JPH06319979A - 真空処理装置 - Google Patents
真空処理装置Info
- Publication number
- JPH06319979A JPH06319979A JP10831893A JP10831893A JPH06319979A JP H06319979 A JPH06319979 A JP H06319979A JP 10831893 A JP10831893 A JP 10831893A JP 10831893 A JP10831893 A JP 10831893A JP H06319979 A JPH06319979 A JP H06319979A
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- JP
- Japan
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- opening
- explosion
- vacuum
- closing door
- vacuum chamber
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 石油系溶剤などの引火性物質を含んだ物品を
真空槽（12）内にて処理するための真空処理装置（10）
であって、真空槽（12）の一部に、爆風を逃がすための
爆発口（14）を設け、爆発口（14）を閉塞し得る開閉扉
（16）を設け、開閉扉（16）に対して開方向および閉方
向に力を及ぼすことができる油圧シリンダー等の伸縮手
段（20）を設けた。 【効果】 真空槽（12）の内部を真空状態にしても、開
閉蓋（16）に対して常に大気圧がかかることがないた
め、耐久性が向上する。また、開閉扉（20）を内部メン
テナンス用の扉と兼ねることができる。
真空槽（12）内にて処理するための真空処理装置（10）
であって、真空槽（12）の一部に、爆風を逃がすための
爆発口（14）を設け、爆発口（14）を閉塞し得る開閉扉
（16）を設け、開閉扉（16）に対して開方向および閉方
向に力を及ぼすことができる油圧シリンダー等の伸縮手
段（20）を設けた。 【効果】 真空槽（12）の内部を真空状態にしても、開
閉蓋（16）に対して常に大気圧がかかることがないた
め、耐久性が向上する。また、開閉扉（20）を内部メン
テナンス用の扉と兼ねることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は真空処理装置に関し、詳
しくは、石油系溶剤などの引火性物質を含んだ物品を処
理するための真空処理装置に関する。
しくは、石油系溶剤などの引火性物質を含んだ物品を処
理するための真空処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】石油系溶剤などの引火性物質を含んだ物
品を処理槽内にて処理する場合において、前記物質に引
火することにより起こる爆発を極力少なくするため、前
記処理槽の内部から空気を抜いて真空状態にしている。
品を処理槽内にて処理する場合において、前記物質に引
火することにより起こる爆発を極力少なくするため、前
記処理槽の内部から空気を抜いて真空状態にしている。
【０００３】前記処理槽の内部を真空状態にすれば、な
るほど爆発の危険性は少なくなると予想されるが、完全
に真空にすることは不可能なので、爆発の可能性が皆無
とはならない。
るほど爆発の危険性は少なくなると予想されるが、完全
に真空にすることは不可能なので、爆発の可能性が皆無
とはならない。
【０００４】そこで、万が一起こる爆発に対処するた
め、つまり、爆発による処理槽内部の破壊を最小限にと
どめるために、爆風を槽外に逃がすための安全窓を設け
る必要がある。
め、つまり、爆発による処理槽内部の破壊を最小限にと
どめるために、爆風を槽外に逃がすための安全窓を設け
る必要がある。
【０００５】図４に基づいて、従来の安全窓(100) の構
造を簡単に説明する。
造を簡単に説明する。
【０００６】図において、符号(101) は、処理槽であ
り、符号(102) は、内部爆発を起こした場合の爆風を槽
外に逃がすための爆発口である。
り、符号(102) は、内部爆発を起こした場合の爆風を槽
外に逃がすための爆発口である。
【０００７】爆発口(102) に対し、これを覆うように金
網(103) （網目はかなり粗い）と、アルミニウムの薄膜
シートよりなるダイヤフラム(104) が取り付けられてい
る。符号(105) は留め金枠であり、槽内外のシール性を
確保した上で金網(103) 、ダイヤフラム(104) を処理槽
(101) における爆発口(102) の外方に配するためのもの
である 万一、処理槽(101) の内部で爆発が起これば、多大な圧
力が処理槽(101) にかかる。処理槽(101) の一部は前記
した安全窓(100) により構成されているため、爆発時に
おける圧力は安全窓(100) にもかかることになる。
網(103) （網目はかなり粗い）と、アルミニウムの薄膜
シートよりなるダイヤフラム(104) が取り付けられてい
る。符号(105) は留め金枠であり、槽内外のシール性を
確保した上で金網(103) 、ダイヤフラム(104) を処理槽
(101) における爆発口(102) の外方に配するためのもの
である 万一、処理槽(101) の内部で爆発が起これば、多大な圧
力が処理槽(101) にかかる。処理槽(101) の一部は前記
した安全窓(100) により構成されているため、爆発時に
おける圧力は安全窓(100) にもかかることになる。
【０００８】安全窓(100) が大きな圧力を受けるとダイ
ヤフラム(104) が破裂し、処理槽(101) の内部と外部と
が爆発口(102) を介して連通可能となり、内部爆発を起
こした際の爆風を爆発口(103) から逃がすことができ
る。これにより、処理槽(101)の内圧を低下せしめ、処
理槽(101) 内部の破壊を最小限にとどめることができ
る。
ヤフラム(104) が破裂し、処理槽(101) の内部と外部と
が爆発口(102) を介して連通可能となり、内部爆発を起
こした際の爆風を爆発口(103) から逃がすことができ
る。これにより、処理槽(101)の内圧を低下せしめ、処
理槽(101) 内部の破壊を最小限にとどめることができ
る。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】処理槽の内部は真空に
近い状態となっているため、前記したダイヤフラムは、
常に外側から１ｋｇ／ｃｍ２の圧（大気圧）を受けるこ
とになり、長期間の使用によりダイヤフラムが疲労やク
リープ等の原因により破れることがあった。
近い状態となっているため、前記したダイヤフラムは、
常に外側から１ｋｇ／ｃｍ２の圧（大気圧）を受けるこ
とになり、長期間の使用によりダイヤフラムが疲労やク
リープ等の原因により破れることがあった。
【００１０】安全窓(100) は閉じられたままの状態にあ
るので、内部メンテナンス用の扉が別途必要であった。
るので、内部メンテナンス用の扉が別途必要であった。
【００１１】処理槽(101) の容積に対し、どれだけの面
積の爆発口(102) を設けたらよいかの明確な基準はない
ももの、やはり必要面積を大きく取らなければその機能
は果たされない。しかしながら、上記した構造の安全窓
(100) であれば、確実なシール性を確保するという意味
で、安全窓(100) 全体の面積は、爆発口(102) の面積よ
り非常に広くなり、小さい処理槽(101) に対しては、安
全窓(100) を設けることがスペース的にできない場合が
あり、それでも安全窓(100) を取り付けるとすれば、無
駄に処理槽を大きくしなければならなかった。
積の爆発口(102) を設けたらよいかの明確な基準はない
ももの、やはり必要面積を大きく取らなければその機能
は果たされない。しかしながら、上記した構造の安全窓
(100) であれば、確実なシール性を確保するという意味
で、安全窓(100) 全体の面積は、爆発口(102) の面積よ
り非常に広くなり、小さい処理槽(101) に対しては、安
全窓(100) を設けることがスペース的にできない場合が
あり、それでも安全窓(100) を取り付けるとすれば、無
駄に処理槽を大きくしなければならなかった。
【００１２】
【課題を解決するための手段】そこで、上記した種々の
問題を解決するために次のような手段を講じた。すなわ
ち、本発明の真空処理装置は、石油系溶剤などの引火性
物質を含んだ物品を真空槽内にて処理するための装置で
あって、石油系溶剤などの引火性物質を含んだ物品を真
空槽内にて処理するための装置であって、前記真空槽の
一部に設けた爆発口と、前記爆発口を閉塞し得る開閉扉
と、前記開閉扉に対して開方向および閉方向に力を及ぼ
すことができる油圧シリンダー等の伸縮手段とを備えた
ものである。
問題を解決するために次のような手段を講じた。すなわ
ち、本発明の真空処理装置は、石油系溶剤などの引火性
物質を含んだ物品を真空槽内にて処理するための装置で
あって、石油系溶剤などの引火性物質を含んだ物品を真
空槽内にて処理するための装置であって、前記真空槽の
一部に設けた爆発口と、前記爆発口を閉塞し得る開閉扉
と、前記開閉扉に対して開方向および閉方向に力を及ぼ
すことができる油圧シリンダー等の伸縮手段とを備えた
ものである。
【００１３】
【作用】本発明の真空処理装置において、真空槽内の空
気を抜いて真空状態にする際、開閉扉に対して閉方向に
力が加わるように伸縮手段を作動させる。これにより、
前記開閉扉は真空槽に設けた爆発口を閉塞し、前記真空
槽の内圧を効果的に低下させることができる。
気を抜いて真空状態にする際、開閉扉に対して閉方向に
力が加わるように伸縮手段を作動させる。これにより、
前記開閉扉は真空槽に設けた爆発口を閉塞し、前記真空
槽の内圧を効果的に低下させることができる。
【００１４】前記真空槽の内部が目標の真空度にまで達
したら、前記開閉扉に対し、上記とは逆に開方向に力が
加わるように伸縮手段を作動させ、のちロックする。こ
のときの前記開閉扉に及ぼす力の量は、該開閉扉が真空
槽の上面部、底面部、側面部のいずれに設けられている
かにより変わるが、要するに、槽内部の低圧力により吸
引される閉方向の力の量と、その逆の開方向の力の量と
がほぼ同一となるぐらいの程度の力の量である。これに
より、前記開閉扉がかたく閉じられることのない、前記
開閉扉が開いて爆発口から槽内部に空気が入り込むこと
のない状態、すなわち前記開閉扉の平衡状態が保持され
る。
したら、前記開閉扉に対し、上記とは逆に開方向に力が
加わるように伸縮手段を作動させ、のちロックする。こ
のときの前記開閉扉に及ぼす力の量は、該開閉扉が真空
槽の上面部、底面部、側面部のいずれに設けられている
かにより変わるが、要するに、槽内部の低圧力により吸
引される閉方向の力の量と、その逆の開方向の力の量と
がほぼ同一となるぐらいの程度の力の量である。これに
より、前記開閉扉がかたく閉じられることのない、前記
開閉扉が開いて爆発口から槽内部に空気が入り込むこと
のない状態、すなわち前記開閉扉の平衡状態が保持され
る。
【００１５】この状態において、万一内部爆発を起こし
ても、前記開閉扉が先に開き、内部爆発を起こした際の
爆風を前記爆発口から逃がすことができる。これによ
り、真空槽の内圧を低下せしめ、真空槽内部の破壊を最
小限にとどめることができる。
ても、前記開閉扉が先に開き、内部爆発を起こした際の
爆風を前記爆発口から逃がすことができる。これによ
り、真空槽の内圧を低下せしめ、真空槽内部の破壊を最
小限にとどめることができる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１〜図３に基づ
いて説明する。図において、符号（10）は、石油系溶剤
などの引火性物質を含んだ物品を処理するための真空処
理装置であり、大きく分けて、真空槽（12）とこれを支
持する支持台（14）とより構成されている。
いて説明する。図において、符号（10）は、石油系溶剤
などの引火性物質を含んだ物品を処理するための真空処
理装置であり、大きく分けて、真空槽（12）とこれを支
持する支持台（14）とより構成されている。
【００１７】真空槽（12）の底板（12ａ）のほぼ中央
に、円形の爆発口（14）が設けられている。符号（16）
は、爆発口（14）を閉塞可能とする開閉扉である。開閉
扉（16）は、ヒンジ（18）により前記底板（12ａ）に取
り付けられている。ヒンジ（18）は、その一端が開閉扉
（16）に固着されており、他端が前記底板（12ａ）に固
着されている。
に、円形の爆発口（14）が設けられている。符号（16）
は、爆発口（14）を閉塞可能とする開閉扉である。開閉
扉（16）は、ヒンジ（18）により前記底板（12ａ）に取
り付けられている。ヒンジ（18）は、その一端が開閉扉
（16）に固着されており、他端が前記底板（12ａ）に固
着されている。
【００１８】符号（20）は、油圧シリンダー、エアーシ
リンダー等の伸縮手段である。伸縮手段（20）は、支持
台（12ａ）の内部に配され、伸縮手段（20）の下部（20
ａ）にて固定されている。固定された状態において、伸
縮手段（20）は、その固定位置（Ｋ）より開閉扉（16）
に向かって延びている。また、そのアーム先端部（20
ｂ）は、開閉扉（16）の下面中央より突出する枢支部
（22）により取付けられている。
リンダー等の伸縮手段である。伸縮手段（20）は、支持
台（12ａ）の内部に配され、伸縮手段（20）の下部（20
ａ）にて固定されている。固定された状態において、伸
縮手段（20）は、その固定位置（Ｋ）より開閉扉（16）
に向かって延びている。また、そのアーム先端部（20
ｂ）は、開閉扉（16）の下面中央より突出する枢支部
（22）により取付けられている。
【００１９】しかるに、伸縮手段（20）の伸縮動作によ
り、ヒンジ（18）を中心にして開閉扉（16）が回動する
仕組みとなっている（図１における矢印参照）。
り、ヒンジ（18）を中心にして開閉扉（16）が回動する
仕組みとなっている（図１における矢印参照）。
【００２０】上記真空処理装置（10）において、真空槽
（12）の内部の空気を抜いて真空状態にする際、伸縮手
段（20）を伸長させて開閉扉（16）に対して閉方向の力
を加える。すなわち、伸縮手段（20）により開閉扉（1
6）を真空槽（12）の底板（12ａ）に押圧する。これに
より、真空槽（12）の内圧を効果的に低下させることが
できる。
（12）の内部の空気を抜いて真空状態にする際、伸縮手
段（20）を伸長させて開閉扉（16）に対して閉方向の力
を加える。すなわち、伸縮手段（20）により開閉扉（1
6）を真空槽（12）の底板（12ａ）に押圧する。これに
より、真空槽（12）の内圧を効果的に低下させることが
できる。
【００２１】真空槽（12）の内部が目標の真空度にまで
達したら、開閉扉（16）に対し、上記とは逆に開方向に
力が加わるように伸縮手段（20）を作動させる。すなわ
ち、伸縮手段（20）を縮小させて開閉扉（16）を牽引す
る。本実施例の場合、開閉扉（16）は真空槽（12）の底
板（12ａ）に設けられているので、前記した牽引の力量
は、槽内の低圧力によって開閉扉（16）を吸引する閉方
向の力の量から、開閉扉（16）の自重による開方向の力
の量を差し引いた力の量である。牽引の力量が所定の量
にまで達すると、伸縮手段（20）をロックする。これに
より、開閉扉（16）に及ぼされる開方向の力の量とこれ
とは逆の閉方向の力の量とが同一となり、開閉扉（16）
がかたく閉じられることのない、また開閉扉（16）が開
いて槽内部に空気が入り込むことのない状態、すなわち
開閉扉（16）の平衡状態が保持される。
達したら、開閉扉（16）に対し、上記とは逆に開方向に
力が加わるように伸縮手段（20）を作動させる。すなわ
ち、伸縮手段（20）を縮小させて開閉扉（16）を牽引す
る。本実施例の場合、開閉扉（16）は真空槽（12）の底
板（12ａ）に設けられているので、前記した牽引の力量
は、槽内の低圧力によって開閉扉（16）を吸引する閉方
向の力の量から、開閉扉（16）の自重による開方向の力
の量を差し引いた力の量である。牽引の力量が所定の量
にまで達すると、伸縮手段（20）をロックする。これに
より、開閉扉（16）に及ぼされる開方向の力の量とこれ
とは逆の閉方向の力の量とが同一となり、開閉扉（16）
がかたく閉じられることのない、また開閉扉（16）が開
いて槽内部に空気が入り込むことのない状態、すなわち
開閉扉（16）の平衡状態が保持される。
【００２２】この状態において、万一内部爆発を起こし
ても、開閉扉（16）が先に開き、内部爆発を起こした際
の爆風を開閉扉（16）から逃がすことができる。これに
より、真空槽（12）の内圧を低下せしめ、真空槽（12）
内部の破壊を最小限にとどめることができる。
ても、開閉扉（16）が先に開き、内部爆発を起こした際
の爆風を開閉扉（16）から逃がすことができる。これに
より、真空槽（12）の内圧を低下せしめ、真空槽（12）
内部の破壊を最小限にとどめることができる。
【００２３】なお、本実施例では、爆発口（14）を真空
槽（12）の底板（12ａ）に設けたが、これに限らず側
板、あるいは上板に設けても構わない。また、爆発口
（14）を複数設けても構わない。
槽（12）の底板（12ａ）に設けたが、これに限らず側
板、あるいは上板に設けても構わない。また、爆発口
（14）を複数設けても構わない。
【００２４】
【発明の効果】本発明の真空処理装置によれば、真空槽
の内部を真空状態にしても、開閉蓋に対して常に大気圧
がかかることがないため、耐久性が向上する。また、開
閉扉を内部メンテナンス用の扉と兼ねることができる。
さらに、爆発口より若干大きい開閉蓋を設ければ充分で
あり、小さい真空槽に対しても取付けが可能である。
の内部を真空状態にしても、開閉蓋に対して常に大気圧
がかかることがないため、耐久性が向上する。また、開
閉扉を内部メンテナンス用の扉と兼ねることができる。
さらに、爆発口より若干大きい開閉蓋を設ければ充分で
あり、小さい真空槽に対しても取付けが可能である。
【図１】本発明の真空処理装置の要部切欠正面図であ
る。
る。
【図２】開閉扉の側面図である。
【図３】開閉扉の底面図である。
【図４】従来の安全窓の断面図である。
１０……真空処理装置 １２……真空槽 １４……爆発口 １６……開閉扉 ２０……伸縮手段
Claims (1)
- 【請求項１】石油系溶剤などの引火性物質を含んだ物品
を真空槽内にて処理するための装置であって、 前記真空槽の一部に設けた爆発口と、 前記爆発口を閉塞し得る開閉扉と、 前記開閉扉に対して開方向および閉方向に力を及ぼすこ
とができる油圧シリンダー等の伸縮手段とを備えてなる
真空処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10831893A JP2700289B2 (ja) | 1993-05-10 | 1993-05-10 | 真空処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10831893A JP2700289B2 (ja) | 1993-05-10 | 1993-05-10 | 真空処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06319979A true JPH06319979A (ja) | 1994-11-22 |
| JP2700289B2 JP2700289B2 (ja) | 1998-01-19 |
Family
ID=14481677
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10831893A Expired - Fee Related JP2700289B2 (ja) | 1993-05-10 | 1993-05-10 | 真空処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2700289B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4447132A1 (de) * | 1993-12-29 | 1995-07-06 | Toshiba Kawasaki Kk | Elektrode für elektrochemische Reaktion und diese Elektrode verwendende Kraftstoffzelle |
-
1993
- 1993-05-10 JP JP10831893A patent/JP2700289B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4447132A1 (de) * | 1993-12-29 | 1995-07-06 | Toshiba Kawasaki Kk | Elektrode für elektrochemische Reaktion und diese Elektrode verwendende Kraftstoffzelle |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2700289B2 (ja) | 1998-01-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |