JPH06324235A - 光ファイバアレイとその製造方法 - Google Patents
光ファイバアレイとその製造方法Info
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- JPH06324235A JPH06324235A JP5112913A JP11291393A JPH06324235A JP H06324235 A JPH06324235 A JP H06324235A JP 5112913 A JP5112913 A JP 5112913A JP 11291393 A JP11291393 A JP 11291393A JP H06324235 A JPH06324235 A JP H06324235A
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- fiber
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＬＤアレイとの結合効率が高く、かつ動作時
にアウトガスによるＬＤアレイの汚染を引き起こすこと
のない光ファイバアレイとその製造方法を提供する。 【構成】 この光ファイバは、ファイバ整列ブロック１
と、このファイバ整列ブロック１に固定して配列され、
先端作用面２ａがファイバ整列ブロック１の端面１ｂか
ら突出している複数本の石英系光ファイバ２とを有し、
この先端作用面２ａの突出長は全ての石英系光ファイバ
で同じ長さであり、かつ先端作用面２ａにはレンズ部２
ｂが形成されており、しかも先端作用面２ａを除いた全
ての表面には金属めっき層４が形成されている。
にアウトガスによるＬＤアレイの汚染を引き起こすこと
のない光ファイバアレイとその製造方法を提供する。 【構成】 この光ファイバは、ファイバ整列ブロック１
と、このファイバ整列ブロック１に固定して配列され、
先端作用面２ａがファイバ整列ブロック１の端面１ｂか
ら突出している複数本の石英系光ファイバ２とを有し、
この先端作用面２ａの突出長は全ての石英系光ファイバ
で同じ長さであり、かつ先端作用面２ａにはレンズ部２
ｂが形成されており、しかも先端作用面２ａを除いた全
ての表面には金属めっき層４が形成されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＬＤアレイに結合され
る光ファイバアレイとその製造方法に関し、更に詳しく
はファイバ整列ブロックの端面と石英系光ファイバの先
端作用面との間隔は全ての石英系光ファイバで同一であ
り、しかも先端作用面にはレンズ部が一体に形成されて
いて、かつ、動作時における前記ファイバ整列ブロック
からのガス発生を防止し、もってＬＤアレイの汚染を防
ぐことができる光ファイバアレイとその製造方法に関す
る。
る光ファイバアレイとその製造方法に関し、更に詳しく
はファイバ整列ブロックの端面と石英系光ファイバの先
端作用面との間隔は全ての石英系光ファイバで同一であ
り、しかも先端作用面にはレンズ部が一体に形成されて
いて、かつ、動作時における前記ファイバ整列ブロック
からのガス発生を防止し、もってＬＤアレイの汚染を防
ぐことができる光ファイバアレイとその製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、光通信システムに組み込む発光素
子モジュールは、光源である半導体レーザ（laser-diod
e 、以下ＬＤという）と石英系光ファイバの間にそのレ
ーザ光を石英系光ファイバのコアに集光するレンズを介
挿することにより構成されている。このモジュールはＬ
Ｄと石英系光ファイバとの間における結合効率を高くす
ることが必要であるため、両者の結合パワーが最大とな
るようにＬＤとレンズと石英系光ファイバのコアとを調
心して組立てられる。
子モジュールは、光源である半導体レーザ（laser-diod
e 、以下ＬＤという）と石英系光ファイバの間にそのレ
ーザ光を石英系光ファイバのコアに集光するレンズを介
挿することにより構成されている。このモジュールはＬ
Ｄと石英系光ファイバとの間における結合効率を高くす
ることが必要であるため、両者の結合パワーが最大とな
るようにＬＤとレンズと石英系光ファイバのコアとを調
心して組立てられる。
【０００３】一方、最近は、石英系光ファイバの端面に
直接レンズ部を形成したレンズ付き石英系光ファイバが
提案されている。この石英系光ファイバは、それ自体の
端面がレンズ機能を備えているため、上記モジュールの
製造に際しては、部品点数が減少し、しかも調心作業の
工数を低減することができ、コスト低減に資するという
利点を持っている。
直接レンズ部を形成したレンズ付き石英系光ファイバが
提案されている。この石英系光ファイバは、それ自体の
端面がレンズ機能を備えているため、上記モジュールの
製造に際しては、部品点数が減少し、しかも調心作業の
工数を低減することができ、コスト低減に資するという
利点を持っている。
【０００４】上記したレンズ付き石英系光ファイバは、
被覆部を剥離して露出させた石英系光ファイバを例えば
バーナのような加熱手段で局部加熱しながら引張って加
熱部を延伸し、石英系光ファイバの延伸部の外径が約１
０μｍ以下になった時点で延伸作業を停止してその部分
を例えばカッターで切断したのち、石英系光ファイバの
先端部を例えばバーナで加熱して溶融する。このとき、
先端部は表面張力によって球面になり、その結果、この
部分でレンズ機能が発現する。
被覆部を剥離して露出させた石英系光ファイバを例えば
バーナのような加熱手段で局部加熱しながら引張って加
熱部を延伸し、石英系光ファイバの延伸部の外径が約１
０μｍ以下になった時点で延伸作業を停止してその部分
を例えばカッターで切断したのち、石英系光ファイバの
先端部を例えばバーナで加熱して溶融する。このとき、
先端部は表面張力によって球面になり、その結果、この
部分でレンズ機能が発現する。
【０００５】ところで、このレンズ付き石英系光ファイ
バを組付けた発光素子モジュールは、従来、例えば図８
で示したような構造になっている。すなわち、上部が開
口し、内部に裸のＬＤ６が配置されているパッケージ７
の壁面からレンズ付き石英系光ファイバ８が挿入され、
その先端レンズ部８ａとＬＤ６の発光面とが１０μｍ程
度の間隔で対向するようにセットされている。そして、
ＬＤ６の酸化防止や防湿を目的として、パッケージ７の
開口部にはカバー９を設け、またレンズ付き石英系光フ
ァイバ８はそれが挿入されている壁面で例えばはんだ１
０によって固定され、もってパッケージ７は気密構造に
なっている。
バを組付けた発光素子モジュールは、従来、例えば図８
で示したような構造になっている。すなわち、上部が開
口し、内部に裸のＬＤ６が配置されているパッケージ７
の壁面からレンズ付き石英系光ファイバ８が挿入され、
その先端レンズ部８ａとＬＤ６の発光面とが１０μｍ程
度の間隔で対向するようにセットされている。そして、
ＬＤ６の酸化防止や防湿を目的として、パッケージ７の
開口部にはカバー９を設け、またレンズ付き石英系光フ
ァイバ８はそれが挿入されている壁面で例えばはんだ１
０によって固定され、もってパッケージ７は気密構造に
なっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで最近は、ＬＤ
の光源を複数個配列してＬＤアレイを構成し、また、石
英系光ファイバの複数本をファイバ整列ブロックに配列
して光ファイバアレイとし、ＬＤアレイとこの光ファイ
バアレイを、複数個のレンズが配列されているレンズア
レイを媒介にして互いに結合することにより、各光源と
各石英系光ファイバを一括して結合した構造のＬＤアレ
イモジュールへの要求が高まっている。
の光源を複数個配列してＬＤアレイを構成し、また、石
英系光ファイバの複数本をファイバ整列ブロックに配列
して光ファイバアレイとし、ＬＤアレイとこの光ファイ
バアレイを、複数個のレンズが配列されているレンズア
レイを媒介にして互いに結合することにより、各光源と
各石英系光ファイバを一括して結合した構造のＬＤアレ
イモジュールへの要求が高まっている。
【０００７】このＬＤアレイモジュールにおいては、各
アレイが高い結合効率で結合されることが望ましいこと
はいうまでもないが、光ファイバアレイに配列されてい
るそれぞれの石英系光ファイバからの出射パワーは均一
であることが要求される。このようなＬＤアレイモジュ
ールを上記したレンズ付き石英系光ファイバを用いて製
造する場合には、その前段作業として、ファイバ整列ブ
ロックにこのレンズ付き石英系光ファイバの複数本を配
列固定して光ファイバアレイを組立てることが必要にな
る。
アレイが高い結合効率で結合されることが望ましいこと
はいうまでもないが、光ファイバアレイに配列されてい
るそれぞれの石英系光ファイバからの出射パワーは均一
であることが要求される。このようなＬＤアレイモジュ
ールを上記したレンズ付き石英系光ファイバを用いて製
造する場合には、その前段作業として、ファイバ整列ブ
ロックにこのレンズ付き石英系光ファイバの複数本を配
列固定して光ファイバアレイを組立てることが必要にな
る。
【０００８】その場合、ＬＤアレイの各光源に対し、各
レンズ付き石英系光ファイバの先端の位置が全ての光フ
ァイバで揃っていないと、ＬＤアレイとの結合時に、そ
れぞれの光ファイバとそれぞれのＬＤ光源との結合効率
にばらつきが発生してしまう。レンズ付き石英系光ファ
イバの場合は、端面が光軸に対する直交面である従来の
光ファイバの場合と異なり、全ての光ファイバにつきそ
のレンズ部の先端を同一の位置に揃える作業は可成り煩
雑になる。
レンズ付き石英系光ファイバの先端の位置が全ての光フ
ァイバで揃っていないと、ＬＤアレイとの結合時に、そ
れぞれの光ファイバとそれぞれのＬＤ光源との結合効率
にばらつきが発生してしまう。レンズ付き石英系光ファ
イバの場合は、端面が光軸に対する直交面である従来の
光ファイバの場合と異なり、全ての光ファイバにつきそ
のレンズ部の先端を同一の位置に揃える作業は可成り煩
雑になる。
