JPH06319980A - 原料溶液の供給方法及び装置 - Google Patents
原料溶液の供給方法及び装置Info
- Publication number
- JPH06319980A JPH06319980A JP11683493A JP11683493A JPH06319980A JP H06319980 A JPH06319980 A JP H06319980A JP 11683493 A JP11683493 A JP 11683493A JP 11683493 A JP11683493 A JP 11683493A JP H06319980 A JPH06319980 A JP H06319980A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- raw material
- tank
- material solution
- closed container
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/80—Feeding the burner or the burner-heated deposition site
- C03B2207/85—Feeding the burner or the burner-heated deposition site with vapour generated from liquid glass precursors, e.g. directly by heating the liquid
- C03B2207/86—Feeding the burner or the burner-heated deposition site with vapour generated from liquid glass precursors, e.g. directly by heating the liquid by bubbling a gas through the liquid
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、光ファイバの製造等に用いられる
ガラス原料溶液を安定に供給する方法及び装置に関す
る。 【構成】 反応容器に原料ガスを送込む気化タンク１０
と、気化タンク１０にパイプ７，９を通して原料溶液を
供給する補液タンク５と、補液タンク内に配設された伸
縮自在の密閉容器１４とを備え、密閉容器１４は加圧用
ガスの供給・排気によって膨張・収縮され、補液タンク
内の圧力を調整して原料溶液を気化タンク１０へ送込む
ものである。
ガラス原料溶液を安定に供給する方法及び装置に関す
る。 【構成】 反応容器に原料ガスを送込む気化タンク１０
と、気化タンク１０にパイプ７，９を通して原料溶液を
供給する補液タンク５と、補液タンク内に配設された伸
縮自在の密閉容器１４とを備え、密閉容器１４は加圧用
ガスの供給・排気によって膨張・収縮され、補液タンク
内の圧力を調整して原料溶液を気化タンク１０へ送込む
ものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光ファイバの製造等に
用いられるガラス原料溶液を安定に供給する方法及び装
置に関する。
用いられるガラス原料溶液を安定に供給する方法及び装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバはＶＡＤ法、外付け法、内付
け法等によって製造される。これらの方法は原料ガスを
燃焼してガラス媒体を生成し、このガラス媒体を出発部
材に堆積して多孔質母材を作り、さらにこの多孔質母材
を光ファイバに線引きする。このように多孔質母材を製
造するには気化した原料、つまり原料ガスを反応容器へ
連続して安定に供給する装置が設けられている。このよ
うな従来の原料供給装置の一例を図２に示す。
け法等によって製造される。これらの方法は原料ガスを
燃焼してガラス媒体を生成し、このガラス媒体を出発部
材に堆積して多孔質母材を作り、さらにこの多孔質母材
を光ファイバに線引きする。このように多孔質母材を製
造するには気化した原料、つまり原料ガスを反応容器へ
連続して安定に供給する装置が設けられている。このよ
うな従来の原料供給装置の一例を図２に示す。
【０００３】供給ラインから送られた原料溶液は一旦補
液タンク５に貯えられる。補液タンク５には加圧用ライ
ンから開閉弁３、パイプ４を通って加圧用ガスが導入さ
れ、その圧力によって原料溶液はパイプ７，９を通って
気化タンク１０に圧送される。原料溶液はヒータ１０に
よって沸点以上に加熱され、気化された原料ガスはパイ
プ１３，流量制御装置を通って反応容器へ送られる。こ
こで反応容器に送られる原料ガスは安定に供給される必
要があり、そのためには気化タンク内の圧力あるいは液
面高さ等の条件を一定に保たなければならない。従来は
この液面高さを確保する方法として、秤１２により気化
タンク内の原料溶液の重量を測定し、減少してくると開
閉弁３を開いて加圧用ガスを補液タンク５に導入し、ガ
ス圧によって補液タンク内の原料溶液を気化タンクへ圧
送していた。
液タンク５に貯えられる。補液タンク５には加圧用ライ
ンから開閉弁３、パイプ４を通って加圧用ガスが導入さ
れ、その圧力によって原料溶液はパイプ７，９を通って
気化タンク１０に圧送される。原料溶液はヒータ１０に
よって沸点以上に加熱され、気化された原料ガスはパイ
プ１３，流量制御装置を通って反応容器へ送られる。こ
こで反応容器に送られる原料ガスは安定に供給される必
要があり、そのためには気化タンク内の圧力あるいは液
面高さ等の条件を一定に保たなければならない。従来は
この液面高さを確保する方法として、秤１２により気化
タンク内の原料溶液の重量を測定し、減少してくると開
閉弁３を開いて加圧用ガスを補液タンク５に導入し、ガ
ス圧によって補液タンク内の原料溶液を気化タンクへ圧
送していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このような装置を用い
た場合、気化タンク内の原料溶液量の変化に伴い液面高
さが変り、気化タンク内の圧力や液温が変動し気化タン
ク下流の流量制御装置に安定に原料ガスを送ることが出
来ない。安定に送るためには気化タンクの原料溶液を精
度よく管理することが必要で開閉弁３の開閉頻度が多く
なり、開閉弁の交換頻度も多くなるという問題があっ
た。また、光ファイバの原料溶液は空気中の水分と反応
して腐食性ガスを発生するので設備保護及び安全性の面
から空気との接触を完全に絶つ必要があり、開閉弁の交
換作業の際には十分な注意が必要である。そこで本発明
はかかる問題点を解決した原料溶液の供給方法と装置と
を提供することを目的とする。
た場合、気化タンク内の原料溶液量の変化に伴い液面高
さが変り、気化タンク内の圧力や液温が変動し気化タン
ク下流の流量制御装置に安定に原料ガスを送ることが出
来ない。安定に送るためには気化タンクの原料溶液を精
度よく管理することが必要で開閉弁３の開閉頻度が多く
なり、開閉弁の交換頻度も多くなるという問題があっ
た。また、光ファイバの原料溶液は空気中の水分と反応
して腐食性ガスを発生するので設備保護及び安全性の面
から空気との接触を完全に絶つ必要があり、開閉弁の交
換作業の際には十分な注意が必要である。そこで本発明
はかかる問題点を解決した原料溶液の供給方法と装置と
を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、補液タンク内
の原料溶液をパイプを通して気化タンクに送込むガラス
原料溶液の供給方法であって、補液タンク内に配設され
た伸縮自在の密閉容器に加圧用ガスを供給・排気し、密
閉容器を膨張・収縮して補液タンク内の圧力を調整し、
該圧力によって補液タンク内の原料溶液を気化タンクに
送こむ原料溶液の供給方法である。
の原料溶液をパイプを通して気化タンクに送込むガラス
原料溶液の供給方法であって、補液タンク内に配設され
た伸縮自在の密閉容器に加圧用ガスを供給・排気し、密
閉容器を膨張・収縮して補液タンク内の圧力を調整し、
該圧力によって補液タンク内の原料溶液を気化タンクに
送こむ原料溶液の供給方法である。
【０００６】また本発明は、反応容器に原料ガスを送込
む気化タンクと、気化タンクにパイプを通して原料溶液
を供給する補液タンクと、補液タンク内に配設された伸
縮自在の密閉容器とを備えたガラス原料溶液の供給装置
であって、密閉容器は加圧用ガスの供給・排気によって
膨張・収縮され、補液タンク内の圧力を調整して補液タ
ンク内の原料溶液を連続的に気化タンクに送込む原料溶
液の供給装置である。
む気化タンクと、気化タンクにパイプを通して原料溶液
を供給する補液タンクと、補液タンク内に配設された伸
縮自在の密閉容器とを備えたガラス原料溶液の供給装置
であって、密閉容器は加圧用ガスの供給・排気によって
膨張・収縮され、補液タンク内の圧力を調整して補液タ
ンク内の原料溶液を連続的に気化タンクに送込む原料溶
液の供給装置である。
【０００７】
【作用】上記の構成によれば本発明はＳｉＣｌ4等の原
料溶液を補液タンクから気化タンクへ圧送するに際し、
加圧用ガスを密閉容器に導入して膨張させたときの圧力
によって行うので、補液タンクから気化タンクへ原料溶
液を連続的に供給出来る様になり、断続的に供給してい
た従来の方式に比べ、気化タンク内の原料溶液量及び内
部圧力を均一に供給することができる。又、原料溶液に
直接接する開閉弁の操作が不要となり、交換時に外気が
原料溶液と直接接することはない。従って、本発明は従
来動作回数が多く交換の必要があった部品の交換をなく
し、腐食性ガスの発生を極力抑えることができ、設備の
保全や安全性の面について著しく改善することができ
る。
料溶液を補液タンクから気化タンクへ圧送するに際し、
加圧用ガスを密閉容器に導入して膨張させたときの圧力
によって行うので、補液タンクから気化タンクへ原料溶
液を連続的に供給出来る様になり、断続的に供給してい
た従来の方式に比べ、気化タンク内の原料溶液量及び内
部圧力を均一に供給することができる。又、原料溶液に
直接接する開閉弁の操作が不要となり、交換時に外気が
原料溶液と直接接することはない。従って、本発明は従
来動作回数が多く交換の必要があった部品の交換をなく
し、腐食性ガスの発生を極力抑えることができ、設備の
保全や安全性の面について著しく改善することができ
る。
【０００８】
【実施例】以下、添付図面を参照して本発明の実施例を
説明する。なお、図面の説明において同一要素には同一
符号を付し、重複する説明を省略する。図１は本実施例
の構成を示す概略図である。供給ラインから送られたＳ
ｉＣｌ4あるいはＧｅＣｌ4等の原料溶液は一旦補液タン
ク５に貯えられ、その後パイプ７，９を通って気化タン
ク１０に圧送される。ここで原料溶液はヒータ１０によ
って沸点以上に加熱され気化された原料ガスはパイプ１
３、流量制御装置を通して光ファイバ用母材を製造する
ために反応容器へ送られる。
説明する。なお、図面の説明において同一要素には同一
符号を付し、重複する説明を省略する。図１は本実施例
の構成を示す概略図である。供給ラインから送られたＳ
ｉＣｌ4あるいはＧｅＣｌ4等の原料溶液は一旦補液タン
ク５に貯えられ、その後パイプ７，９を通って気化タン
ク１０に圧送される。ここで原料溶液はヒータ１０によ
って沸点以上に加熱され気化された原料ガスはパイプ１
３、流量制御装置を通して光ファイバ用母材を製造する
ために反応容器へ送られる。
【０００９】この間に気化タンク１０の液面高さを一定
にし原料ガスの気化状態を安定化するために秤り１２に
よって気化タンク内の原料溶液を連続的に測定し、減少
すると補液タンク５の中に設置した密閉容器１４を膨張
してそのときの圧力によって原料溶液を気化タンクへ圧
送し補充する。密閉容器１４には加圧用ガスラインから
開閉弁３を通してＡｒ，Ｎ2等の不活性ガスが導入され
ると膨張し、開閉弁１５を通して排気されると収縮す
る。開閉弁３，１５の操作は気化タンクの重量測定用秤
り１２の測定値に従って制御される。この間、開閉弁８
は常に開状態に保っている。
にし原料ガスの気化状態を安定化するために秤り１２に
よって気化タンク内の原料溶液を連続的に測定し、減少
すると補液タンク５の中に設置した密閉容器１４を膨張
してそのときの圧力によって原料溶液を気化タンクへ圧
送し補充する。密閉容器１４には加圧用ガスラインから
開閉弁３を通してＡｒ，Ｎ2等の不活性ガスが導入され
ると膨張し、開閉弁１５を通して排気されると収縮す
る。開閉弁３，１５の操作は気化タンクの重量測定用秤
り１２の測定値に従って制御される。この間、開閉弁８
は常に開状態に保っている。
【００１０】密閉容器１４は蛇腹管に形成されることに
よって容易に伸縮自在とすることができ、耐腐食性の観
点からステンレススチールが用いられる。即ち、ＳｉＣ
ｌ4等のガラス原料は水分と反応して腐食性のＨＣｌガ
スを発生するのでガラス原料を貯蔵、圧送、処理する装
置は耐食性の材料で形成され、外気から完全に遮断する
構成をとる。さらに蛇腹状の密閉容器を膨張・収縮して
補液タンク内の圧力を加減するので、円滑に圧力調整を
することができる。
よって容易に伸縮自在とすることができ、耐腐食性の観
点からステンレススチールが用いられる。即ち、ＳｉＣ
ｌ4等のガラス原料は水分と反応して腐食性のＨＣｌガ
スを発生するのでガラス原料を貯蔵、圧送、処理する装
置は耐食性の材料で形成され、外気から完全に遮断する
構成をとる。さらに蛇腹状の密閉容器を膨張・収縮して
補液タンク内の圧力を加減するので、円滑に圧力調整を
することができる。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は原料溶液
を補液タンクから気化タンクへ圧送するに際し、加圧用
ガスを密閉容器に導入して膨張させたときの圧力によっ
て行うので、原料溶液に接する開閉弁の頻繁な操作が不
要となり、交換頻度が少なくなるので、交換時に外気が
原料溶液と直接接することはない。従って、本発明は腐
食性ガスの発生を極力抑えることができ、設備の保全や
安全性の面について著しく改善することができる。さら
に蛇腹状の密閉容器を膨張・収縮して補液タンクの圧力
を加減するので、気化タンク内の原料溶液量の安定化及
び気化タンク内の圧力の安定化をはかることができる。
を補液タンクから気化タンクへ圧送するに際し、加圧用
ガスを密閉容器に導入して膨張させたときの圧力によっ
て行うので、原料溶液に接する開閉弁の頻繁な操作が不
要となり、交換頻度が少なくなるので、交換時に外気が
原料溶液と直接接することはない。従って、本発明は腐
食性ガスの発生を極力抑えることができ、設備の保全や
安全性の面について著しく改善することができる。さら
に蛇腹状の密閉容器を膨張・収縮して補液タンクの圧力
を加減するので、気化タンク内の原料溶液量の安定化及
び気化タンク内の圧力の安定化をはかることができる。
【図１】本発明に係る実施例の構成を示す概略図であ
る。
る。
【図２】従来の実施例の構成を示す概略図である。
１，３，８，１５：開閉弁 ２，４，７，９，１３：パイプ ５：補液タンク ６，１２：重量測定用秤り １０：気化タンク １１：ヒータ １４：密閉容器
Claims (3)
- 【請求項１】 補液タンク内の原料溶液をパイプを通し
て気化タンクに送込むガラス原料溶液の供給方法であっ
て、補液タンク内に配設された伸縮自在の密閉容器に加
圧用ガスを供給・排気し、密閉容器を膨張・収縮して補
液タンク内の圧力を調整し、該圧力によって補液タンク
内の原料溶液を気化タンクに送込むことを特徴とする原
料溶液の供給方法。 - 【請求項２】 反応溶液に原料ガスを送込む気化タンク
と、気化タンクにパイプを通して原料溶液を供給する補
液タンクと、補液タンク内に配設された伸縮自在の密閉
容器とを備えたガラス原料溶液の供給装置であって、密
閉容器は加圧用ガスの供給・排気によって膨張・収縮さ
れ、補液タンク内の圧力を調整して補液タンク内の原料
溶液が気化タンクに送込まれることを特徴とする原料溶
液の供給装置。 - 【請求項３】 密閉容器が蛇腹管で形成されていること
を特徴とする請求項２記載の原料溶液の供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11683493A JPH06319980A (ja) | 1993-05-19 | 1993-05-19 | 原料溶液の供給方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11683493A JPH06319980A (ja) | 1993-05-19 | 1993-05-19 | 原料溶液の供給方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06319980A true JPH06319980A (ja) | 1994-11-22 |
Family
ID=14696782
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11683493A Pending JPH06319980A (ja) | 1993-05-19 | 1993-05-19 | 原料溶液の供給方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06319980A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018504277A (ja) * | 2015-01-22 | 2018-02-15 | タイド・マイクロフルイディクス・ベー・フェーＴｉｄｅ Ｍｉｃｒｏｆｌｕｉｄｉｃｓ Ｂ．Ｖ． | 単分散マイクロバブルの制御された製造のためのシステム及び方法 |
-
1993
- 1993-05-19 JP JP11683493A patent/JPH06319980A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018504277A (ja) * | 2015-01-22 | 2018-02-15 | タイド・マイクロフルイディクス・ベー・フェーＴｉｄｅ Ｍｉｃｒｏｆｌｕｉｄｉｃｓ Ｂ．Ｖ． | 単分散マイクロバブルの制御された製造のためのシステム及び方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7025337B2 (en) | Method for maintaining a constant level of fluid in a liquid vapor delivery system | |
| US4615352A (en) | Process and apparatus for supplying a mixture of CO2 and SO2 or a like mixture under pressure | |
| US4671097A (en) | Calibration system for the calibration of mass flow controllers | |
| EP0200215B1 (en) | Raw material supplying device and process for using this device | |
| JPH02296740A (ja) | ガラス材料から管を製作する方法 | |
| WO2020116523A1 (ja) | ガラス微粒子堆積体の製造装置及び製造方法 | |
| KR20040000689A (ko) | 화학기상 증착공정의 원료물질 공급장치 | |
| JPH06319980A (ja) | 原料溶液の供給方法及び装置 | |
| CN209759579U (zh) | 一种新型液态源汽化装置 | |
| US4075293A (en) | Control system for an absorption column | |
| JP4515552B2 (ja) | 連続供給単一バブラーを使用するシリコンのエピタキシャル堆積のための供給システム及び方法 | |
| JP6979915B2 (ja) | 光ファイバ多孔質母材の製造装置及び光ファイバ多孔質母材の製造方法 | |
| KR960026378A (ko) | 반도체의 제막방법 및 그 장치 | |
| JPS5494049A (en) | Mother material producing apparatus for optical fibers | |
| US3558281A (en) | Apparatus for minimizing stress in a heated semiconductor filament | |
| KR20060067402A (ko) | 화학기상증착공정의 원료물질 공급장치 | |
| CN221244669U (zh) | 一种液源鼓泡机构及供气柜 | |
| JP7397169B2 (ja) | 光ファイバ母材の製造方法および加熱炉 | |
| JPH09286620A (ja) | 原料ガスの供給方法及び装置 | |
| JP2023081093A (ja) | 合成石英ガラスの製造装置及び製造方法 | |
| JP2012197208A (ja) | 光ファイバ用ガラス微粒子堆積体の製造方法 | |
| JP3707104B2 (ja) | 原料供給装置及び原料供給方法 | |
| JPH06100312A (ja) | 顆粒状多結晶シリコン抜き出し装置 | |
| JPS5992933A (ja) | 原料ガス供給装置 | |
| JPH0222137A (ja) | 合成石英母材の製造方法 |