JPH0632263B2 - 液体噴射記録ヘッド - Google Patents
液体噴射記録ヘッドInfo
- Publication number
- JPH0632263B2 JPH0632263B2 JP60212703A JP21270385A JPH0632263B2 JP H0632263 B2 JPH0632263 B2 JP H0632263B2 JP 60212703 A JP60212703 A JP 60212703A JP 21270385 A JP21270385 A JP 21270385A JP H0632263 B2 JPH0632263 B2 JP H0632263B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resistor
- boundary
- electrode
- value
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Surface Heating Bodies (AREA)
- Control Of Resistance Heating (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、液体噴射記録ヘッドに関し、特に熱エネルギ
ーを記録液に与えて気泡を発生させ、これにより記録液
を吐出させて記録を行う液体噴射記録ヘッドに関する。
ーを記録液に与えて気泡を発生させ、これにより記録液
を吐出させて記録を行う液体噴射記録ヘッドに関する。
［従来の技術］ 発熱抵抗体を用いて熱エネルギーを記録液に与えて液体
を噴射させる液体噴射記録ヘッドの使用寿命を延ばすた
めには使用している発熱抵抗層の使用寿命を長くするこ
とが重要である。従来発熱抵抗体の損傷は、発熱量分布
が一様でないために、起ることが多かった。発熱抵抗体
に導電体である電極層を設けてなる電気熱変換体とし
て、電極を設ける際に断線が生じないように、また保護
層等のステップカバレージ性をあげ、耐久性能を向上さ
せる等の目的で、電極が設けられる発熱抵抗体の幅を電
極幅より広げることが提案されている（特開昭59-19485
9 号公報参照）。しかしこのような形状の電気熱変換体
においては電極間を流れる電流の密度が一様にならず、
一部に集中する場合があり、この場合には発熱量が一様
にならず、発熱量が大きくなる部分が生ずることがあっ
た。そしてこの発熱量が過大になる部分から損傷が生
じ、結果的に抵抗体の寿命が短くなるという問題が生ず
る場合があった。
を噴射させる液体噴射記録ヘッドの使用寿命を延ばすた
めには使用している発熱抵抗層の使用寿命を長くするこ
とが重要である。従来発熱抵抗体の損傷は、発熱量分布
が一様でないために、起ることが多かった。発熱抵抗体
に導電体である電極層を設けてなる電気熱変換体とし
て、電極を設ける際に断線が生じないように、また保護
層等のステップカバレージ性をあげ、耐久性能を向上さ
せる等の目的で、電極が設けられる発熱抵抗体の幅を電
極幅より広げることが提案されている（特開昭59-19485
9 号公報参照）。しかしこのような形状の電気熱変換体
においては電極間を流れる電流の密度が一様にならず、
一部に集中する場合があり、この場合には発熱量が一様
にならず、発熱量が大きくなる部分が生ずることがあっ
た。そしてこの発熱量が過大になる部分から損傷が生
じ、結果的に抵抗体の寿命が短くなるという問題が生ず
る場合があった。
［発明が解決しようとする問題点］ 本発明は上述した従来の問題点を除去し、発熱抵抗体の
発熱量分布をできるだけ一様にし、発熱抵抗体の寿命、
延いては液体噴射記録ヘッドの寿命を伸ばすことを目的
とする。