【０００９】本発明は、レンズ付き石英系光ファイバを
ファイバ整列ブロックに配列して光ファイバアレイを製
造するときの上記した問題を解決し、簡単に全ての光フ
ァイバのレンズ部の先端を同一位置に整えることがで
き、もってＬＤアレイとの結合効率を高めることができ
る光ファイバアレイであり、またＬＤアレイと結合して
動作させたときにＬＤアレイを汚染することのない光フ
ァイバアレイとその製造方法の提供を目的とする。
ファイバ整列ブロックに配列して光ファイバアレイを製
造するときの上記した問題を解決し、簡単に全ての光フ
ァイバのレンズ部の先端を同一位置に整えることがで
き、もってＬＤアレイとの結合効率を高めることができ
る光ファイバアレイであり、またＬＤアレイと結合して
動作させたときにＬＤアレイを汚染することのない光フ
ァイバアレイとその製造方法の提供を目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために、本発明においては、ファイバ整列ブロックと、
前記ファイバ整列ブロックに固定して配列され、先端作
用面が前記ファイバ整列ブロックの端面から露出してい
る複数本の石英系光ファイバとを有し、前記先端作用面
と前記ファイバ整列ブロックの端面との距離は全ての石
英系光ファイバで同じであり、かつ前記先端作用面には
レンズ部が形成されており、しかも前記先端作用面を除
いた全ての表面には金属めっき層が形成されていること
を特徴とする光ファイバアレイが提供され、また、ファ
イバ整列ブロックに複数本の石英系光ファイバをその先
端部が前記ファイバ整列ブロックの端面から突出する状
態で固定して配列する工程（以下、第１工程という）；
前記ファイバ整列ブロックの全表面、および、前記石英
系光ファイバの突出部分の全表面を被覆して金属めっき
層を形成する工程（以下、第２工程という）；前記石英
系光ファイバの先端部を一括研磨して、石英系光ファイ
バの先端作用面を形成すると同時に、前記先端部の突出
長を同じ長さに整える工程（以下、第３工程という）；
ならびに、前記先端作用面にレンズ部を形成する工程
（以下、第４工程という）を備えていることを特徴とす
る光ファイバアレイの製造方法が提供される。
ために、本発明においては、ファイバ整列ブロックと、
前記ファイバ整列ブロックに固定して配列され、先端作
用面が前記ファイバ整列ブロックの端面から露出してい
る複数本の石英系光ファイバとを有し、前記先端作用面
と前記ファイバ整列ブロックの端面との距離は全ての石
英系光ファイバで同じであり、かつ前記先端作用面には
レンズ部が形成されており、しかも前記先端作用面を除
いた全ての表面には金属めっき層が形成されていること
を特徴とする光ファイバアレイが提供され、また、ファ
イバ整列ブロックに複数本の石英系光ファイバをその先
端部が前記ファイバ整列ブロックの端面から突出する状
態で固定して配列する工程（以下、第１工程という）；
前記ファイバ整列ブロックの全表面、および、前記石英
系光ファイバの突出部分の全表面を被覆して金属めっき
層を形成する工程（以下、第２工程という）；前記石英
系光ファイバの先端部を一括研磨して、石英系光ファイ
バの先端作用面を形成すると同時に、前記先端部の突出
長を同じ長さに整える工程（以下、第３工程という）；
ならびに、前記先端作用面にレンズ部を形成する工程
（以下、第４工程という）を備えていることを特徴とす
る光ファイバアレイの製造方法が提供される。
【００１１】
【作用】本発明の光ファイバアレイにおいては、石英系
光ファイバをファイバ整列ブロックに配列したときに、
これら石英系光ファイバの前記ファイバ整列ブロックの
端面からの突出長が不揃いであったとしても、第３工程
でこれら石英系光ファイバの突出部を一括して研磨する
ので、研磨後に表出した先端作用面の位置は、ファイバ
整列ブロックの端面に対し全ての石英系光ファイバで同
じになる。したがって、第４工程でこの先端作用面に形
成されたレンズ部の位置も、全ての石英系光ファイバで
同じになる。したがって、この光ファイバアレイをＬＤ
アレイモジュールに組付けたとき、各ＬＤ光源と各石英
系光ファイバのレンズ部との間隔は、全ての石英系光フ
ァイバで同じ長さになり結合効率のばらつきは解消す
る。
光ファイバをファイバ整列ブロックに配列したときに、
これら石英系光ファイバの前記ファイバ整列ブロックの
端面からの突出長が不揃いであったとしても、第３工程
でこれら石英系光ファイバの突出部を一括して研磨する
ので、研磨後に表出した先端作用面の位置は、ファイバ
整列ブロックの端面に対し全ての石英系光ファイバで同
じになる。したがって、第４工程でこの先端作用面に形
成されたレンズ部の位置も、全ての石英系光ファイバで
同じになる。したがって、この光ファイバアレイをＬＤ
アレイモジュールに組付けたとき、各ＬＤ光源と各石英
系光ファイバのレンズ部との間隔は、全ての石英系光フ
ァイバで同じ長さになり結合効率のばらつきは解消す
る。
【００１２】また、第２工程により、ファイバ整列ブロ
ックの全表面は金属めっき層で被覆されるので、この金
属めっき層がファイバ整列ブロックからの発生ガスに対
するバリアとして機能し、その結果、動作時におけるガ
ス発生はなくＬＤアレイの汚染を防止することができる
ようになる。
ックの全表面は金属めっき層で被覆されるので、この金
属めっき層がファイバ整列ブロックからの発生ガスに対
するバリアとして機能し、その結果、動作時におけるガ
ス発生はなくＬＤアレイの汚染を防止することができる
ようになる。
【００１３】
【実施例】以下に添付図面に基づいて本発明方法を詳細
に説明する。 実施例１ まず、第１工程においては、図１で示したように、複数
個（図では４個）のファイバ挿入孔１ａが穿設されてい
るファイバ整列ブロック１の各ファイバ挿入孔１ａに、
石英系光ファイバ２を挿入して、その先端部を突出させ
た状態で配列する。
に説明する。 実施例１ まず、第１工程においては、図１で示したように、複数
個（図では４個）のファイバ挿入孔１ａが穿設されてい
るファイバ整列ブロック１の各ファイバ挿入孔１ａに、
石英系光ファイバ２を挿入して、その先端部を突出させ
た状態で配列する。
【００１４】ここで、ファイバ整列ブロック１は、例え
ば、エポキシ樹脂のような樹脂で構成されていることが
好ましい。そして、その樹脂のバルク体に機械加工を施
すことにより、例えば、２５０μｍのピッチでファイバ
挿入孔１ａが高精度で穿設されている。なお、このファ
イバ整列ブロック１は、従来の多心光コネクタのように
成形して作製することもできる。
ば、エポキシ樹脂のような樹脂で構成されていることが
好ましい。そして、その樹脂のバルク体に機械加工を施
すことにより、例えば、２５０μｍのピッチでファイバ
挿入孔１ａが高精度で穿設されている。なお、このファ
イバ整列ブロック１は、従来の多心光コネクタのように
成形して作製することもできる。
【００１５】また、各ファイバ挿入孔１ａに挿入された
光ファイバ２は、それぞれ、例えばエポキシ系の接着剤
３でファイバ挿入孔１ａに固定されている。このとき、
光ファイバ２がファイバ整列ブロック１の端面１ｂから
突出している長さは、全ての光ファイバ２につき同じ長
さである必要はなく、図１で示したように、互いに異な
っていてもよい。
光ファイバ２は、それぞれ、例えばエポキシ系の接着剤
３でファイバ挿入孔１ａに固定されている。このとき、
光ファイバ２がファイバ整列ブロック１の端面１ｂから
突出している長さは、全ての光ファイバ２につき同じ長
さである必要はなく、図１で示したように、互いに異な
っていてもよい。
【００１６】石英系光ファイバとしては、それをフッ酸
溶液またはフッ酸とフッ化アンモニウムとの混合溶液の
ようなエッチャントに浸漬したときに、クラッドのエッ
チング速度の方がコアのエッチング速度よりも大きくな
るような光ファイバが用いられる。このような光ファイ
バとしては、次のようなものをあげることができる。
溶液またはフッ酸とフッ化アンモニウムとの混合溶液の
ようなエッチャントに浸漬したときに、クラッドのエッ
チング速度の方がコアのエッチング速度よりも大きくな
るような光ファイバが用いられる。このような光ファイ
バとしては、次のようなものをあげることができる。
【００１７】まず、最初の光ファイバは、コアを純粋な
石英ガラス（ＳｉＯ2 ）で構成し、その周囲を取り囲む
クラッドは、石英ガラスにフッ素成分をドープした組成
のガラスで構成したものである。また、別の光ファイバ
としては、コアを石英ガラスにＧｅＯ2 をドープして構
成したものである。この場合、クラッドは純粋の石英ガ
ラスであってもよいし、また、フッ素成分などがドープ
されているものであってもよい。
石英ガラス（ＳｉＯ2 ）で構成し、その周囲を取り囲む
クラッドは、石英ガラスにフッ素成分をドープした組成
のガラスで構成したものである。また、別の光ファイバ
としては、コアを石英ガラスにＧｅＯ2 をドープして構
成したものである。この場合、クラッドは純粋の石英ガ
ラスであってもよいし、また、フッ素成分などがドープ
されているものであってもよい。
【００１８】前者の光ファイバにおいて、クラッドへの
フッ素成分のドープ量は、この光ファイバの端面をエッ
チャントに浸漬したときにクラッドとコアのエッチング
速度に適正な差が生じて、コアの先端が円錐台形状（ま
たは円錐形状）で突出した状態になり、それが適正なレ
ンズ機能を発揮するように調節される。同時に、光ファ
イバの光伝送特性に悪影響を与えないように調節され
る。通常、コアとクラッドの屈折率差で0.３〜0.４％程
度であることが好ましい。
フッ素成分のドープ量は、この光ファイバの端面をエッ
チャントに浸漬したときにクラッドとコアのエッチング
速度に適正な差が生じて、コアの先端が円錐台形状（ま
たは円錐形状）で突出した状態になり、それが適正なレ
ンズ機能を発揮するように調節される。同時に、光ファ
イバの光伝送特性に悪影響を与えないように調節され
る。通常、コアとクラッドの屈折率差で0.３〜0.４％程
度であることが好ましい。
【００１９】なお、クラッドは、フッ素成分に代えてリ
ン成分を混入したり、またはフッ素成分に加えてリン成
分を混入して形成してもよい。更に、コアが純粋の石英
ガラスではなく、例えばフッ素成分やＧｅＯ2 のような
ゲルマニウム成分が混入された組成であった場合は、ク
ラッドには、光伝送特性に影響を与えない範囲内で、ク
ラッド以上の多くのフッ素成分を混入して、コアとクラ
ッドとの間でエッチャントに対するエッチング速度に差
をつけてもよい。
ン成分を混入したり、またはフッ素成分に加えてリン成
分を混入して形成してもよい。更に、コアが純粋の石英
ガラスではなく、例えばフッ素成分やＧｅＯ2 のような
ゲルマニウム成分が混入された組成であった場合は、ク
ラッドには、光伝送特性に影響を与えない範囲内で、ク
ラッド以上の多くのフッ素成分を混入して、コアとクラ
ッドとの間でエッチャントに対するエッチング速度に差
をつけてもよい。
【００２０】後者の光ファイバの場合も同様で、ゲルマ
ニウム成分のコアへのドープ量は、この光ファイバの端
面をエッチャントに浸漬したときにコアとクラッドのエ
ッチング速度に適正な差が生じて、形成されたコアの前
記円錐台形状（または円錐形状）が適正なレンズ機能を
発揮するように調節される。ついで、第２工程において
は、図２で示したように、ファイバ整列ブロック１の全
表面と、光ファイバ２の突出部分の全表面と、また光フ
ァイバ２の後端部分の全表面を被覆して金属めっき層４
を形成する。この金属めっき層４が形成されることによ
り、ファイバ整列ブロック１でガスが発生しても、その
ガスが外部に発散してくることは防止される。
ニウム成分のコアへのドープ量は、この光ファイバの端
面をエッチャントに浸漬したときにコアとクラッドのエ
ッチング速度に適正な差が生じて、形成されたコアの前
記円錐台形状（または円錐形状）が適正なレンズ機能を
発揮するように調節される。ついで、第２工程において
は、図２で示したように、ファイバ整列ブロック１の全
表面と、光ファイバ２の突出部分の全表面と、また光フ
ァイバ２の後端部分の全表面を被覆して金属めっき層４
を形成する。この金属めっき層４が形成されることによ
り、ファイバ整列ブロック１でガスが発生しても、その
ガスが外部に発散してくることは防止される。
【００２１】この金属めっき層４は、例えば、金属めっ
き層を形成すべき個所に常用の無電解めっきを行ってそ
の個所に導電性を付与したのち、つぎにその無電解めっ
き層の上に通常の電解めっきを行うことにより所望厚み
の電解めっき層として形成することができる。この金属
めっき層４は、後述する第４工程でレンズ部を形成する
ときに用いるエッチャントによって侵食されないような
材料で構成されている。例えば、ニッケルめっき層をあ
げることができる。
き層を形成すべき個所に常用の無電解めっきを行ってそ
の個所に導電性を付与したのち、つぎにその無電解めっ
き層の上に通常の電解めっきを行うことにより所望厚み
の電解めっき層として形成することができる。この金属
めっき層４は、後述する第４工程でレンズ部を形成する
ときに用いるエッチャントによって侵食されないような
材料で構成されている。例えば、ニッケルめっき層をあ
げることができる。
【００２２】この金属めっき層４の厚みは格別限定され
るものではないが、後述するレンズ部の形成時に、光フ
ァイバ２の突出部分の長さは約２０μｍ程度減少するこ
とがあるので、その場合であってもファイバ整列ブロッ
ク１の端面１ｂからレンズ部を突出させることを考慮す
ると、概ね、５０μｍ程度であることが好ましい。つい
で、第３工程においては、ファイバ整列ブロック１から
突出している各光ファイバ２の先端部が一括して研磨さ
れる。
るものではないが、後述するレンズ部の形成時に、光フ
ァイバ２の突出部分の長さは約２０μｍ程度減少するこ
とがあるので、その場合であってもファイバ整列ブロッ
ク１の端面１ｂからレンズ部を突出させることを考慮す
ると、概ね、５０μｍ程度であることが好ましい。つい
で、第３工程においては、ファイバ整列ブロック１から
突出している各光ファイバ２の先端部が一括して研磨さ
れる。
【００２３】そのときに、図３で示したように、光ファ
イバ２の先端部の基部を埋設するようにしてファイバ整
列ブロック１の端面１ｂを樹脂で被覆し、それを硬化し
て樹脂層５を形成することにより、光ファイバ２の全体
を樹脂層５で固定する補強処理を施すことが好ましい。
なお、図３の仮想線で示したように、樹脂層５で各光フ
ァイバ２の先端部を全体として埋設するようにしてもよ
い。
イバ２の先端部の基部を埋設するようにしてファイバ整
列ブロック１の端面１ｂを樹脂で被覆し、それを硬化し
て樹脂層５を形成することにより、光ファイバ２の全体
を樹脂層５で固定する補強処理を施すことが好ましい。
なお、図３の仮想線で示したように、樹脂層５で各光フ
ァイバ２の先端部を全体として埋設するようにしてもよ
い。
【００２４】用いる樹脂としては、例えば紫外線硬化型
のものや、熱硬化型のものをあげることができる。これ
らの樹脂を端面１ｂに塗布したのち、これに紫外線照射
または加熱して硬化させることにより、光ファイバ２の
先端部はその突出状態を保持したまま固定される。上記
した一括研磨後にあっては、図４で示したように、不揃
いに突出していた光ファイバ２の先端部分は研磨除去さ
れ、金属めっき層４の研磨面、樹脂被覆層５の研磨面と
光ファイバ２の研磨面２ａは同一平面を構成する。すな
わち、全ての光ファイバ２につき、研磨面２ａが先端作
用面として表出し、その位置は、ファイバ整列ブロック
１の端面１ｂから同じ長さだけ突出した位置になる。
のものや、熱硬化型のものをあげることができる。これ
らの樹脂を端面１ｂに塗布したのち、これに紫外線照射
または加熱して硬化させることにより、光ファイバ２の
先端部はその突出状態を保持したまま固定される。上記
した一括研磨後にあっては、図４で示したように、不揃
いに突出していた光ファイバ２の先端部分は研磨除去さ
れ、金属めっき層４の研磨面、樹脂被覆層５の研磨面と
光ファイバ２の研磨面２ａは同一平面を構成する。すな
わち、全ての光ファイバ２につき、研磨面２ａが先端作
用面として表出し、その位置は、ファイバ整列ブロック
１の端面１ｂから同じ長さだけ突出した位置になる。
【００２５】その後、端面１ｂを被覆する樹脂被覆層５
のを除去する。その結果、図５で示したように、ファイ
バ整列ブロック１の端面１ｂからは光ファイバ２の先端
が突出するが、それぞれの光ファイバにおける先端作用
面２ａの位置は、ファイバ整列ブロック１の端面１ｂを
基準にして全ての光ファイバで同じになる。ついで、第
４工程では、上記した光ファイバの先端作用面２ａにレ
ンズ部が形成される。
のを除去する。その結果、図５で示したように、ファイ
バ整列ブロック１の端面１ｂからは光ファイバ２の先端
が突出するが、それぞれの光ファイバにおける先端作用
面２ａの位置は、ファイバ整列ブロック１の端面１ｂを
基準にして全ての光ファイバで同じになる。ついで、第
４工程では、上記した光ファイバの先端作用面２ａにレ
ンズ部が形成される。
【００２６】具体的には、光ファイバ２の先端部をフッ
酸溶液やフッ酸とフッ化アンモニウムとの混合液などの
エッチャントに浸漬する。光ファイバの先端部をこれら
エッチャントに浸漬すると、クラッド，コアはいずれも
石英系ガラスであるためエッチングされる。このとき、
クラッドのエッチング速度はコアのエッチング速度より
も大きく、しかも、エッチングは、光ファイバの軸長方
向に進んで光ファイバを短くするエッチングと光ファイ
バの径方向に進んで光ファイバを細くするエッチングと
が合成された状態で進行していくので、結局、所定の時
間が経過すると、光ファイバ２の突出長は全体として短
くなると同時に、光ファイバの端面には、コアが円錐台
形状になって突出し、図６で示したように、光ファイバ
２の先端作用面２ａにはレンズ部２ｂが形成される。
酸溶液やフッ酸とフッ化アンモニウムとの混合液などの
エッチャントに浸漬する。光ファイバの先端部をこれら
エッチャントに浸漬すると、クラッド，コアはいずれも
石英系ガラスであるためエッチングされる。このとき、
クラッドのエッチング速度はコアのエッチング速度より
も大きく、しかも、エッチングは、光ファイバの軸長方
向に進んで光ファイバを短くするエッチングと光ファイ
バの径方向に進んで光ファイバを細くするエッチングと
が合成された状態で進行していくので、結局、所定の時
間が経過すると、光ファイバ２の突出長は全体として短
くなると同時に、光ファイバの端面には、コアが円錐台
形状になって突出し、図６で示したように、光ファイバ
２の先端作用面２ａにはレンズ部２ｂが形成される。
【００２７】なお、このエッチング処理時には、石英系
光ファイバの先端部の突出長が２０〜３０μｍ程度短く
なるので、このエッチング処理に先立ち、光ファイバ先
端部を被覆している金属めっき層を２０〜３０μｍ程度
の長さで除去しておくことが好ましい。このエッチング
処理で、各石英系光ファイバ２の先端部に作用するエッ
チング条件は同じであるから、端面１ｂから突出してい
る先端部の突出長は全ての石英系光ファイバ２で同じ長
さになる。
光ファイバの先端部の突出長が２０〜３０μｍ程度短く
なるので、このエッチング処理に先立ち、光ファイバ先
端部を被覆している金属めっき層を２０〜３０μｍ程度
の長さで除去しておくことが好ましい。このエッチング
処理で、各石英系光ファイバ２の先端部に作用するエッ
チング条件は同じであるから、端面１ｂから突出してい
る先端部の突出長は全ての石英系光ファイバ２で同じ長
さになる。
【００２８】なお、この突出部（レンズ部）２ｂの円錐
台形状の部分に、例えば集光レーザ光を照射して加熱溶
融すると、この円錐台形状を球状のレンズに変化させる
こともできる。 実施例２ 図７に、本発明の光ファイバアレイの別の実施例を示
す。
台形状の部分に、例えば集光レーザ光を照射して加熱溶
融すると、この円錐台形状を球状のレンズに変化させる
こともできる。 実施例２ 図７に、本発明の光ファイバアレイの別の実施例を示
す。
【００２９】この光ファイバアレイは、光ファイバ２の
先端作用面２ａが金属めっき層４の外表面４ａよりも凹
没しているものである。この光ファイバアレイは、これ
を例えばＬＤアレイと光結合するときに、レンズ部２ｂ
が凹没しているので、ＬＤアレイの発光面と接触するこ
とがなく、したがって、両者の光結合過程において、Ｌ
Ｄアレイを損傷するという虞れを完全に解消できるとい
う利点を備えている。
先端作用面２ａが金属めっき層４の外表面４ａよりも凹
没しているものである。この光ファイバアレイは、これ
を例えばＬＤアレイと光結合するときに、レンズ部２ｂ
が凹没しているので、ＬＤアレイの発光面と接触するこ
とがなく、したがって、両者の光結合過程において、Ｌ
Ｄアレイを損傷するという虞れを完全に解消できるとい
う利点を備えている。
【００３０】この光ファイバは、実施例１の場合と同じ
ように第３工程までを進めたのち、前記した第４工程に
おけるレンズ部の形成時に、光ファイバの先端作用面に
対するエッチング量を制御することによって製造するこ
とができる。
ように第３工程までを進めたのち、前記した第４工程に
おけるレンズ部の形成時に、光ファイバの先端作用面に
対するエッチング量を制御することによって製造するこ
とができる。
【００３１】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明方
法によれば、光ファイバをファイバ整列ブロックに配列
するときに、そのファイバ整列ブロックの端面から突出
する光ファイバの突出長が不揃いであっても、最終的に
は、全ての光ファイバの突出長が同じであり、かつその
先端作用面にレンズ部が形成されている光ファイバアレ
イを製造することができる。したがって、従来のよう
に、光ファイバの先端を１本１本揃えてファイバ整列ブ
ロックに配列するという煩雑な作業は解消できる。
法によれば、光ファイバをファイバ整列ブロックに配列
するときに、そのファイバ整列ブロックの端面から突出
する光ファイバの突出長が不揃いであっても、最終的に
は、全ての光ファイバの突出長が同じであり、かつその
先端作用面にレンズ部が形成されている光ファイバアレ
イを製造することができる。したがって、従来のよう
に、光ファイバの先端を１本１本揃えてファイバ整列ブ
ロックに配列するという煩雑な作業は解消できる。
【００３２】また、得られた光ファイバアレイは、それ
をＬＤアレイと結合すると結合効率は高くなり、しかも
各光ファイバの突出長は同じであるためその結合効率は
各ＬＤと各光ファイバとの間でばらつくことがない。し
たがって、非常に優れたＬＤアレイモジュールを組立て
ることができる。しかも、ファイバ整列ブロックの表面
は金属めっき層で被覆されているのでファイバ整列ブロ
ックからの発生ガスによって引き起こされるＬＤアレイ
の汚染は防止される。
をＬＤアレイと結合すると結合効率は高くなり、しかも
各光ファイバの突出長は同じであるためその結合効率は
各ＬＤと各光ファイバとの間でばらつくことがない。し
たがって、非常に優れたＬＤアレイモジュールを組立て
ることができる。しかも、ファイバ整列ブロックの表面
は金属めっき層で被覆されているのでファイバ整列ブロ
ックからの発生ガスによって引き起こされるＬＤアレイ
の汚染は防止される。
【図１】光ファイバをファイバ整列ブロックに配列する
状態を示す斜視図である。
状態を示す斜視図である。
【図２】金属めっき層を形成した状態を示す断面図であ
る。
る。
【図３】光ファイバの先端部を固定した状態を示す断面
図である。
図である。
【図４】研磨処理後の状態を示す断面図である。
【図５】樹脂被覆層を除去した状態を示す断面図であ
る。
る。
【図６】レンズ部を形成した状態を示す断面図である。
【図７】本発明の別の光ファイバアレイの先端作用面の
部分を示す部分断面図である。
部分を示す部分断面図である。
【図８】従来の発光素子モジュールを示す断面図であ
る。
る。
１ ファイバ整列ブロック １ａ ファイバ挿入孔 １ｂ ファイバ整列ブロック１の端面 ２ 光ファイバ ２ａ 光ファイバ２の研磨面（先端作用面） ２ｂ レンズ部 ３ 接着剤 ４ 金属めっき層 ４ａ 金属めっき層４の外表面 ５ 樹脂被覆層
Claims (4)
- 【請求項１】 ファイバ整列ブロックと、前記ファイバ
整列ブロックに固定して配列され、先端作用面が前記フ
ァイバ整列ブロックの端面から露出している複数本の石
英系光ファイバとを有し、前記先端作用面と前記ファイ
バ整列ブロックの端面との距離は全ての石英系光ファイ
バで同じであり、かつ前記先端作用面にはレンズ部が形
成されており、しかも前記先端作用面を除いた全ての表
面には金属めっき層が形成されていることを特徴とする
光ファイバアレイ。 - 【請求項２】 前記石英系光ファイバは、フッ酸または
フッ酸とフッ化アンモニウムとの混合溶液によるコアの
エッチング速度の方がクラッドのエッチング速度よりも
小さい組成の材料から成る請求項１の光ファイバアレ
イ。 - 【請求項３】 ファイバ整列ブロックに複数本の石英系
光ファイバをその先端部が前記ファイバ整列ブロックの
端面から突出する状態で固定して配列する工程；前記フ
ァイバ整列ブロックの全表面、および、前記石英系光フ
ァイバの突出部分の全表面を被覆して金属めっき層を形
成する工程；前記石英系光ファイバの先端部を一括研磨
して、石英系光ファイバの先端作用面を形成すると同時
に、前記先端部の突出長を同じ長さに整える工程；なら
びに、前記先端作用面にレンズ部を形成する工程を備え
ていることを特徴とする光ファイバアレイの製造方法。 - 【請求項４】 前記石英系光ファイバは、フッ酸または
フッ酸とフッ化アンモニウムとの混合溶液によるコアの
エッチング速度の方がクラッドのエッチング速度よりも
小さい組成の材料から成る請求項１の光ファイバアレイ
の製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11291393A JP3234347B2 (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | 光ファイバアレイとその製造方法 |
| US08/236,360 US5566262A (en) | 1993-05-14 | 1994-04-29 | Optical fiber array and a method of producing the same |
| EP94303402A EP0627641B1 (en) | 1993-05-14 | 1994-05-12 | Optical fiber array and a method of producing the same |
| DE69416617T DE69416617T2 (de) | 1993-05-14 | 1994-05-12 | Verband von optischen Fibern und Verfahren zu seiner Herstellung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11291393A JP3234347B2 (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | 光ファイバアレイとその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06324235A true JPH06324235A (ja) | 1994-11-25 |
| JP3234347B2 JP3234347B2 (ja) | 2001-12-04 |
Family
ID=14598628
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11291393A Expired - Fee Related JP3234347B2 (ja) | 1993-05-14 | 1993-05-14 | 光ファイバアレイとその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3234347B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004506233A (ja) * | 2000-08-08 | 2004-02-26 | ストラトス ライトウェイヴ インコーポレイテッド | デバイスのアセンブリ後の金属被覆 |
| JP2015502032A (ja) * | 2011-11-09 | 2015-01-19 | ザイゴ コーポレーションＺｙｇｏ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ | リソグラフィツールにおいて使用される計測システムのためのファイバ伝送 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102376160B1 (ko) | 2021-10-29 | 2022-03-21 | 주식회사 서연이화 | 사용자 인터페이스 장치의 노브 구조 |
-
1993
- 1993-05-14 JP JP11291393A patent/JP3234347B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004506233A (ja) * | 2000-08-08 | 2004-02-26 | ストラトス ライトウェイヴ インコーポレイテッド | デバイスのアセンブリ後の金属被覆 |
| JP2015502032A (ja) * | 2011-11-09 | 2015-01-19 | ザイゴ コーポレーションＺｙｇｏ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ | リソグラフィツールにおいて使用される計測システムのためのファイバ伝送 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3234347B2 (ja) | 2001-12-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |