JP2003065943A - 温度・湿度調製装置及び環境試験方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 温度・湿度調製装置及び環境試験方法に関
し、所期の温度・湿度環境を早急に実現する。 【解決手段】 試料を収納し、かつ温度を一定に保つこ
とができる機能を有する恒温槽１と温湿度を調製するた
めのガス調製槽２，３からなり、前記ガス調製槽２，３
と恒温槽１との間を遮断弁７，１０を有するガス導入配
管で接続して、前記恒温槽１内に所定の温度及び湿度に
調製した雰囲気を導入する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は温度・湿度調製装置
及び環境試験方法に関するものであり、例えば、携帯電
話、デジタルカメラ、電子辞書等の一般ユーザ向け精密
電子機器等の電子部品の使用環境中での耐性を評価する
ために必要な環境雰囲気、例えば、任意の温度・湿度、
ガス種・濃度を変化させた雰囲気を調製して恒温槽内に
素早く導入すための機構・構成に特徴のある温度・湿度
調製装置及び環境試験方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、携帯電話、デジタルカメラ、電子
辞書等の一般ユーザ向け精密電子機器の普及が著しく、
今後一般家庭にこれら精密電子機器がますます増加する
と考えられるが、この普及に伴い、これら精密電子機器
の耐久試験或いは耐環境試験が重要となる。

【０００３】従来の精密電子機器の耐久試験或いは耐環
境試験においては、温度・湿度が一定、即ち、同一温度
・湿度で連続的に状態での評価試験のみを行っていた。

【０００４】しかし、一般ユーザ向け精密電子機器の場
合には、高温多湿、低温から高温、低湿度から高湿度等
へと変化する変化の激しい環境下での使用や放置が多く
なり、このような厳しい条件下で障害が発生すると、こ
れらの電子機器情報の損失も大きくなったり、或いは、
ユーザーの権利意識も高くなっているので、その様な問
題を回避するためには、従来よりも厳しい環境試験が必
要となり、そのためには、厳しい条件下での試験を実施
できる装置が必要となる。

【０００５】現在、環境試験装置としては恒温恒湿槽が
市販されており、この恒温恒湿槽は密閉容器内で恒温・
恒湿を作ることができ、時間プログラムを組むシステム
ももっている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の市販の
恒温恒湿装置では、その温湿度のコントロール範囲は、
２０℃〜８５℃程度の温度範囲における４０〜９５％Ｒ
Ｈの湿度調製に限られるため、例えば、５℃の環境下で
の試験を実施するための装置は存在していない。

【０００７】また、時間プログラムにより、温度及び湿
度のコントロールは、実施可能であるが、高温或いは多
湿から、低温低湿に移行する場合には、移行に時間がか
かるという問題がある。例えば、温湿度サイクル試験を
行う場合、高温多湿から、低温低湿へ移行する場合、水
蒸気量が多く、恒温槽の内壁に結露が生じて、速やかな
移行ができない可能性が高くなる。

【０００８】さらに、塩素系・硫黄系等の反応性ガス成
分を含み、温度湿度をコントロールできる装置は市販さ
れてはいないという問題がある。

【０００９】したがって、本発明は、所期の温度・湿度
環境を早急に実現することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】図１は本発明の原理的構
成図であり、この図１を参照して本発明における課題を
解決するための手段を説明する。 図１参照 上記の目的を達成するため、本発明は、温度・湿度調製
装置において、試料を収納し、かつ温度を一定に保つこ
とができる機能を有する恒温槽１と温湿度を調製するた
めのガス調製槽２，３からなり、前記ガス調製槽２，３
と恒温槽１との間を遮断弁７，１０を有するガス導入配
管で接続して、前記恒温槽１内に所定の温度及び湿度に
調製した雰囲気を導入することを特徴とする。

【００１１】このように、予め雰囲気の温度及び湿度を
所定の値に調製できるガス調製槽２，３を設け、このガ
ス調製槽２，３において調製したガスを温度を一定に保
つことができる機能を有する恒温槽１に遮断弁７，１０
を開閉して導入することによって、任意の温度及び湿度
の環境を早急に実現することが可能になる。なお、上記
ガス導入配管には、導入するガス量を制御するためのフ
ローメータを設けることが望ましい。

【００１２】また、ガス調製槽２，３は、加湿ガス作成
器５，８と接続する純ガス導入管と、ガス攪拌手段、例
えば、マグネチックスターラ及びガス混合器６，９内に
設けられた攪拌子からなるガス攪拌手段を備えたガス混
合器６，９に接続する純ガス導入管の少なくとも２本の
純ガス導入管を備えることによって、２本の純ガス導入
管を流れる純ガスの流量比によってその温度における相
対湿度を簡単に設定することができる。

【００１３】この場合、ガス混合器６，９に接続する純
ガス導入管と加湿ガス導入管４のガス導入口は、ガス混
合器６，９との接続部において互いに対向していること
が望ましく、それによってガス混合器６，９内における
ガスの攪拌をよりスムーズに行うことが可能になる。

【００１４】また、ガス調製槽２，３は、遮断弁を備え
た排気管及び遮断弁を備えることが望ましく、排気管を
設けることによってガス調製槽２，３で大量に安定した
温度・湿度の雰囲気を製造したのち、必要とする流量以
外は排気管から排出すれば良いので、高精度に温度及び
湿度を調製した雰囲気ガスを必要とする流量だけいつで
も供給することが可能になり、特に、ガス切替え時に、
大量のガスを流すことができるので恒温槽１内の環境を
すばやく変化させることができる。

【００１５】また、ガス調製槽２，３は、ガス分析器に
接続された分岐配管を備えることが望ましく、ガス分析
器に接続された分岐配管を備えることによって、恒温槽
１に供給する前に雰囲気ガスの温度・湿度等を制御する
ことができる。

【００１６】また、場合によっては、反応性ガス成分を
導入するためのガス気化部を備えても良く、その場合に
は、恒温槽１の少なくとも導入された雰囲気と接触する
部分を耐蝕性部材で構成する必要があり、特に、恒温槽
１を断熱部材からなる外部容器と耐蝕性部材からなる内
部容器との二重構造とすることが望ましい。

【００１７】また、この様なガス調製槽２，３は、恒温
槽１に対して複数個接続することが望ましく、それによ
って、恒温槽１の環境を任意の環境条件に早急に切り替
えることが可能になる。

【００１８】

【発明の実施の形態】ここで、図２乃至図４を参照し
て、本発明の第１の実施の形態の環境試験装置を説明す
る。 図２参照 図２は、本発明の第１の実施の形態の環境試験装置の概
念的構成図であり、評価対象となるサンプル１２を収納
するともに、温度を一定に保つことができる密閉式の恒
温槽１１、２つのガス調製槽１６，１７、及び、ガス調
製槽１６，１７へ各種ガスを導入するとともに、所望の
温度及び湿度に調製した調整ガスを排気したり或いは恒
温槽１１に供給する流路制御配管系１８から構成され
る。また、恒温槽１１には、環境が定常状態に達したと
きに調製ガスを定常的に排出する排気弁１９を設けてい
る。

【００１９】この密閉式の恒温槽１１は、バルブＩを介
して真空ポンプ１３に接続されており、また、恒温槽１
１の内部には温湿度センサ１４が設けられており、この
温湿度センサ１４の検出出力は記録計１５に送られ、そ
の結果によって、後述する図４に示すようにヒータ或い
は冷凍機によって恒温槽１１の温度が制御される。

【００２０】図３参照 図３は、本発明の第１の実施の形態のガス調製槽の概略
的構成図であり、関連する配管系も合わせて示してい
る。このガス調製槽は、断熱性のガス調製槽外囲器２１
内に水２３を収容した加湿ガス作成管２２、マグネチッ
クスターラ２４、加湿ガス作成管２２と接続配管３５を
介して接続するガス混合器２６が設けられている。ま
た、ガス混合器２６には、接続配管３２を介して乾燥し
た純ガスが導入され、この乾燥ガスと加湿ガスの混合に
より所望の湿度をもったガスを調製することができる。
なお、このガス調製槽には、後述する図４に示すように
加熱ヒータ及び冷凍機が設けられており、ガス調製槽外
囲器２１の内部の温度を任意に調製することができる。

【００２１】このマグネチックスターラ２４はガス混合
器２６の内部に設けられた攪拌子２７とともにガス攪拌
手段を構成するものであり、マグネチックスターラ２４
にプラグ２５を介して電力が供給されると、発生する回
転磁場によって攪拌子２７が回転してガス混合器２６内
の加湿ガスを攪拌して混合率を上げ、それによって均一
化する。

【００２２】また、加湿ガス作成管２２は純ガス導入管
２９に接続しており、この純ガス導入管２９、フローメ
ータ３１、バルブＡ３０を介して純ガス導入本管２８に
接続し、また、ガス混合器２６も純ガス導入管３２に接
続しており、この純ガス導入管３２、フローメータ３
４、バルブＢ３３を介して純ガス導入本管２８に接続し
ている。

【００２３】この加湿ガス作成管２２においては、純ガ
ス導入管２９から供給された純ガスにより、設定された
温度下で、湿度１００％ＲＨのガスを作成するものであ
る。なお、ガス混合器２６における純ガス導入管３２の
ガス導入口と、接続配管３５のガス導出口とは互いに対
向するように配置されている。

【００２４】また、ガス混合器２６には調製ガス導出管
３６が接続されており、この調製ガス導出管３６には排
気管３７及び調製ガス供給管４２が接続されており、ガ
ス混合器２６で所定の温度及び湿度に調製された調製ガ
スは調製ガス供給管４２を介して恒温槽１１に供給され
る。

【００２５】この場合、純ガス導入本管２８に供給する
純ガスは、純窒素或いは純空気などの純ガスであり、典
型的には純空気を用いるものであり、純ガス導入管２９
と純ガス導入管３２に流す純ガスの流量比において、ガ
ス調製槽において設定した温度における相対湿度が決ま
る。

【００２６】一方、排気管３７にはバルブＣ３８が設け
られており、恒温槽１１に調製ガスを供給しない場合に
はバルブＣ３８を介して排気される。また、排気管３７
にはバルブＪ４０及びフローメータ４１が設けられた分
岐配管３９が接続されており、調製ガスを恒温槽１１に
供給する前に供給する調製ガスの流量を測定するとも
に、分岐配管３９に連なるガス分析器（図示を省略）に
よって、調製ガスの湿度や含有ガス成分を分析する。

【００２７】例えば、純ガス導入管２９及び純ガス導入
管３２に流す純ガスの流量をＡｃｃ／分及びＢｃｃ／分
とし、恒温槽１１に供給する加湿ガスの流量をＥｃｃ／
分とすると、Ｅ＝Ａ＋Ｂの場合には、バルブＣ３８及び
バルブＪ４０を閉じ、図２におけるバルブＤを開いて導
入すれば良い。

【００２８】一方、Ｅ＜Ａ＋Ｂ の場合には、バルブＣ
３８及びバルブＪ４０の少なくとも一方を適度に開いて
排出する流量を調節し、恒温槽１１に供給する流量Ｅを
調節する。このようなバルブ開閉システムを時間で切り
替えるシステムとすることによって、ガス切り替え時
は、ガス流量を上げることができ、それによって、すば
やく環境を変化させることができる。

【００２９】なお、調製ガスに反応性ガスが添加されて
いる場合には、バルブＪ４０を開いて調製ガスの流量を
測定し、測定が終了したら速やかに閉じるとともに、バ
ルブＣ３８を開放とする。また、調製ガスの濃度の測定
は、排気管３７を介して、随時測定可能な状態とする。

【００３０】図４参照 図４は、本発明の第１の実施の形態の環境試験装置のシ
ステム構成図であり、大きく分けてテストベンチ５０と
制御盤６０によって構成される。テストベンチ５０は、
図２に示した恒温槽１１、流路制御配管系、及び、ガス
調製槽１６，１７を内包するテストエア５１，５２によ
って構成される。

【００３１】恒温槽１１は、断熱性部材からなる恒温槽
外囲器４３とパイレックス（登録商標）ガラス等の耐蝕
性部材からなる試験槽４４の二重槽構造となっており、
恒温槽外囲器４３と試験槽４４との間隙が試験槽４４の
温度を安定に保つ空気槽として機能することになる。

【００３２】この空気槽の温度は、恒温槽外囲器４３の
内部に設けられた空気槽制御部４５によって制御される
ものであり、この空気槽制御部４５は空気調和器４６、
冷凍機４７、及び、ヒータ４８から構成され、これら
は、タッチパネル６１からの入力によって制御用シーケ
ンサ６２によって制御される。

【００３３】また、テストエア５１は、ガス調製槽１
６、加熱ヒータ５３、冷凍機５４、及び、ガス調製器１
６へガスや水を供給するバルブやフローメータ５５を備
えた配管系によって構成され、これらの流量制御は湿度
制御のためのバルブの開閉や、ガス調製槽１６の温度制
御は、タッチパネル６１からの入力によって制御用シー
ケンサ６２によって制御される。なお、テストエア５２
の構成は、テストエア５１の構成と全く同様である。

【００３４】この様なシステムによって、試験槽４４内
の環境をサイクリックに変化させながら試験を行うもの
であり、試験槽４４内に収容された携帯用電子機器等の
サンプル１２は接続配線を介して電気試験装置４９に接
続されており、サンプル１２の電気特性変化を電気試験
装置４９によってモニターする。

【００３５】ここで、図５を参照して、試験槽４４内の
環境の切替えの一例、例えば、携帯電話部品結露試験を
説明する。 図５参照 図５は、本発明の第１の実施の形態におけるバルブ開閉
のタイムチャートであり、５℃，９０％ＲＨ（低温多
湿）から２５℃，６０ＲＨ（常温常湿）に移行する場合
を例に説明する。まず、図２に示す環境試験装置におい
て、ガス調製槽１６においては、例えば、バルブＡを開
いて９００ｃｃ／分の湿度１００％のガスを作成すると
ともに、バルブＢを開いて１００ｃｃ／分の乾燥純ガス
を供給して５℃で９０％ＲＨの低温多湿ガスを調製す
る。

【００３６】一方、ガス調製槽１７においては、例え
ば、バルブＥを開いて６００ｃｃ／分の湿度１００％の
ガスを作成するとともに、バルブＦを開いて４００ｃｃ
／分の乾燥純ガスを供給して２５℃で６０％ＲＨの常温
常湿ガスを調製する。

【００３７】なお、調製ガスの調製に際しては、バルブ
Ｄ，Ｈを閉じて恒温槽１１と切離し、ガス調製槽１６，
１７及びこれらに接続する配管系で所望の温度・湿度の
ガスを調製する。バルブＣ，Ｇを開き、バルブＪ，Ｋを
閉じて、接続している湿度センサによって湿度を測定し
て、設定した値になるまでバルブＡ，Ｂを調製して加湿
ガスと乾燥ガスの流量比を調節する。

【００３８】なお、配管接続部でのガス漏れをチェック
する場合は、バルブＪ，Ｋを開き、バルブＣ，Ｇを閉じ
て、バルブに接続したフローメータの値が、バルブＡ，
Ｂ或いはバルブＥ，Ｆに接続したフローメータの合計値
と等しいか否かを調べれば良い。

【００３９】次いで、上記調製ガスが所定の温度・湿度
になったことを確認し、恒温槽内に評価試料を設置す
る。この時、恒温槽内は、常温・常湿である。この状態
においては、バルブＤ，Ｈ，Ｉが閉じられており、ま
た、作製されている調製ガスはバルブＣ，Ｇを介して排
気される。

【００４０】評価試料を設置したのち、バルブＩを、例
えば、０．１分（＝６秒）開いて、恒温槽内の常温滝を
排気する。次いで、バルブＣ，Ｉを閉じてバルブＤを開
き、５℃９０％ＲＨのガスを恒温槽内に導入する。この
時、併せて恒温槽も５℃に冷却する。これにより、評価
試料を５℃９０％ＲＨの環境に晒すことができる。

【００４１】ついで、排気弁１９を開いた状態で、５℃
９０％ＲＨの低温多湿ガス雰囲気の定常状態に評価試料
である携帯電話部品を２５分晒したのち、バルブＤを閉
じてバルブＩを開き、真空ポンプ１３によって恒温槽１
１の内部の５℃で９０％ＲＨの低温多湿ガスの排気を行
うとともに、図４に示すヒータ４８を用いて恒温槽１１
の温度を２５℃に上昇させる。この場合の排気時間は、
例えば、０．１分であり、この時、排気弁１９は閉じて
いる。

【００４２】次いで、バルブＧ，Ｉを閉じ、バルブＨを
開くことによってガス調製槽１７から２５℃で６０％Ｒ
Ｈの常温常湿ガスを恒温槽１１に供給する。

【００４３】この２５℃で６０％ＲＨの常温常湿ガス雰
囲気の定常状態に携帯電話部品を２５分間晒したのち、
バルブＩを開き、真空ポンプ１３によって恒温槽１１の
内部の２５℃で６０％ＲＨの常温常湿ガスの排気を行う
とともに、図４に示す冷凍機４７を用いて恒温槽１１の
温度を５℃に降温する。

【００４４】次いで、バルブＣ，Ｉを閉じ、バルブＤを
開くことによってガス調製槽１６から５℃で９０％ＲＨ
の低温多湿ガスを恒温槽１１に供給する。

【００４５】この様な温度・湿度サイクルを２００サイ
クル行うことによって、携帯電話部品の耐環境試験を厳
しい条件で行うものである。

【００４６】この様に、本発明の第１の実施の形態にお
いては、任意の温度及び湿度に調製可能な２つのガス調
製槽１６，１７を用いているので、恒温槽１１の内部の
温度・湿度環境を急速に切り換えることができ、厳しい
環境変化を想定した耐環境試験が可能になる。因に、上
述の例の場合には、切替え時間は、１．９分である。

【００４７】次に、図６及び図７を参照して、恒温槽１
１に導入する加湿ガス中に硫化水素等の反応性ガスを微
量混入させる場合の本発明の第２の実施の形態を説明す
る。 図６参照 図６は、本発明の第２の実施の形態のガス調製槽の概略
的説明図であり、基本的構成は図３に示した第１の実施
の形態のガス調製槽と同様である。この第２の実施の形
態のガス調製槽においては、ガス調製槽外囲器２１の内
部に硫化水素等の反応性ガスをｐｐｍ或いはｐｐｂレベ
ルに高精度の濃度に調製することが可能なガス気化部７
１を設けたものである。

【００４８】このガス気化部７１は、パイレックスガラ
ス製のガス拡散管７２及び平栓７３から構成され、純ガ
ス導入管３２は、ガス拡散管７２のホルダ載置板７４に
設けられた接続配管に接続され、一方、ガス拡散管７２
に設けられた標準ガス導出管７５はガス混合器２６に、
接続配管３５のガス導出口と対向するように接続され
る。

【００４９】このガス拡散管７２にはガス原物質保持ホ
ルダ７７に保持された状態で、ガス原物質７６が収容さ
れる。このガス原物質７６としては、市販のパーミエー
ションチューブ、例えば、長さが１００ｍｍで外形が８
ｍｍφの硫化水素パーミエーションチューブＣａｔ．Ｎ
ｏ．Ｐ−４（ガステック社製商品名）を用いるものであ
り、この様なガス気化部７１を設けることによって高精
度の反応性ガス濃度制御が可能になる。

【００５０】図７参照 図７は、本発明の第２の実施の形態の環境試験装置のシ
ステム構成図であり、基本的構成は、図４に示した第１
の実施の形態の環境試験装置のシステム構成と同様であ
る。この第２の実施の形態の環境試験装置のシステム構
成においては、各テストエア５１，５２の内部に設ける
ガス調製槽１６，１７として、上記の図６に示したガス
気化部を備えたガス調製槽を用いるものである。なお、
反応性ガスと接する配管等の部分は、耐蝕性が必要にな
るため、ステンレス製やパイレックスガラス製の部材を
用いる。

【００５１】また、試験槽４４にはガス導出管５６を設
け、このガス導出管５６を介してガス分析器５７に接続
し、電気試験装置４９によって電気的特性の変化をモニ
ターするとともに、雰囲気ガスに含まれる反応性ガスに
よる腐食によって発生したガス成分を分析することが可
能になる。

【００５２】以上、本発明の各実施の形態を説明した
が、本発明は各実施の形態に記載した構成及び条件に限
られるものではなく、各種の変更が可能である。例え
ば、上記の第２の実施の形態においては、ガス原物質と
して、パーミエーションチューブを用いているが、原ガ
スが常温で液体の場合にはディフュージョンチューブを
用いれば良く、さらに、原ガスがナフタリンの様な常温
で固体の場合には首細部と狭いガス放出口を有する容器
を用いれば良い。

【００５３】また、上記の各実施の形態においては、ガ
スを切り替える際に、真空ポンプ１３を使用して真空排
気しているが、純ガス導入管を利用して、乾燥純ガスを
恒温槽１１の内部に導入しながら真空ポンプ１３を使用
して排気しても良いものである。

【００５４】さらに、真空ポンプ１３は必ずしも必要が
ないものであり、単に遮断弁を備えた排気管を設けるだ
けでも良く、純ガス導入管を利用して、乾燥純ガスを恒
温槽１１の内部に導入することによって、換気すること
ができる。

【００５５】上記の各実施の形態においては、純ガス導
入管から供給したガス流量をそのまま恒温槽に供給して
いるが、純ガス導入管から供給量を多くし、バルブＣ或
いはバルブＧを調節することによって恒温槽１１に供給
する調製ガスの流量を調節しても良いものであり、ガス
切替え時に、バルブＣ或いはバルブＧを閉じて恒温槽に
大量の調製ガスを供給することによって、雰囲気の切替
え、即ち、環境の変化をよりすばやく行うことができ
る。

【００５６】また、上記の各実施の形態においては、図
４及び図７に示すように二重構造の恒温槽１１を用いて
いるが、必ずしも二重構造である必要はなく、温度制御
が可能であれば、一重構造の恒温槽を用いても良いもの
である。但し、反応性ガスを添加する場合には、少なく
とも恒温槽の内壁をステンレス製やガラス製にする必要
がある。

【００５７】また、上記の各実施の形態においては、各
ガス調製槽にフローメータに連なる分岐配管３９を設け
ているが、必ずしも、この分岐配管３９及びフローメー
タは必要がないものである。

【００５８】また、上記の第１の実施の形態において
は、試験槽４４にガス分析器を接続していないが、電子
機器部品の種類によっては、高温多湿下で腐食が発生す
ることがあるので、ガス分析器を接続して腐食に伴って
発生するガスを検出するようにしても良いものである。

【００５９】また、上記の各実施の形態においては、ガ
ス調製槽を２個設けているが、環境設定条件によっては
３個以上設けても良いものであり、さらには、１個でも
良く、それによって、従来の市販装置では実現不可能で
あった１０℃以下で湿度０〜９０％ＲＨの環境を調製す
ることや、６０℃以上の温度で湿度４０％以下の環境を
制御することができる。

【００６０】また、上記の各実施の形態においては、携
帯電子機器等の耐環境試験を行う環境試験装置として説
明しているが、本発明の温度・湿度調製装置は、この様
な環境試験装置に限られるものではない。

【００６１】例えば、通常の環境条件下では発生しない
が、特殊な温度・湿度環境下で化学反応が発生し、それ
が事故の原因となる場合には、そのような環境条件を再
現して事故原因を特定する場合にも使用できる。

【００６２】或いは、特殊な製品を製造する場合に、高
温多湿等の特殊な環境条件が必要な場合に、そのような
製品の製造装置としても使用することができる。

【００６３】ここで、再び、図１を参照して、本発明の
詳細な特徴を説明する。 再び、図１参照 （付記１） 試料を収納し、かつ温度を一定に保つこと
ができる機能を有する恒温槽１と温湿度を調製するため
のガス調製槽２，３からなり、前記ガス調製槽２，３と
恒温槽１との間を遮断弁７，１０を有するガス導入配管
で接続して、前記恒温槽１内に所定の温度及び湿度に調
製した雰囲気を導入することを特徴とする温度・湿度調
製装置。 （付記２） 上記ガス導入配管に、フローメータが設け
られていることを特徴とする付記１記載の温度・湿度調
製装置。 （付記３） 上記ガス調製槽２，３が、加湿ガス作成器
５，８と接続する純ガス導入管と、ガス攪拌手段を備え
たガス混合器６，９に接続する純ガス導入管の少なくと
も２本の純ガス導入管、及び、上記ガス導入配管に接続
するガス導出管を備えたことを特徴とする付記１または
２に記載の温度・湿度調製装置。 （付記４） 上記加湿ガス作成器５，８と接続する純ガ
ス導入管とガス混合器６，９に接続する加湿ガス導入管
４のガス導入口が、上記ガス混合器６，９との接続部に
おいて互いに対向していることを特徴とする付記３記載
の温度・湿度調製装置。 （付記５） 上記ガス攪拌手段が、マグネチックスター
ラ及び上記ガス混合器６，９内に設けられた攪拌子から
なることを特徴とする付記３または４記載の温度・湿度
調製装置。 （付記６） 上記ガス調製槽２，３が、遮断弁を備えた
排気管及び遮断弁を備えるとともにガス分析器に接続さ
れた分岐配管を備えていることを特徴とする付記３乃至
５のいずれか１に記載の温度・湿度調製装置。 （付記７） 上記ガス調製槽２，３が、反応性ガス成分
を導入するためのガス気化部を備えるとともに、上記恒
温槽１の少なくとも導入された雰囲気と接触する部分が
耐蝕性部材で構成されていることを特徴とする付記３乃
至６のいずれか１に記載の温度・湿度調製装置。 （付記８） 上記恒温槽１が、断熱部材からなる外部容
器と耐蝕性部材からなる内部容器との二重構造からなる
ことを特徴とする付記１乃至７のいずれか１に記載の温
度・湿度調製装置。 （付記９） 上記ガス調製槽２，３が、上記恒温槽１に
対して複数個接続されており、前記各ガス調製槽２，３
において調製する雰囲気の温度及び湿度の内の少なくと
も一方が互いに異なることを特徴とする付記１乃至８の
いずれか１に記載の温度・湿度調製装置。 （付記１０） 付記９記載の温度・湿度調製装置を用
い、上記恒温槽１に評価の対象となる試料を収納すると
ともに、上記の複数のガス調製槽２，３からの雰囲気を
切り替えて前記恒温槽１内に導入することを特徴とする
環境試験方法。

【００６４】

【発明の効果】本発明によれば、純ガスを用いて任意の
温度及び湿度の加湿ガスを作成することが可能なガス調
製槽を恒温槽に接続しているので、恒温槽内の雰囲気を
任意の温度及び湿度に調製することができ、且つ、ガス
調製槽を複数個用いることによって異なった環境条件に
すばやく切り替えることができるので、厳しい環境変化
条件を想定した耐環境試験が容易になり、ひいては、携
帯電子機器等の信頼性の向上に寄与するところが大き
い。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の原理的構成の説明図である。

【図２】本発明の第１の実施の形態の環境試験装置の概
念的構成図である。

【図３】本発明の第１の実施の形態のガス調製槽の概略
的構成図である。

【図４】本発明の第１の実施の形態の環境試験装置のシ
ステム構成図である。

【図５】本発明の第１の実施の形態におけるバルブ開閉
のタイムチャートである。

【図６】本発明の第２の実施の形態のガス調製槽の概略
的説明図である。

【図７】本発明の第２の実施の形態の環境試験装置のシ
ステム構成図である。

【符号の説明】

１ 恒温槽 ２ ガス調製槽 ３ ガス調製槽 ４ 加湿ガス導入管 ５ 加湿ガス作成器 ６ ガス混合器 ７ 遮断弁 ８ 加湿ガス作成器 ９ ガス混合器 １０ 遮断弁 １１ 恒温槽 １２ サンプル １３ 真空ポンプ １４ 温湿度センサ １５ 記録計 １６ ガス調製槽 １７ ガス調製槽 １８ 流路制御配管系 １９ 排気弁 ２１ ガス調製槽外囲器 ２２ 加湿ガス作成管 ２３ 水 ２４ マグネチックスターラ ２５ プラグ ２６ ガス混合器 ２７ 攪拌子 ２８ 純ガス導入本管 ２９ 純ガス導入管 ３０ バルブＡ ３１ フローメータ ３２ 純ガス導入管 ３３ バルブＢ ３４ フローメータ ３５ 接続配管 ３６ 標準ガス導出管 ３７ 排気管 ３８ バルブＣ ３９ 分岐配管 ４０ バルブＪ ４１ フローメータ ４２ 調製ガス供給管 ４３ 恒温槽外囲器 ４４ 試験槽 ４５ 空気槽制御部 ４６ 空気調和器 ４７ 冷凍機 ４８ ヒータ ４９ 電気試験装置 ５０ テストベンチ ５１ テストエア ５２ テストエア ５３ 加熱ヒータ ５４ 冷凍機 ５５ フローメータ ５６ ガス導出部 ５７ ガス分析器 ６０ 制御盤 ６１ タッチパネル ６２ 制御用シーケンサ ７１ ガス気化部 ７２ ガス拡散管 ７３ 平栓 ７４ ホルダ載置板 ７５ 標準ガス導出管 ７６ 原ガス物質 ７７ 原ガス物質保持ホルダ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G036 AA00 AA18 AA24 AA28 BA13 BA46 CA12 2G050 BA03 BA04 BA10 CA02 DA02 EA01 EA02 EC01 2G132 AA00 AB13 AE00 AL09 AL11 AL21

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 試料を収納し、かつ温度を一定に保つこ
   とができる機能を有する恒温槽と温湿度を調製するため
   のガス調製槽からなり、前記ガス調製槽と恒温槽との間
   を遮断弁を有するガス導入配管で接続して、前記恒温槽
   内に所定の温度及び湿度に調製した雰囲気を導入するこ
   とを特徴とする温度・湿度調製装置。
2. 【請求項２】 上記ガス調製槽が、加湿ガス作成器と接
   続する純ガス導入管と、ガス攪拌手段を備えたガス混合
   器に接続する純ガス導入管の少なくとも２本の純ガス導
   入管、及び、上記ガス導入配管に接続するガス導出管を
   備えることを特徴とする請求項１記載の温度・湿度調製
   装置。
3. 【請求項３】 上記ガス調製槽が、反応性ガス成分を導
   入するためのガス気化部を備えるとともに、上記恒温槽
   の少なくとも導入された雰囲気と接触する部分が耐蝕性
   部材で構成されていることを特徴とする請求項２記載の
   温度・湿度調製装置。
4. 【請求項４】 上記ガス調製槽が、上記恒温槽に対して
   複数個接続されており、前記各ガス調製槽において調製
   する雰囲気の温度及び湿度の内の少なくとも一方が互い
   に異なることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１
   項に記載の温度・湿度調製装置。
5. 【請求項５】 請求項４記載の温度・湿度調製装置を用
   い、上記恒温槽に評価の対象となる試料を収納するとと
   もに、上記の複数のガス調製槽からの雰囲気を切り替え
   て前記恒温槽内に導入することを特徴とする環境試験方
   法。