JP2011107521A - 搬送装置のメンテナンス方法 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、搬送装置のメンテナンス作業を効率よく行うことができる搬送装置のメンテナンス方法を提供する。
【解決手段】 マスクケース搬送装置（２９）のメンテナンス方法は、ＣＺ軸駆動部（２６）によってケース保持部（２３）を上下方向の第１位置に配置する工程（Ｓ１０２）と、最上段、最下段および中央段に設けられた複数のＣＺ軸駆動部２６のカバー部材のうち第１位置に配置されたケース保持部と異なる高さに位置するカバー部材を取り外す第１取り外し作業を行う工程（Ｓ１０６）と、第１取り外し作業後に取り外されていない複数の前記カバー部材のうち第１位置に配置されたケース保持部と異なる高さに位置するカバー部材を取り外す第２取り外し作業を行う工程（Ｓ１０７）と、を含む。
【選択図】 図１３

Description

本発明は、マスクを収容するケースを搬送する搬送装置のメンテナンス方法に関するものである。

液晶表示装置（液晶パネル）を製造する工程で、露光装置は、マスクに描画された液晶表示装置用のパターンを紫外線を含む光でガラス基板に露光する。そのためマスクを露光装置に搬送する必要がある。たとえば、特許文献１は、マスクを露光装置に搬送する搬送装置を開示する。

近年、液晶表示素子の大型化が進み、約２ｍ四方を超える大型のガラス基板を用いて生産が行われている。また、ガラス基板の大型化にともないマスクも大型化している。この結果、マスクを搬送する搬送装置も大型化されている。

国際公開２００９／０６３９０３号パンフレット

搬送装置が大型化するに伴って、搬送装置のメンテナンスにかかる時間が増大する問題が生じている。このため、搬送装置の効率的なメンテナンス方法が望まれている。

本発明の目的は、搬送装置のメンテナンス作業を効率よく行うことができる搬送装置のメンテナンス方法を提供することである。

第一態様に係るメンテナンス方法は、マスクを収容するケースを保持するケース保持部と、該ケース保持部に対向する前面側に上下５段に設けられた複数のカバー部材によってカバーされた駆動機構によりケース保持部を昇降移動させる駆動部と、を備える搬送装置のメンテナンス方法である。メンテナンス方法は、駆動部によってケース保持部を上下方向の第１位置に配置する工程と、最上段、最下段および中央段に設けられた複数のカバー部材のうち、第１位置に配置されたケース保持部と異なる高さに位置するカバー部材を取り外す第１取り外し作業を行う工程と、第１取り外し作業後に取り外されていない複数のカバー部材のうち、第１位置に配置されたケース保持部と異なる高さに位置するカバー部材を取り外す第２取り外し作業を行う工程と、を備えている。

本発明によれば、搬送装置のメンテナンス作業を効率よく行うことができる。

露光装置１００の斜視図である。 露光装置１００の平面図である。 マスクローダー１２の斜視図である。 マスクローダー１２におけるマスクの搬送経路を示すフローチャートである。 マスクローダー１２におけるマスクの搬送経路を示した図である。 （ａ）は、ＰＰＤアーム２２１と清掃作業の足場を示した平面図である。（ｂ）は、ＰＰＤアーム２２１のＰＰＤマスク載置面２２４を示した平面図である。 ＰＰＤマスク載置面２２４の清掃工程を示したフローチャートである。 マスクケース搬送装置２９の斜視図である。 ＣＺ軸駆動部２６の斜視図である。 （ａ）は、前面カバーＦ１とＦ５及び右側面カバーＲ２とＲ３の接続部の一部を示した図である。 （ｂ）は、前面カバーＦ１からＦ５の入れ子の組み合わせを説明するための概略側面図である。 （ｃ）は、右側面カバーＲ１からＲ４の入れ子の組み合わせを説明するための概略側面図である。 前面カバーと左側面カバーと右側面カバーとが取り外されたＣＺ軸駆動部２６の概略斜視図である。 （ａ）は、ケース保持部２３の斜視図である。（ｂ）は、ＣＸ軸駆動部２３１内部の概略平面図である。 マスクケース搬送装置２９のメンテナンスの第１工程を示したフローチャートである。 マスクケース搬送装置２９のメンテナンスの第１工程を示したフローチャートである。 （ａ）は、ケース保持部２３が最上段に位置した場合の概略側面図である。 （ｂ）は、ケース保持部２３が最下段に位置した場合の概略側面図である。 マスクケース搬送装置２９のメンテナンスの第２工程を示したフローチャートである。 マスクケース搬送装置２９のメンテナンスの第３工程を示したフローチャートである。 マスクケース搬送装置２９のメンテナンスの第４工程を示したフローチャートである。 マスクケース搬送装置２９のメンテナンスの第５工程を示したフローチャートである。 液晶デバイスの製造工程を示すフローチャートである。

（露光装置の概要）
＜露光装置１００の構成＞
図１は、露光装置１００の斜視図である。露光装置１００は、本体部１１と、マスクローダー１２と、プレートローダー１３と、制御部１４と、チャンバー１５とを含んでいる。本体部１１は露光処理を行うユニットであり、露光処理を行うための結像システム、ステージシステム、およびアライメントシステム等を有している。マスクローダー１２は、露光で使用するマスクを本体部１１に搬送するユニットである。プレートローダー１３は、露光で使用するプレートを本体部１１に搬送するユニットである。制御部１４は、露光装置１００の制御を行うユニットである。チャンバー１５は、本体部１１と、マスクローダー１２と、プレートローダー１３とを覆う筺体であり、チャンバー１５の内部における温度や清浄度などの環境条件を、空調機からのエアフローによって良好かつ一定に保っている。なお、以下の説明において、マスクローダー１２が設置されている露光装置１００の側面を装置正面とし、装置正面が向いている水平面内の方向を−Ｙ軸方向、水平面内に於いてＹ軸方向と垂直な方向であり装置正面に向かって右の方向を＋Ｘ軸方向、Ｘ軸及びＹ軸方向に垂直な方向（すなわち鉛直方向）で上向きの方向を＋Ｚ軸方向とする。

図２は、露光装置１００の平面図である。本体部１１は露光装置１００の中心部付近に位置し、マスクローダー１２は本体部１１の−Ｙ軸方向及び本体部１１の上方に位置し、プレートローダー１３は本体部１１の＋Ｘ軸方向に位置している。制御部１４はチャンバー１５の外側に配置され、チャンバー１５内部と電気的に接続されている。

＜露光工程＞
次に、図１及び図２を参照して露光装置１００における露光工程について説明する。マスクを収容したマスクケースは、露光装置１００の外部からマスクローダー１２に搬送される。マスクはマスクローダー１２の中でマスクケースから取り出され、本体部１１の上部に搬送される。また、回路パターン及び電極パターン等の所定のパターンを形成するためのプレートは、露光装置１００の外部からプレートローダー１３に搬送され、プレートローダー１３から本体部１１に搬送される。本体部１１では、プレートローダー１３より搬送されたプレートに対して、マスクローダー１２より搬送されたマスクを用いて露光処理を行い、所定のパターンを形成する。

＜マスクローダー１２の構成＞
次に、マスクケース搬送装置を有するマスクローダー１２について説明する。図３は、マスクローダー１２の斜視図である。マスクローダー１２は、マスクバッファー２１と、ペリクル異物検査部（以下ＰＰＤという。）２２と、マスク置き台２４と、交換ハンド２５と、マスクケース搬送装置２９とを有している。マスクバッファー２１は、マスクＭＫを収納するマスクケース２８（図５参照）を一時的に保管する。たとえば、マスクバッファー２１は、マスクケース２８を保管するための５ケース分のスロットを有する。

ペリクル異物検査部２２は、マスクバッファー２１の上部に配置されている。このＰＰＤ２２はマスクＭＫの異物検査を行い、ＰＰＤアーム２２１（図５参照）を有しており、マスクＭＫが有するペリクルに付着した異物の有無を検査する。マスク置き台２４は、マスク交換時に搬送中のマスクＭＫを一時的に保持する。マスク置き台２４には、本体部１１のマスクステージ３０（図５参照）にロードするマスクＭＫを置くためのロード置き台２４ａと、本体部１１のマスクステージ３０からアンロードされたマスクＭＫを置くためのアンロード置き台２４ｂとがある。マスクケース搬送装置２９は、マスクケースの搬送を行うユニットであるケース保持部２３と、ケース保持部２３を上下に移動させるための駆動機構を有するＣＺ軸駆動部２６とを有している。交換ハンド２５は、マスクＭＫをマスク置き台２４から本体部１１へ搬送したり、その逆に本体部１１からマスク置き台２４へ搬送したりする。また交換ハンド２５は、ＰＰＤアーム２２１（図５参照）へマスクＭＫを搬送したりＰＰＤアーム２２１からマスクＭＫを受けたりする。

（マスクローダー１２におけるマスクＭＫの搬送）
＜マスクＭＫのロード工程＞
図４及び図５を参照して、マスクローダー１２にマスクケース２８が搬入されてからマスクＭＫを本体部１１のマスクステージ３０に移動させるまでの工程を説明する。図４は、マスクローダー１２におけるマスクＭＫの搬送工程を示すフローチャートであり、図５は、マスクローダー１２におけるマスクＭＫの搬送経路を示した図である。

図４のステップＳ１１において、マスク台車２７がマスクバッファー２１の下部までマスクＭＫを納めたマスクケース２８をマスクバッファー２１の下部に搬送する。その後、マスクケース２８はケース保持部２３によりマスクバッファー２１のひとつのスロットに装填される。図５に示された矢印ｓ１１はマスクケース２８がマスクバッファー２１装填されるまでの経路である。

ステップＳ１２において、マスクケース２８の上蓋がマスクバッファー２１内にある上蓋上下機構（図示していない）によって外される。上蓋の取れたマスクケース２８はケース保持部２３によってマスクバッファー２１から引き出される。図５に示された矢印ｓ１２は、マスクケース２８がマスクバッファー２１から引き出される経路である。

ステップＳ１３において、マスクケース２８を保持したケース保持部２３は、ＣＺ軸駆動部２６の最上部まで上昇する。図５に示された矢印ｓ１３がマスクケース２８の上昇経路である。なお、ＣＺ駆動部２６の最上部とは、ケース保持部２３とＰＰＤアーム２２１とが干渉しない高さであり、ケース保持部２３が保持するマスクケース２８と交換ハンド２５とがマスクＭＫを受け渡し可能な高さである。

ステップＳ１４において、交換ハンド２５によりマスクケース２８からマスクＭＫが取り出される。交換ハンド２５は装置正面から見て前後に２個ずつの、マスクＭＫを支持するための爪２５１があり、これらの爪２５１がＹ方向に開閉してマスクを保持する。また、交換ハンド２５の前後左右にはプリアライメントピンが備わっており、交換ハンド２５はこれらのピンの開閉動作をすることで交換ハンド２５上に保持したマスクＭＫの位置を調整している。

ステップＳ１５において、ＰＰＤアーム２２１が交換ハンド２５の下方まで移動し、交換ハンド２５からＰＰＤアーム２２１にマスクＭＫが渡される。図５に示された矢印ｓ１５がＰＰＤアーム２２１の移動経路である。なお、ＰＰＤアーム２２１はＰＰＤ２２が有するユニットの一つであり、交換ハンド２５とマスクＭＫの受け渡しを行う機能と、ＰＰＤ２２内におけるマスク異物検査時にマスクＭＫのステージとしての機能とを有する。

ステップＳ１６において、マスクＭＫを載せたＰＰＤアーム２２１がＰＰＤ２２内に移動する。図５に示された矢印ｓ１６がＰＰＤアーム２２１の移動経路である。ＰＰＤ２２内では、マスクＭＫのマスク異物検査が行われる。

ステップＳ１７において、マスクＭＫを載せたＰＰＤアーム２２１が交換ハンド２５の下に移動し、マスクＭＫがＰＰＤアーム２２１から交換ハンド２５に渡される。図５に示された矢印ｓ１７がＰＰＤアーム２２１の移動経路である。

ステップＳ１８において、マスクＭＫを保持した交換ハンド２５は、マスクＭＫを本体部１１のマスクステージ３０まで移動させる。図５に示された矢印ｓ１８が交換ハンド２５の移動経路である。ただし、マスクステージ３０上に使用済みマスクＭＫがある場合には、交換ハンド２５はマスクステージ３０にマスクＭＫを置く前に、ロードするマスクＭＫをロード置き台２４ａに置く。そして、使用済みマスクＭＫをマスクステージ３０からアンロード置き台２４ｂに移した後に、ロードするマスクＭＫをロード置き台２４ａからマスクステージ３０に移動させる。

＜マスクＭＫのアンロード工程＞
マスクＭＫをマスクステージ３０よりアンロードするときは、マスクＭＫは交換ハンド２５によってマスクステージ３０から取り出されてアンロード置き台２４ｂに置かれる。ロードするマスクＭＫをマスクステージ３０に移動させた後に、交換ハンド２５はアンロードするマスクＭＫをアンロード置き台２４ｂからケース保持部２３の上方まで水平移動させる。マスクＭＫがケース保持部２３の上方に移動させられる一方で、上蓋の取れた空のマスクケース２８はケース保持部２３によって最上部まで移動する。そして、交換ハンド２５はマスクＭＫをマスクケース２８内に納める。その後、ケース保持部２３はマスクケース２８を元のスロットに戻し、マスクケース２８の上蓋が閉じられる。装置外にマスクＭＫを搬送する指示があった場合には、マスクＭＫの入ったマスクケース２８はケース保持部２３によってマスクバッファー２１のスロットから取り出され、マスク台車２７に渡されて搬出される。

（ＰＰＤ２２の概要）
＜ＰＰＤアーム２２１の構成＞
次に、図６を参照してＰＰＤアーム２２１の構成を説明する。図６（ａ）は、ＰＰＤ２２の平面図である。図６（ｂ）は、ＰＰＤアーム２２１のＰＰＤマスク載置面２２４を示した平面図である。

ＰＰＤアーム２２１はガイド２２９に沿ってＸ軸方向に移動可能である。図６（ａ）では、ＰＰＤアーム２２１が一番マイナスＸ軸側の位置に移動した状態であり、ＰＰＤアーム２２１がＰＰＤ２２内に格納されている。ガイド２２９の一部の上方（Ｚ軸側）に作業者用の足場２２２が設けられている。ＰＰＤ上部２２３は作業者が清掃作業を行う作業スペースである。作業者は、図１に示される階段を登ってチャンバー１５（図２を参照）の天井に行き、ＰＰＤメンテナンス扉（不図示）を開けてＰＰＤ２２の近傍まで行く。そして作業者は足場２２２を使ってＰＰＤ上部２２３まで到達する。

ＰＰＤアーム２２１に載せられるマスクＭＫは、ＰＰＤマスク載置面２２４に載せられて移動する。また、マスクＭＫは、ＰＰＤ２２内で異物の付着の検査が行われる。ＰＰＤアーム２２１は、マスクＭＫを載置する８か所のＰＰＤマスク載置面２２４を有している。

ＰＰＤアーム２２１のＰＰＤマスク載置面２２４の清掃工程を説明する。
図７は、ＰＰＤマスク載置面２２４の清掃工程を示したフローチャートである。

＜ＰＰＤマスク載置面２２４の清掃工程＞
ステップＳ２１において、作業者は、駆動系を使用する処理（露光処理や初期化など）が行われていないことを確認し、露光装置１００から全てのマスクＭＫを回収する。

ステップＳ２２において、作業者は、マスクケース搬送装置２９の駆動系のブレーカーを落とす。他の作業者が誤ってプレーカに電源を投入しないように、ブレーカーが動かないようにする（ロックする）。

ステップＳ２３において、作業者は、そのブレーカーの近くに装置がメンテナンス中であることを示すタグを掲示する。

ステップＳ２４において、作業者は、チャンバー１５（図２を参照）の上部にあるＰＰＤメンテナンス扉からチャンバー１５内に入り、足場２２２を通りＰＰＤ上部２２３に乗る。

ステップＳ２５において、作業者は、アルコールを浸したクリーニング布で、８か所あるＰＰＤアーム２２１のマスク載置面２２４を軽く拭く。

ステップＳ２６において、作業者は、ＰＰＤメンテナンス扉からチャンバー１５の外に出て、足場２２２を拭きＰＰＤメンテナンス扉を閉める。

ステップＳ２７において、作業者は、作業のために開いた全てのチャンバー１５の扉についてインターロック復帰スイッチを押してインターロックを解除し、その後に全てのチャンバー１５の扉を元通りに閉める。

ステップＳ２８において、作業者は、マスクケース搬送装置２９の駆動系のブレーカーのロックを外してブレーカーをオンにする。

ステップＳ２９において、作業者は、装置がメンテナンス中であることを示すタグを取り外す。

ステップＳ３０において、作業者は、露光装置１００内で初期化が必要なユニットを初期化コマンドによって初期化する。

（マスクケース搬送装置２９の概要）
マスクケース搬送装置２９のメンテナンス方法の実施形態について、図８から図１９を参照して説明する。まず図８から図１２を参照して搬送装置の説明を行い、その後、図１４から図１９のフローチャートを参照してメンテナンス方法について説明する。

＜マスクケース搬送装置２９の構成＞
図８は、マスクケース搬送装置２９の概略斜視図である。マスクケース搬送装置２９はマスクケース２８を搬送するための装置である。マスクケース搬送装置２９はマスクケース２８を保持するケース保持部２３とケース保持部２３を昇降させるＣＺ軸駆動部２６とを有している。またケース保持部２３は、マスクケース２８をＸ軸方向に沿って移動させるＣＸ軸駆動部２３１を有している。ＣＸ軸駆動部２３１は、マスクケース２８をマスクバッファー２１に出し入れする場合や、マスク台車２７とのマスクケース２８の受け渡しに使用される。

＜ＣＺ軸駆動部２６の構成＞
図９は、ＣＺ軸駆動部２６の概略斜視図である。図９では理解を助けるためケース保持部２３が省略して描かれている。

ＣＺ軸駆動部２６はケース保持部２３を上下方向に昇降させるための機能を有している。ケース保持部２３に対向するＣＺ軸駆動部２６の前面には、上下５段に設けられた複数のカバー部材である前面カバーＦ１からＦ５が取り付けられている。前面カバーＦ４はＣＺ軸駆動部２６の最上段に位置している。前面カバーＦ５は前面カバーＦ４に隣接した下段に位置し、前面カバーＦ１は前面カバーＦ５に隣接した下段に位置し、前面カバーＦ３は前面カバーＦ１に隣接した下段に位置している。前面カバーＦ３に隣接した下段であるＣＺ軸駆動部２６の最下段には、前面カバーＦ２が位置している。前面カバー（Ｆ１〜Ｆ５）に対して左側（＋Ｙ側）にある左側面及び右側（−Ｙ側）にある右側面にはそれぞれ上下４段に設けられた複数の側面カバー部材が取り付けられている。左側面には上から順に左側面カバーＬ１からＬ４があり、右側面には上から順に右側面カバーＲ１からＲ４が取り付けられている。

ＣＺ軸駆動部２６の左側面の最上段には左側面カバーＬ１が位置している。左側面カバーＬ１の隣接した下段に左側面カバーＬ２が位置し、左側面カバーＬ２の隣接した下段に左側面カバーＬ３が位置している。ＣＺ軸駆動部２６の最下段であり左側面カバーＬ３に隣接した下段には左側面カバーＬ４が位置している。また、ＣＺ軸駆動部２６の右側面の最上段には右側面カバーＲ１が位置している。右側面カバーＲ１の隣接した下段に右側面カバーＲ２が位置し、右側面カバーＲ２の隣接した下段に右側面カバーＲ３が位置している。ＣＺ軸駆動部２６の最下段であり右側面カバーＲ３に隣接した下段には右側面カバーＲ４が位置している。ＣＺ軸駆動部２６はリニアガイド（図１１参照）に取り付けられた２対のベアリング（上部ベアリングＡ１およびＡ３、下部ベアリングＡ２およびＡ４）を有しており、この２対のベアリングでケース保持部２３を支えている。

＜前面カバーＦ、右側面カバーＲ、左側面カバーＬの構成＞
図１０（ａ）は、前面カバーＦ１とＦ５及び右側面カバーＲ２とＲ３の接続部の一部を示した図である。図１０（ａ）には、前面カバーＦ５の下部の突起Ｆ５２と、右側面カバーＲ３の上部の突起Ｒ３１とが示されている。前面カバーＦ１と前面カバーＦ５とは、それぞれの境界部同士がＸ軸方向に前後に入れ子状に組み合わされている。前面カバーＦ２からＦ４の境界部も同様である。また、右側面カバーＲ２と右側面カバーＲ３とはそれぞれの境界部同士が前後に入れ子状に組み合わされている。右側面カバーＲ１からＲ４の境界部も同様である。左側面カバーＬ１からＬ４も同様にそれぞれの境界部同士が上下に入れ子状に組み合わされている。これは、隣り合う前面カバーＦ、右側面カバーＲおよび左側面カバーＬの隣接面より塵などが通過できないようにするためである。

図１０（ｂ）は、ＣＺ軸駆動部２６の前面カバーＦ１からＦ５の入れ子状の組み合わせを説明するための概略側面図である。図１０（ｂ）は、ＣＺ軸駆動部２６の右側面より見た図である。前面カバーＦ３の上端及び下端には、突起Ｆ３１およびＦ３２が形成されている。同様に、前面カバーＦ５の上端及び下端には、突起Ｆ５１およびＦ５２が形成されている。

前面カバーＦ１は、前面カバーＦ３の上端の突起Ｆ３１と前面カバーＦ５の下端の突起Ｆ５２の−Ｘ軸側（図１０（ｂ）の左側）に重なるように組み合わされている。前面カバーＦ２は前面カバーＦ３の下端の突起Ｆ３１の−Ｘ軸側に重なるように組み合わされている。前面カバーＦ４も前面カバーＦ５の上端の突起Ｆ５１の−Ｘ軸側に重なるように組み合わされている。すなわち、前面カバーＦ１、前面カバーＦ２および前面カバーＦ４の境界部はリニアガイド（図１１参照）などの駆動機構の反対側に配置されている。そして、前面カバーＦ３および前面カバーＦ５の境界部は駆動機構側に配置されている

図１０（ｃ）は、ＣＺ軸駆動部２６の右側面カバーＲ１からＲ４の入れ子状の組み合わせを説明するための概略側面図である。右側面カバーＲ２、Ｒ３およびＲ４の上端には入れ子状に組み合わせるための突起Ｒ２１，Ｒ３１およびＲ４１が形成されている。右側面カバーＲ４の上端の突起Ｒ４１の上に右側面カバーＲ３が重なり、右側面カバーＲ３の上端の突起Ｒ３１の上に右側面カバーＲ２が重なり、右側面カバーＲ２の上端の突起Ｒ２１の上に右側面カバーＲ１が重なっている。

図示されていないが、左側面カバーＬ１からＬ４の組み合わせに関しても右側面カバーと同様に、左側面カバーＬ４の上端の突起の上に左側面カバーＬ３が重なり、左側面カバーＬ３の上端の突起の上に左側面カバーＬ２が重なり、左側面カバーＬ２の上端の突起の上に左側面カバーＬ１が重なる。

＜ＣＺ軸駆動部２６の内部構成＞
図１１は、ＣＺ軸駆動部２６の内部構成を示した概略斜視図である。すなわち、図９で示したＣＺ軸駆動部２６から前面カバーＦ１からＦ５、右側面カバーＲ１からＲ４および左側面カバーＬ１からＬ４を取り外した状態である。

ＣＺ軸駆動部２６は、ＣＺ軸駆動部２６に対向した面に対して左側にある左リニアガイド２６１と右側にある右リニアガイド２６２との２本のリニアガイドを有している。これらのリニアガイドにはそれぞれ２個ずつのベアリングが取り付けられている。左リニアガイド２６１には、上部ベアリングＡ１と、上部ベアリングＡ１の下方にある下部ベアリングＡ２とが取り付けられている。右リニアガイド２６２には、上部ベアリングＡ３と、上部ベアリングＡ３の下方にある下部ベアリングＡ４とが取り付けられている。ベアリングＡ１及びＡ２はリニアガイド２６１に、上部ベアリングＡ３及び下部ベアリングＡ４はリニアガイド２６２に沿って移動することができる。ボールねじ２６３はＣＺ軸駆動部２６の中央付近に配置され、長軸を中心に不図示のモーターによって回転することによってナットＢ１を上下に移動させることができる。ナットＢ１はケース保持部２３と繋がっており、ナットＢ１を上下方向に移動させることによってケース保持部２３を上下に移動させることができる。

一対の上部ベアリングＡ１及びＡ３は上側（＋Ｚ軸側）にグリスニップルＧＮを有している。また一対の下部ベアリングＡ２及びＡ４は下側（−Ｚ軸側）にグリスニップルＧＮを有している。また、ナットＢ１はその側面にグリスニップルＧＮを有している。摺動を良くするため、メンテナンス時にこれらのグリスニップルＧＮを介してグリスが供給される。

図１２（ａ）は、ケース保持部２３の概略斜視図である。ケース保持部２３はＣＸ軸駆動部２３１を有している。ＣＸ軸駆動部２３１の上面にはカバー２３２が取り付けてあり、ＣＸ軸駆動部２３１の内部に備え付けられているボールねじやリニアガイド等から発生する塵等をカバーしている。ＣＸ軸駆動部２３１は、マスクケース２８に連結してマスクケース２８をマスクバッファー２１に出し入れするため連結部２３３を有している。

図１２（ｂ）は、ＣＸ軸駆動部２３１内部の概略平面図である。ＣＸ軸駆動部２３１は、ボールねじ２３６と、ボールねじ２３６の両側に配置された２本のリニアガイド２３４及び２３５とを有している。リニアガイド２３４にはベアリングＣ１が、リニアガイド２３５にはベアリングＣ２が、ボールねじ２３６にはナットＤ１が備え付けられている。ベアリングＣ１とＣ２とナットＤ１とは連結部２３３に接続されている。

ベアリングＣ１及びＣ２はグリスニップルＧＮを有している。また、ナットＤ１もグリスニップルＧＮを有している。摺動を良くするため、メンテナンス時にこれらのグリスニップルＧＮを介してグリスが供給される。

（マスクケース搬送装置２９のメンテナンス作業）
次に、図１３から図１９に示すフローチャートを参照し、マスクローダー１２のメンテナンス作業工程を第１工程から第５工程に分けて説明する。

＜第１工程＞
図１３および図１４は、マスクケース搬送装置２９のメンテナンスの第１工程を示したフローチャートである。また、理解を助けるためマスクケース搬送装置２９の概略側面図を図１５に示す。図１５（ａ）は、ケース保持部２３が最上段の前面カバーＦ４に対応する高さに位置した状態で、図１５（ｂ）は、ケース保持部２３が最下段の前面カバーＦ２に対応する高さに位置した状態である。

図１３のステップＳ１０１において、作業者は、駆動系を使用する処理（露光処理、初期化など）が行われていないことを確認し、露光装置１００から全てのマスクＭＫとプレートを回収する。

ステップＳ１０２において、作業者は、制御部１４においてメンテナンス・ソフトウエアを起動してメンテナンスコマンドを実行し、図１５（ａ）に示すようにケース保持部２３をＣＺ軸駆動部２６の最上端の位置に移動させる。

ステップＳ１０３において、作業者は、マスクケース搬送装置２９の駆動系のブレーカーを落としてロックする。つまりメンテナンス中は作業者の安全のためにマスクケース搬送装置２９の電源を落とす。

ステップＳ１０４において、作業者は、ロックアウト（制御出力をＯＦＦ状態のまま保持している状態）にしたブレーカーの近くに、マスクケース搬送装置２９がメンテナンス中であることを示すタグを掲示する。

ステップＳ１０５において、作業者は、チャンバー１５の装置正面に位置するマスクローダー正面扉（ＭＬ正面扉）を開けてチャンバー１５内に入る。ＭＬ正面扉は開けたままにしておく。ＭＬ正面扉が開けられていると、マスクケース搬送装置２９を動作させないインターロックがかかり、二重に安全対策を施すためである。

作業者は、ＣＺ軸駆動部２６の左側面カバーＬ１からＬ４及び右側面カバーＲ１からＲ４をＣＺ軸駆動部２６の上部にあるカバーから順番に取り外す。左側面カバーＬ１からＬ４及び右側面カバーＲ１からＲ４は入れ子構造をしているため、側面カバーは、側面カバーの最外面に位置することになる左側面カバーＬ１及び右側面カバーＲ１より下方に順番に取り外される。

ステップＳ１０６において、作業者は、ＣＺ軸駆動部２６の前面カバーＦ１または前面カバーＦ２のいずれか一方を取り外し、引き続き他方を取り外す。前面カバーＦ１からＦ５は入れ子構造になっているため、ＣＺ軸駆動部２６の最外面（リニアガイドまたはボールねじなどの駆動機構の反対側）に位置している前面カバーＦ１及び前面カバーＦ２を最初に取り外す。

ステップＳ１０７において、作業者は、取り外されていない前面カバーＦ３を取り外す。これによってリニアガイド２６１、リニアガイド２６２およびボールねじ２６３（図１１参照）の下側が現れる。
ステップＳ１０８において、作業者は、前面カバーＦ１からＦ３までが取り外された範囲で、ＣＺ軸駆動部２６のリニアガイド２６１、リニアガイド２６２およびボールねじ２６３の汚れた古いグリスをクリーニング布で軽く拭きとる。

ステップＳ１０９において、作業者は、リニアガイド２６１のベアリングＡ２とリニアガイド２６２のベアリングＡ４とがそれぞれ有するグリスニップルＧＮ（図１１参照）に、グリスガンでグリスを注油する。グリスの注油量は、リニアガイド２６１，２６２とベアリングＡ２，Ａ４の隙間からグリスがはみ出す程度の注油量が目安である。

図１４のステップＳ１１１において、作業者は、ケース保持部２３の駆動範囲から工具及び外したカバーを取り除く。

ステップＳ１１２において、作業者は、マスクケース搬送装置２９を動作させないインターロックを復帰させるインターロック復帰スイッチ（不図示）を押してインターロックを解除し、ＭＬ正面扉を閉める。

ステップＳ１１３において、作業者は、マスクケース搬送装置２９の駆動系のブレーカーのロックを外してブレーカーをオンにする。

ステップＳ１１４において、作業者は、露光装置１００内で初期化が必要なユニットを初期化コマンドによって初期化する。

ステップＳ１１５において、作業者は、図１５（ｂ）に示すように、ケース保持部２３をＣＺ軸駆動部２６の下端の位置に移動させる。
ステップＳ１１６において、作業者は、マスクケース搬送装置２９の駆動系のブレーカーを落としてロックする。

ステップＳ１１７において、作業者は、ＭＬ正面扉を開け開けたままにする。ＭＬ正面扉が開けられていると、マスクケース搬送装置２９にインターロックがかかった状態となる。すでにステップＳ１０６およびＳ１０７で前面カバーＦ１〜Ｆ３が取り外されている。図１５（ｂ）中で、これら前面カバーＦ１〜Ｆ３が点線で示されている。作業者は、ＣＺ軸駆動部２６の前面カバーＦ４を外した後に前面カバーＦ５を外す。またケース保持部２３のＣＸ軸駆動部の上面カバー２３２を外す。前面カバーＦ４を先に外すのは、前面カバーＦ４が前面カバーＦ５の外側に配置されているためである。

ステップＳ１１８において、作業者は、ＣＺ軸駆動部２６のリニアガイド２６１と、リニアガイド２６２と、ボールねじ２６３との上側の拭き残している部分の汚れた古いグリスを、クリーニング布で軽く拭きとる。

ステップＳ１１９において、作業者は、リニアガイド２６１のベアリングＡ１とリニアガイド２６２のベアリングＡ３とがそれぞれ有するグリスニップルＧＮ（図１１参照）に、グリスガンでグリスを注油する。

ステップＳ１２０に、作業者は、ＣＺ軸駆動部２６の背面にあるボールねじ注油口パネルを取り外し、ボールねじ２６３のナットＢ１のグリスニップルＧＮにグリスガンでグリスを注油する。

マスクＭＫの大型化に伴い、ＣＺ軸駆動部２６も大型化している。このためＣＺ軸駆動部２６の駆動機構をカバーする前面カバーの枚数も多くなっている。ケース保持部２３があるために前面カバーの枚数を取り外すことは難い。また、作業者の安全確保のため作業者がチャンバー１５の外側にいる際に、ケース保持部２３の駆動をしなければならない。上記フローチャートに示された工程によって、メンテナンス作業を効率よく行うことができる。

なお、前面カバーＦ１からＦ３の取り外し作業と、前面カバーＦ４およびＦ５の取り外し作業とを入れ替えて、前面カバーＦ４およびＦ５の取り外し作業を前面カバーＦ１からＦ３の取り外し作業の先に行ってもよい。

＜第２工程＞
図１６は、マスクケース搬送装置２９のメンテナンスの第２工程を示したフローチャートである。この第２工程は、ＣＸ軸駆動部２３１後端部付近の清掃と注油との工程である。

ステップＳ１３１において、作業者は、ケース保持部２３のＣＸ軸駆動部２３１が有するボールねじ２３６とリニアガイド２３４とリニアガイド２３５との先端から可能な部分について、汚れた古いグリスをクリーニング布で軽く拭きとる。

ステップＳ１３２において、作業者は、工具及び外したカバーをケース保持部２３の駆動範囲から取り除く。
ステップＳ１３３において、作業者は、インターロック復帰スイッチを押してインターロックを解除し、ＭＬ正面扉を閉める。

ステップＳ１３４において、作業者は、マスクケース搬送装置２９の駆動系のブレーカーのロックを外してブレーカーをオンにする。
ステップＳ１３５において、作業者は、露光装置１００内で初期化が必要なユニットを初期化コマンドによって初期化する。

ステップＳ１３６において、作業者は、ＣＸ軸駆動部２３１の連結部２３３（図１２参照）をケース保持部２３の先端に移動させる。
ステップＳ１３７において、作業者は、マスクケース搬送装置２９の駆動系のブレーカーを落としてロックする。

ステップＳ１３８において、作業者は、ＭＬ正面扉を開け開けたままにする。ＭＬ正面扉が開けられていると、マスクケース搬送装置２９にインターロックがかかった状態となる。ＣＸ軸駆動部２３１が有するボールねじ２３６とリニアガイド２３４とリニアガイド２３５との後端側の拭き残した部分について、汚れた古いグリスをクリーニング布で軽く拭きとる。

ステップＳ１３９において、作業者は、ボールねじ２３６のナットＤ１が有するグリスニップルＧＮ（図１２参照）と、リニアガイド２３４のベアリングＣ１のグリスニップルＧＮ、リニアガイド２３５のベアリングＣ２のグリスニップルＧＮとに、グリスガンでグリスを注油する。

＜第３工程＞
図１７は、マスクケース搬送装置２９のメンテナンスの第３工程を示したフローチャートである。この第３工程は、グリス慣らし動作の工程である。

ステップＳ１４１において、作業者は、工具および外したカバーをケース保持部２３の駆動範囲から取り除く。
ステップＳ１４２において、作業者は、インターロック復帰スイッチを押してインターロックを解除し、ＭＬ正面扉を閉める。

ステップＳ１４３において、作業者は、マスクケース搬送装置２９の駆動系のブレーカーのロックを外してブレーカーをオンにする。
ステップＳ１４４において、作業者は、露光装置１００内で初期化が必要なユニットを初期化コマンドによって初期化する。

ステップＳ１４５において、作業者は、ケース保持部２３とＣＸ軸駆動部２３１の連結部２３３とに往復運動を実行させる。往復運動は、ケース保持部２３とＣＸ軸駆動部２３１の連結部２３３との各ユニットについてたとえば３往復行われる。この往復運動により、ＣＺ軸駆動部２６とＣＸ軸駆動部２３１とに注油したグリスを慣らすことができる。

ステップＳ１４６において、作業者は、ケース保持部２３を最下部に、ＣＸ軸駆動部２３１の連結部２３３をケース保持部２３の後端部に置く。

ステップＳ１４７において、作業者は、マスクケース搬送装置２９の駆動系のブレーカーを落としてロックする。

＜第４工程＞
図１８は、マスクケース搬送装置２９のメンテナンスの第４工程を示したフローチャートである。この第４工程は、ケース保持部２３が最下部（図１５（ｂ）参照）に置かれている状態での、ＣＺ軸駆動部２６のカバー取り付け工程である。

ステップＳ１５１において、作業者は、ＭＬ正面扉を開けてチャンバー１５内に入る。作業者はＣＸ軸駆動部２３１とＣＺ軸駆動部２６におけるリニアガイドとボールねじの注油状態とを確認し、ボールねじのナットおよびリニアガイドのベアリングについた余分なグリスをクリーニング布で拭き取る。

ステップＳ１５２において、作業者は、ケース保持部２３のＣＸ軸駆動部２３１の上面カバー２３２を取り付ける。
ステップＳ１５３において、作業者は、ＣＺ軸駆動部２６の前面カバーＦ５を取り付け、その後に前面カバーＦ４を取り付ける。

ステップＳ１５４において、作業者は、工具および外したカバーをケース保持部２３の駆動範囲から取り除く。
ステップＳ１５５において、作業者は、インターロック復帰スイッチを押してインターロックを解除し、ＭＬ正面扉を閉める。

ステップＳ１５６において、作業者は、マスクケース搬送装置２９の駆動系のブレーカーのロックを外してブレーカーをオンにする。
ステップＳ１５７において、作業者は、露光装置１００内で初期化が必要なユニットを初期化コマンドによって初期化する。

ステップＳ１５８において、作業者は、ケース保持部２３をＣＺ軸駆動部２６の最上部に移動させる。
ステップＳ１５９において、作業者は、マスクケース搬送装置２９の駆動系のブレーカーを落としてロックする。

＜第５工程＞
図１９は、マスクケース搬送装置２９のメンテナンスの第５工程を示したフローチャートである。この第５工程は、ケース保持部２３が最上部（図１５（ａ）を参照）に置かれている状態での、ＣＺ軸駆動部２６のカバー取り付け工程である。

ステップＳ１６１において、作業者は、ＭＬ正面扉を開けて再びチャンバー１５内に入る。ＣＺ軸駆動部２６の左側面カバーＬ１からＬ４と右側面カバーＲ１からＲ４とを、ＣＺ軸駆動部２６の最下部にあるカバーである左側面カバーＬ４及び右側面カバーＲ４より、上に向かって順番に取り付ける。

ステップＳ１６２において、作業者は、前面カバーＦ３を取り付ける。
ステップＳ１６３において、作業者は、前面カバーＦ１とＦ２のどちらか一方を取り付け、その後他方を取り付ける。

ステップＳ１６４において、作業者は、工具類をチャンバー１５の外に運び出す。
ステップＳ１６５において、作業者は、インターロック復帰スイッチを押してインターロックを解除し、ＭＬ正面扉を閉める。

ステップＳ１６６において、作業者は、駆動系のブレーカーをオンにする。
ステップＳ１６７において、作業者は、ステップＳ１０４で掲示したメンテナンス中であることを示すタグを全て取り外す。
ステップＳ１６８において、作業者は、露光装置１００内で初期化が必要なユニットを初期化コマンドによって初期化する。

なお、上記実施形態では、ステップＳ１０８、ステップＳ１０９、ステップＳ１１８およびステップＳ１１９において、ＣＺ軸駆動部２６の清掃及びグリスの注油の作業が行われた。またステップＳ１３１、ステップＳ１３８およびステップＳ１３９において、ＣＸ軸駆動部２３１の清掃及びグリスの注油の作業が行われた。しかし、清掃及びグリスの注油だけでなく、ＣＺ軸駆動部２６やＣＸ軸駆動部２３１等の点検、調整、部品交換、消耗品の補充のうち少なくとも１つの作業は随時行われる。

＜液晶デバイスの製造方法＞
次に、本発明にかかる露光装置１００を用いた液晶表示装置等の液晶デバイスの製造方法について説明する。図２０は、液晶デバイスの製造工程を示すフローチャートである。液晶デバイスの製造工程は、パターン形成工程（ステップＳ２０１）と、カラーフィルタ形成工程（ステップＳ２０２）と、セル組み立て工程（ステップＳ２０３）と、モジュール組み立て工程（ステップＳ２０４）とを含み、これらの工程が順次行われる。

ステップＳ２０１のパターン形成工程では、感光基板としてフォトレジストが塗布されたプレート（ガラス基板）上に、本実施形態にかかる露光装置１００を用いて回路パターン及び電極パターン等の所定のパターンを形成する。このパターン形成工程には、本発明にかかる露光装置１００を用いてフォトレジスト層に、マスクに設けられたパターンの投影像を転写する露光工程と、パターンの投影像が転写された感光基板の現像、つまりガラス基板上のフォトレジスト層の現像を行い、パターンの投影像に対応する形状のフォトレジスト層を形成する現像工程と、この現像されたフォトレジスト層を介してガラス基板を加工する加工工程とが含まれている。

ステップＳ２０２のカラーフィルタ形成工程では、Ｒｅｄ（Ｒ）、Ｇｒｅｅｎ（Ｇ）、Ｂｌｕｅ（Ｂ）に対応する３つのドットの組をマトリクス状に多数配列するか、またはＲ、Ｇ、Ｂの３本のストライプのフィルタの組を水平走査方向に複数配列したカラーフィルタを形成する。

ステップＳ２０３のセル組み立て工程では、ステップＳ１０１によって所定のパターンが形成されたガラス基板と、ステップＳ１０２によって形成されたカラーフィルタとを用いて液晶パネル（液晶セル）を組み立てる。具体的には、例えばガラス基板とカラーフィルタとの間に液晶を注入することで液晶パネルを形成する。

ステップＳ２０４のモジュール組み立て工程では、ステップＳ５４によって組み立てられた液晶パネルに対し、この液晶パネルの表示動作を行わせる電気回路およびバックライト等の各種部品を取り付ける。

以上実施形態に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。例えば、種々の変更、置換、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。たとえば、上記実施形態では、作業者が搬送装置のカバーの取り付け及び取り外しを行ったが、ロボットやモーター等を使用した人力以外の手段によって行うこともできる。

１１ 本体部
１２ マスクローダー、 １３ プレートローダー
１４ 制御部、 １５ チャンバー
２１ マスクバッファー、 ２２ ペリクル異物検査部（ＰＰＤ）
２３ ケース保持部、 ２４ マスク置き台
２４ａ ロード置き台、 ２４ｂ アンロード置き台
２５ 交換ハンド、 ２６ ＣＺ軸駆動部
２７ マスク台車、 ２８ マスクケース
２９ マスクケース搬送装置
３０ マスクステージ
１００ 露光装置
２２１ ＰＰＤアーム
２２２ 足場
２２３ ＰＰＤ上部、 ２２４ ＰＰＤマスク載置面
２３１ ＣＸ軸駆動部、 ２３２ ＣＸ軸駆動部カバー
２３３ 連結部、 ２３４、２３５ ＣＸ軸駆動部のリニアガイド
２３６ ＣＸ軸駆動部のボールねじ
２５１ 爪
２６１、２６２ ＣＺ軸駆動部２６のリニアガイド
２６３ ＣＺ軸駆動部２６のボールねじ
Ａ１〜Ａ４ ＣＺ軸駆動部２６のベアリング
Ｂ１ ＣＺ軸駆動部のナット
Ｃ１、Ｃ２ ＣＸ軸駆動部のベアリング
Ｄ１ ＣＸ軸駆動部のナット
Ｆ１〜Ｆ５ 前面カバー
Ｆ３１ Ｆ３の上部の突起
Ｆ３２ Ｆ３の下部の突起
Ｆ５１ Ｆ５の上部の突起
Ｆ５２ Ｆ５の下部の突起
Ｌ１〜Ｌ４ 左側面カバー
ＭＫ マスク
Ｒ１〜Ｒ４ 右側面カバー
Ｒ２１ Ｒ２の上部の突起
Ｒ３１ Ｒ３の上部の突起
Ｒ４１ Ｒ４の上部の突起

Claims (17)

1. マスクを収容するケースを保持するケース保持部と、該ケース保持部に対向する前面側に上下５段に設けられた複数のカバー部材によってカバーされた駆動機構により前記ケース保持部を昇降移動させる駆動部と、を備える搬送装置のメンテナンス方法であって、
   前記駆動部によって前記ケース保持部を上下方向の第１位置に配置する工程と、
   最上段、最下段および中央段に設けられた複数の前記カバー部材のうち、前記第１位置に配置された前記ケース保持部と異なる高さに位置するカバー部材を取り外す第１取り外し工程と、
   前記第１取り外し工程によって取り外されていない複数の前記カバー部材のうち、前記第１位置に配置された前記ケース保持部と異なる高さに位置するカバー部材を取り外す第２取り外し工程と、
   を含むメンテナンス方法。
2. 前記第１位置は、中央段より高い位置である請求項１に記載のメンテナンス方法。
3. 前記駆動部によって前記ケース保持部を前記第１位置と異なる第２位置に配置する工程と、
   最上段、最下段および中央段に設けられた複数の前記カバー部材のうち、前記第２位置に配置された前記ケース保持部と異なる高さに位置するカバー部材を取り外す第３取り外し工程と、
   前記第３取り外し工程後によって取り外されていない複数の前記カバー部材のうち、前記第２位置に配置された前記ケース保持部と異なる高さに位置するカバー部材を取り外す第４取り外し工程と、
   を含む請求項１または請求項２に記載のメンテナンス方法。
4. 前記第２位置は、前記第１及び第２取り外し工程によって取り外されない前記カバー部材よりも低い位置である請求項３に記載のメンテナンス方法。
5. 前記第１位置は、中央段より高い位置であり、
   前記第１取り外し工程は、中央段および最下段に設けられた複数の前記カバー部材を取り外す工程を含み、
   前記第２位置は、中央段より低い位置であり、
   前記第３取り外し工程は、最上段に設けられた前記カバー部材を取り外す工程を含む、請求項３または請求項４に記載のメンテナンス方法。
6. 最上段、最下段および中央段以外に設けられた複数の前記カバー部材のうち、前記第２位置に配置された前記ケース保持部と異なる高さに位置する前記カバー部材を取り付ける第１取り付け工程と、
   前記第１取り付け工程によって取り付けられていない複数の前記カバー部材のうち、前記第２位置に配置された前記ケース保持部と異なる高さに位置する前記カバー部材を取り付ける第２取り付け工程と、
   を含む請求項３から請求項５のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
7. 前記駆動部によって前記ケース保持部を前記第１位置に配置する工程と、
   最上段、最下段および中央段以外に設けられた複数の前記カバー部材のうち、前記第１位置に配置された前記ケース保持部と異なる高さに位置するカバー部材を取り付ける第３取り付け工程と、
   前記第３取り付け工程によって取り付けられていない複数の前記カバー部材のうち、前記第１位置に配置された前記ケース保持部と異なる高さに位置するカバー部材を取り付ける第４取り付け工程と、
   を含む請求項６に記載のメンテナンス方法。
8. 前記第１取り付け工程は、最上段と中央段との間に設けられた前記カバー部材を取り付ける工程を含み、
   前記第３取り付け工程は、中央段と最下段との間に設けられた前記カバー部材を取り付けることを含む、請求項７に記載のメンテナンス方法。
9. 上下に隣接した前記カバー部材の境界部同士が入れ子状に前後に組み合わされている請求項１から請求項８のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
10. 最上段と中央段との間に配置された前記カバー部材および最下段と中央段との間に配置された前記カバー部材は、最上段、最下段および中央段の前記カバー部材に対して、それらの境界部同士が入れ子状に組み合わされており、最上段、最下段および中央段の前記カバー部材の境界部は、最上段、最下段および中央段以外の前記カバー部材に対して前記駆動機構とは反対側に配置されている請求項１から請求項９のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
11. 前記駆動機構は、前記カバー部材に対して左側にある左側面及び右側にある右側面に上下４段に設けられた複数の側面カバー部材によってカバーされており、
    複数の前記側面カバー部材を取り外す第５取り外し工程、
    を含む請求項１から請求項１０のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
12. 前記第５取り外し工程は、最上段に設けられている前記側面カバー部材から最下段に設けられている前記側面カバー部材まで順次を取り外す請求項１１に記載のメンテナンス方法。
13. 上下に隣接した前記側面カバー部材の境界部同士が入れ子状に前後に組み合わされている請求項１１または請求項１２に記載のメンテナンス方法。
14. 複数の前記カバー部材が取り外された前記駆動部の点検、調整、清掃、部品交換および消耗品の補充のうち少なくとも１つを含むメンテナンスを行うメンテナンス工程を含む請求項１から請求項１３のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
15. 前記駆動機構は、前記ケース保持部の昇降のガイドとなるリニアガイドと、そのリニアガイドに取り付けられ前記ケース保持部を保持する一対の上部ベアリングとその一対の上部ベアリングの下方に取り付けられた一対の下部ベアリングと、を含み、
    前記ケース保持部が前記第１位置に配置された状態で、前記一対の上部ベアリングにグリスを注油する工程と、
    前記ケース保持部が前記第２位置に配置された状態で、前記一対の下部ベアリングにグリスを注油する工程と、
    を含む請求項３または請求項５に記載のメンテナンス方法。
16. 前記駆動機構は、前記ケース保持部を昇降移動させるボールねじと、前記ボールねじの外周に取り付けられたナットと、を含み、
    前記ケース保持部が前記第２位置に配置された状態で、前記ナットにグリスを注油する工程を含む請求項３、請求項５または請求項１５に記載のメンテナンス方法。
17. 請求項１から請求項１６のうちいずれか一項に記載のメンテナンス方法を用いてメンテナンスされた搬送装置によってマスクを搬送し、該マスクを用いて露光を行うことを含むデバイス製造方法。