JPH06317706A - カラーフィルターの製造方法及びその製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 露光基板の露光面以外への現像液及び洗浄液
の接触を防止したカラーフィルターの製造方法及びその
製造装置の開示 【構成】 露光基板としてのガラス板１の露光面１ａを
下方に向けてゴムパット１０、１０により上方から懸吊
支持した状態で、露光部４での露光工程を行い、現像液
の収納タンク１３の上面部１３ａの上方及び洗浄液の収
納タンク１９の上面部上方に順次搬入して、ガラス板１
の上面部１ｂに現像液並びにリンス液を接触させないで
露光面１ａを現像液の液面並びにリンス液の液面に順次
接触させるカラーフィルターの製造方法及びその製造装
置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、露光済みの露光基板の
汚れや損傷などを極力防止し得るカラーフィルターの製
造方法及びその製造装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、カラーフィルターの製造方法とし
ては特開昭６３−２３４２０３号が開示されている。

【０００３】この製造方法は、基板上に有機光導電膜を
形成し、この有機光導電膜を所定の極性に帯電させ、有
機光導電膜の一部を露光して帯電を除き、帯電した有機
光導電膜に顔料を静電付着させる方法であり、基板には
ブラックマトリックスが形成されている。

【０００４】又、顔料の電着後には基板の露光面を上向
きにして現像液を付着させて洗浄を行なわれ、露光・現
像・洗浄の工程間は露光基板をローラに載せて搬送する
ことが一般的に行なわれている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
カラーフィルターの製造方法では、露光後の現像・洗浄
の工程において上から現像液及び洗浄液を落下させて付
着させるので、基板の露光面の裏面側に現像液及び洗浄
液が回り込んでしまい、基板の露光面の裏面側を洗浄す
る必要があると共に、ローラによる搬送のために接触傷
が発生することがある。

【０００６】本発明は、このような問題に着目してなさ
れたものであり、露光基板の露光面の裏面側への現像液
並びに洗浄液の回り込みが生じず、搬送中の機械的接触
を極力少なくしたカラーフィルターの製造方法及びその
製造装置を開示することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の請求項１にかかるカラーフィルターの製造
方法は、カラーフィルターを製造する露光基板の露光面
を下方に向けて上方から懸吊支持し、前記露光面への帯
電後にマスクを介して露光させ、露光済みの露光基板を
その露光面を下に向けてトナーを付着させ、前記懸吊状
態で現像工程及び洗浄工程に順次搬入して前記露光基板
の露光面を現像液の液面及び洗浄液の液面に順次接触さ
せることを特徴とする。

【０００８】又、本発明の請求項２にかかるカラーフィ
ルターの製造装置は、カラーフィルターを製造する露光
基板の露光面を帯電させた後にマスクを介して露光を行
なって静電潜像を作る露光装置を備え、この露光装置か
ら取出した露光基板の露光面を現像液及び洗浄液に順次
接触させるカラーフィルターの製造装置において、前記
現像液を内部に供給されるとともに上面部から内部の現
像液を滲出させる現像液収納器と、この現像液収納器の
上面部からあふれた現像液を回収して前記現像液収納器
内に循環させる現像液回収器と、前記洗浄液を内部に供
給されるとともに上面部から洗浄液を滲出させる洗浄液
収納器と、この洗浄液収納器の上面部からあふれた洗浄
液を回収して前記洗浄液収納器内に循環させる洗浄液回
収器と、前記露光基板をその露光面を下に向けて懸吊支
持し、前記露光装置からの露光後に前記現像液収納器の
上面部上及び前記洗浄液収納器の上面部に順次移送する
支持装置とを備えていることを特徴とする。

【０００９】

【作用】本発明の請求項１のカラーフィルターの製造方
法によれば、カラーフィルターを製造する露光基板の露
光面を下方に向けて支持し、前記露光面への露光及び顔
料の電着後に、現像液槽にて現像液の上面に前記露光基
板の露光面を接触させ、洗浄液槽にて洗浄液の上面に前
記露光基板の露光面を接触させるので、露光基板の露光
面の裏面の汚れを防止できると共に、上方から露光基板
を支持するので、露光面の損傷を極力少なくすることが
できる。

【００１０】又、露光工程から液体トナーによる現像工
程更に洗浄液による洗浄工程において露光基板を現像
液、洗浄液及び支持装置以外に接触させないので、露光
面の損傷を避けることができる。

【００１１】更に、露光面を下に向けた露光基板を懸吊
して搬送するので、露光工程から液体トナーによる現像
工程更に洗浄液による洗浄工程において露光基板の反転
装置が不要となる。

【００１２】本発明の請求項２のカラーフィルターの製
造装置によれば、現像液収納器の内部の現像液が上面部
から滲出するときに、表面張力により現像液が盛り上が
った状態となるので、露光面を下に向けた露光基板が現
像液収納器の上方に位置すると、露光面が現像液に接触
して現像が行なわれるが、露光基板の露光面の裏面は現
像液に濡れない。現像液収納器の上面部からあふれた現
像液は現像液回収器に回収される。又、現像の終わった
露光基板は露光面が下に向けられた状態で洗浄液収納器
の上面部に送られ、露光面が洗浄される。現像後の露光
面の洗浄においても、洗浄液が洗浄液収納器の上面部か
ら滲み出て表面張力により盛り上がった状態になるの
で、露光面の裏側に洗浄液を触れさせることなく現像さ
れた露光面の洗浄を行なうことができる。洗浄液収納器
の上面の洗浄液は、洗浄液回収器により回収される。支
持装置は露光面を下に向けた状態で露光、静電電着、現
像、洗浄への搬送を行なうので、露光基板の裏面側が現
像液あるいは洗浄液によって汚れるおそれがなくなると
ともに、露光面に機械的接触による傷の発生が防止され
る。

【００１３】

【実施例】以下、本発明の実施例にかかるカラーフィル
ターの製造方法及びその製造装置を図面に基づいて説明
する。

【００１４】図１は本発明の実施例にかかるカラーフィ
ルターの製造装置の主要構成を示す概略図であり、符合
１は露光面１ａを下向きにして搬送される露光基板とし
てのガラス板であり、符合２はガラス板１からカラーフ
ィルターを製造するカラーフィルターの製造装置であ
る。

【００１５】ガラス板１の露光面１ａは導電体を介して
有機光導電膜が形成されており、コロナ放電により帯電
するようになっている。

【００１６】カラーフィルターの製造装置２は、ガラス
板１を露光面１ａを下に向けて搬送する搬送部３と、ガ
ラス板１を露光して顔料を静電気により付着する露光部
４と、露光部４にて静電潜像が作られたガラス板１の露
光面１ａを現像する現像部５と、現像部５にて現像液の
付着した露光面１ａを洗浄するリンス部６と、搬送部３
及び露光部４並びに現像部５更にリンス部６を格納する
筺体（図示せず）とを備えている。

【００１７】搬送部３は、露光部４にガラス板１を搬入
する位置からリンス部６から乾燥工程にガラス板１を搬
出する位置まで延びる一対の案内棒７と、一対の案内棒
７に懸吊されて長手方向にスライド可能な左右２対のス
ライダー８、８と、スライダー８、８に支持固定される
プレート９と、スライダー８、８と螺合して駆動する図
示しないネジ軸及びネジ軸を所定回転数回転させるパル
スモータと、プレート９の下面に設けられて空気吸引ポ
ンプに連通する中空のゴムパット１０と、露光部４にて
吸着したガラス板１の露光面１ａとマスク１２との光軸
回り方向のアライメントを行なうアライメント調整ユニ
ット（図示せず）とを備えている。

【００１８】ガラス板１は露光部４の露光工程ではアラ
イメント機構を有する図示しないユニットのゴムパット
上に保持されている。露光による静電潜像形成後のガラ
ス板１は搬送部３に露光部の保持ユニットから受け取ら
れ、現像部５で現像され、リンス部６で現像液の洗浄を
行なわれた後にリンス部６から乾燥工程の空気吸引パッ
ト等に引き渡される。

【００１９】ゴムパット１０は一定の高さで水平移動す
るが、ゴムパット１０が移動するときの高さは、現像部
５の現像液の上面及びリンス部６のリンス液の上面がガ
ラス板１の肉厚の中間部に位置するように設定されてい
る。即ち、後述するように、現像部５及びリンス部６で
は、現像液及びリンス液の各々の液面が表面張力で盛り
上がっており、ガラス板１の露光面１ａは盛り上がって
いる液面部を側面からスライドするようにして現像液及
びリンス液に接触する。これによって、現像液及びリン
ス液が露光面１ａのみに付着して露光面１ａの裏面であ
るガラス板１の上面１ｂに付着しないようになってい
る。

【００２０】露光部４は前述の筺体によって覆われてお
り、外部及び現像部５或はリンス部６から遮光されてい
る。露光部４の下部には上部のガラス１の露光面１ａに
マスク１１を介して下から露光する高圧水銀灯からなる
光源１２が配設され、マスク１１のパターン像が露光面
１ａに静電潜像として形成されるようになっている。露
光部４の上部のマスク１１とガラス板１との間には露光
面１ａに沿って平行に往復動しながら露光面１ａにコロ
ナ放電する帯電ユニット（図示せず）が設けられてい
る。マスク１１はガラス板１に対して進退調整可能に支
持されており、マスク１１の支持機構はピント調整機構
を備えており、光源１２からの光によるパターン像が露
光面１ａでピントが合うようにマスク１１の高さを調整
する。

【００２１】露光部４では、先ず搬送部３のゴムパット
１０に露光面１ａを下向きにした未帯電のガラス板１を
支持させ、マスク７と露光面１ａの水平面に沿ったＸ軸
Ｙ軸方向並びに鉛直軸を中心とするθ方向の位置合わせ
並びに光軸方向のピント合わせを行ない、次に一旦マス
ク７をガラス板１から遠ざけて側方から帯電ユニットを
コロナ放電させながらスライドさせ、露光面１ａに均一
に帯電させる。この後にマスク７のピント合わせを行な
って光源１２を発光させてパターン像を露光面１ａに結
像させてパターン像の静電潜像を形成する。露光面１ａ
において光のあたった部位は電荷が中和され、光のあた
らない部位は静電潜像となり、トナーが潜像部に付着す
る。このマスク１１のパターン像によって液晶カラーフ
ィルターの画素が形成され、イエロー、マゼンタ、シア
ン、ブラックの４色について露光、電着、現像、洗浄、
乾燥が行なわれる。

【００２２】現像部５は、図２、図３に示すように、現
像液を上面から滲み出させる現像液収納器としての箱状
の収納タンク１３と、収納タンク１３のまわりからあふ
れた現像液１８を回収する回収タンク１４と、回収タン
ク１４に回収された現像液１８を収納タンク１３に循環
させるパイプ１５及びパイプ１５に設けられた循環用の
ポンプ１６とを備えている。収納タンク１３の上面部１
３ａには開口部としての細幅のスリット１７が多数形成
されている。この多数のスリット１７は収納タンク１３
の内外を通じさせるものであり、ポンプ１６の加圧によ
り内部の現像液１８がスリット１７・・・を介して上面
部１３ａの上に吐出される。スリット１７・・・の個々
の幅は現像液１８がスリット１７・・・から滲み出ると
きに、現像液１８の液面に表面張力が有効に働くために
充分な幅である必要があるが、スリット形状であるとは
限らず、小さな円形開口形状であっても良い。

【００２３】収納タンク１３の上面部１３ａの上方をガ
ラス板１が通過するとき、露光面１ａは現像液１８の液
面の下に位置させ、ガラス板１の上面部１ｂは現像液１
８の液面の上に位置させて通過する。現像液１８の液面
の高さはガラス板１の肉厚の中間の位置にある。収納タ
ンク１３は回収タンク１４内に配設されており、図１で
は回収容量を確保するために中に浮いた状態で支持され
ているように示されているが、回収タンク１４の底部に
搭載されていても良い。パイプ１５は回収タンク１３か
ら現像液１８を回収してポンプ１６の加圧により収納タ
ンク１３に循環させる。

【００２４】リンス部６は本発明の洗浄液としてのリン
ス液を収納する収納タンク１９（洗浄液収納器）と、収
納タンク１９からあふれたリンス液２４を回収する回収
タンク２０と、回収タンク２０に回収されたリンス液２
４を収納タンク１９に循環させるパイプ２１及びポンプ
２２とを備えている。収納タンク１９は現像部５の収納
タンク１３と同様な箱体形状を有しており、箱体の上面
部に図２と同様なスリット２３が開口されている。この
スリット２３は、現像液の収納タンク１３と同様に、上
面部２３ａにおいてリンス液の液面を表面張力によって
盛り上げることができるように細い幅で形成されてい
る。収納タンク１９は回収タンク２０内に配設されてお
り、収納タンク１９の上面部からあふれたリンス液２４
が回収タンク２０に回収され、回収タンク２０に溜った
リンス液２４はパイプ２１及びポンプ２２を介して再度
収納タンク１９に循環する。

【００２５】本実施例にかかるカラーフィルターの製造
方法は、露光基板としてのガラス板１の露光面１ａを下
方に向けてゴムパット１０、１０により上方から懸吊支
持した状態で、露光部４での露光工程を行い、現像液の
収納タンク１３の上面部１３ａの上方及び洗浄液の収納
タンク１９の上面部上方に順次搬入して、ガラス板１の
上面部１ｂに現像液並びにリンス液を接触させないで露
光面１ａを現像液の液面並びにリンス液の液面に順次接
触させる。

【００２６】このさい、現像部５においては、ガラス板
１の露光面１ａのみが現像液１８に触れ、ガラス板１の
上面部１ｂ並びにゴムパット１０が現像液に触れないた
め、現像液１８への接触面積を最小にすることができ
る。又、リンス部６では、現像部５と同様に、ガラス板
１の露光面１ａがリンス液に接触し、ガラス板１の上面
部１ｂ及びゴムパット１０はリンス液に接触しない。

【００２７】従って、ガラス板１の上面部１ｂの汚れを
極力防止できるほか、ガラス板１の上面部１ｂのみなら
ずガラス板１を支持する支持手段の洗浄・乾燥する手間
がなくなる。又、リンス液による現像液の洗浄工程及び
リンス液の乾燥工程が短縮される。即ち、カラーフィル
ターの現像工程及び洗浄工程の短縮化による量産化を図
ることができる。また、露光面が下向きであるため、ゴ
ミの付着による不良品発生の低減にも有効であり、カラ
ーフィルターの量産化及び現像液並びにリンス液の浪費
防止を促進できることとなる。

【００２８】更に、露光面１ａを下に向けたガラス板１
を懸吊して搬送し、露光面１ａに対して機械的な接触が
ないので、露光面１ａの損傷を極力少なくすることがで
きると共に、露光工程から顔料電着工程及び現像工程更
に洗浄液による洗浄工程において従来のような露光基板
の反転装置が不要となる。

【００２９】

【発明の効果】本発明の請求項１のカラーフィルターの
製造方法によれば、露光基板の露光面を下方に向けて支
持し、露光面への露光及び顔料の電着後に、露光基板の
露光面を下に向けたまま、露光面を現像液及び洗浄液に
順次接触させるので、露光基板の露光面の裏面への現像
液及び洗浄液の回り込みを防止でき、現像及び洗浄更に
乾燥の工程を短縮化してカラーフィルターの量産化を図
ることができると共に、露光面の機械的な接触がないの
で、露光面の損傷を防止できる。更に、露光工程から洗
浄工程まで露光面を下に向けたまま露光基板を搬送する
ので、ゴミの付着による不良発生の低減が図れるととも
に、露光基板の反転装置が不要となる。

【００３０】又、請求項２のカラーフィルターの製造装
置によれば、請求項１のカラーフィルターの製造方法に
より得られる他に、現像液及び洗浄液を回収でき、現像
液及び洗浄液の消費を少なくできるという効果を奏す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例にかかるカラーフィルターの製
造装置の主要構成を示す概略図

【図２】図１の現像液の収納タンク並びに洗浄液の収納
タンクの平面図

【図３】図１の現像液の収納器タンク並びに洗浄液の収
納タンクにおいてガラス板の露光面が現像液並びにリン
ス液に接触する状態の断面図

【符号の説明】

１ ガラス板 （露光基板） ２ カラーフィルターの製造装置 ３ 搬送部 （支持装置） ４ 露光部 （露光装置） ５ 現像部 ６ リンス部 ７ 案内棒 ８ スライダー ９ プレート １０ ゴムパット １１ マスク １２ 光源 １３ 収納タンク（現像液収納器） １４ 回収タンク（現像液回収器） １５ パイプ １６ ポンプ １７ スリット １８ 現像液 １９ 収納タンク（洗浄液収納器） ２０ 回収タンク（洗浄液回収器） ２１ パイプ ２２ ポンプ ２３ スリット ２４ リンス液

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】カラーフィルターを製造する露光基板の露
   光面を下方に向けて上方から懸吊支持し、前記露光面へ
   の帯電後にマスクを介して露光させて静電潜像を作り、
   露光済みの露光基板をその露光面を下に向けてトナーを
   付着させ、前記懸吊状態で現像工程及び洗浄工程に順次
   搬入して前記露光基板の露光面を現像液の液面及び洗浄
   液の液面に順次接触させることを特徴とするカラーフィ
   ルターの製造方法。
2. 【請求項２】カラーフィルターを製造する露光基板の露
   光面を帯電させた後にマスクを介して露光を行なってト
   ナーを静電・電着させる露光装置を備え、この露光装置
   から取出した露光基板の露光面を現像液及び洗浄液に順
   次接触させるカラーフィルターの製造装置において、 前記現像液を内部に供給されるとともに上面部から内部
   の現像液を滲出させる現像液収納器と、 この現像液収納器の上面部からあふれた現像液を回収し
   て前記現像液収納器内に循環させる現像液回収器と、 前記洗浄液を内部に供給されるとともに上面部から洗浄
   液を滲出させる洗浄液収納器と、 この洗浄液収納器の上面部からあふれた洗浄液を回収し
   て前記洗浄液収納器内に循環させる洗浄液回収器と、 前記露光基板をその露光面を下に向けて懸吊支持し、前
   記露光装置からの露光後に前記現像液収納器の上面部上
   及び前記洗浄液収納器の上面部上に順次移送する支持装
   置とを備えていることを特徴とするカラーフィルターの
   製造装置。