JPH06318656A - 集積回路素子の冷却装置 - Google Patents
集積回路素子の冷却装置Info
- Publication number
- JPH06318656A JPH06318656A JP10527693A JP10527693A JPH06318656A JP H06318656 A JPH06318656 A JP H06318656A JP 10527693 A JP10527693 A JP 10527693A JP 10527693 A JP10527693 A JP 10527693A JP H06318656 A JPH06318656 A JP H06318656A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- integrated circuit
- temperature
- air
- pressure
- cooling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】冷媒流路、あるいは凝縮器３などの冷媒の圧力
と温度を検出し、飽和温度曲線上でこれらの値が一致す
るかどうかを判断する演算器７により判断し、もし圧力
の値が高い場合は、非凝縮ガスである空気が混入してい
るので対策を行う。 【効果】冷却性能に大きく影響を及ぼす非凝縮ガスの混
入を、分析などの複雑な手段によらずに、圧力と温度を
検出するとにより判断することができる。
と温度を検出し、飽和温度曲線上でこれらの値が一致す
るかどうかを判断する演算器７により判断し、もし圧力
の値が高い場合は、非凝縮ガスである空気が混入してい
るので対策を行う。 【効果】冷却性能に大きく影響を及ぼす非凝縮ガスの混
入を、分析などの複雑な手段によらずに、圧力と温度を
検出するとにより判断することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、サイリスタ，ダイオー
ド，ＩＧＢＴまたはＬＳＩから発生する熱を放散する場
合の集積回路の実装構造に関する。
ド，ＩＧＢＴまたはＬＳＩから発生する熱を放散する場
合の集積回路の実装構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】高密度に実装された集積回路素子の発熱
量の上昇に伴い、集積回路素子を電気を通さない絶縁性
の液体に浸漬して、強制対流あるいは沸騰により冷却す
る場合が増えてきている（特開平2−166758号公報)。こ
の方法は、発熱体が液体に直接触れるので、間接的な方
法よりも熱抵抗が少なくなり、最大冷却量が大きくな
り、また構造も簡単になる。
量の上昇に伴い、集積回路素子を電気を通さない絶縁性
の液体に浸漬して、強制対流あるいは沸騰により冷却す
る場合が増えてきている（特開平2−166758号公報)。こ
の方法は、発熱体が液体に直接触れるので、間接的な方
法よりも熱抵抗が少なくなり、最大冷却量が大きくな
り、また構造も簡単になる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ＬＳＩの冷媒、例え
ば、非導電性の液体が流れる冷却流路内に空気が混入す
ると、非凝縮ガスの影響で凝縮器の性能が低下し、ま
た、液温とチップ温度との温度差が大きくなり素子ジャ
ンクション温度が高くなる。
ば、非導電性の液体が流れる冷却流路内に空気が混入す
ると、非凝縮ガスの影響で凝縮器の性能が低下し、ま
た、液温とチップ温度との温度差が大きくなり素子ジャ
ンクション温度が高くなる。
【０００４】冷却流路は、空気が入らないようにシール
されているが、長期間使用していると、空気が混入する
可能性がある。空気の混入を分析等の複雑な方法によら
ずに簡易な方法で検出し、真空引きなどの対策を講じる
必要がある。
されているが、長期間使用していると、空気が混入する
可能性がある。空気の混入を分析等の複雑な方法によら
ずに簡易な方法で検出し、真空引きなどの対策を講じる
必要がある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】集積回路素子の冷却流路
に空気が混入したことを検出する手段として、圧力計と
温度センサによる冷媒温度と、凝縮部などの空間部ある
いは冷媒配管中の液体の圧力を測り、演算により冷媒が
飽和状態か否かを判断する方法がある。
に空気が混入したことを検出する手段として、圧力計と
温度センサによる冷媒温度と、凝縮部などの空間部ある
いは冷媒配管中の液体の圧力を測り、演算により冷媒が
飽和状態か否かを判断する方法がある。
【０００６】
【作用】冷媒が飽和状態であれば、圧力と冷媒温度は飽
和強度曲線により一義的に決まる。仮に空気が混入する
と、冷媒温度で決まる飽和圧力よりも大きな値となる。
この温度と圧力を検出し、圧力を温度に換算するか、冷
媒温度を圧力に換算することにより、飽和状態との差を
検出して空気の冷媒中への混入の有無を知ることができ
る。
和強度曲線により一義的に決まる。仮に空気が混入する
と、冷媒温度で決まる飽和圧力よりも大きな値となる。
この温度と圧力を検出し、圧力を温度に換算するか、冷
媒温度を圧力に換算することにより、飽和状態との差を
検出して空気の冷媒中への混入の有無を知ることができ
る。
【０００７】
【実施例】図１に本発明の実施例を示す。高発熱する集
積回路素子１を直冷でポンプ２，冷却水９により冷媒が
凝縮される凝縮器３，フィルタ４から構成されていて、
冷媒温度を検出する温度センサ５、及び冷却システムの
圧力を検出する圧力計６が設置されていて、これらから
得られる値は演算器７で計算され、空気が冷却システム
に入っていると判断されるとアラーム８により警報を発
する。図１で、冷媒液がチップを冷却する際に過冷却さ
れて、冷媒液温度がその圧力における飽和温度より低く
なる場合があるので、本検出動作は、コンピュータの運
転が停止していて、集積回路素子の発熱及び凝縮器の冷
却装置が止まっている空気が混入していなければ、飽和
状態が実現されている時に行う。また、空気が冷却シス
テムに入っていると判断した場合、コンピュータの主電
源をオフにする制御系もある。
積回路素子１を直冷でポンプ２，冷却水９により冷媒が
凝縮される凝縮器３，フィルタ４から構成されていて、
冷媒温度を検出する温度センサ５、及び冷却システムの
圧力を検出する圧力計６が設置されていて、これらから
得られる値は演算器７で計算され、空気が冷却システム
に入っていると判断されるとアラーム８により警報を発
する。図１で、冷媒液がチップを冷却する際に過冷却さ
れて、冷媒液温度がその圧力における飽和温度より低く
なる場合があるので、本検出動作は、コンピュータの運
転が停止していて、集積回路素子の発熱及び凝縮器の冷
却装置が止まっている空気が混入していなければ、飽和
状態が実現されている時に行う。また、空気が冷却シス
テムに入っていると判断した場合、コンピュータの主電
源をオフにする制御系もある。
【０００８】図１に示される冷却流路は、密閉構造を目
指しているが、シールの不完全部分から空気が内部に入
る可能性がある。その場合、図２で一例を示す飽和温度
曲線より得られる温度を圧力に換算した値よりも、実際
の圧力の方が高くなる。これらは、圧力を温度に換算し
て比較することも考えられる。
指しているが、シールの不完全部分から空気が内部に入
る可能性がある。その場合、図２で一例を示す飽和温度
曲線より得られる温度を圧力に換算した値よりも、実際
の圧力の方が高くなる。これらは、圧力を温度に換算し
て比較することも考えられる。
【０００９】図３に、他の実施例を示す。図３では、圧
力及び温度の検出手段５，６を冷媒流路に設置した場合
を示している。また、冷媒は集積回路素子に直接は接触
していず、柔軟構造体１０を介して冷却を行う。
力及び温度の検出手段５，６を冷媒流路に設置した場合
を示している。また、冷媒は集積回路素子に直接は接触
していず、柔軟構造体１０を介して冷却を行う。
【００１０】
【発明の効果】本発明によれば、分析などの手間のかか
る手段によらず、簡単に冷媒流路中への空気の混入を検
出することができるので、伝熱性能を低下させる空気の
混入を早く知り、集積回路の過熱を防ぐ対策を講じるこ
とができる。
る手段によらず、簡単に冷媒流路中への空気の混入を検
出することができるので、伝熱性能を低下させる空気の
混入を早く知り、集積回路の過熱を防ぐ対策を講じるこ
とができる。
【図１】本発明の一実施例の集積回路を冷却する冷媒流
路の部分断面図。
路の部分断面図。
【図２】本発明の冷却用冷媒の飽和温度を示す特性図。
【図３】本発明の他の実施例である冷媒流路を示す部分
断面図。
断面図。
１…集積回路素子、２…ポンプ、３…凝縮器、４…フィ
ルタ、５…温度センサ、６…圧力計、７…演算器、８…
アラーム、９…冷却水、１０…柔軟構造体。
ルタ、５…温度センサ、６…圧力計、７…演算器、８…
アラーム、９…冷却水、１０…柔軟構造体。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中島 忠克 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (72)発明者 笠井 憲一 神奈川県秦野市堀山下１番地 株式会社日 立製作所汎用コンピュータ事業部内 (72)発明者 出居 昭男 神奈川県秦野市堀山下１番地 株式会社日 立製作所汎用コンピュータ事業部内
Claims (1)
- 【請求項１】集積回路素子により冷媒を沸騰あるいは蒸
発により冷却する系において、冷媒流路系の圧力と温度
を検出し、前記冷媒の飽和温度曲線を用いて両者を比較
する演算器を設けたことを特徴とする集積回路素子の冷
却装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10527693A JPH06318656A (ja) | 1993-05-06 | 1993-05-06 | 集積回路素子の冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10527693A JPH06318656A (ja) | 1993-05-06 | 1993-05-06 | 集積回路素子の冷却装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06318656A true JPH06318656A (ja) | 1994-11-15 |
Family
ID=14403153
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10527693A Pending JPH06318656A (ja) | 1993-05-06 | 1993-05-06 | 集積回路素子の冷却装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06318656A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1321454C (zh) * | 2002-04-24 | 2007-06-13 | 松下电器产业株式会社 | 半导体元件冷却装置及其控制方法 |
| CN100353537C (zh) * | 2004-12-30 | 2007-12-05 | 财团法人工业技术研究院 | 超声波喷雾散热/冷却装置 |
| US20180231340A1 (en) * | 2016-12-14 | 2018-08-16 | Hamilton Sundstrand Corporation | Enhanced thermal management for directed energy weapon |
| JP2019513296A (ja) * | 2016-06-16 | 2019-05-23 | 広東合一新材料研究院有限公司Ｇｕａｎｇｄｏｎｇ Ｈｉ−１ Ｎｅｗ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｒｅｓｅａｒｃｈ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ Ｃｏ．， Ｌｔｄ． | ハイパワー部品用の作動媒体接触式冷却システム及びその作動方法 |
-
1993
- 1993-05-06 JP JP10527693A patent/JPH06318656A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1321454C (zh) * | 2002-04-24 | 2007-06-13 | 松下电器产业株式会社 | 半导体元件冷却装置及其控制方法 |
| CN100353537C (zh) * | 2004-12-30 | 2007-12-05 | 财团法人工业技术研究院 | 超声波喷雾散热/冷却装置 |
| JP2019513296A (ja) * | 2016-06-16 | 2019-05-23 | 広東合一新材料研究院有限公司Ｇｕａｎｇｄｏｎｇ Ｈｉ−１ Ｎｅｗ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｒｅｓｅａｒｃｈ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ Ｃｏ．， Ｌｔｄ． | ハイパワー部品用の作動媒体接触式冷却システム及びその作動方法 |
| US20180231340A1 (en) * | 2016-12-14 | 2018-08-16 | Hamilton Sundstrand Corporation | Enhanced thermal management for directed energy weapon |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2006210863A (ja) | ウエハ式放熱モジュール及びその放熱方法 | |
| CN103095098B (zh) | 变频器散热冷却系统及其控制方法和装置 | |
| EP2338013B1 (en) | Sensing and estimating non-condensable gas in a subambient cooling system | |
| CN114001365B (zh) | 水冷流道温度及流量检测系统及方法和流道参数测试系统 | |
| US20120000628A1 (en) | Method for function monitoring and/or control of a cooling system, and a corresponding cooling system | |
| CN111885904A (zh) | 数据中心机柜散热系统及数据中心室 | |
| JPH06318656A (ja) | 集積回路素子の冷却装置 | |
| JP2010175404A (ja) | Ｘ線分析装置 | |
| JP2012175086A (ja) | 結露検知装置、電子機器冷却システム、及び結露検出方法 | |
| EP1489895A1 (en) | Simple constant temperature device for electronic device and method for controlling the constant temperature device | |
| WO2023249691A1 (en) | Vapor-air transition detection for two-phase liquid immersion cooling | |
| KR101490545B1 (ko) | 무선 네트워크 노드에서의 기후 제어 | |
| JP2004150777A (ja) | ペルチェ式クーラの異常検出方法 | |
| TWM514714U (zh) | 散熱系統 | |
| WO2019142343A1 (ja) | サンプル温調装置 | |
| CN217717489U (zh) | 一种恒温红外气体检测系统 | |
| JP2015095614A (ja) | 冷却装置およびこれを搭載した電子機器 | |
| JPH0528946A (ja) | ビームテスタ用温度調節装置 | |
| RU2795946C1 (ru) | Способ и система контролируемого охлаждения на основе элемента пельтье | |
| KR20060020788A (ko) | 밀폐형 컴퓨터 냉각장치 | |
| CN212206837U (zh) | 冷凝除水的气体检测器 | |
| JP3796505B2 (ja) | 冷却庫 | |
| JPH0577992U (ja) | 電子機器収納棚箱 | |
| JP3054552B2 (ja) | 吸収式冷温水機の故障診断装置 | |
| JPH07245363A (ja) | 電力半導体用冷却装置 |