発熱量分布をできるだけ一様にし、発熱抵抗体の寿命、
延いては液体噴射記録ヘッドの寿命を伸ばすことを目的
とする。
［問題点を解決するための手段］ 前記目的を達成するための本発明は、層状の抵抗体と、
該抵抗体上に積層され、該抵抗体の幅より狭い幅を有す
る一対の層状の電極とを有し、該一対の電極間に電圧を
印加して電極間の抵抗体に熱を生じせしめ、該熱を液体
に作用させて気泡を発生させることにより、液体を吐出
する液体噴射記録ヘッドにおいて、前記抵抗体表面上に
直角座標系Ｘ−Ｙをとり、φ（ｘ，ｙ）を抵抗体表面上
の点（ｘ，ｙ）おけるポテンシャル値とし、該抵抗体の
周囲境界のうち、前記一対の電極の一方との境界に、あ
る境界値を与え、他方の電極との境界に前記境界値とは
異なる境界値を与え、そのほかの境界に該境界の法線方
向に対するφの微分係数が０である境界条件を与え、抵
抗体領域を対象としてラプラス方程式 ∂２φ／∂ｘ２＋∂２φ／∂ｙ２＝０ を解いたとき、φの傾きの大きさ の最大値の、抵抗体中央におけるφの傾きの大きさ に対する比が１．４以下である形状を前記電極と前記抵
抗体が有していることを特徴とする液体噴射記録ヘッド
である。
該抵抗体上に積層され、該抵抗体の幅より狭い幅を有す
る一対の層状の電極とを有し、該一対の電極間に電圧を
印加して電極間の抵抗体に熱を生じせしめ、該熱を液体
に作用させて気泡を発生させることにより、液体を吐出
する液体噴射記録ヘッドにおいて、前記抵抗体表面上に
直角座標系Ｘ−Ｙをとり、φ（ｘ，ｙ）を抵抗体表面上
の点（ｘ，ｙ）おけるポテンシャル値とし、該抵抗体の
周囲境界のうち、前記一対の電極の一方との境界に、あ
る境界値を与え、他方の電極との境界に前記境界値とは
異なる境界値を与え、そのほかの境界に該境界の法線方
向に対するφの微分係数が０である境界条件を与え、抵
抗体領域を対象としてラプラス方程式 ∂２φ／∂ｘ２＋∂２φ／∂ｙ２＝０ を解いたとき、φの傾きの大きさ の最大値の、抵抗体中央におけるφの傾きの大きさ に対する比が１．４以下である形状を前記電極と前記抵
抗体が有していることを特徴とする液体噴射記録ヘッド
である。
［作用］ 低抗体におけるφの傾きの最大値の、電極間の抵抗体の
中央におけるφの傾きに対する比を１．４以下にするこ
とにより、電極間の抵抗体の発熱量の分布をできるだけ
一様にし、発熱抵抗体延いては記録ヘッドの寿命を伸ば
すことができる。
中央におけるφの傾きに対する比を１．４以下にするこ
とにより、電極間の抵抗体の発熱量の分布をできるだけ
一様にし、発熱抵抗体延いては記録ヘッドの寿命を伸ば
すことができる。
［実施例］ 以下に、図面を参照して本発明を詳細に説明する。
実施例１ 第1 図(a) 〜第1 図(c) は本発明の一実施例を示す図
で、発熱抵抗体により記録液に熱エネルギーを与え発泡
させることにより液滴を噴射するヘッドのうち、抵抗体
付近を示したものである。
で、発熱抵抗体により記録液に熱エネルギーを与え発泡
させることにより液滴を噴射するヘッドのうち、抵抗体
付近を示したものである。
図中、１は基板，２は蓄熱層、３は層状の発熱抵抗体、
４は発熱抵抗体上に積層され、この発熱抵抗体の幅より
狭い幅を有する一対の層状の電極、5,6 は保護膜で各層
を構成する物質名および厚さを第1 表に示す。同図(a)
は横断面図、同図(b) は保護膜5,6 を除いた部分の平面
図、同図(c) は同図(b) のA,B 付近の拡大図である。図
中Ｗは抵抗体中央部における抵抗体3 の幅であり、Ｗ1
は抵抗体端部における抵抗体の幅、Ｄは電極先端におけ
る電極4 の幅、Ｄ1 は抵抗体端部における電極4 の幅で
あり、L1は2 ケ所ある抵抗体の幅が段階的に変化する位
置の間の距離、L2は電極先端間の距離である。本実施例
の場合、Ｗ＝32μｍ，Ｗ1 ＝58μｍ，Ｄ＝32μｍ，Ｄ1
＝50μｍ，L1 ＝150 μｍ，L2 ＝150μｍであり、電極
先端における電極幅D と抵抗体中央部における抵抗体の
幅Ｗが等しいことと、電極の先端位置を抵抗体の幅が段
階的に変化する位置に一致させていること、抵抗体の幅
が変化する凹部に比較的大きな曲率半径をもたせること
が特徴である。第１図(c) においてd= 8μｍで、曲率部
の曲率半径は約D/10とした。
４は発熱抵抗体上に積層され、この発熱抵抗体の幅より
狭い幅を有する一対の層状の電極、5,6 は保護膜で各層
を構成する物質名および厚さを第1 表に示す。同図(a)
は横断面図、同図(b) は保護膜5,6 を除いた部分の平面
図、同図(c) は同図(b) のA,B 付近の拡大図である。図
中Ｗは抵抗体中央部における抵抗体3 の幅であり、Ｗ1
は抵抗体端部における抵抗体の幅、Ｄは電極先端におけ
る電極4 の幅、Ｄ1 は抵抗体端部における電極4 の幅で
あり、L1は2 ケ所ある抵抗体の幅が段階的に変化する位
置の間の距離、L2は電極先端間の距離である。本実施例
の場合、Ｗ＝32μｍ，Ｗ1 ＝58μｍ，Ｄ＝32μｍ，Ｄ1
＝50μｍ，L1 ＝150 μｍ，L2 ＝150μｍであり、電極
先端における電極幅D と抵抗体中央部における抵抗体の
幅Ｗが等しいことと、電極の先端位置を抵抗体の幅が段
階的に変化する位置に一致させていること、抵抗体の幅
が変化する凹部に比較的大きな曲率半径をもたせること
が特徴である。第１図(c) においてd= 8μｍで、曲率部
の曲率半径は約D/10とした。
さて、第1 図(b) において、発熱抵抗体表面上に直角座
標系X-Y をとり、φ(x,y) と抵抗体表面上の点(x,y) に
おけるポテンシャル値とし、一対の電極のうち、一方の
電極と発熱抵抗層との境界（３ａ）に、ある境界値φ1
を、他方の電極と発熱抵抗層との境界（３ｂ）にφ1 と
異なる値の境界値φ2 を与え、発熱抵抗層のこれらの他
の境界にこの境界の法線方向に対するφの微分係数が０
である境界条件を与え、発熱抵抗体領域を対象としてφ
を未知数とするラプラス方程式を解いたとき、φの傾き
の大きさ（電流密度）は、図示のＢ点において最大とな
り、その値は抵抗体の中央におけるφの傾きの大きさの
１．１３倍である。
標系X-Y をとり、φ(x,y) と抵抗体表面上の点(x,y) に
おけるポテンシャル値とし、一対の電極のうち、一方の
電極と発熱抵抗層との境界（３ａ）に、ある境界値φ1
を、他方の電極と発熱抵抗層との境界（３ｂ）にφ1 と
異なる値の境界値φ2 を与え、発熱抵抗層のこれらの他
の境界にこの境界の法線方向に対するφの微分係数が０
である境界条件を与え、発熱抵抗体領域を対象としてφ
を未知数とするラプラス方程式を解いたとき、φの傾き
の大きさ（電流密度）は、図示のＢ点において最大とな
り、その値は抵抗体の中央におけるφの傾きの大きさの
１．１３倍である。
この場合、直角座標系X-Y が抵抗体の面上にあれば、座
標の原点およびX-Y の方向をどのようにとっても、また
異なる境界値φ1 ，φ2 の大きさを変化させても、φの
傾きが最大となる位置およびその点でのφの傾きと抵抗
体中央におけるφの傾きの比は変らない。
標の原点およびX-Y の方向をどのようにとっても、また
異なる境界値φ1 ，φ2 の大きさを変化させても、φの
傾きが最大となる位置およびその点でのφの傾きと抵抗
体中央におけるφの傾きの比は変らない。
実施例２〜実施例６ 次に第１図においてD と L2 を変化させた実施例２ない
し実施例６について、φの傾きの最大値と抵抗体中央に
おける傾きの大きさとの比ｒを、実施例１の結果と共に
第２表に示す。同表に示した寸法の範囲においてはｒは
すべて1.4 以下になっている。第２表に示すように、φ
の傾きが最大となる位置は、発熱抵抗体と電極の形状に
よって、抵抗体３が電極４と接する側の端部Ａ，または
抵抗体３の平行部の端部Ｂとなる。そしてその点におけ
るφの傾きの大きさと抵抗体中央におけるφの傾きの大
きさとの比ｒは、発熱抵抗体の形状に従って変化する。
し実施例６について、φの傾きの最大値と抵抗体中央に
おける傾きの大きさとの比ｒを、実施例１の結果と共に
第２表に示す。同表に示した寸法の範囲においてはｒは
すべて1.4 以下になっている。第２表に示すように、φ
の傾きが最大となる位置は、発熱抵抗体と電極の形状に
よって、抵抗体３が電極４と接する側の端部Ａ，または
抵抗体３の平行部の端部Ｂとなる。そしてその点におけ
るφの傾きの大きさと抵抗体中央におけるφの傾きの大
きさとの比ｒは、発熱抵抗体の形状に従って変化する。
実施例７ 第２図(a),(b) は本発明の別の実施例を示す。横断面図
は第１図(a) のものと同様であるので、保護膜5,6 を除
いた部分の平面図を第２図(a) に、第２図(a) における
A,B付近の拡大図を第２図(b) に示す。本実施例の場
合、Ｗ＝32μｍ，Ｗ1 ＝58μｍ，Ｄ＝32μｍ，Ｄ1 ＝50
μｍ，L1 ＝150 μｍ，L2 ＝158μｍ，d=13μｍであ
り、 L2 ＞ L1 となっている。本実施例の場合φの傾き
の最大の位置はＢ，r=1.36であり、1.4 以下になってい
る。
は第１図(a) のものと同様であるので、保護膜5,6 を除
いた部分の平面図を第２図(a) に、第２図(a) における
A,B付近の拡大図を第２図(b) に示す。本実施例の場
合、Ｗ＝32μｍ，Ｗ1 ＝58μｍ，Ｄ＝32μｍ，Ｄ1 ＝50
μｍ，L1 ＝150 μｍ，L2 ＝158μｍ，d=13μｍであ
り、 L2 ＞ L1 となっている。本実施例の場合φの傾き
の最大の位置はＢ，r=1.36であり、1.4 以下になってい
る。
比較例１ さて実施例1 ないし実施例７で述べた本発明の効果を次
に示す。第３図は比較のために示した従来の形状の発熱
抵抗体である。横断面図は第１図(a) と同様であるか
ら、第２図(a),(b) と同様保護膜5,6 を除いた平面図を
第３図(a) に、第３図(a) の中でA′，B′付近の拡大図
を第３図(b) に示す。図中、 L1 =150μｍ，L2 =158μ
ｍ，Ｗ＝32μｍ，Ｗ1 ＝58μｍ，D=D1 ＝50μｍであ
る。この比較例の形状は、図示のように抵抗体の角の曲
率半径が小さく、また抵抗体の幅Ｗが電極の幅D より小
さい。本比較例の場合φの傾きの最大の位置はＢ′であ
り、ｒ値は1.71であった。
に示す。第３図は比較のために示した従来の形状の発熱
抵抗体である。横断面図は第１図(a) と同様であるか
ら、第２図(a),(b) と同様保護膜5,6 を除いた平面図を
第３図(a) に、第３図(a) の中でA′，B′付近の拡大図
を第３図(b) に示す。図中、 L1 =150μｍ，L2 =158μ
ｍ，Ｗ＝32μｍ，Ｗ1 ＝58μｍ，D=D1 ＝50μｍであ
る。この比較例の形状は、図示のように抵抗体の角の曲
率半径が小さく、また抵抗体の幅Ｗが電極の幅D より小
さい。本比較例の場合φの傾きの最大の位置はＢ′であ
り、ｒ値は1.71であった。
第３表は、第１図，第２表，第２図に示した実施例１〜
７および第３図に示した比較例１の発熱抵抗体を液体噴
射記録ヘッドに用いて実際に液体の吐出を行い、発熱抵
抗体の耐久試験を行った結果である。なお、発熱抵抗体
に印加する電圧は、おのおのの抵抗体について、液体噴
射を行うのに必要最小限の電圧を測定し、その電圧に1.
15を乗じたものとした。またパルス幅は 8μsec 、パル
ス周波数は1kHzであった。
７および第３図に示した比較例１の発熱抵抗体を液体噴
射記録ヘッドに用いて実際に液体の吐出を行い、発熱抵
抗体の耐久試験を行った結果である。なお、発熱抵抗体
に印加する電圧は、おのおのの抵抗体について、液体噴
射を行うのに必要最小限の電圧を測定し、その電圧に1.
15を乗じたものとした。またパルス幅は 8μsec 、パル
ス周波数は1kHzであった。
第３表からわかるように、ｒ値が小さいほど抵抗体の耐
久性が優れており、ｒ値が1.4 をこえると耐久性が急変
している。
久性が優れており、ｒ値が1.4 をこえると耐久性が急変
している。
実施例８ 第4 図(a) 〜第4 図(c) は本発明の他の実施例を示し、
発熱抵抗体により記録液に熱エネルギーを与え発泡させ
ることにより液滴を噴射するヘッドの抵抗体付近を示し
たものであるが、第１図〜第３図に示した例とは膜構成
が異なる。第４図(a) は本実施例の層構成を示したもの
で、10は基板、11は蓄熱層、１２は層状の発熱抵抗体、
１３は発熱抵抗体上に積層され、この発熱抵抗体の幅よ
り狭い幅を有する一対の層状の電極、14は電極保護膜、
15は抵抗体保護膜であり、各層を構成する物質および厚
さをは第４表に示す。第４図(b) は抵抗体形状を示し、
同図(c) は同図(b) の左上部の拡大図である。抵抗体の
曲率部の曲率半径は第１図の例よりやや大きい、また電
極の幅はD=D1 となっている。本実施例の場合φの傾き
の最大の位置は図示のＢであり、ｒ値は1.25であった。
発熱抵抗体により記録液に熱エネルギーを与え発泡させ
ることにより液滴を噴射するヘッドの抵抗体付近を示し
たものであるが、第１図〜第３図に示した例とは膜構成
が異なる。第４図(a) は本実施例の層構成を示したもの
で、10は基板、11は蓄熱層、１２は層状の発熱抵抗体、
１３は発熱抵抗体上に積層され、この発熱抵抗体の幅よ
り狭い幅を有する一対の層状の電極、14は電極保護膜、
15は抵抗体保護膜であり、各層を構成する物質および厚
さをは第４表に示す。第４図(b) は抵抗体形状を示し、
同図(c) は同図(b) の左上部の拡大図である。抵抗体の
曲率部の曲率半径は第１図の例よりやや大きい、また電
極の幅はD=D1 となっている。本実施例の場合φの傾き
の最大の位置は図示のＢであり、ｒ値は1.25であった。
実施例９ 第５図(a),(b) は抵抗体の形状の異なる別の実施例を示
す。膜構成は第４図と同じである。同図(a) は抵抗体形
状を示し、同図(b) は同図(a) の左上部拡大図である。
本実施例の場合、φの傾きの最大の位置は図示のＢであ
り、ｒ値は1.40であった。
す。膜構成は第４図と同じである。同図(a) は抵抗体形
状を示し、同図(b) は同図(a) の左上部拡大図である。
本実施例の場合、φの傾きの最大の位置は図示のＢであ
り、ｒ値は1.40であった。
比較例２ 第６図(a),(b) は比較例を示し、膜構成は第４図(a) と
同じである。第６図(a) は抵抗体形状を示し、同図(b)
は同図(a) の左上部の拡大図である。本例の場合、φの
傾きの最大の位置は図示のＢ′であり、ｒ値は1.55であ
った。なお実施例８，実施例９の各寸法値を第５表に示
す。比較例２の寸法はＷ＝52μｍで他は第5 表と同じで
ある。
同じである。第６図(a) は抵抗体形状を示し、同図(b)
は同図(a) の左上部の拡大図である。本例の場合、φの
傾きの最大の位置は図示のＢ′であり、ｒ値は1.55であ
った。なお実施例８，実施例９の各寸法値を第５表に示
す。比較例２の寸法はＷ＝52μｍで他は第5 表と同じで
ある。
第４図(a) 〜第６図(b) に示した実施例8,実施例9 およ
び比較例2 について第１図(a) 〜第３図(c) に示した実
施例1 〜実施例7 、比較例1 の場合と同様の方法により
耐久試験を行った。その結果を第６表に示す。同表から
わかるようにｒ値が耐久性を支配しておりｒが1.4 をこ
えると耐久性が急変している。本３例の場合、第１図〜
第３図の例と膜構成が異なっているにもかかわらずｒ値
が耐久性を強く支配していることがわかる。
び比較例2 について第１図(a) 〜第３図(c) に示した実
施例1 〜実施例7 、比較例1 の場合と同様の方法により
耐久試験を行った。その結果を第６表に示す。同表から
わかるようにｒ値が耐久性を支配しておりｒが1.4 をこ
えると耐久性が急変している。本３例の場合、第１図〜
第３図の例と膜構成が異なっているにもかかわらずｒ値
が耐久性を強く支配していることがわかる。
発熱抵抗体をはじめ各層の材質は第１表および第４表に
示したものに限定されず、適宜選択できる。
示したものに限定されず、適宜選択できる。
本発明においては、発熱抵抗層の厚さは、一般的に発熱
抵抗体として使用される範囲の厚さを使用できる。また
その厚さの分布は、平均厚さの±５％以内とされること
が好ましい。
抵抗体として使用される範囲の厚さを使用できる。また
その厚さの分布は、平均厚さの±５％以内とされること
が好ましい。
［発明の効果］ 以上説明したように、層状の発熱抵抗体上にこの発熱抵
抗体より幅の狭い一対の電極を積層した液体噴射記録ヘ
ッドにおいて、発熱抵抗体表面上に直角座標系X-Y をと
りφ(x,y) を抵抗体表面上の点(x,y) におけるポテンシ
ャル値とし、抵抗体の周囲境界のうち一方の電極に接す
る部分にある値の境界値を与え、他方の電極に接する部
分に前記境界値とは異なる値の境界値を与え、どちらの
電極にも接していない部分に境界の法線方向に対するφ
の微分係数が0 である境界条件を与え、発熱抵抗体領域
を対象としてラプラス方程式 ∂２φ／∂ｘ２＋∂２φ／∂ｙ２＝０を解いたとき、φ
の傾きの大きさ の最大値と抵抗体中央における との比が1.4以下となるように発熱抵抗体と電極の形状
を決定すれば、電極間の抵抗体の発熱分布をほぼ一様に
でき、耐久性の優れた抵抗体を有する液体噴射記録ヘッ
ドを提供することができる。
抗体より幅の狭い一対の電極を積層した液体噴射記録ヘ
ッドにおいて、発熱抵抗体表面上に直角座標系X-Y をと
りφ(x,y) を抵抗体表面上の点(x,y) におけるポテンシ
ャル値とし、抵抗体の周囲境界のうち一方の電極に接す
る部分にある値の境界値を与え、他方の電極に接する部
分に前記境界値とは異なる値の境界値を与え、どちらの
電極にも接していない部分に境界の法線方向に対するφ
の微分係数が0 である境界条件を与え、発熱抵抗体領域
を対象としてラプラス方程式 ∂２φ／∂ｘ２＋∂２φ／∂ｙ２＝０を解いたとき、φ
の傾きの大きさ の最大値と抵抗体中央における との比が1.4以下となるように発熱抵抗体と電極の形状
を決定すれば、電極間の抵抗体の発熱分布をほぼ一様に
でき、耐久性の優れた抵抗体を有する液体噴射記録ヘッ
ドを提供することができる。
第１図(a) 〜第１図(c) は本発明の実施例を示し、 第1 図(a) は発熱抵抗体の横断面図、 第1 図(b) は抵抗体の平面形状を示す図、 第1 図(c) は第1 図(b) の一部拡大図、 第2 図(a) ，第２図(b) は本発明の他の実施例を示し、 第2 図(a) は抵抗体の平面形状を示す図、 第2 図(b) は第2 図(a) の一部拡大図、 第3 図(a),第3 図(b) は比較例を示し、 第3 図(a) は抵抗体の平面形状を示す図、 第3 図(b) は第3 図(a) の一部拡大図、 第4 図(a) 〜第4 図(c) は本発明の他の実施例を示し、
第4 図(a) は発熱抵抗体の横断面図、 第4 図(b) は抵抗体の平面形状を示す図、 第4 図(c) は第4 図(b) の一部拡大図、 第5 図(a),第5 図(b) は本発明のさらに他の実施例を示
し、 第5 図(a) は抵抗体の平面形状を示す図、 第5 図(b) は第5 図(a) の一部拡大図、 第6 図(a),第6 図(b) は他の比較例を示し、 第6 図(a) は抵抗体の平面形状を示す図、 第6 図(b) は第6 図(a) の一部拡大図である。 １……基板、 ２……蓄熱層、 ３……発熱抵抗体、 ４……電極、 5,6 ……保護膜 10……基板、 11……蓄熱層、 12……発熱抵抗体、 13……電極、 14……電極保護膜、 15……抵抗体保護膜。
第4 図(a) は発熱抵抗体の横断面図、 第4 図(b) は抵抗体の平面形状を示す図、 第4 図(c) は第4 図(b) の一部拡大図、 第5 図(a),第5 図(b) は本発明のさらに他の実施例を示
し、 第5 図(a) は抵抗体の平面形状を示す図、 第5 図(b) は第5 図(a) の一部拡大図、 第6 図(a),第6 図(b) は他の比較例を示し、 第6 図(a) は抵抗体の平面形状を示す図、 第6 図(b) は第6 図(a) の一部拡大図である。 １……基板、 ２……蓄熱層、 ３……発熱抵抗体、 ４……電極、 5,6 ……保護膜 10……基板、 11……蓄熱層、 12……発熱抵抗体、 13……電極、 14……電極保護膜、 15……抵抗体保護膜。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０５Ｂ 3/20 ３９６
Claims (1)
- 【請求項１】層状の抵抗体と、該抵抗体上に積層され、
該抵抗体の幅より狭い幅を有する一対の層状の電極とを
有し、該一対の電極間に電圧を印加して電極間の抵抗体
に熱を生じせしめ、該熱を液体に作用させ気泡を発生さ
せることにより液体を吐出する液体噴射記録ヘッドにお
いて、 前記抵抗体表面上に直角座標系Ｘ−Ｙをとり、φ（ｘ，
ｙ）を抵抗体表面上の点（ｘ，ｙ）におけるポテンシャ
ル値とし、該抵抗体の周囲境界のうち、前記一対の電極
の一方との境界に、ある境界値を与え、他方の電極との
境界に前記境界値とは異なる境界値を与え、そのほかの
境界に該境界の法線方向に対するφの微分係数が０であ
る境界条件を与え、抵抗体領域を対象としてラプラス方
程式 ∂２φ／∂ｘ２＋∂２φ／∂ｙ２＝０ を解いたとき、φの傾きの大きさ の最大値の、抵抗体中央におけるφの傾きの大きさ に対する比が１．４以下である形状を前記電極と前記抵
抗体が有していることを特徴とする液体噴射記録ヘッ
ド。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60212703A JPH0632263B2 (ja) | 1985-09-27 | 1985-09-27 | 液体噴射記録ヘッド |
| US06/910,727 US4719478A (en) | 1985-09-27 | 1986-09-23 | Heat generating resistor, recording head using such resistor and drive method therefor |
| DE19863632848 DE3632848A1 (de) | 1985-09-27 | 1986-09-26 | Heizwiderstand sowie aufzeichnungskopf mit diesem widerstand und ansteuerungsverfahren hierfuer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60212703A JPH0632263B2 (ja) | 1985-09-27 | 1985-09-27 | 液体噴射記録ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6273588A JPS6273588A (ja) | 1987-04-04 |
| JPH0632263B2 true JPH0632263B2 (ja) | 1994-04-27 |
Family
ID=16627029
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60212703A Expired - Lifetime JPH0632263B2 (ja) | 1985-09-27 | 1985-09-27 | 液体噴射記録ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0632263B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102293049B (zh) * | 2009-01-21 | 2013-08-07 | Lg化学株式会社 | 发热体及其制备方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6230793Y2 (ja) * | 1980-04-04 | 1987-08-07 | ||
| JPH062414B2 (ja) * | 1983-04-19 | 1994-01-12 | キヤノン株式会社 | インクジェットヘッド |
| JPS60159062A (ja) * | 1984-01-31 | 1985-08-20 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘツド |
-
1985
- 1985-09-27 JP JP60212703A patent/JPH0632263B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6273588A (ja) | 1987-04-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0638223B2 (ja) | グラフイツクタツチセンサ | |
| EP1566272A3 (en) | Thermal actuator with reduced temperature extreme and method of operating same | |
| US5481287A (en) | Liquid jet recording head having a plurality of heating elements and liquid jet recording apparatus having the same | |
| JPS63191645A (ja) | インクジエツト記録ヘツド用基板及びインクジエツト記録ヘツド | |
| JP3513270B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置 | |
| JPH0632263B2 (ja) | 液体噴射記録ヘッド | |
| CN211222594U (zh) | 一种倒角结构的热敏打印头用发热基板 | |
| JP3218417B2 (ja) | サーマルプリントヘッドおよびその製造方法 | |
| WO2000023282A1 (fr) | Tete d'impression thermique a couches epaisses et son procede de fabrication | |
| JP2738293B2 (ja) | サーマルヘッド | |
| JP2808804B2 (ja) | サーマルヘッド | |
| JPH02134254A (ja) | サーマルヘッド | |
| JP3107911B2 (ja) | サーマルプリントヘッド | |
| JPS5890235A (ja) | 位置検出装置 | |
| JP3007257B2 (ja) | サーマルプリントヘッド | |
| JP2692601B2 (ja) | サーマルヘッド | |
| JPS62105645A (ja) | サ−マルヘツドの構造 | |
| JPS60208252A (ja) | 液体噴射記録ヘツド | |
| JPH0451506Y2 (ja) | ||
| JPS62104763A (ja) | 液体噴射記録ヘツド | |
| JPH0131476Y2 (ja) | ||
| JPH06106756A (ja) | サーマルヘッド及びその製造方法 | |
| JPH0725174B2 (ja) | 厚膜型サ−マルヘツドの製造方法 | |
| JP2964209B2 (ja) | サーマルプリントヘッドの発熱抵抗体のトリミング方法、およびサーマルプリントヘッドの製造方法 | |
| JPH08267761A (ja) | サーマルヘッドの製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |