JPH063193B2 - 高真空用ル−ツブロワ− - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は高真空用ルーッブロワーに係り、ハウジング内
でローターシャフトを油封するオイルシールき両側に作
用する圧力を隔膜式アキュームレータにより一定の比率
で均衡させる構成を提供するにある。

（従来の技術） 従来産業界で広く使用されている250Torr以下、特に0.1
〜0.001Torrの高真空で使用されるポンプ、ブロワー
は、使用しているオイルが高真空により分子化されるの
で種々の問題を生じ、分子化されない潤滑油の開発が急
がれているが、高馬力を要するとか耐久性が良くないと
か高価であるとかの欠点があって、あまり歓迎されてい
ない。

高真空用ポンプで一番問題なのは運転停止時にあるの
で、以下その実態を高真空用ルーツブロワーについて説
明すると、ルーツブロワーには潤滑オイルを底部に溜め
たタイミングギヤーボックス内に、一対のルーツロータ
軸に嵌めて噛合わせたタイミングギヤーと、一方のロー
タ軸に取付けて前記のオイルをギヤーに振り掛けるオイ
ルフラッシャーとが設けられている。然して前記タイミ
ングギャーボックスの内部には高真空圧が影響して潤滑
オイルが分子化され、これがミスト状になって充満して
おり、ケーシングの内空が運転停止のとき高真空性が急
速に失われると、ハウジング内でロータシャフトを油封
しているオイルシールの一側の圧力を真空状態から常圧
方向に変化するため、その圧力差によってオイルシール
が倒れてロータとの間に微隙を生じ、その微隙からオイ
ルミストがケーシングに逆流し、さらに吸込口から逆流
して食品等汚染を生ずる。このことは運転中にも生ず
る。

この他、特公昭57−27990号公報に示すようにオイルシ
ールの両側の圧力を均衡させる装置はあるが、圧力変化
ち対する即応性が低く、しかもタイミングギヤーボック
スからポンプ外殻の外側を経てケーシングに至るオイル
ミストを遮断する能力がないので高真空用ルーツブロワ
ーに適用し難い。

（発明が解決しようとする問題点） 従来の高真空用ルーツブロワーは、前項に述べた欠点が
あるに拘わらず、これを解決することはなされていな
い。然しながら、極く僅かであるが前記のようにオイル
ミストが逆流すると、これが例えば食品に吸収されて匂
いを付着したり、吸収されたオイルミストが気泡化する
等の不利がある。本発明はかかる欠点を極く簡易な構成
により除くことを解決すべき問題点としているものであ
る。

（問題点を解決するための手段） 本発明は前項の問題点を解決することを目的とするもの
で、高真空側に吸込口を設け、低真空側に吐出口を設け
たケーシングに通した２個のローターシャフトと、夫々
のローターシャフトを支持するベアリングと、内周を該
各ローターシャフトに接触状にするオイルシールとをも
つハウジングにタイミングギヤーボックスを接合してな
る高真空用ルロツブロワーにおいて、隔膜式アキューム
レータの伸縮性隔膜の一方の第１の部屋をケーシングの
吸込側又は吐出側の圧力変動部に連通し、他方の第２の
部屋を前記ケーシングの反対側からハウジング内に連通
して各オイルシールのローターシャフトの軸方向両側の
圧力を一定の比率で均衡させ、運転停止時又は運転中に
前記圧力の均衡が破られ、オイルがケーシングを通って
吸込口から漏出するのを隔膜式アキュームレータの隔膜
により遮断して汚染を防止することを特徴とするのであ
る。この発明から生ずる作用効果は後に述べる。

（実施例） 添付図面はケーシングの両側にハウジングを設けると共
に、内蔵のモータによりロータ軸を駆動する型式のもの
を実施例として説明したもので、図中１は高真空側に吸
収口を設け、低真空側に吐出口を設け、内部に一対のル
ーツロータ２０、２０ａを嵌装した高真空ルーツブロワ
ーのケーシングであって、その両側にハウジング２、
２′を設け、一方のハウジング２の外側にタイミングギ
ヤーボックス３を接合し、他方のハウジング２′の外側
にモータケーシング４を接合する。

一方のハウジング２にはタイミングギヤーボックス３ま
で突出するロータシャフト２１、２１ａを通し、該ハウ
ジング２の内部に設けベアリング５、５ａによって前記
シャフト２１、２１ａを支持し、その各ベアリング５、
５ａの内側の第１オイルシール６、６ａとベアリングの
外側の第２オイルシール７、７ａとを前記シャフト２
１、２１ａの外周にほぼ接触させ、ギヤーボックス３と
の境界部分に、前記各シャフトを囲むラビリンス８、８
ａを設ける。タイミングギヤーボックス３の内部には前
記シャフト２１、２１ａにタイミングギヤー１１、１１
ａを固嵌し、さらに一方のシャフト２１ａに、潤滑オイ
ル１３に一部を漬けて回転するオイルフラッシャー１２
を固着する。

他方のハウジング２′とモータケーシング４との間は間
隔がなく、このハウジング２′に通したロータシャフト
２２、２２ａをベアリング９、９ａにより支持し、その
ベアリングの内側に嵌めた第３オイルシール１０、１０
ａを各シャフト２２、２２ａの外周にほぼ接触状にす
る。

ロータシャフト２２は、モータケーシング４に嵌めて取
付けたモータ１４の主軸に連結する。

このルーツロータには冷却水通路１５を設けてモータ１
４及び第３、第１オイルシール１０、１０ａ及び６、６
ａの周囲部を冷却するようにしてある。

本発明は前記した通常構成の高真空用ルーツブロワーに
おいて、伸縮性隔膜としてゴム袋３２を内装した隔膜式
アキュームレータ３１を設け、ゴム袋３２隔膜の内側の
第１の部屋３３を配管３５を介してケーシング１に連通
し、配管５の延長部の配管３５′をハウジング２′とモ
ータケーシング４の境界部分に連通し、ゴム袋３２の外
側の第２の部屋３４を配管３６によりタイミングギヤー
ボックス３の内部に連通する。第２の部屋３４を配管３
６によりハウジング２′とモータケーシング４との境界
部分に配置して連通することもできる、その場合には前
記境界部に通した配管３５′を廃止する。

この実施例の構成ではケーシング１の真空圧力を隔壁ア
キュームレータ３１の第１の部屋３３に作用させて高真
空の変化によりゴム袋３２を収縮したり拡張するのであ
って、運転停止時又は運転中の圧力変動により第１の部
屋３３が収縮すると第２の部屋３４を拡大し、タイミン
グギヤーボックス３内の圧力を引いて減圧する。第１の
部屋３３が膨張すれば第２の部屋３４が収縮し、タイミ
ングギヤーボックス３にエアーを送って圧力を高める。
かかる圧力変化に対する隔膜式アキュームレータ３１の
応答性は敏感である。

即ち本発明では第１及び第２オイルシール６、６ａ・
７、７ａのケーシング１に対する側面にケーシング１の
内空の圧力が作用し、タイミングギヤーボックス３に対
応する側面には該ボックス３の圧力が作用しているの
で、ケーシング１の内空が高真空になればタイミングギ
ヤーボックス３内空の圧力も減少する。このためオイル
シール６、６ａ・７、７ａの両側に作用する圧力は一定
比率で均衡し、ケーシング１の内空の圧力が運転停止時
又は運転中に高まれば、タイミングギヤーボックス３の
内空の圧力も高まる。このため、第１、第２オイルシー
ルが圧力均衡を失って一方に押されてルーツロータ軸１
１、１１ａとの間に微隙ができタイミングギヤーボック
ス３内のオイルが、ロータシャフト１１、１１ａを伝わ
ってケーシング１から吸込口に突出するのを防止する。

（ハウジング２′側でも、第２の部屋３４をモーターケ
ーシング４との境界に連通させてあれば同様である。） ハウジング２′側は、アキュームレータ３１の第２の部
屋３５が連通するが、ベアリング９、９ａの潤滑剤の量
は極く少量であるから、第１図の通りの構成により第３
オイルシール１０、１０ａの両側にケーシング１の圧力
が作用して圧力均衡を保持する。このため第３オイルシ
ール１０、１０ａが第１、第２オイルシール６、６ａ・
７、７ａと同様になり、ベアリング９、９ａの潤滑油が
ケーシング１に突出することはない。尤もベアリング
９、９ａを還元オイルにより潤滑する場合には、隔膜式
アキュームレータ３１の第２室３４をベアリング９、９
ａの外側(第１図の右側)に前記のとおりに連動する。

隔膜式アキュームレータは、高真空ルーツブロワーが高
馬力の大型であるとき、第１図のように該ブロワーの外
部に取付けるが、第２図に示すようにタイミングギヤー
ボックス１０３に多孔性隔板１０４を嵌めて第２の部屋
１３４を構成し、該ギヤーボックス１０３の外側に設け
た開口１０５にブッシュ１０６を固嵌し、そのブッシュ
１０６の内端にゴム袋１３２を取付けて隔膜式アキュー
ムレータ１３１を構成することもできる。ゴム袋１３２
の内部は第１の部屋１３３を構成するもので、ブンシュ
１０６の外周を囲んで固定したキャップ型チャンバー１
０７に配管３５を連結する。

その他は第１図の第１実施例と同じである。

隔膜式アキュームレータ３１、(131)には第１、２図に
示したゴム袋の外、内外面の圧力差により伸縮するベロ
ーズ型を使用し、或はアコーデオン型の折畳み式を使用
できる。

（本発明の作用及び効果） 本発明の作用は、前記実施例において、ハウジング２側
につき述べたところによって明らかである。

本発明は隔膜式アキュームレーター３１(131)の第１の
部屋３３(133)をケーシングの吸込側又は吐出側に連通
し、他方の第２の部屋３４(134)をタイミングギヤーボ
ックスに連通して、各オイルシールのローターシャフト
の軸方向両側の圧力を一定の比率で均衡させる構成を有
し、従来運転停止時又は運転中に前記圧力の均衡が破ら
れ、オイルシールのシール性を不良にして吸込口からオ
イルミストを漏出して食品等を汚染するケーシング内の
圧力変化を、隔膜式アキュームレーターの極く敏感な感
知動作と、タイミングギヤーボックス内に発生した潤滑
オイルの分子化されたミストが第１の部屋に入るのを隔
膜により遮断する物理的作用とにより防止し、運転停止
のとき又は運転中の圧力変動によりオイルミストが吸込
口から逆流状に吐出して汚染を生ずる従来の欠点を根本
的に解消できる効果を持つ。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示した縦断面図、第２図は
他の実施例の一部の縦断側面図である。 １→ケーシング、２→ハウジング ３、１０３→タイミングギヤーボックス ５、５ａ→ベアリング ６、６ａ→第１オイルシール ７、７ａ→第２オイルシール １１、１１ａ→タイミングギヤー １２→フラッシャー、１３→潤滑オイル ２１、２１ａ→ルーツロータ軸 ３１、１３１→隔膜アキュームレータ ３２、１３２→ゴム袋 ３３、１３３→第１の部屋 ３４、１３４→第２の部屋

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】高真空側に吸込口を設け、低真空側に吐出
   口を設けたケーシングに通した２個のローターシャフト
   と、夫々のローターシャフトを支持するベアリングと、
   内周を該各ローターシャフトに接触状にするオイルシー
   ルとをもつハウジングに、タイミングギヤーボックスを
   接合してなる高真空用ルロツブロワーにおいて、 隔膜式アキュームレータの伸縮性隔膜の一方の第１の部
   屋をケーシングの吸込側又は吐出側の圧力変動部に連通
   し、他方の第２の部屋を前記ケーシングの反対側からハ
   ウジング内に連通して各オイルシールのローターシャフ
   トの軸方向両側の圧力を一定の比率で均衡させ、運転停
   止時又は運転中に前記圧力の均衡が破られ、オイルがケ
   ーシングを通って吸込口又は吐出口に漏出するのを隔膜
   式アキュームレータの隔膜により遮断して汚染を防止す
   ることを特徴とする高真空用ルーツブロワー。
2. 【請求項２】隔膜式アキュームレータを高真空用ルーツ
   ブロワーの外部に設置したことを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載の高真空用ルーツブロワー。
3. 【請求項３】隔膜式アキュームレータをギヤーボックス
   の内部に装着したことを特徴とする特許請求の範囲第１
   項記載の高真空用ルーツブロワー。