図3は制御系を示すブロック図である。制
御系は、カラーフィルター検査装置Aとカラーフィルタ
ー修正装置Bとに別れ、カラーフィルター検査装置Aに
は、カメラユニット17に接続された画像処理ユニット
18と、検査装置主制御ユニット19と、テーブル制御
ユニット20とからなる。カラーフィルター修正装置B
は、検査装置主制御ユニット19に接続された修正装置
主制御ユニット21と、アクチュエータ等制御ユニット
22と、前記のテーブル制御ユニット20とからなる。FIG. 3 is a block diagram showing a control system. The control system is divided into a color filter inspection device A and a color filter correction device B. The color filter inspection device A includes an image processing unit 18 connected to a camera unit 17, an inspection device main control unit 19, and a table control. And unit 20. Color filter correction device B
Is composed of a correction device main control unit 21 connected to the inspection device main control unit 19, an actuator control unit 22, and the table control unit 20.
【0016】次に、動作を説明する。カラーフィルター
検査装置Aは、その検査装置主制御ユニット19により
テーブル制御ユニット20を制御してX−Yテーブル2
を駆動し、X−Yテーブル2上に位置規制状態で載置し
たカラーフィルター基板3をカメラユニット17で撮像
し、画像処理ユニット18においてカラーフィルター基
板3上に欠陥部(色抜け)があるか否かを判断し、欠陥
部があったときはその位置を記憶する。欠陥部の位置デ
ータは修正装置主制御ユニット21に送られ、修正装置
主制御ユニット21はテーブル制御ユニット20を制御
してX−Yテーブル2を駆動し、欠陥部が第1の圧着ユ
ニット14と第2の圧着ユニット15との共通軸線上に
くるように調整する。なお、このような位置合わせは人
為作業によって行ってもよい。Next, the operation will be described. The color filter inspection device A controls the table control unit 20 by the inspection device main control unit 19 to control the XY table 2.
Is driven to pick up an image of the color filter substrate 3 placed on the XY table 2 in a position-regulated state by the camera unit 17, and whether there is a defective portion (color loss) on the color filter substrate 3 in the image processing unit 18. If there is a defective portion, the position is stored. The position data of the defective portion is sent to the repair device main control unit 21, and the repair device main control unit 21 controls the table control unit 20 to drive the XY table 2, and the defective portion is connected to the first crimping unit 14. It is adjusted so that it is on the common axis with the second crimping unit 15. Note that such alignment may be performed manually.
【0017】位置合わせ後の欠陥部に対する修正動作に
ついて図4の(a)〜(e)に基づいて説明する。第1
および第2の圧着ユニット14,15の各ヒーター14
b,15bは100℃〜130℃に昇温されている。上
側の第2の圧着ユニット15の弾性部材15cは着色感
光性ドライフィルム7に接触しており、着色感光性ドラ
イフィルム7を予備加熱している。着色感光性ドライフ
ィルム7はベースフィルム部7aとレジスト部7bとか
らなっている。下側の第1の圧着ユニット14の弾性部
材14cはカラーフィルター基板3から離間している。
第1の圧着ユニット14のアクチュエータ14aが伸長
して平坦な弾性部材14cが上昇しカラーフィルター基
板3の下面に接触する(図4の(b))。カラーフィル
ター基板3はガラス基板3aとカラーフィルター部3b
とからなり、カラーフィルター部3bに欠陥部(色抜
け)3cが生じている。その欠陥部3cが両弾性部材1
4c,15cの共通軸線上に位置しており、欠陥部3c
の直下においてガラス基板3aに弾性部材14cが接触
するのである。弾性部材14cがガラス基板3aに接触
すると、ガラス基板3aを100℃〜130℃に加熱す
る。The correction operation for the defective portion after the alignment will be described with reference to FIGS. 4 (a) to 4 (e). First
And each heater 14 of the second crimping unit 14, 15
b and 15b are heated to 100 ° C to 130 ° C. The elastic member 15c of the second upper pressure-bonding unit 15 is in contact with the colored photosensitive dry film 7 and preheats the colored photosensitive dry film 7. The colored photosensitive dry film 7 is composed of a base film portion 7a and a resist portion 7b. The elastic member 14c of the lower first pressure bonding unit 14 is separated from the color filter substrate 3.
The actuator 14a of the first pressure-bonding unit 14 extends and the flat elastic member 14c rises to come into contact with the lower surface of the color filter substrate 3 ((b) of FIG. 4). The color filter substrate 3 includes a glass substrate 3a and a color filter portion 3b.
And a defective portion (color loss) 3c is generated in the color filter portion 3b. The defective portion 3c has both elastic members 1
Located on the common axis of 4c and 15c, the defective portion 3c
The elastic member 14c comes into contact with the glass substrate 3a immediately below. When the elastic member 14c contacts the glass substrate 3a, the glass substrate 3a is heated to 100 ° C to 130 ° C.
【0018】次いで、第2の圧着ユニット15のアクチ
ュエータ15aが伸長し紡錘形の弾性部材15cが下降
する。その下降に伴って着色感光性ドライフィルム7が
逆への字形に曲げられ、その先端部分がカラーフィルタ
ー基板3の欠陥部3cに当接する。ともに加熱された両
弾性部材14c,15cによって着色感光性ドライフィ
ルム7がカラーフィルター基板3の欠陥部3cに押し付
けられるから、両者は加熱圧着されることになる(図4
の(c))。着色感光性ドライフィルム7を押圧する弾
性部材15cは紡錘形をしているから、その密着度は高
いものとなる。Next, the actuator 15a of the second crimping unit 15 extends and the spindle-shaped elastic member 15c descends. Along with the lowering, the colored photosensitive dry film 7 is bent in an inverted shape, and its tip portion abuts on the defective portion 3c of the color filter substrate 3. The colored photosensitive dry film 7 is pressed against the defective portion 3c of the color filter substrate 3 by the elastic members 14c and 15c which are both heated, so that they are thermocompression bonded (FIG. 4).
(C)). Since the elastic member 15c that presses the colored photosensitive dry film 7 has a spindle shape, its adhesion is high.
【0019】それでいて、弾性的に圧着するからカラー
フィルター基板3や着色感光性ドライフィルム7を傷付
けないですむ。Still, since it is elastically pressure-bonded, the color filter substrate 3 and the colored photosensitive dry film 7 are not damaged.
【0020】加熱圧着の後、下側の第1の圧着ユニット
14のアクチュエータ14aが収縮し弾性部材14cは
下降する。次いで、冷却ユニット16が駆動され冷却ガ
スノズル16aから加熱圧着部に向けて低温のクリーン
エアーまたはN2 ガスなどの冷却ガスを下方から吹き付
ける。これにより、加熱圧着部を急冷却して、欠陥部3
cにおいてカラーフィルター基板3のガラス基板3aに
対する着色感光性ドライフィルム7のレジスト部7bの
密着度を上昇させ、両者を強固に固着することになる
(図4の(d))。After thermocompression bonding, the actuator 14a of the lower first pressure bonding unit 14 contracts and the elastic member 14c descends. Then, the cooling unit 16 is driven and a low-temperature clean air or a cooling gas such as N 2 gas is blown from the cooling gas nozzle 16a toward the heating press-bonding portion from below. As a result, the heat-bonding portion is rapidly cooled, and the defective portion 3
In c, the adhesiveness of the resist portion 7b of the colored photosensitive dry film 7 to the glass substrate 3a of the color filter substrate 3 is increased, and both are firmly fixed ((d) of FIG. 4).
【0021】固着が完了すると、冷却ガスノズル16a
からの冷却ガスの吹き付けが停止される。そして、上側
の第2の圧着ユニット15のアクチュエータ15aが収
縮し紡錘形の弾性部材15cが上昇するため、着色感光
性ドライフィルム7がカラーフィルター基板3から離間
し水平となるが、その離間に伴ってレジスト部7bの欠
陥部3cに対する転写が行われることとなる(図4の
(e))。着色感光性ドライフィルム7は巻取リール1
0によって巻き取られる。レジスト部7bが転写された
部分に対して裏面より露光し現像することにより、欠陥
部3cに対する修正が完了することになる。When the fixing is completed, the cooling gas nozzle 16a
The blowing of the cooling gas from is stopped. Then, since the actuator 15a of the upper second pressure bonding unit 15 contracts and the spindle-shaped elastic member 15c rises, the colored photosensitive dry film 7 separates from the color filter substrate 3 and becomes horizontal. The transfer of the resist portion 7b to the defective portion 3c is performed ((e) of FIG. 4). The colored photosensitive dry film 7 is the take-up reel 1
It is wound up by 0. By exposing and developing the transferred portion of the resist portion 7b from the back surface, the correction of the defective portion 3c is completed.
【0022】カラーフィルター基板3の欠陥部(色抜
け)3cに対する修復を行うに当たり、着色感光性ドラ
イフィルム7のレジスト部7bを欠陥部3cに加熱圧着
するので、修正後のフィルター厚さはレジスト部7bの
厚さによって所定の厚さに一義的に決められることにな
り、その厚さ精度が高いものとなる。従来例のようにレ
ジスト液を塗布する場合のような熟練は必要としない。
このように欠陥部3cの修正を効率良く行えるので、歩
留まりが改善され、コストダウンも達成することができ
る。In repairing the defective portion (color loss) 3c of the color filter substrate 3, the resist portion 7b of the colored photosensitive dry film 7 is thermocompression-bonded to the defective portion 3c. Therefore, the corrected filter thickness is the resist portion. The predetermined thickness is uniquely determined by the thickness of 7b, and the thickness accuracy is high. The skill required to apply a resist solution as in the conventional example is not required.
As described above, since the defective portion 3c can be efficiently corrected, the yield can be improved and the cost can be reduced.
【0023】[0023]
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、カラー
フィルター基板の欠陥部(色抜け)に対する修復を行う
のに欠陥部に着色感光性ドライフィルムを加熱圧着する
ように構成したので、修正後のフィルター厚さは着色感
光性ドライフィルムの厚さによって一義的に決まるた
め、フィルター厚さのコントロールが容易となり、表示
品質が良好なものとなる。また、第1および第2の圧着
ユニットとヒーターとによるカラーフィルター基板と着
色感光性ドライフィルムとの加熱圧着には作業者の熟練
度はあまり要求されないため、生産効率が良く、コスト
ダウンを図ることができる。As described above, according to the present invention, in order to repair the defective portion (color loss) of the color filter substrate, the colored photosensitive dry film is heated and pressure-bonded to the defective portion. Since the filter thickness after correction is uniquely determined by the thickness of the colored photosensitive dry film, the control of the filter thickness becomes easy and the display quality becomes good. Further, the skill of the operator is not required so much for the heating and pressure bonding of the color filter substrate and the colored photosensitive dry film by the first and second pressure bonding units and the heater, so that the production efficiency is good and the cost is reduced. You can
【図1】本発明の一実施例に係るカラーフィルター修正
装置の概略構成を示す一部破断の正面図である。FIG. 1 is a partially cutaway front view showing a schematic configuration of a color filter correction device according to an embodiment of the present invention.
【図2】実施例における第1および第2の圧着ユニット
の拡大正面図である。FIG. 2 is an enlarged front view of first and second crimping units in the embodiment.
【図3】実施例における制御系を示すブロック図であ
る。FIG. 3 is a block diagram showing a control system in the embodiment.
【図4】実施例の動作説明図である。FIG. 4 is an operation explanatory diagram of the embodiment.
2……X−Yテーブル 3……カラーフィルター基板 3a……ガラス基板 3b……カラーフィルター部 3c……欠陥部(色抜け) 7……着色感光性ドライフィルム 7a……ベースフィルム部 7b……レジスト部 8……フィルム供給ユニット 9……供給リール 10……巻取リール 11,12……ガイドローラー 14……第1の圧着ユニット 14a……アクチュエータ 14b……ヒーター 14c……弾性部材 15……第2の圧着ユニット 15a……アクチュエータ 15b……ヒーター 15c……弾性部材 16……冷却ユニット 16a……冷却ガスノズル 17……カメラユニット 2 ... XY table 3 ... Color filter substrate 3a ... Glass substrate 3b ... Color filter part 3c ... Defect (color loss) 7 ... Colored photosensitive dry film 7a ... Base film part 7b. Registration unit 8 ...... Film supply unit 9 ...... Supply reel 10 ...... Take-up reel 11, 12 ...... Guide roller 14 ...... First crimping unit 14a ...... Actuator 14b ...... Heater 14c ...... Elastic member 15 ...... Second crimping unit 15a ... Actuator 15b ... Heater 15c ... Elastic member 16 ... Cooling unit 16a ... Cooling gas nozzle 17 ... Camera unit
Claims (1)
付け可能なX−Yテーブルと、このX−Yテーブル上の
カラーフィルター基板に対面する状態で着色感光性ドラ
イフィルムを配置し繰り出し巻き取りを行うフィルム供
給ユニットと、定位置において前記カラーフィルター基
板の一側から出退してカラーフィルター基板に当接する
第1の圧着ユニットと、この第1の圧着ユニットに対し
てその出退方向で対面し前記着色感光性ドライフィルム
の一側から出退して着色感光性ドライフィルムを押圧し
てカラーフィルター基板上の欠陥部に圧着する第2の圧
着ユニットと、前記第1の圧着ユニットと第2の圧着ユ
ニットとのうち少なくともいずれか一方の圧着部に熱を
供給するヒーターと、前記欠陥部に対する着色感光性ド
ライフィルムの加熱圧着部を冷却する冷却ユニットとを
備えたことを特徴とするカラーフィルター修正装置。1. An XY table to which a color filter substrate can be removably attached, and a film in which a colored photosensitive dry film is arranged so as to face the color filter substrate on the XY table and is wound out and wound up. A supply unit; a first crimping unit that comes out of one side of the color filter substrate and abuts against the color filter substrate at a fixed position; A second crimping unit for pressing the colored photosensitive dry film out of one side of the photosensitive dry film to crimp it to a defective portion on the color filter substrate; the first crimping unit and the second crimping unit A heater for supplying heat to at least one of the pressure-bonded portions, and heating the colored photosensitive dry film for the defective portion A color filter repairing device comprising a cooling unit for cooling a crimping portion.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10932493A JPH06324295A (en) | 1993-05-11 | 1993-05-11 | Device for correcting color filter |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10932493A JPH06324295A (en) | 1993-05-11 | 1993-05-11 | Device for correcting color filter |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06324295A true JPH06324295A (en) | 1994-11-25 |
Family
ID=14507347
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10932493A Pending JPH06324295A (en) | 1993-05-11 | 1993-05-11 | Device for correcting color filter |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06324295A (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100616719B1 (en) * | 2003-08-20 | 2006-08-28 | 레자 텍쿠 가부시키가이샤 | Pattern Substrate Defect Correction Method and Apparatus and Pattern Substrate Manufacturing Method |
JP2007041480A (en) * | 2005-08-05 | 2007-02-15 | Lasertec Corp | Device and method for correcting defect of patterned substrate, and method for manufacturing patterned substrate |
JP2007199455A (en) * | 2006-01-27 | 2007-08-09 | V Technology Co Ltd | Pattern correction apparatus |
JP2008241911A (en) * | 2007-03-26 | 2008-10-09 | Ntn Corp | Pattern correction device and its method |
-
1993
- 1993-05-11 JP JP10932493A patent/JPH06324295A/en active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100616719B1 (en) * | 2003-08-20 | 2006-08-28 | 레자 텍쿠 가부시키가이샤 | Pattern Substrate Defect Correction Method and Apparatus and Pattern Substrate Manufacturing Method |
JP2007041480A (en) * | 2005-08-05 | 2007-02-15 | Lasertec Corp | Device and method for correcting defect of patterned substrate, and method for manufacturing patterned substrate |
JP2007199455A (en) * | 2006-01-27 | 2007-08-09 | V Technology Co Ltd | Pattern correction apparatus |
JP2008241911A (en) * | 2007-03-26 | 2008-10-09 | Ntn Corp | Pattern correction device and its method |
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