JPH06317514A - 物品熱処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 従来装置に比べると、コンパクトに構成して
装置設置面積を節約でき、物品処理槽内の雰囲気の温度
乱れが抑制され、また、無酸化雰囲気等要求される雰囲
気を作り出しやすく、それだけ目的とする物品熱処理を
精度よく実施でき、塵埃による汚染が少なく、塵埃を嫌
う物品の熱処理にも適用できる物品熱処理装置を提供す
る。 【構成】 気体供給循環部１５により物品処理空間１４
に所定温度気体を供給循環させる物品処理槽１の該空間
１４に被処理物Ｓ又は被処理物を装填した補助支持具を
装脱できる物品支持体２を配置し、該支持体２を物品処
理槽１の下方に配置した昇降駆動装置３で昇降させ、支
持体２に上下複数段に設けられた物品支持部２０のうち
処理槽１の物品通口１０１、１０２に臨む位置の物品支
持部２０に対し被処理物Ｓ又は補助支持具を装填、取出
しする物品熱処理装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、各種電気、電子装置、
その部品、各種材料等を所定の温度にさらしてその耐熱
性、耐寒性等を試験したり、所望の加熱処理を加える等
の物品熱処理を行う装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来知られている代表的な物品熱処理装
置を例示すると、図１１に示すとおりである。図１１の
（Ａ）図に示す従来装置は、所定温度雰囲気を得る処理
槽Ｈの中にチエーンコンベアのようなコンベアＣ１を循
環させ、このコンベアに物品Ａを載せて処理雰囲気中を
通過させるものである。

【０００３】（Ｂ）図に示す従来装置は、処理槽Ｈ内に
ローラコンベアＣ２を配置し、このコンベアに物品Ｂを
載せて処理雰囲気中に通過させるものである。 （Ｃ）図に示す従来装置は、処理槽Ｈ中にベッドｂを配
置するとともに、このベッド上面より下降したり、該ベ
ッド面より上方に突出することができる物品搬送ビーム
ａを配置し、該ビームａを側方から見て矩形軌道を描く
ように回動させることにより、ベッドｂ上に配置した物
品Ｃを間欠的に前進させ、処理雰囲気中に通過させるも
のである。また、これに類似する装置として、ベッドｂ
をホットプレートとし、このホットプレートで物品Ｃを
熱処理するものも知られている。

【０００４】このほか、実公平３−２８４０号公報に開
示された搬送装置を用いた熱処理装置もある。この装置
では、図１２にその原理を示すように、恒温槽の中に配
置した物品挾持案内用のレールＲと、このレールと平行
で軸線方向に移動可能且つ円周方向に回動可能のシャフ
トＳと、シャフトＳにその半径方向に突設した突出片Ｐ
とを含み、レールＲに挾持案内される物品Ｔにシャフト
Ｓの回動にて突出片Ｐを臨ませ、その状態でシャフトＳ
を軸方向に移動させることで物品Ｔを所定距離送り、そ
のあとシャフトＳを戻し回動させて突出片Ｐを物品Ｔの
下に配置し、シャフトＳを初期位置へ後退させて次の搬
送に備える。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来装置によると、いずれの場合も、物品が水平方向に搬
送されるため、多量の物品を所定時間、処理温度にさら
すためには処理槽を水平方向に長く形成しなければなら
ず、その結果、熱処理装置の設置面積が大きくなるとい
う問題がある。

【０００６】また、このように処理槽が水平に長く、低
く形成されるため、処理槽内の高さに比べ、物品の搬入
搬出口寸法の割合が大きくなり、その結果、搬入搬出口
から槽外へ処理気体が漏出したり、逆に外気が槽内へ侵
入したりし易く、そのため、処理槽内の温度乱れが大き
くなって物品を均一に加熱できなくなるなど、要求され
る熱処理を精度よく実施できなくなって処理装置の信頼
性が低下したり、槽内を無酸化雰囲気等にすることが要
求される場合でもその雰囲気を作り出し難いという問題
がある。

【０００７】さらに、処理槽内から処理槽雰囲気が漏出
したり、処理槽内へ外気が侵入し易いことや、物品処理
量に比べて処理槽内容積が大きくなることから、物品処
理量に比べ、処理槽に付設される送風機、加熱器等の容
量、場合によっては要求される排気装置の容量が大きく
なり、初期設置費用、その後のランニングコストが高く
つくという問題がある。

【０００８】また、実公平３−２８４０号公報記載の装
置では、物品搬送時に物品Ｔと案内レールＲ間等におけ
る摺動のため発塵し易く、塵埃付着を嫌う物品、例えば
液晶ディスプレイ等、各種薄膜デバイスの製造途中にお
ける各種部品の処理に供し難いという問題もある。図１
１に示す各従来装置においても、コンベア等の可動部分
から発塵し易いため同様な問題があり、図１１の（Ｃ）
図の装置においてベッドｂをホットプレートとするとき
には、例えば被処理物の塗料膜乾燥処理において塗料が
プレートに付着し、これが塵埃発生の原因となり、その
清掃に手間を要するという問題がある。

【０００９】そこで本発明は、従来装置に比べると、
コンパクトに構成して装置設置面積を節約でき、物品
処理槽内の雰囲気の温度の乱れが抑制され、また、無酸
化雰囲気等要求される雰囲気を作り出しやすく、それだ
け目的とする物品熱処理を精度よく実施でき、塵埃に
よる汚染が少なく、塵埃を嫌う物品の熱処理にも適用で
き、装置の初期設置費用、その後のランニングコスト
を低く抑えることができる物品熱処理装置を提供するこ
とを課題とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決する本発
明の物品熱処理装置は、物品処理空間を有し、該空間に
所定温度気体を供給循環させる気体供給循環手段が付設
され、少なくとも一側部に前記空間への物品の搬入、搬
出のための物品通口を有する物品処理槽と、前記物品処
理空間に配置され、被処理物又は被処理物を装填した補
助支持具を装脱できる物品支持部を上下に所定間隔で複
数段有する物品支持体と、前記物品処理槽の下方に配置
され、該処理槽壁を昇降可能に貫通する連結部材にて前
記物品支持体に連結され、該連結部材を介して該物品支
持体を昇降させて前記各物品支持部を前記物品通口に順
次臨ませるための昇降駆動手段と、前記物品通口を経て
前記物品支持体の物品支持部に対し被処理物又は補助支
持具を装填、取出しする物品搬入及び搬出のための手段
とを備えたことを特徴とする。

【００１１】前記物品支持体における各物品支持部とし
ては、一つには、被処理物又は補助支持具を受け支える
受け部材片を有し、該各受け部材片が、それに支持され
る被処理物に対する熱処理気体の流れ方向に沿って、小
空気抵抗の流線形状に形成されているものを例示でき
る。この場合、ここに言う「流線形状」とは、熱処理気
体が流れてくる方向に長く、それに直角な方向の幅が十
分小さい形状、或いはさらに、熱処理気体の流れ方向に
おいて、少なくとも上流側端部が空気抵抗が少ないよう
に丸められていたり、凸部に形成されていたりする形状
等であって、被処理物に対する熱処理気体の流れ（層
流）をできるだけ乱さない形状を意味する。

【００１２】また、前記各受け部材片には、被処理物を
点状に受け支える凸部を形成しておいてもよい。また、
前記補助支持具として、被処理物が板状体であるよう
な場合にこれを載置するパレットのようなものの他、
被処理物を受け支えることができ、下面側から前記物品
処理空間の熱処理気体により加熱されて蓄熱する蓄熱プ
レート（熱容量の大きいプレート）、及び該プレートを
覆い、被処理物の出入口を有するプレートカバーを備え
ているものや、被処理物下面の大部分を前記物品処理
空間の熱処理気体に露出させることができる受け部材及
び該受け部材を覆い、被処理物の出入口を有するカバー
を備えているもの等を例示することができる。

【００１３】また、前記物品支持体における各物品支持
部として、今述べたような補助支持具構成相当のものを
採用してもよい。すなわち、物品支持部自体が、被処
理物を受け支えることができ、下面側から前記物品処理
空間の熱処理気体により加熱されて蓄熱する蓄熱プレー
ト、及び該プレートを覆い、被処理物の出入口を有する
プレートカバーを備えているものや、被処理物下面の
大部分を前記物品処理空間の熱処理気体に露出させるこ
とができる受け部材及び該受け部材を覆い、被処理物の
出入口を有するカバーを備えているものである。

【００１４】この場合、前記カバー内に前記物品処理槽
外から所定のガス（例えば乾燥空気、乾燥窒素ガス等）
を導入するためのガス導入手段を設けてもよい。なお、
前記物品処理槽に設けられる被処理物の搬入、搬出のた
めの物品通口は、物品の搬入及び搬出の双方を兼ねる物
品通口であってもよいし、物品搬入専用の物品通口、物
品搬出専用の物品通口をそれぞれ設けてもよい。また、
該物品通口を経て前記物品支持体の物品支持部に対し被
処理物又は補助支持具を装填、取出しする物品搬入及び
搬出のための手段は、例えば、前記物品通口が物品の搬
入及び搬出の双方を兼ねる物品通口であるときには、物
品の搬入操作及び搬出操作の双方を兼ねる手段であって
もよいし、物品通口が物品搬入用及び物品搬出用にそれ
ぞれ設けられているときは、それら物品通口に対し物品
搬入専用の手段及び物品搬出専用の手段を設けてもよ
い。

【００１５】

【作用】本発明の物品熱処理装置によると、例えば次の
ようにして被処理物を所定温度雰囲気に曝して所望の熱
処理を行える。すなわち、当初は、前記物品支持体を上
昇（又は下降）させて該支持体の最下段（又は最上段）
の物品支持部を物品通口に臨ませておくとともに、この
状態で気体供給循環手段にて物品処理空間に所定温度気
体を供給し循環させる。物品支持体の昇降はこれを昇降
させるための昇降駆動手段により行う。

【００１６】次に、物品搬入手段により被処理物又はこ
れを装填した補助支持具を物品通口から物品処理槽内へ
搬入し、それを物品支持体の最下段（又は最上段）の物
品支持部に支持させ、その後、該支持体を物品支持部１
段分下降（又は上昇）させ、次段の物品支持部に前記と
同様にして被処理物又は補助支持具を搬入する。このよ
うにして次々と物品支持体を１段分ずつ移動させて被処
理物又は補助支持具を搬入する。

【００１７】すべての物品支持部へ被処理物又は補助支
持具の搬入が完了すると、最初に搬入した被処理物はす
でに所定温度雰囲気に十分曝され、所定の熱処理が完了
しているので、ここで物品支持体を全段分一度に上昇又
は下降させ、最初に搬入した被処理物又は補助支持具を
物品搬出手段により物品処理槽外へ搬出し、この搬出に
よって空いた部分へ、物品搬入手段にて次の被処理物又
は補助支持具を搬入する。

【００１８】しかるのち、物品支持体を１段分下降（又
は上昇）させ、次段支持部上の被処理物又は補助支持具
の搬出と、その結果空いた部分への被処理物又は補助支
持具の搬入を行う。このように次々と物品支持体を１段
分ずつ下降（又は上昇）させ、被処理物又は補助支持具
の搬出と搬入を繰り返す。

【００１９】なお、当初の全段支持部への被処理物搬入
において、一番最後に搬入された被処理物は、全段搬入
終了後、物品支持体が当初位置まで上昇（又は下降）せ
しめられ、その後、１段分ずつ下降（又は上昇）する過
程で所望の熱処理が完了する。すなわち、一つ一つの被
処理物を見ると、物品支持体の全段支持部に被処理物が
搬入される時間、物品処理槽内に置かれ、所望の熱処理
が施されることになる。

【００２０】なお、被処理物を物品処理槽内で上下に移
動させることなく、搬入位置で所定時間熱処理し、その
後そのまま搬出することも可能である。前記物品支持体
における各物品支持部が、被処理物又は補助支持具を受
け支える受け部材片を有し、該各受け部材片が、それに
支持される被処理物に対する熱処理気体の流れ方向に沿
って、小空気抵抗の流線形状に形成されているときに
は、該受け部材片の空気抵抗がそれだけ少なく、従って
被処理物に対する熱処理気体の流れ（層流）の乱れの発
生が抑制され、それだけ被処理物の各部が均一に熱処理
されることになる。

【００２１】また、該受け部材片が被処理物を点状に受
け支える凸部を有するときには、例えば、該被処理物に
塗液が塗布してあってこれを乾燥する処理において被処
理物側面や下面に塗液垂れが発生しているような場合で
も、該塗液が受け部材片の広範囲に付着し、その後の清
掃が困難になったり、それが原因で発塵し易くなる等の
不都合が抑制される。

【００２２】また、前記補助支持具や物品支持体の物品
支持部自体が、被処理物を受け支えることができ、下
面側から前記物品処理空間の熱処理気体により加熱され
て蓄熱する蓄熱プレート、及び該プレートを覆い、被処
理物の出入口を有するプレートカバーを備えている場合
や、被処理物下面の大部分を前記物品処理空間の熱処
理気体に露出させることができる受け部材及び該受け部
材を覆い、被処理物の出入口を有するカバーを備えてい
る場合においては、例えば、被処理物の上面に塗液が塗
布してあり、この塗膜を乾燥処理する場合において、被
処理物はその塗膜を塗った上面とは反対側の下面側から
主として加熱されることになるので、塗液中の溶剤が塗
膜中に残存することなく円滑に放出され、気泡の無い優
れた乾燥塗膜が得られる。

【００２３】また、前記物品支持体における各物品支持
部がこのように形成されている場合において、前記カバ
ー内に前記物品処理槽外から乾燥空気や窒素ガス等を導
入するためのガス導入手段を設けてあるときには、例え
ば、乾燥空気や窒素ガスを導入することによって、熱処
理により被処理物から発してその上方に漂うことがある
ガスや粒子を排除することができ、窒素ガスを採用する
場合には、これとともに被処理物に接する雰囲気を無酸
化雰囲気とすることができる。

【００２４】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。図１から図７は本発明の１実施例を示し、図８及
び図９は本発明の他の実施例を、図１０は本発明のさら
に他の実施例を示している。図１は本発明の１実施例で
ある物品熱処理装置の要部の、側方からみた断面図、図
２は図１に示す装置の正面側から見た断面図である。図
３は図１及び図２に示す装置の平面図である。図４は物
品支持体の概略側面図、図５は図４に示す物品支持体の
上板を取り外した状態の概略平面図、図６は物品支持体
の詳細を一部省略して示す側面図、図７の（Ａ）図及び
（Ｂ）図は図６に示す物品支持体における物品受け部材
片及びそれに通された軸棒を示すもので、（Ａ）図は軸
棒部分を断面で示す平面図、（Ｂ）図は受け部材片を断
面で示す側面図である。また、図７の（Ｃ）図は（Ａ）
図及び（Ｂ）図に示す物品受け部材片の取付け状態及び
その動作状態を説明するための図である。

【００２５】この図１から図７に示される物品熱処理装
置は物品処理槽１を含んでいる。処理槽１は断熱壁に囲
まれており、その内部は、処理槽底壁１Ｂから立ち上が
るフィルタ１１、該フィルタ上端から正面側へ斜めに上
昇する上仕切板１２及び該仕切板上端から処理槽天井壁
１Ａまで立ち上がる通気板１３によって物品処理空間１
４及び気体供給循環部１５に区分けされている。

【００２６】フィルタ１１は気体供給循環部１５の構成
員であり、ヘパ（ＨＥＰＡ）フィルタと通称されている
高集塵性能のフィルタである。通気板１３は多数の通気
孔を備えている。フィルタ１１及び上仕切板１２の上方
空間には加熱ヒータ１６及び空気循環用ファン１７が配
置されており、ファン１７は処理槽１の背面に固定した
モータ１７１により回転駆動される。

【００２７】物品処理空間１４の正面側には断熱扉１８
が開閉可能に設けてあり、該扉１８の内側にはダクト１
８１を設けてある。ダクト１８１は物品処理空間１４及
び通気板１３に臨む多数の通気孔を有している。物品処
理空間１４には後ほど詳述する物品支持体２が配置され
ており、さらに、該支持体２の下端と処理槽１の底壁１
Ｂとの間にダクト１４１が配置されている。

【００２８】以上説明した気体供給循環部１５による
と、加熱ヒータ１６により所定温度に加熱された空気が
回転駆動されるファン１７に吸い込まれ、該ファン１７
からフィルタ１１の背後に吹き出され、該フィルタを通
ることで浄化されて物品処理空間１４に層流状態で流入
し、ここで物品支持体２上に支持された後述する被処理
物の熱処理に供されてのち、扉１８内側のダクト１８１
内へ流入し、さらにそこから通気板１３を通って気体供
給循環部１５に戻り循環する。

【００２９】また、フィルタ１１を通過した気体の一部
は物品処理空間１４底部のダクト１４１に流入し、物品
支持体２の正面側に流出してダクト１８１に流入する。
このダクト１４１は物品支持体２に支持される被処理物
を所定温度雰囲気に曝すための断熱部として作用し、ま
た、後述する昇降駆動装置３を物品支持体２に連結する
ロッド３５を予熱するとともに、昇降駆動装置３からの
発塵がたとえロッド３５の貫通部を通って処理層１内へ
侵入しても、これを速やかに扉ダクト１８１へ排除し、
空気循環の過程でフィルタ１１により除去する作用をな
す。

【００３０】物品支持体２についてはその詳細を後述す
るが、この支持体２は物品処理槽１の下方に設けた昇降
駆動装置３によって物品処理空間１４内を昇降せしめら
れる。昇降駆動装置３は側面から見るとコの字形の部材
３１、この部材３１に回転可能に支持されたねじ棒３
２、ねじ棒３２に螺合する雌ねじ部材３３、雌ねじ部材
３３が固定された水平部材３４、水平部材３４の四隅か
ら立ち上がる４本のロッド３５、サーボモータ３６、及
びサーボモータ３６とねじ棒３２とを連結するベルト伝
動装置３７を含んでいる。これら部品のうち部材３１及
びサーボモータ３６は図示しない部材を介して物品処理
槽１に支持されている。また、各ロッド３５は物品処理
槽１の底壁１Ｂに設けられたスライドベアリング３８を
昇降自在に貫通し、さらにダクト１４１（図１参照）を
貫通して物品支持体２の下板２１に連結されている。

【００３１】この昇降駆動装置３によるとモータ３６の
正転（逆転）運転によりねじ棒３２が正転（逆転）する
ことで該ねじ棒に螺合する雌ねじ部材３３が上昇（下
降）し、これに伴って該雌ねじ部材に連結されている水
平部材３４も上昇（下降）し、さらにこれに伴って４本
のロッド３５が上昇（下降）することで物品支持体２が
上昇（下降）する。

【００３２】このように昇降駆動装置３が物品処理槽１
の下方に配置されていることで装置全体がコンパクト化
されている。また、昇降駆動装置３はスライドベアリン
グ３８を昇降自在に貫通するロッド３５によってのみ物
品支持体２と連結されているので、昇降駆動装置３の部
分から発する塵埃が物品処理槽１に侵入することが十分
抑制されており、塵埃を嫌う被処理物の処理にも適して
いる。

【００３３】物品処理空間１４に供給、循環される気体
の温度はヒータ１６の制御により調節できるが、次の構
成によっても制御でき、同時に換気制御できるようにな
っている。すなわち、物品処理槽１の天井壁１Ａのうち
ヒータ１６より正面側の部分に通気孔１９１が形成され
ているとともに、該通気孔１９１に空気浄化フィルタ１
９２が被せられている。さらに、物品処理槽１の底壁１
Ｂのうち、気体供給循環部１５の底部にあたる部分には
通気孔１９３が形成されているとともに該通気孔の下方
にダクト１９４が連なり、これにダンパ１９５が設けら
れ、該ダンパはハンドル１９６により開度調節可能とな
っている。このダクト１９５の開度を適当に調節するこ
とにより外部気体がフィルタ１９２によって浄化されて
天井壁孔１９１から気体供給循環部１５に流入する一
方、気体供給循環部１５の気体の一部が処理槽底壁孔１
９３から処理槽外へ排出される。これによって物品処理
空間１４に供給される空気の換気量が調節可能となって
いる。

【００３４】また、図２に示すように、物品処理槽１の
一側壁１Ｃにはスリット状の物品通口１０１が形成され
ているとともに、反対側の側壁１Ｄには前記物品通口１
０１に対向する位置で物品通口１０２が形成されてい
る。このように上下に高く、内容積の大きい割には、物
品搬入搬出口として小さい物品通口１０１、１０２が設
けられているだけであるから、物品処理空間１４から外
部への処理気体の漏出や、外部からの外気の侵入が抑制
され、それだけ処理槽内雰囲気が所望の温度や状態（例
えば窒素ガス導入による無酸化雰囲気）に管理し易く、
従来より被処理物の各部を均一に熱処理できる等、熱処
理精度が向上する。

【００３５】また、処理槽１内から処理槽雰囲気が漏出
したり、処理槽内へ不要な外気が侵入することが抑制さ
れるので、気体供給循環部容量がそれだけ小さく済み、
初期設置費用、その後のランニングコストが安価に済
む。物品処理槽１の物品通口１０１の外側には物品搬入
装置４１が配置され、反対側の物品通口１０２の外側に
は物品搬出装置４２が配置されている。 これら装置４
１、４２は同一構造のものであるが、互いに向きを反対
にして配置してある。これら装置４１（４２）は基台４
０１に昇降可能に設けたロッド４０２の上端に水平ボッ
クス４０３を固定し、該ボックス４０３に該ボックスの
長手方向に沿って往復動可能の物品支持アーム４０４を
設けたものである。この装置は、それ自体すでに知られ
ているタイプのもので、基台４０１内に組み込んだ駆動
機構によりロッド４０２を昇降させることができるとと
もに回動させることができ、ボックス４０３に組み込ん
だ駆動機構により物品支持アーム４０４を前進後退させ
ることができるものである。

【００３６】図３に示すように、被処理物Ｓはアーム４
０４上に支持される。装置４１によると、図示しないコ
ンベアにより搬送されてアーム４０４上に載置された被
処理物Ｓは、アーム４０４の図２に示す矩形軌道を描く
動作サイクルＣＹ１によって物品処理槽１の物品通口１
０１から処理槽内に搬入される。すなわち、装置４１の
ロッド４０２が上昇することでアーム４０４も上昇し、
これによって図示しないコンベアにて運ばれてきた被処
理物Ｓがアーム４０４によって持ち上げ支持される。次
にアーム４０４が物品通口１０１から処理槽１内に進入
することで、該被処理物Ｓは処理槽１内に待ち受ける、
後述する物品支持体２の物品支持部２０の上方に位置す
る。次にロッド４０２が下降することで物品Ｓは該物品
支持部に載置され、空になったアーム４０４は後退し、
当初位置に復帰して次の物品搬入に備える。

【００３７】また、装置４２によると、物品支持体２上
の処理済みの物品Ｓがアーム４０４の図２に示す矩形軌
道を描く動作サイクルＣＹ２によって処理槽１から搬出
され、処理槽外に待ち受ける図示しないコンベア上に渡
される。すなわち、先ずアーム４０４が前進し、物品通
口１０２から処理槽１内に進入して処理済みの１つの物
品Ｓの下方に位置すると、ロッド４０２が上昇し、それ
によってアーム４０４上に処理済みの物品Ｓが支持され
る。その状態でアーム４０４を後退させ、しかるのちロ
ッド４０２を下降させることでアーム４０４上の処理済
み物品が図示しないコンベア上に渡される。かくして該
図示しないコンベアにより次の工程へ向け搬送される。
なお、装置４１、装置４２のいずれにおいても、必要
に応じ、アーム４０４はボックス４０３と共に最大１８
０°まで往復回動される。

【００３８】次に物品支持体２を図４、図５、図６及び
図７を参照して詳細に説明する。この物品支持体２は、
図４及び図５に示すように、下板２１及びこれに対向す
る上板２２を有し、これら両板の四隅がそれぞれロッド
２Ａによって連結されている。また、上下板２１、２２
間には物品支持部２０が上下に複数段に配置されてい
る。

【００３９】各物品支持部２０は、図５及び図６に示す
ように、被処理物Ｓの周辺部を下方から受け支える４個
一組の受け部材片２３を含んでいる。各受け部材片２３
は一側面から見ると図６に示す形状をしており、平面か
ら見ると図７の（Ａ）図に示す形状をしており、その断
面は図７の（Ｂ）図に示すとおりである。すなわち、こ
の受け部材片２３は水平板部２３１及びこれに連結され
た中央筒部２３２とからなっており、水平板部２３１
は、各段の物品支持部２０に支持される被処理物Ｓを熱
処理する空気の流れ、すなわち図１においてフィルタ１
１から吹き出される空気の層流方向Ｘ（図５、図６及び
図７も参照）の方向に長寸法Ｌを有し、これと直角な幅
方向に小さい幅寸法Ｗを有する板部であり、空気層流方
向Ｘにおいて上流側端部及び下流側端部がそれぞれ平面
からみて三角形状に形成され、さらに先端に丸みをつけ
られており、全体が層流方向Ｘに沿って流線形状に形成
されている。筒部分２３２も層流方向Ｘの方向に長く、
これと直角の幅方向に狭くなるように偏平に形成され、
該筒部分の層流方向Ｘにおける上流側端部及び下流側端
部はそれぞれ平面から見て円弧面に形成され、全体とし
て層流方向Ｘに流線形状に形成されている。また、水平
板部２３１の上流側端部及び下流側端部の上面にはそれ
ぞれ被処理物Ｓを点状に受け支える凸部２３３が形成さ
れている。

【００４０】物品支持体２の上下板２１、２２間の４個
所のそれぞれに上下に一直線上に複数段に配置される受
け部材片２３は軸棒２４に緩みの無い状態で順次外嵌さ
れている。その状態は図６及び図７にに示してある。各
軸棒２４は図７の（Ａ）図に示すように、気体の層流方
向Ｘに細長く、該層流方向において上流側端部及び下流
側端部が台形状に突出するように形成されており、全体
として流線形状に形成されている。

【００４１】図６に示すように、各軸棒２４の下端及び
上端には該軸棒２４の中心から偏心した位置で補助軸棒
２４１及び２４２が上下方向に突設されており、下側の
補助軸棒２４１は軸受け部材２５に回転可能に貫通し、
さらに、下板２１を貫通している。また上側補助軸棒２
４２は上側軸受け部材２６に回転可能に貫通し、さらに
上板２２を貫通している。下側の軸受け部材２５は下板
２１の上面に固定した部材２５１に連結固定されてお
り、上側の軸受け部材２６は上板２２の下面に固定した
部材２６１に連結固定されている。

【００４２】これら補助軸棒２４１、２４２の、下板及
び上板を貫通した部分には、図示しない回し道具を係合
させる係合部２４３が設けられており、この部分を回動
させることで補助軸棒２４１及び２４２を中心にして軸
棒２４及びこれに嵌合された受け部材片２３を１８０°
往復回動させることができる（図７の（Ｃ）図参照）。

【００４３】以上説明したように物品支持体２による
と、各物品支持部２０における受け部材片２３に被処理
物Ｓの周辺部が下方から受け支えられる。そして各受け
部材片２３は熱処理気体の層流方向Ｘに流線形状に形成
されているので、該層流Ｘの乱れが少なく、従って被処
理物Ｓの各部は、この点からも均一に熱処理されること
になる。また、各被処理物Ｓは物品受け部材片２３の水
平板部２３１上面の凸部２３３によって点状に受け支え
られるので、例えば該被処理物Ｓが液晶ディスプレイ用
のガラス基板であって、その上面に塗膜を塗布したもの
であり、ガラス基板端部に液垂れが発生しているような
場合でも、該液垂れが受け部材片２３の広範囲にべた付
着することが防止され、この物品支持体の汚染がそれだ
け防止され、延いては発塵が少なくなり、清掃の手間も
省ける利点がある。

【００４４】また、係合部２４３を回動操作すること
で、反対側の物品受け支え凸部２３３を被処理物を受け
支える位置に配置することができ、この場合、図５に示
すように、該回動が偏心して行われるため、いずれかの
凸部２３３により大きい被処理物Ｓ１又は小さい被処理
物Ｓ２のいずれでも支持することができる。なお、図５
においてＹは被処理物Ｓの搬入搬出方向を示している。

【００４５】なお、上下に隣合う被処理物Ｓの間隔調整
は筒部２３２の高さの選択により行えるが、該筒部間に
スペーサを挿入することによっても行える。次に、以上
説明した物品熱処理装置により、液晶デイスプレイ装置
のガラス基板Ｓ上に該装置製作の過程で必要とされる塗
液を塗布し、これを乾燥させる場合について説明する。

【００４６】当初は、物品支持体２を上昇（又は下降）
させて該支持体の最下段（又は最上段）の物品支持部２
０を処理槽１の物品通口１０１、１０２に臨ませてお
き、この状態で気体供給循環部１５にて物品処理空間１
４に所定温度気体を供給し、循環させる。物品支持体２
の昇降は昇降駆動装置３のモータ３６を正転又は逆転さ
せて行う。

【００４７】次に、物品搬入装置４１により塗液を塗布
したガラス基板Ｓを物品通口１０１から物品処理槽１内
へ搬入し、それを物品支持体２の最下段（又は最上段）
の物品支持部２０に支持させ、その後、支持体２を１段
分下降（又は上昇）させ、次段の物品支持部２０に前記
と同様にしてガラス基板Ｓを搬入、載置する。このよう
にして次々と物品支持体２を１段分ずつ移動させてガラ
ス基板Ｓを各支持部２０に搬入載置する。

【００４８】すべての物品支持部２０へのガラス基板Ｓ
の搬入が完了すると、最初に搬入した基板Ｓはすでに所
定温度雰囲気に十分曝され、所定の熱処理が完了してい
るので、ここで物品支持体２を全段分一度に上昇又は下
降させ、最初に搬入した基板Ｓを搬出装置４２により処
理槽１外へ搬出し、この搬出によって空いた部分へ、搬
入装置４１にて次の基板Ｓを搬入する。

【００４９】しかるのち、物品支持体２を１段分下降
（又は上昇）させ、次段支持部２０上の基板Ｓの搬出
と、その結果空いた部分への次の基板Ｓの搬入を行う。
このように次々と物品支持体を１段分ずつ下降（又は上
昇）させ、基板Ｓの搬出と搬入を繰り返す。なお、当初
の全段への基板Ｓの搬入において、一番最後に搬入され
た基板Ｓは、全段搬入終了後、物品支持体２が当初位置
まで上昇（又は下降）せしめられ、その後、１段分ずつ
下降（又は上昇）する過程で所望の熱処理が完了する。

【００５０】すなわち、一つ一つの基板Ｓを見ると、物
品支持体２の全段支持部２０に基板Ｓが搬入される時
間、物品処理槽１内に置かれ、所望の熱処理が施される
ことになる。そしてこの熱処理装置によると、既述のと
おり、従来処理装置に比べ、コンパクトに構成して装置
設置面積を節約できる。また、物品処理槽１内の雰囲気
の温度の乱れが抑制され、また、無酸化雰囲気等要求さ
れる雰囲気を作り出し易く、それだけ目的とする物品熱
処理を精度よく実施できる。また、物品処理空間１４に
おける塵埃汚染が抑制され、塵埃を嫌う物品の熱処理に
も利用できる。

【００５１】次に本発明の他の実施例を図８及び図９を
参照して説明する。図８の（Ａ）図は、物品熱処理装置
の要部の側方から見た断面図であり、（Ｂ）図は（Ａ）
図に示す要部の、正面側から見た断面図である。また図
９は図８に示す装置における物品支持体の物品支持部を
示すもので、（Ａ）図はそれを側方から見た断面図であ
り、（Ｂ）図は同支持部の正面側から見た断面図であ
り、（Ｃ）図は該支持部とそれに関係する部分の、平面
側から見た断面図である。

【００５２】この物品熱処理装置は、物品処理槽１００
を含んでいる。処理槽１００は断熱壁に囲まれており、
その内部は、処理槽底壁１００Ｂから立ち上がるフィル
タ１１０、該フィルタ上端から正面側へ水平に延びる上
仕切板１２０及び該仕切板端部から処理槽天井壁１００
Ａまで立ち上がる通気板１３０によって物品処理空間１
４０及び気体供給循環部１５０に区分けされている。

【００５３】このフィルタ１１０も図１に示す装置にお
けるフィルタ１１と同様に高集塵性能のフィルタであ
る。通気板１３０は多数の通気口を備えている。上仕切
板１２０の上方空間には加熱ヒータ１６０及び空気循環
用ファン１７０が配置されており、ファン１７０は処理
槽１の天井壁に固定したモータ１７２により回転駆動さ
れる。

【００５４】物品処理空間１４０には後ほど詳述する物
品支持体２００が配置されている。空間１４０の正面側
には開閉可能の扉１８０を設けてある。気体供給循環部
１５０によると、加熱ヒータ１６０により所定温度に加
熱された空気が回転駆動されるファン１７０に吸い込ま
れ、該ファン１７０からフィルタ１１０の背後に吹き出
され、該フィルタを通ることで浄化されて物品処理空間
１４０に層流状態で流入し、ここで物品支持体２００上
に支持された後述する被処理物の熱処理に供されての
ち、上方の通気板１３０から気体供給循環部１５０内に
戻り循環する。

【００５５】物品支持体２００は物品処理槽１００の下
方に設けた昇降駆動装置３００によって物品処理空間１
４０内を昇降することができる。昇降駆動装置３００は
図示しない部材を介して物品処理槽１００に連結固定さ
れた上下の水平部材３０１、３０２を備えており、これ
ら両部材間に縦方向のガイドロッド３０３が連結固定さ
れているとともに、ロッド３０３と平行な縦方向のねじ
棒３０４が回転可能に支持されている。

【００５６】ガイドロッド３０３には、これに沿って昇
降可能なスライダ３０５が嵌挿されており、ねじ棒３０
４には雌ねじ部材３０６が螺合されている。これらスラ
イダ３０５及び雌ねじ部材３０６には水平部材３０７が
連結固定されており、該水平部材３０７のほぼ四隅部分
からそれぞれロッド３０８が立ち上がっており、各ロッ
ド３０８は上側部材３０１を昇降可能に貫通し、さらに
物品処理槽１００の底壁１００Ｂに設けたスライドベア
リング３０９を昇降可能に貫通して物品支持体２００の
下板２０１に連結固定されている。また下部材３０２の
下面にはサーボモータ３１０が固定され、これによって
ねじ棒３０４が正転又は逆転駆動される。

【００５７】物品支持体２００に連結固定されたロッド
３０８は、本例ではいずれも中空ロッドであり、これら
ロッドのうち、物品処理槽１００の一側壁１００Ｃ側に
配置されている２本のロッド３０８ａには流量制御エレ
メントＦ、開閉弁Ｖ１、Ｖ２を介してガス源Ｇ１、Ｇ２
が配管接続されている。この例ではガス源Ｇ１は乾燥空
気源であり、ガス源Ｇ２は乾燥窒素ガス源である。ま
た、ロッド３０８ａから流量制御エレメントＦに至る配
管は可撓性のあるホースであり、図８には直線で示され
ているが、実際にはロッド３０８ａの昇降に追随できる
ように余裕を持った長さが採用されている。なお、ロッ
ド３０８ａとは反対側の２本のロッド３０８ｂにもこれ
らガス供給装置を接続しておいてもよい。

【００５８】この昇降駆動装置３００によると、モータ
３１０の正転（逆転）運転によりねじ棒３０４が正転
（逆転）することで該ねじ棒に螺合する雌ねじ部材３０
６が上昇（下降）し、これに伴って該雌ねじ部材に連結
されている水平部材３０７も上昇（下降）し、さらにこ
れに伴って４本のロッド３０８が上昇（下降）すること
で物品支持体２００が上昇（下降）する。

【００５９】図８の実施例においても、このように昇降
駆動装置３００が物品処理槽１００の下方に配置されて
いるので、装置全体がコンパクト化されている。また、
昇降駆動装置３００はスライドベアリング３０９を昇降
自在に貫通するロッド３０８によってのみ物品支持体２
００と連結されているので、昇降駆動装置３００の部分
から発する塵埃が物品処理槽１００に侵入することが十
分抑制されており、塵埃を嫌う被処理物の処理にも適し
ている。

【００６０】また、図８の（Ｂ）図に示すように、物品
処理槽１００の一側壁１００Ｃにはスリット状の物品通
口１０３が形成されている。このようにこの装置は上下
に高く内容積の大きい割には、物品搬入搬出口として小
さい物品通口１０３が設けられているだけであるから、
物品処理空間１４０から外部への処理気体の漏出や、外
部からの外気の侵入が抑制され、それだけ処理槽内雰囲
気が所望の温度や状態（例えば窒素ガス導入による無酸
化雰囲気）にし易く、従来より被処理物の各部を均一に
熱処理できる等、熱処理精度が向上している。

【００６１】また、処理槽１００内から処理槽雰囲気が
漏出したり、処理槽内へ不要な外気が侵入することが抑
制されるので、気体供給循環部１５０の容量がそれだけ
少なく済み、初期設置費用、その後のランニングコスト
がそれだけ安価に済む。物品搬入搬出のための物品通口
１０３の外側には、図８には示していないが、図２に示
す物品搬入、搬出装置４１、４２と同構成の搬入搬出装
置が配置される。但し、物品搬入排出のためのアーム４
０４に代えて、図９の（Ｃ）図に示すアーム４０４ａが
採用される。

【００６２】物品支持体２００は図８に示すように、前
記ロッド３０８を連結された下板２０１及びこれに対向
する上板２０２を有し、これら両板の四隅がそれぞれ中
空筒状のロッド２０３によって相互に連結されている。
また、上下板２０１、２０２間には物品支持部５０が上
下に複数段に設けられている。各物品支持部５０は、図
９に示すように、被処理物Ｓを受け支えることができ、
下面側から物品処理空間１４０の熱処理気体により加熱
されて蓄熱する熱容量の大きい蓄熱プレート５０１及び
該プレートを覆うプレートカバー５０２を備えている。
プレートカバー５０２は被処理物Ｓの出入口５０３を備
えている。出入口５０３は物品処理槽１００の物品通口
１０３の側に向けられている。

【００６３】蓄熱プレート５０１はプレートカバー５０
２に支持されており、プレートカバー５０２はその四隅
が上下板２０１、２０２を相互連結する４本のロッド２
０３にそれぞれ支持されている。ロッド２０３のうち物
品通口１０３がある側に配置さている２本のロッド２０
３ａは、前記昇降駆動装置３００における中空昇降ロッ
ド３０８ａに連通するように接続されており、ガス源Ｇ
１又はＧ２からガスの供給を受けることができる。前述
のように、駆動装置３００における昇降ロッド３０８ｂ
にもガス供給装置を接続しておくときは、支持体２００
のロッド２０３のうち、前記ロッド２０３ａとは反対側
の各ロッド２０３ｂも該昇降ロッド３０８ｂに連通接続
しておけばよい。

【００６４】また、各ロッド２０３ａ（或いはさらに各
ロッド２０３ｂ）の中空部は、プレートカバー５０２に
おける物品出入口５０３に近い位置で、該プレートカバ
ー５０２内に連通口２０４を介して連通している。従っ
てロッド２０３ａ（或いはさらにロッド２０３ｂ）に供
給されたガスは、この連通口２０４を通ってプレートカ
バー５０２内に進入することができる。

【００６５】また、図９の（Ｃ）図に示すように、物品
処理槽１００内のフィルタ１１０とそれに隣合う物品支
持体２００における２本の縦方向ロッド２０３ａ、２０
３ｂとの間には物品処理空間１４０内に上下方向に延び
る仕切板１０４が設けられ、さらに該仕切板１０４と物
品処理槽１００の両側壁１００Ｃ、１００Ｄとの間に風
量制御板１０５が設けられている。風量制御板１０５は
多数の通気孔を有し、フィルタ１１０に隣合って物品処
理空間１４０内に上下方向に延びている。

【００６６】以上説明した物品支持体２００によると、
昇降駆動装置３００による昇降操作によって物品支持部
５０のうちのいずれかが物品通口１０３に臨む位置に配
置され、このように配置された物品支持部５０に対し、
物品搬入搬出装置のアーム４０４ａにより被処理物Ｓが
物品通口１０３及びプレートカバー５０２の出入口５０
３を経て蓄熱プレート５０１上に搬入載置されるか、或
いは熱処理の終わったプレート５０１上の被処理物Ｓが
逆に物品処理槽外へ搬出される。

【００６７】また、この物品支持部５０によると、図９
の（Ｃ）図に示すように、フィルタ１１０を通過し、両
仕切板１０４の間を通って供給されてくる熱処理気体の
層流Ｘによりプレート５０１がその下面から加熱される
ことで蓄熱し、且つ、該プレート上の被処理物Ｓがその
下面側から加熱処理される。従って、被処理物Ｓが、例
えば、液晶ディスプレイ用のガラス基板であって、その
上面に塗液を塗布したものである場合、該ガラス基板は
その塗液を塗った上面とは反対側の下面側から加熱され
ることになるので、塗液中の溶剤が塗膜中に残存するこ
となく円滑に放置され、気泡のない優れた乾燥塗膜が得
られるという利点がある。

【００６８】また、フィルタ１１０を通過して流れる熱
処理気体のうち両仕切板１０４の間を通って蓄熱プレー
ト５０１の下面に沿って流れるものについては、仕切板
１０４の外側に流量制御板１０５が設けてあって、この
部分を通る風量が抑制されることから風量が十分大き
く、プレート５０１を十分加熱することができる状態と
なっている。

【００６９】また、以上説明した物品支持体２００によ
ると、ガス源Ｇ１から乾燥空気を、或いはガス源Ｇ２か
ら乾燥窒素ガスを昇降駆動装置における中空昇降ロッド
３０８ａ（或いはさらにロッド３０８ｂ）及び物品支持
体における縦方向中空ロッド２０３ａ（或いはさらにロ
ッド２０３ｂ）に供給し、そこから各プレートカバー５
０２内に供給することができる。このようにプレートカ
バー５０２内に供給されたガスｇは図９の（Ｃ）図に示
すように、プレートカバー５０２の物品出入口５０３か
らカバー外へ流出する。従って、このようにガスｇをプ
レートカバー内に供給することにより、熱処理の過程に
おいて被処理物Ｓから発生することがある不要なガスや
塵埃を、該ガスｇの流れによってプレートカバー外へ誘
導排出することができ、この点でも被処理物Ｓを清浄度
の高い状態で処理することができる。また、窒素ガスを
導入するときには、プレートカバー５０２内を無酸化雰
囲気とし、その状態下で被処理物Ｓを処理することもで
きる。

【００７０】次に本発明のさらに他の実施例について説
明する。この実施例は図８及び図９に示す物品熱処理装
置において、物品支持体２００における物品支持部５０
に代え物品支持部６０を採用したものである。また、こ
の実施例では、物品搬入搬出装置のアームとして、図１
０の（Ｃ）図に示すように、図２に示す物品搬入搬出装
置４１、４２におけるアーム４０４と同じアーム４０４
が使用される。

【００７１】この実施例における各物品支持部６０は図
１０に示すように、被処理物Ｓの下面の大部分を物品処
理空間１４０の熱処理気体に露出させることができる平
面視コの字形の受け部材６０１及び該受け部材を覆うカ
バー６０２を備えており、カバー６０２は物品出入口６
０３を有している。物品出入口６０３は物品処理槽１０
０の物品通口１０３のある側に向けられている。また、
カバー６０２はその出入口６０３近傍で、連通孔２０４
を介してロッド２０３ａの中空部に連通している。これ
ら受け部材６０１及びカバー６０２はその四隅部分が縦
方向の中空ロッド２０３に連結支持されている。その他
の点は図８及び図９に示すものと同様の構成である。こ
の実施例においても、駆動装置３００における昇降ロッ
ド３０８ｂにガス供給装置を接続しておくときは、支持
体２００のロッド２０３のうち、ロッド２０３ａとは反
対側の各ロッド２０３ｂも該昇降ロッド３０８ｂに連通
接続させ、さらにロッド２０３ｂも連通孔２０４にてカ
バー６０２内に連通させておけばよい。

【００７２】この物品支持部６０によると、被処理物Ｓ
はその周辺部が受け部材６０１に支持され、該受け部材
の開口６０１ａから被処理物Ｓの下面の大部分が直接物
品処理空間１４０の熱処理気体の層流Ｘに曝されて処理
される。この物品支持部６０によると、前記物品支持部
５０におけると同様の効果が達成される。また、図８及
び図９に示す物品熱処理装置、並びに図１０に一部を示
す物品熱処理装置におけ物品支持体２００の昇降、支持
体２００の物品支持部５０、６０に対する被処理物の搬
入搬出等の全体的な一連の操作は、図１から図７に示す
装置におけると同様に行われる。但し、物品の搬入搬出
は一つの物品通口１０３により行われる。

【００７３】なお、必要に応じ、前記物品支持部５０、
６０の物品出入口５０３、６０３をカバー５０２、６０
２の反対側にも設け、さらに処理層１００の物品通口１
０３を、図２に示す装置の処理層１におけると同様に左
右に搬入専用、搬出専用に設けておいてもよい。

【００７４】

【発明の効果】以上説明したように本発明によると、従
来装置に比べ、コンパクトに構成して装置設置面積を
節約でき、物品処理槽内の雰囲気の温度の乱れが抑制
され、また、無酸化雰囲気等要求される雰囲気を作り出
しやすく、それだけ目的とする物品熱処理を精度よく実
施でき、塵埃による汚染が少なく、塵埃を嫌う物品の
熱処理にも適用でき、装置の初期設置費用、その後の
ランニングコストを低く抑えることができる物品熱処理
装置が提供される。

【００７５】物品支持体における各物品支持部が、被処
理物又は補助支持具を受け支える受け部材片を有し、該
各受け部材片が、それに支持される被処理物に対する熱
処理気体の流れ方向に沿って、小空気抵抗の流線形状に
形成されているときには、該受け部材片の空気抵抗がそ
れだけ少なく、従って被処理物に対する熱処理気体の流
れ（層流）の乱れの発生が抑制され、それだけ被処理物
の各部が均一に熱処理される。

【００７６】また、該受け部材片が被処理物を点状に受
け支える凸部を有するときには、例えば、該被処理物に
塗液が塗布してあってこれを乾燥する処理において被処
理物側面や下面に塗液垂れが発生しているような場合で
も、該塗液が受け部材片の広範囲に付着し、その後の清
掃が困難になったり、それが原因で発塵し易くなる等の
不都合が抑制される。

【００７７】また、補助支持具や物品支持体の物品支持
部自体が、被処理物を受け支えることができ、下面側
から物品処理空間の熱処理気体により加熱されて蓄熱す
る蓄熱プレート、及び該プレートを覆い、被処理物の出
入口を有するプレートカバーを備えている場合や、被
処理物下面の大部分を物品処理空間の熱処理気体に露出
させることができる受け部材及び該受け部材を覆い、被
処理物の出入口を有するカバーを備えている場合におい
ては、例えば、被処理物の上面に塗液が塗布してあり、
この塗膜を乾燥処理する場合において、被処理物はその
塗膜を塗った上面とは反対側の下面側から主として加熱
されることになるので、塗液中の溶剤が塗膜中に残存す
ることなく円滑に放出され、気泡の無い優れた乾燥塗膜
が得られる。

【００７８】また、物品支持体における各物品支持部が
このように形成されている場合において、前記カバー内
に物品処理槽外から乾燥空気や窒素ガス等を導入するた
めのガス導入手段を設けてあるときには、例えば、乾燥
空気や窒素ガスを導入することによって、熱処理により
被処理物から発してその上方に漂うことがあるガスや粒
子を排除することができ、例えば窒素ガスを採用する場
合には、これとともに被処理物に接する雰囲気を無酸化
雰囲気とすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の１実施例である物品熱処理装置の要部
の、側方からみた断面図である。

【図２】図１に示す装置の正面側から見た断面図であ
る。

【図３】図１及び図２に示す装置の平面図である。

【図４】物品支持体の概略側面図である。

【図５】図４に示す物品支持体の上板を取り外した状態
の概略平面図である。

【図６】物品支持体の詳細を一部省略して示す側面図で
ある。

【図７】（Ａ）図及び（Ｂ）図は図６に示す物品支持体
における物品受け部材片及びそれに通された軸棒を示す
もので、（Ａ）図は軸棒部分を断面で示す平面図、
（Ｂ）図は受け部材片を断面で示す側面図であり、
（Ｃ）図は（Ａ）図及び（Ｂ）図に示す物品受け部材片
の取付け状態及びその動作状態を説明するための図であ
る。

【図８】本発明の他の実施例を示すもので、（Ａ）図は
その要部の、側方から見た断面図であり、（Ｂ）図は
（Ａ）図に示す要部の、正面側から見た断面図である。

【図９】（Ａ）図は図８に示す装置における物品支持体
の物品支持部の、側方から見た断面図であり、（Ｂ）図
は同支持部の、正面側から見た断面図であり、（Ｃ）図
は該支持部とそれに関係する部分の、平面側から見た断
面図である。

【図１０】（Ａ）図は本発明のさらに他の実施例におけ
る物品支持体の物品支持部の、側方から見た断面図であ
り、（Ｂ）図は同支持部の、正面側から見た断面図であ
り、（Ｃ）図は該支持部とそれに関係する部分の、平面
側から見た断面図である。

【図１１】（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）図はそれぞれ従来
例の説明図である。

【図１２】さらに他の従来例の一部の斜視図である。

【符号の説明】

１ 物品処理槽 １４ 物品処理空間 １５ 気体供給循環部 １０１、１０２ 物品通口 ２ 物品支持体 ２０ 物品支持部 ３ 物品支持体２の昇降駆動装置 ４１ 物品搬入装置 ４２ 物品搬出装置 ２３ 被処理物の受け部材片 ２３３ 部材片２３における凸部 １００ 物品処理槽 １４０ 物品処理空間 １５０ 気体供給循環部 １０３ 物品通口 ２００ 物品支持体 ３００ 物品支持体２００の昇降駆動装置 ５０ 物品支持部 ５０１ 蓄熱プレート ５０２ プレートカバー ５０３ 物品出入口 ６０ 物品支持部 ６０１ 被処理物の受け部材 ６０２ カバー ６０３ カバーの物品出入口 Ｇ１ 乾燥空気源 Ｇ２ 乾燥窒素ガス源 Ｖ１、Ｖ２ 開閉弁 Ｆ 流量制御エレメント ３０８（３０８ａ、３０８ｂ） 中空昇降ロッド ２０３（２０３ａ、２０３ｂ） 中空ロッド ２０４ 連通孔

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 物品処理空間を有し、該空間に所定温度
   気体を供給循環させる気体供給循環手段が付設され、少
   なくとも一側部に前記空間への物品の搬入、搬出のため
   の物品通口を有する物品処理槽と、 前記物品処理空間に配置され、被処理物又は被処理物を
   装填した補助支持具を装脱できる物品支持部を上下に所
   定間隔で複数段有する物品支持体と、 前記物品処理槽の下方に配置され、該処理槽壁を昇降可
   能に貫通する連結部材にて前記物品支持体に連結され、
   該連結部材を介して該物品支持体を昇降させて前記各物
   品支持部を前記物品通口に順次臨ませるための昇降駆動
   手段と、 前記物品通口を経て前記物品支持体の物品支持部に対し
   被処理物又は補助支持具を装填、取出しする物品搬入及
   び搬出のための手段とを備えたことを特徴とする物品熱
   処理装置。
2. 【請求項２】 前記物品支持体における前記各物品支持
   部が、被処理物又は補助支持具を受け支える受け部材片
   を有し、該各受け部材片は、それに支持される被処理物
   に対する熱処理気体の流れ方向に沿って、小空気抵抗の
   流線形状に形成されている請求項１記載の物品熱処理装
   置。
3. 【請求項３】 前記各受け部材片が被処理物を点状に受
   け支える凸部を有している請求項２記載の物品熱処理装
   置。
4. 【請求項４】 前記補助支持具が、被処理物を受け支え
   ることができ、下面側から前記物品処理空間の熱処理気
   体により加熱されて蓄熱する蓄熱プレート、及び該プレ
   ートを覆い、被処理物の出入口を有するプレートカバー
   を備えている請求項１又は２記載の物品熱処理装置。
5. 【請求項５】 前記補助支持具が、被処理物下面の大部
   分を前記物品処理空間に露出させることができる受け部
   材及び該受け部材を覆い、被処理物の出入口を有するカ
   バーを備えている請求項１又は２記載の物品熱処理装
   置。
6. 【請求項６】 前記物品支持体における前記各物品支持
   部が、被処理物を受け支えることができ、下面側から前
   記物品処理空間の熱処理気体により加熱されて蓄熱する
   蓄熱プレート、及び該プレートを覆い、被処理物の出入
   口を有するプレートカバーを備えている請求項１記載の
   物品熱処理装置。
7. 【請求項７】 前記物品支持体における前記各物品支持
   部が、被処理物下面の大部分を前記物品処理空間に露出
   させることができる受け部材及び該受け部材を覆い、被
   処理物の出入口を有するカバーを備えている請求項１記
   載の物品熱処理装置。
8. 【請求項８】 前記カバー内に前記物品処理槽外から所
   定のガスを導入するためのガス導入手段を有する請求項
   ６又は７記載の物品熱処理装置。